JPH055990A - 感光性組成物およびパターンの形成方法 - Google Patents
感光性組成物およびパターンの形成方法Info
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- JPH055990A JPH055990A JP14467491A JP14467491A JPH055990A JP H055990 A JPH055990 A JP H055990A JP 14467491 A JP14467491 A JP 14467491A JP 14467491 A JP14467491 A JP 14467491A JP H055990 A JPH055990 A JP H055990A
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Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】
【構成】 水溶性ポリマー、ポリビニルアルコール系感
光性樹脂および水を含む感光性組成物およびこれを用い
たパターンの形成方法。 【効果】 低照度でも露光できる高感度な感光性組成物
であり、例えば大型のカラーブラウン管のブラックマト
リックスを形成する際、露光時間の短縮が可能となり生
産性が向上する。
光性樹脂および水を含む感光性組成物およびこれを用い
たパターンの形成方法。 【効果】 低照度でも露光できる高感度な感光性組成物
であり、例えば大型のカラーブラウン管のブラックマト
リックスを形成する際、露光時間の短縮が可能となり生
産性が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感光性組成物およびこ
れを用いたパターンの形成方法、特にカラーブラウン管
のブラックマトリックスの形成に有用な感光性組成物お
よびこれを用いたパターンの形成方法に関する。
れを用いたパターンの形成方法、特にカラーブラウン管
のブラックマトリックスの形成に有用な感光性組成物お
よびこれを用いたパターンの形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のパターン形成方法の一例として、
特開昭５０−３３７６４号公報に示されているようにカ
ラーブラウン管のブラックマトリックスの製造に水溶性
ポリマーと感光性物質、例えばアクリルアミド−ジアセ
トンアクリルアミド共重合体と芳香族ビスアジドよりな
る感光性組成物を用いる方法がある。
特開昭５０−３３７６４号公報に示されているようにカ
ラーブラウン管のブラックマトリックスの製造に水溶性
ポリマーと感光性物質、例えばアクリルアミド−ジアセ
トンアクリルアミド共重合体と芳香族ビスアジドよりな
る感光性組成物を用いる方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術はカラー
ブラウン管の大型化については考慮されておらず、大型
のカラーブラウン管のブラックマトリックスを形成する
際、露光面が光源から遠くなるため露光面の照度が下が
り、露光に要する時間が長くかかり、生産性が悪くなる
という問題があった。本発明は、低照度でも露光できる
高感度な感光性組成物およびこれを用いたパターンの形
成方法を提供するものである。
ブラウン管の大型化については考慮されておらず、大型
のカラーブラウン管のブラックマトリックスを形成する
際、露光面が光源から遠くなるため露光面の照度が下が
り、露光に要する時間が長くかかり、生産性が悪くなる
という問題があった。本発明は、低照度でも露光できる
高感度な感光性組成物およびこれを用いたパターンの形
成方法を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は水溶性ポリマ
ー、ポリビニルアルコール系感光性樹脂および水を含む
感光性組成物およびこれを用いるパターンの形成方法に
関する。
ー、ポリビニルアルコール系感光性樹脂および水を含む
感光性組成物およびこれを用いるパターンの形成方法に
関する。
【０００５】本発明になる感光性組成物には、水溶性ポ
リマーとしてポリビニルアルコール、ポリビニルピロリ
ドン、ポリアクリルアミド、アクリルアミド−ジアセト
ンアクリルアミド共重合体などを用いることができる。
またポリビニルアルコール系感光性樹脂としては、ポリ
ビニルアルコールの主鎖にスチルバゾリウム基が導入さ
れている次の構造を持つもの等を用いることができる。
この樹脂については特開昭５５−２３１６３号公報に開
示されている。
リマーとしてポリビニルアルコール、ポリビニルピロリ
ドン、ポリアクリルアミド、アクリルアミド−ジアセト
ンアクリルアミド共重合体などを用いることができる。
またポリビニルアルコール系感光性樹脂としては、ポリ
ビニルアルコールの主鎖にスチルバゾリウム基が導入さ
れている次の構造を持つもの等を用いることができる。
この樹脂については特開昭５５−２３１６３号公報に開
示されている。
【化１】 （式においてＲは水素原子又はアルキル基、Ｘ-はＣ
ｌ-、ＳＯ2 -、ＮＯ3 -等の強酸の陰イオン、ｎは整数を
示す。）
ｌ-、ＳＯ2 -、ＮＯ3 -等の強酸の陰イオン、ｎは整数を
示す。）
【０００６】感光性組成物中の水溶性ポリマーとポリビ
ニルアルコール系感光性樹脂の比率は、水溶性ポリマー
１０重量部に対してポリビニルアルコール系感光性樹脂
を５〜２００重量部とすることが好ましく、１０〜１０
０重量部とすることがより好ましい。５重量部未満では
感度が低下し、２００重量部を越えると粘度が高くなり
塗布性が低下する傾向がある。
ニルアルコール系感光性樹脂の比率は、水溶性ポリマー
１０重量部に対してポリビニルアルコール系感光性樹脂
を５〜２００重量部とすることが好ましく、１０〜１０
０重量部とすることがより好ましい。５重量部未満では
感度が低下し、２００重量部を越えると粘度が高くなり
塗布性が低下する傾向がある。
【０００７】感光性組成物中の水の量は、感光性組成物
の塗布性および現像性から、水溶性ポリマー１０重量部
に対して、５００〜５０００重量部とすることが好まし
く、１０００〜２０００重量部とすることがより好まし
い。
の塗布性および現像性から、水溶性ポリマー１０重量部
に対して、５００〜５０００重量部とすることが好まし
く、１０００〜２０００重量部とすることがより好まし
い。
【０００８】上記感光性組成物をパターンを形成しよう
とするカラーブラウン管等のガラス、プラスチック、ア
ルミ基板等の金属板などの面上にスピンコーティング法
等を用いて塗布し、形成された塗膜にマスクを介してパ
ターン露光を行った後、現像処理することにより所望の
パターンを形成することができる。現像は水を用いて行
われ、一般には４０℃程度の温水を用いることが好まし
い。
とするカラーブラウン管等のガラス、プラスチック、ア
ルミ基板等の金属板などの面上にスピンコーティング法
等を用いて塗布し、形成された塗膜にマスクを介してパ
ターン露光を行った後、現像処理することにより所望の
パターンを形成することができる。現像は水を用いて行
われ、一般には４０℃程度の温水を用いることが好まし
い。
【０００９】本発明になる感光性組成物は、シランカッ
プリング剤等の接着性改良剤、エチレングリコール等の
塗布性改良剤などを含んでもよい。
プリング剤等の接着性改良剤、エチレングリコール等の
塗布性改良剤などを含んでもよい。
【００１０】
【実施例】次に実施例により本発明を説明する。実施
例、比較例中部とあるのは重量部である。 比較例 アクリルアミド−ジアセトンアクリルアミド共重合体
（共重合比；アクリルアミド：ジアセトンアクリルアミ
ド＝１：１、重量平均分子量約１０，０００）１．７
部、４．４′−ジアジドスチルベン−２，２′−ジスル
ホン酸ナトリウム０．３部、水９８部を混合撹拌して感
光性組成物Ａを調整した。これをガラス基板に０．５〜
１μｍの厚さにスピンコートし、６０℃で１分間乾燥し
て塗膜とした。
例、比較例中部とあるのは重量部である。 比較例 アクリルアミド−ジアセトンアクリルアミド共重合体
（共重合比；アクリルアミド：ジアセトンアクリルアミ
ド＝１：１、重量平均分子量約１０，０００）１．７
部、４．４′−ジアジドスチルベン−２，２′−ジスル
ホン酸ナトリウム０．３部、水９８部を混合撹拌して感
光性組成物Ａを調整した。これをガラス基板に０．５〜
１μｍの厚さにスピンコートし、６０℃で１分間乾燥し
て塗膜とした。
【００１１】実施例１ 東洋合成工業（株）製商品名ＳＰＰ−Ｈ−１３（スチル
バゾリウム基ペンダントポリビニルアルコール水溶液、
重合度１，７００、固形分１１．５％）１３部、アクリ
ルアミド−ジアセトンアクリルアミド共重合体（共重合
比；アクリルアミド：ジアセトンアクリルアミド＝１：
１、重量平均分子量約１０，０００）０．５部、水８
６．５部を混合撹拌して感光性組成物Ｂを調整した。こ
れを比較例と同様の手法で塗膜とした。
バゾリウム基ペンダントポリビニルアルコール水溶液、
重合度１，７００、固形分１１．５％）１３部、アクリ
ルアミド−ジアセトンアクリルアミド共重合体（共重合
比；アクリルアミド：ジアセトンアクリルアミド＝１：
１、重量平均分子量約１０，０００）０．５部、水８
６．５部を混合撹拌して感光性組成物Ｂを調整した。こ
れを比較例と同様の手法で塗膜とした。
【００１２】実施例２ 実施例１のアクリルアミド−ジアセトンアクリルアミド
共重合体をポリビニルピロリドンに変えた以外は実施例
１と同様にして感光性組成物Ｃを調整し、これを比較例
と同様の手法で塗膜とした。実施例及び比較例の塗膜の
感度比較を表１に示す。
共重合体をポリビニルピロリドンに変えた以外は実施例
１と同様にして感光性組成物Ｃを調整し、これを比較例
と同様の手法で塗膜とした。実施例及び比較例の塗膜の
感度比較を表１に示す。
【００１３】
【表１】 ＊塗膜上から超高圧水銀灯により紫外光を２０秒間照射
し、温水現像して１６０μｍのホール径のパターンを得
るのに最低どれだけの照度（Ｗ／ｍ2）が必要かを調
べ、それを比較した。（なお感度は比較例の場合を１と
する相対感度で表わしてある）表１に示されるように実
施例の塗膜は高感度であり、より低照度で露光してパタ
ーンを形成することができる。
し、温水現像して１６０μｍのホール径のパターンを得
るのに最低どれだけの照度（Ｗ／ｍ2）が必要かを調
べ、それを比較した。（なお感度は比較例の場合を１と
する相対感度で表わしてある）表１に示されるように実
施例の塗膜は高感度であり、より低照度で露光してパタ
ーンを形成することができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明になる感光性組成物を用いたパタ
ーンの形成方法によれば低照度でも露光できる高感度な
感光性組成物によって例えば大型のカラーブラウン管の
ブラックマトリックスを形成する際、露光時間の短縮が
可能となり生産性が向上する。
ーンの形成方法によれば低照度でも露光できる高感度な
感光性組成物によって例えば大型のカラーブラウン管の
ブラックマトリックスを形成する際、露光時間の短縮が
可能となり生産性が向上する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 水溶性ポリマー、ポリビニルアルコール
系感光性樹脂および水を含む感光性組成物。 【請求項２】 請求項１記載の感光性組成物を用いるパ
ターンの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14467491A JPH055990A (ja) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | 感光性組成物およびパターンの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14467491A JPH055990A (ja) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | 感光性組成物およびパターンの形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH055990A true JPH055990A (ja) | 1993-01-14 |
Family
ID=15367609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14467491A Pending JPH055990A (ja) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | 感光性組成物およびパターンの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH055990A (ja) |
-
1991
- 1991-06-17 JP JP14467491A patent/JPH055990A/ja active Pending
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