JPH0559836U - 回転乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハから飛散された水滴の再付着による汚
染を防止する。 【構成】 ロータ１０１をケース２１１内に有し、吸気
口２０３から空気をとり入れ、排出口２１１から空気を
排出する回転乾燥装置の排気口付近に排気再導入機構２
０５を設け、排気されるべき空気を清浄化すると共に吸
気口２０３から送り込まれる空気との流入方向を調整
し、乱流の発生を防止する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は回転乾燥装置に関するもので、詳しくは半導体ウエハを乾燥させる スピンドライヤーに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来の回転乾燥装置は実開昭６０−９０８３３に開示されるものがあった。こ の開示された装置を図２を用いて説明する。図２は従来の回転乾燥装置の断面図 である。乾燥させるべき半導体ウエハは図示せぬウエハキャリア内に収められる 。このウエハキャリアはロータ１０１内のウエハキャリア収納部１０３に収めら れる。ロータ１０１は軸１０５を介してモータ１０７に接続されており、モータ １０７によってロータ１０１は回転する。この回転の遠心力により半導体ウエハ の水滴を飛散させる。一方、ロータ１０１を覆っているケース１０９には吸気口 １１１、排気口１１３が設けられており、空気が吸気口１１１から矢印のような 流れで排気口１１３へ流れる。この空気により半導体ウエハは乾燥する。なお、 半導体ウエハから飛散した水滴は排液口１１５から又はミスト状となり排気口１ １３から排出される。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、図２に示す回転乾燥装置では空気の乱流１０９が吸気口１１１ の外周で発生し、排気口１１３又は排液口１１５から排出されるべきミスト、水 滴などが乱流により半導体ウエハに再付着する可能性がある。この水滴などの再 付着はウエハを汚染するという問題があった。

【０００４】 この考案では上記水滴などの再付着を防止した回転乾燥装置を提供することを 目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】 この考案では被乾燥物を収納する収納部と、この収納部を内部に固定し、かつ 軸によって回転可能に支持されたロータと、前記軸を回転させるモータと、前記 ロータをその内部に収容するケースであって、前記軸の回転方向と略垂直をなす 第１の方向へ気体を流出させる第１流出口と、この取り入れた気体を外部へ排出 する排気口とを有するケースとからなる回転乾燥装置において、前記ケースは、 前記排出口近傍に設けられ、前記排出された気体を取り込む再導入口と、この再 導入口から取り込まれた気体を清浄化するフィルタと、前記第１流出口の外周部 に設けられ、前記フィルタより取り込まれた気体を前記第１の方向へ流出させる 第２流出口とを設けた。

【０００６】

【作用】

再導入口から取り込まれた気体が流出口外周において流出口から流出する気体 による乱流の発生を防止するよう作用する。

【０００７】

【実施例】

この考案の一実施例を図１及び図３を参照しつつ説明する。図１は本考案の一 実施例を示す断面図、図３は図１のＡ−Ａ′断面図である。なお、図２と同一部 分には同一符号を付してその説明を省略する。

【０００８】 この実施例の装置では、ケース２０１はＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅ ｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ）フィルタを有した吸気口２０３を有 すると共に排気口１１３付近に排気再導入機構２０５を有している。排気再導入 機構２０５は排気再導入口２０７，排気再導入用ＨＥＰＡフィルタ２０９及び排 気排出口２１１とから構成される。

【０００９】 次に、この実施例の装置の動作について説明する。従来の装置と同様、ウエハ キャリア内のウエハの水滴はロータの回転により飛散する。この飛散した水滴又 はミストはその一部が排気口１１３又は排液口１１５から排出されるが、一部は 排気再導入機構２０５から排気再導入用ＨＥＰＡフィルタ２０９へ送られる。排 気再導入用ＨＥＰＡフィルタ２０９は飛散した水滴又はミストを取り除き、クリ ーンなエアーを排気排出口２１１に送る。排気排出口２１１は図３からわかるよ うに吸気口２０３の外周に設けられ、上述したクリーンなエアーをロータ１０１ の方へ送り込む。ここで、排気排出口２１１から送り出されるエアーは吸気口２ ０３から送り出されるエアーと同じ方向、即ちダウンフローとしてケース２０１ 内に導入される（図１矢印参照）。なお、この実施例では排気量は従来に比べ約 １／３となった。

【００１０】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば回転乾燥装置に排気再導入機構を設け たため、乱流の発生が防止出来る。従って、飛散した水滴、ミストなどによる汚 染のない回転乾燥装置が得られる。

【００１１】 また、この考案によれば排気量が従来に比べ少なくなるため、省エネルギーを 実現出来るメリットもある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例の断面図。

【図２】従来の回転乾燥装置の断面図。

【図３】図１のＡ−Ａ′断面図。

【符号の説明】

１０１ ロータ ２０１，１０９ ケース ２０３，１１１ 吸気口 １１３ 排気口 ２０５ 排気再導入機構 ２０７ 排気再導入口 ２０９ 排気再導入用ＨＥＰＡフィルタ ２１１ 排気排出口

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被乾燥物を収納する収納部と、 この収納部を内部に固定し、かつ軸によって回転可能に
   支持されたロータと、 前記軸を回転させるモータと、 前記ロータをその内部に収容するケースであって、前記
   軸の回転方向と略垂直をなす第１の方向へ気体を流出さ
   せる第１流出口と、この取り入れた気体を外部へ排出す
   る排気口とを有するケースとからなる回転乾燥装置にお
   いて、 前記ケースは、前記排出口近傍に設けられ、前記排出さ
   れた気体を取り込む再導入口と、 この再導入口に取り込まれた気体を清浄化するフィルタ
   と、 前記第１流出口の外周部に設けられ、前記フィルタより
   取り込まれた気体を前記第１の方向へ流出させる第２流
   出口とを有する回転乾燥装置。