JPH056041B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH056041B2 JPH056041B2 JP20127185A JP20127185A JPH056041B2 JP H056041 B2 JPH056041 B2 JP H056041B2 JP 20127185 A JP20127185 A JP 20127185A JP 20127185 A JP20127185 A JP 20127185A JP H056041 B2 JPH056041 B2 JP H056041B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slide
- slide table
- bearing
- guide
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Automatic Assembly (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、直線スライド型静圧軸受の組立方
法、更に詳しくは、スライドガイドに軸受隙間を
介して外嵌するスライドテーブルを高精度に組立
てる方法に関するものである。
法、更に詳しくは、スライドガイドに軸受隙間を
介して外嵌するスライドテーブルを高精度に組立
てる方法に関するものである。
直線スライド型静圧空気軸受は、高精度なスラ
イド機能を要する半導体製造装置や超精密工作機
等に用いられている。
イド機能を要する半導体製造装置や超精密工作機
等に用いられている。
第２図は一般に用いられている直線スライド型
静圧空気軸受の断面構造を示している。
静圧空気軸受の断面構造を示している。
上記静圧空気軸受は、断面矩形状のスライドガ
イド１と、このガイド１に外嵌する角筒状のスラ
イドテーブル２の組合せによつて構成され、スラ
イドテーブル２の内周各面とスライドガイド１の
対向面との間に各々軸受隙間３を形成し、図示省
略したがスライドテーブル２に設けたオリフイス
を通して加圧空気（静圧）を各軸受隙間に送り込
み、軸受負荷容量を有するようになつている。
イド１と、このガイド１に外嵌する角筒状のスラ
イドテーブル２の組合せによつて構成され、スラ
イドテーブル２の内周各面とスライドガイド１の
対向面との間に各々軸受隙間３を形成し、図示省
略したがスライドテーブル２に設けたオリフイス
を通して加圧空気（静圧）を各軸受隙間に送り込
み、軸受負荷容量を有するようになつている。
上記スライドテーブル２は、上板４と下板５及
び一対の側板６，６の四枚を用い、側板６，６の
端面に上板４及び下板５の端部を重ね、この重な
り部分をボルト７で結合することにより、角筒状
に組立てられている。
び一対の側板６，６の四枚を用い、側板６，６の
端面に上板４及び下板５の端部を重ね、この重な
り部分をボルト７で結合することにより、角筒状
に組立てられている。
ところで、上記のような直線スライド型静圧空
気軸受においては、性能上各軸受隙間の寸法及び
平行精度が極めて重要であるが、各軸受隙間３は
それぞれ５〜29μ程度と非常に小さいため、スラ
イドガイド１及びスライドテーブル２を加工する
とき、寸法精度、直角度等に非常に高い製作精度
が要求され、製作が困難であるという問題があ
る。
気軸受においては、性能上各軸受隙間の寸法及び
平行精度が極めて重要であるが、各軸受隙間３は
それぞれ５〜29μ程度と非常に小さいため、スラ
イドガイド１及びスライドテーブル２を加工する
とき、寸法精度、直角度等に非常に高い製作精度
が要求され、製作が困難であるという問題があ
る。
また、スライドテーブル２の側板６，６と上板
４及び下板５をボルト７で結合するとき、ボルト
の締付けかたによつては、均一な力が加わらない
場合があり、各構成部材の加工精度を十分に生か
すことができず、組立てに熟練した技術を必要と
する問題がある。
４及び下板５をボルト７で結合するとき、ボルト
の締付けかたによつては、均一な力が加わらない
場合があり、各構成部材の加工精度を十分に生か
すことができず、組立てに熟練した技術を必要と
する問題がある。
この発明は、上記のような問題を解決するため
になされたものであり、構成部材に高い製作精度
を必要とすることなく、高精度のスライド機能を
有する軸受を得ることができる直線スライド型静
圧空気軸受の組立方法を提供するのが目的であ
る。
になされたものであり、構成部材に高い製作精度
を必要とすることなく、高精度のスライド機能を
有する軸受を得ることができる直線スライド型静
圧空気軸受の組立方法を提供するのが目的であ
る。
上記のような問題点を解決するため、この発明
は、スライドテーブルを構成する上板と下板及び
両側板の部材の内、相対向する一組の部材のスラ
イドガイド軸方向と直交する方向の寸法を前記ガ
イドの対応する面の同寸法よりも僅かに短く形成
したスライドテーブル構成部材と、前記軸受隙間
の２倍の厚みを有する間座とを用い、スライドテ
ーブル構成部材をスライドガイドの周囲四面を囲
むようにスライドガイドの隣接する二面において
間座を介在させた状態で当てがい、各構成部材の
合せ端部を、その対向面間に生じた隙間に充填剤
を注入し、合せ端部を機械的に結合した後充填剤
を硬化させるようにしたものである。
は、スライドテーブルを構成する上板と下板及び
両側板の部材の内、相対向する一組の部材のスラ
イドガイド軸方向と直交する方向の寸法を前記ガ
イドの対応する面の同寸法よりも僅かに短く形成
したスライドテーブル構成部材と、前記軸受隙間
の２倍の厚みを有する間座とを用い、スライドテ
ーブル構成部材をスライドガイドの周囲四面を囲
むようにスライドガイドの隣接する二面において
間座を介在させた状態で当てがい、各構成部材の
合せ端部を、その対向面間に生じた隙間に充填剤
を注入し、合せ端部を機械的に結合した後充填剤
を硬化させるようにしたものである。
スライドガイドの周囲四面を囲むようにスライ
ドテーブル構成部材を当てがい、スライドガイド
の隣接する二面において間座を介在させておく。
ドテーブル構成部材を当てがい、スライドガイド
の隣接する二面において間座を介在させておく。
スライドテーブル構成部材の配置を保持した状
態で、各構成部材の合せ端部に生じた隙間に充填
剤を注入し、この合せ端部をボルトにより結合し
た後充填剤を硬化させて構成部材を角筒状に組立
て、間座を取り除くと、スライドガイドの外面と
スライドテーブル内面の各対向面間に、平行度及
び寸法精度の高い軸受隙間を形成することができ
る。
態で、各構成部材の合せ端部に生じた隙間に充填
剤を注入し、この合せ端部をボルトにより結合し
た後充填剤を硬化させて構成部材を角筒状に組立
て、間座を取り除くと、スライドガイドの外面と
スライドテーブル内面の各対向面間に、平行度及
び寸法精度の高い軸受隙間を形成することができ
る。
以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。
説明する。
第１図のように、直線スライド型静圧空気軸受
は、断面矩形状のスライドガイド１と、このガイ
ド１に外嵌する角筒状のスライドテーブル２によ
つて構成され、スライドテーブル２の組立てに間
座１１と硬化形の充填剤１２が使用される。
は、断面矩形状のスライドガイド１と、このガイ
ド１に外嵌する角筒状のスライドテーブル２によ
つて構成され、スライドテーブル２の組立てに間
座１１と硬化形の充填剤１２が使用される。
スライドテーブル２は、上板１３と下板１４及
び一対の側板１５，１５によつて形成され、両側
板１５，１５の高さ寸法は、スライドガイド１の
対向面における高さと等しいかそれよりも僅かに
短くなつている。
び一対の側板１５，１５によつて形成され、両側
板１５，１５の高さ寸法は、スライドガイド１の
対向面における高さと等しいかそれよりも僅かに
短くなつている。
前記間座１１は、軸受隙間３を確保するための
ものであり、その厚さは、軸受隙間３の２倍に設
定されている。すなわち、間座１１の厚さｈは、
第２図に示した上下の軸受隙間３ａ＋３ｂ及び両
側の軸受隙間３ｃ＋３ｄに等しく設定されてい
る。
ものであり、その厚さは、軸受隙間３の２倍に設
定されている。すなわち、間座１１の厚さｈは、
第２図に示した上下の軸受隙間３ａ＋３ｂ及び両
側の軸受隙間３ｃ＋３ｄに等しく設定されてい
る。
スライドテーブル２の組立てを行なうには、ス
ライドガイド１の周囲四面を囲むように上板１３
と下板１４及び両側板１５，１５を配置し、スラ
イドガイド１の上面と上板１３間および一方の側
面と側板１５の間に各々間座１１を介在させ、上
記各構成部材をスライドガイド１に対して押しつ
けた状態で、上板１３と側板１５間および下板１
４と側板１５間の各合せ端部に生じた隙間ｌに、
例えばエポキシ樹脂（商品名アラルダイト）や各
種接着剤のような硬化形の充填剤１２を注入す
る。各合せ端部をボルト１６で結合し、角筒状の
スライドテーブル２を組立て、上記充填剤１２を
放置または加熱により硬化させる。
ライドガイド１の周囲四面を囲むように上板１３
と下板１４及び両側板１５，１５を配置し、スラ
イドガイド１の上面と上板１３間および一方の側
面と側板１５の間に各々間座１１を介在させ、上
記各構成部材をスライドガイド１に対して押しつ
けた状態で、上板１３と側板１５間および下板１
４と側板１５間の各合せ端部に生じた隙間ｌに、
例えばエポキシ樹脂（商品名アラルダイト）や各
種接着剤のような硬化形の充填剤１２を注入す
る。各合せ端部をボルト１６で結合し、角筒状の
スライドテーブル２を組立て、上記充填剤１２を
放置または加熱により硬化させる。
この後間座１１を取り除くと、スライドテーブ
ル２の内周二面とスライドガイド１の間に間座１
１の厚みｈに等しい隙間が形成され、この隙間を
上下及び左右に分配することにより、第１図に示
したような、所定の軸受隙間３が四方に確保され
ることになる。
ル２の内周二面とスライドガイド１の間に間座１
１の厚みｈに等しい隙間が形成され、この隙間を
上下及び左右に分配することにより、第１図に示
したような、所定の軸受隙間３が四方に確保され
ることになる。
なお、充填剤１２は硬化剤に流動性のある高分
子材料を用いるため、注入によつて形成される被
膜が厚くなりすぎると剛性がその分だけ弱くなる
ので、スライドテーブル２の構成部材の合せ端部
に先じる隙間ｌは例えば１mm以下になるように、
側板１５，１５の高さを設定するのが好ましい。
子材料を用いるため、注入によつて形成される被
膜が厚くなりすぎると剛性がその分だけ弱くなる
ので、スライドテーブル２の構成部材の合せ端部
に先じる隙間ｌは例えば１mm以下になるように、
側板１５，１５の高さを設定するのが好ましい。
以上のように、この発明によると、スライドガ
イドの隣接する二面において間座を介在させた状
態でスライドガイドの構成部材を当てがい、この
構成部材の合せ端部を結合するようにしたので、
高精度に仕上つたスライドガイドに沿つてスライ
ドガイドの組立てが行なえ、軸受隙間の寸法及び
平行度が精度よく仕上る。
イドの隣接する二面において間座を介在させた状
態でスライドガイドの構成部材を当てがい、この
構成部材の合せ端部を結合するようにしたので、
高精度に仕上つたスライドガイドに沿つてスライ
ドガイドの組立てが行なえ、軸受隙間の寸法及び
平行度が精度よく仕上る。
また、スライドテーブル構成部材の対向する一
組を、スライドガイドの対応面における軸方向と
直交する方向の寸法よりも短かくし、構成部材の
合せ端部間に充填剤を注入硬化させたのち、合せ
端部を機械的に結合するようにしたので、スライ
ドテーブル構成部材の寸法や直角などに高い精度
が必要でなくなり、加工および組立てが容易にな
る。
組を、スライドガイドの対応面における軸方向と
直交する方向の寸法よりも短かくし、構成部材の
合せ端部間に充填剤を注入硬化させたのち、合せ
端部を機械的に結合するようにしたので、スライ
ドテーブル構成部材の寸法や直角などに高い精度
が必要でなくなり、加工および組立てが容易にな
る。
更に、スライドテーブルの合成端部間に充填剤
を注入して固化させるようにしたので、合せ端部
が固着することによりボルトでの締付け力を小さ
くでき、強固な締付による変形の発生がなく、ス
ライドテーブルの組立てが容易に行なえる。
を注入して固化させるようにしたので、合せ端部
が固着することによりボルトでの締付け力を小さ
くでき、強固な締付による変形の発生がなく、ス
ライドテーブルの組立てが容易に行なえる。
第１図はこの発明の組立方法を示す縦断面図、
第２図は直線スライド型静圧空気軸受の断面図で
ある。 １……スライドガイド、２……スライドテーブ
ル、３……軸受隙間、１１……間座、１２……充
填剤、１３……上板、１４……下板、１５……側
板、１６……ボルト。
第２図は直線スライド型静圧空気軸受の断面図で
ある。 １……スライドガイド、２……スライドテーブ
ル、３……軸受隙間、１１……間座、１２……充
填剤、１３……上板、１４……下板、１５……側
板、１６……ボルト。
Claims (1)
- １ 断面矩形のスライドガラスに、四枚の構成部
材を角筒状に組合せて形成したスライドテーブル
を外嵌し、スライドテーブルの内周各面とスライ
ドガイドの対向面との間に軸受隙間を形成し、こ
の隙間に加圧空気を送り込むようにした直線スラ
イド型静圧空気軸受の組立方法であり、スライド
テーブル構成部材の相対向する一組の部材のスラ
イドガイド軸方向と直交する方向の寸法を前記ガ
イドの対応する面の同寸法よりも僅かに短く形成
したスライドテーブル構成部材と、前記軸受隙間
の２倍の厚みを有する間座とを用い、スライドテ
ーブル構成部材をスライドガイドの周囲四面を囲
むようにスライドガイドの隣接する二面において
間座を介在させた状態で当てがい、各構成部材の
合せ端部を、その対向面間に生じた隙間に充填剤
を注入し、合せ端部を機械的に結合した後充填剤
を硬化させることを特徴とする直線スライド型静
圧軸受の組立方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20127185A JPS6262020A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 直線スライド型静圧空気軸受の組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20127185A JPS6262020A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 直線スライド型静圧空気軸受の組立方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6262020A JPS6262020A (ja) | 1987-03-18 |
| JPH056041B2 true JPH056041B2 (ja) | 1993-01-25 |
Family
ID=16438187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20127185A Granted JPS6262020A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 直線スライド型静圧空気軸受の組立方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6262020A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333022A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-11-22 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
| JP4602168B2 (ja) * | 2005-06-10 | 2010-12-22 | 太平洋セメント株式会社 | エアスライドの組立方法 |
-
1985
- 1985-09-09 JP JP20127185A patent/JPS6262020A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6262020A (ja) | 1987-03-18 |
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