JPS6262020A - 直線スライド型静圧空気軸受の組立方法 - Google Patents
直線スライド型静圧空気軸受の組立方法Info
- Publication number
- JPS6262020A JPS6262020A JP20127185A JP20127185A JPS6262020A JP S6262020 A JPS6262020 A JP S6262020A JP 20127185 A JP20127185 A JP 20127185A JP 20127185 A JP20127185 A JP 20127185A JP S6262020 A JPS6262020 A JP S6262020A
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- Japan
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- slide
- slide guide
- slide table
- bearing
- guide
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- Automatic Assembly (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、直線スライド型静圧軸受の組立方法、更に
詳しくは、スライドガイドに軸受隙間を介して外嵌する
スライドテーブルを高精度に組立てる方法番こ関するも
のである。
詳しくは、スライドガイドに軸受隙間を介して外嵌する
スライドテーブルを高精度に組立てる方法番こ関するも
のである。
直線スライド型静圧空気軸受は、高精度なスライド機能
を要する半導体製造装置や超精密工作機等に用いられて
いる。
を要する半導体製造装置や超精密工作機等に用いられて
いる。
第２図は一般に用いられている直線スライド型静圧空気
軸受の断面構造を示している。
軸受の断面構造を示している。
上記静圧空気軸受は、断面矩形状のスライドガイド１と
、このガイド１に外嵌する角筒状のスライドテーブル２
の組合せにまって構成され、スライドテーブル２の内周
各面とスライドガイド１の対向面との間に各々軸受隙間
３を形成し、図示省略したがスライドテーブル２に設け
１こオリフィスを通して加圧空気（静圧）を各軸受隙間
に送り込み、軸受負荷容量を有するようになっている。
、このガイド１に外嵌する角筒状のスライドテーブル２
の組合せにまって構成され、スライドテーブル２の内周
各面とスライドガイド１の対向面との間に各々軸受隙間
３を形成し、図示省略したがスライドテーブル２に設け
１こオリフィスを通して加圧空気（静圧）を各軸受隙間
に送り込み、軸受負荷容量を有するようになっている。
」１記スライドテーブル２は、上板４と下板５及び一対
の側板６．６の四枚を用い、側板６．６の端面に」１板
４及び下板５の端部を重ね、この重なり部分をボルト７
で結合することをこより、角筒状に組立てられている。
の側板６．６の四枚を用い、側板６．６の端面に」１板
４及び下板５の端部を重ね、この重なり部分をボルト７
で結合することをこより、角筒状に組立てられている。
ところで、上記のような直線スライド型静圧空気軸受に
おいては、性能上各軸受隙間の寸法及び平行精度が極め
て重要であるが、各軸受隙間３はそれぞれ５〜２０μ程
度と非常に小さいため、スライドガイド１及びスライド
テーブル２を加工するとき、寸法精度、直角度等に非常
に高い製作精度が要求され、製作が困難であるという問
題がある。
おいては、性能上各軸受隙間の寸法及び平行精度が極め
て重要であるが、各軸受隙間３はそれぞれ５〜２０μ程
度と非常に小さいため、スライドガイド１及びスライド
テーブル２を加工するとき、寸法精度、直角度等に非常
に高い製作精度が要求され、製作が困難であるという問
題がある。
また、スライドテーブル２の側板６．６と上板４及び下
板５をボルト７で結合するとき、ボルトの締付けかたに
よっては、均一な力が加わらない場合があり、各構成部
材の加工精度を十分に生かすことができず、組立てに熟
練した技術を必要とする問題がある。
板５をボルト７で結合するとき、ボルトの締付けかたに
よっては、均一な力が加わらない場合があり、各構成部
材の加工精度を十分に生かすことができず、組立てに熟
練した技術を必要とする問題がある。
この発明は、上記のような問題を解決するためになされ
たものであり、構成部材に高い製作精度を必要とするこ
となく、高精度のスライド機能を有する軸受を得ること
ができる直線スライド型静圧空気軸受の組立方法を提供
するのが目的である。
たものであり、構成部材に高い製作精度を必要とするこ
となく、高精度のスライド機能を有する軸受を得ること
ができる直線スライド型静圧空気軸受の組立方法を提供
するのが目的である。
上記のような問題点を解決するｆこめ〈λ）この発明は
、スライドテーブルを構成する上板と下板及び両側板の
部材の内、相対向する一組の部材のスライドガイド軸方
向と直交する方向の寸法を前記ガイドの対応する面の同
寸法よりも僅かに短かく形成したスライドテーブル構成
部材と、前記軸受隙間の２倍の厚みを有する間座とを用
い、スライドテーブル構成部材をスライドガイドの周囲
四面を囲むようにスライドガイドの隣接する二面におい
て間座を介在させた状態で当てがい、各構成部材の合せ
端部を、その対向面間に生じた隙間に充填剤を注入して
硬化させ１このち機械的に結合するようにしたものであ
る。
、スライドテーブルを構成する上板と下板及び両側板の
部材の内、相対向する一組の部材のスライドガイド軸方
向と直交する方向の寸法を前記ガイドの対応する面の同
寸法よりも僅かに短かく形成したスライドテーブル構成
部材と、前記軸受隙間の２倍の厚みを有する間座とを用
い、スライドテーブル構成部材をスライドガイドの周囲
四面を囲むようにスライドガイドの隣接する二面におい
て間座を介在させた状態で当てがい、各構成部材の合せ
端部を、その対向面間に生じた隙間に充填剤を注入して
硬化させ１このち機械的に結合するようにしたものであ
る。
スライドガイドの周囲四面を囲むようにスライドテーブ
ル構成部材を当てがい、スライドガイドの隣接する二面
において間座を介在させておく。
ル構成部材を当てがい、スライドガイドの隣接する二面
において間座を介在させておく。
スライドテーブル構成部材の配置！を保持した状態で、
各構成部材の合せ端部に生じた隙間に充填材を注入して
硬化させ１このち、この合せ端部をボルトにより結合し
て構成部材を角筒状に組立て、間座を取り除くと、スラ
イドガイドの外面とスライドテーブル内面の各対向面間
Ｇこ、平行度及び寸法精度の高い軸受隙間を形成するこ
とができる。
各構成部材の合せ端部に生じた隙間に充填材を注入して
硬化させ１このち、この合せ端部をボルトにより結合し
て構成部材を角筒状に組立て、間座を取り除くと、スラ
イドガイドの外面とスライドテーブル内面の各対向面間
Ｇこ、平行度及び寸法精度の高い軸受隙間を形成するこ
とができる。
以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
第１図のように、直線スライド型静圧空気軸受は、断面
矩形状のスライドガイド１と、このガイド１に外嵌する
角筒状のスライドテーブル２によって構成され、スライ
ドテーブル２の組立てに間座１１と硬化形の充填剤１２
が使用されろ。
矩形状のスライドガイド１と、このガイド１に外嵌する
角筒状のスライドテーブル２によって構成され、スライ
ドテーブル２の組立てに間座１１と硬化形の充填剤１２
が使用されろ。
スライドテーブル２は、上板１３と下板１４及び一対の
側板１５．１５によって形成され、両側板１５．１５の
高さ寸法は、スライドガイド１の対向面における高さと
等しいがそれよりも僅がＱこ短かくなっている。
側板１５．１５によって形成され、両側板１５．１５の
高さ寸法は、スライドガイド１の対向面における高さと
等しいがそれよりも僅がＱこ短かくなっている。
前記間座１１は、軸受隙間３を確保するためのものであ
り、その厚さは、軸受隙間３の２倍に設定されている。
り、その厚さは、軸受隙間３の２倍に設定されている。
すなわち、間座１１の厚さｈは、第２図に示したＬ下の
軸受隙間３ ａ ＋ ３ ｂ及び両側の軸受隙間３ ｃ
＋ ３ ｄに等しく設定されている。
軸受隙間３ ａ ＋ ３ ｂ及び両側の軸受隙間３ ｃ
＋ ３ ｄに等しく設定されている。
スライドテーブル２の組立てを行なうには、スライドガ
イド１の周囲四面を囲むように上板１３と下板１４及び
両側板１５．１５を配置し、スライドガイド１の上面と
上板１３問および一方の側面と側板１５の間に各々間座
１１を介在させ、上記各構成部材をスライドガイド１に
対して押しつけた状態で、上板１３と側板１５問および
下板１４゛と側板１５間の各合せ端部に生じた隙間ｌに
、例えばエポキシ樹脂（商品名アラルダイト）や各種接
着剤のような硬化形の充填剤１２を注入する。
イド１の周囲四面を囲むように上板１３と下板１４及び
両側板１５．１５を配置し、スライドガイド１の上面と
上板１３問および一方の側面と側板１５の間に各々間座
１１を介在させ、上記各構成部材をスライドガイド１に
対して押しつけた状態で、上板１３と側板１５問および
下板１４゛と側板１５間の各合せ端部に生じた隙間ｌに
、例えばエポキシ樹脂（商品名アラルダイト）や各種接
着剤のような硬化形の充填剤１２を注入する。
各合せ端部をボルト１６で結合し、角筒状のスライドテ
ーブル２を組立て、上記充填剤１２を放置または加熱に
より硬化させる。
ーブル２を組立て、上記充填剤１２を放置または加熱に
より硬化させる。
この後間座１１を取り除くと、スライドテーブル２の内
周二面とスライドガイド１の間に間座１１の厚みｈ＋こ
等しい隙間が形成され、この隙間を上下及び左右に分配
することにより、第１図に示し１こような、所定の軸受
隙間３が四方に確保されることになる。
周二面とスライドガイド１の間に間座１１の厚みｈ＋こ
等しい隙間が形成され、この隙間を上下及び左右に分配
することにより、第１図に示し１こような、所定の軸受
隙間３が四方に確保されることになる。
なお、充填剤１２は硬化剤に流動性のある高分子材料を
用いるため、注入によって形成される皮膜が厚くなりす
ぎると剛性がその分だけ弱くなるので、スライドテーブ
ル２の構成部材の合せ端部に先こる隙間ｌは例えばｌ
ｍｍ以下になるように、側板１５．１５の高さを設定す
るのが好ましい。
用いるため、注入によって形成される皮膜が厚くなりす
ぎると剛性がその分だけ弱くなるので、スライドテーブ
ル２の構成部材の合せ端部に先こる隙間ｌは例えばｌ
ｍｍ以下になるように、側板１５．１５の高さを設定す
るのが好ましい。
以上のように、この発明によると、スライドガイドの隣
接する二面において間座を介在させ１こ状態でスライド
ガイドの構成部材を当てがい、この構成部材の合せ端部
を結合するようにしたので、高精度に仕上つ１こスライ
ドガイドに沿ってスライドガイドの組立てが行なえ、軸
受隙間の寸法及び平行度が精度よく仕」二る。
接する二面において間座を介在させ１こ状態でスライド
ガイドの構成部材を当てがい、この構成部材の合せ端部
を結合するようにしたので、高精度に仕上つ１こスライ
ドガイドに沿ってスライドガイドの組立てが行なえ、軸
受隙間の寸法及び平行度が精度よく仕」二る。
ま１こ、スライドテーブル構成部材の対向する一組を、
スライドガイドの対応面における軸方向と直交する方向
の寸法よりも短かくし、構成部材の合せ端部間に充填剤
を注入硬化させ１このち、合せ端部を機械的に結合する
ようにし１こので、スライドテーブル構成部材の寸法や
直角などに高い精度が必要でなくなり、加工および組立
てが容易になる。
スライドガイドの対応面における軸方向と直交する方向
の寸法よりも短かくし、構成部材の合せ端部間に充填剤
を注入硬化させ１このち、合せ端部を機械的に結合する
ようにし１こので、スライドテーブル構成部材の寸法や
直角などに高い精度が必要でなくなり、加工および組立
てが容易になる。
更に、スライドテーブルの合成端部間に充填剤を注入し
て固化させるようにし１こので、合せ端部が固着するこ
とによりボルトでの締付は力を小さくでき、強固な締付
による変形ρ発生がなく、スライドテーブルの組立てが
容易を１行なえる。
て固化させるようにし１こので、合せ端部が固着するこ
とによりボルトでの締付は力を小さくでき、強固な締付
による変形ρ発生がなく、スライドテーブルの組立てが
容易を１行なえる。
第１図はこの発明の組立方法を示す縦断面図、第２図は
直線スライド型静圧空気軸受の断面図である。 １・・・スライドガイド、２・・・スライドテーブル、
３・・軸受隙間、１１・・・間座、１２・・・充填剤、
１３・・上板、１４・・・下板、１５・・・側板、１６
・・・ボルト特許出願人 エヌ・チー・エヌ 東洋ベアリング株式会社 同 代理人 鎌 １） 文 １第１図 第２図
直線スライド型静圧空気軸受の断面図である。 １・・・スライドガイド、２・・・スライドテーブル、
３・・軸受隙間、１１・・・間座、１２・・・充填剤、
１３・・上板、１４・・・下板、１５・・・側板、１６
・・・ボルト特許出願人 エヌ・チー・エヌ 東洋ベアリング株式会社 同 代理人 鎌 １） 文 １第１図 第２図
Claims (1)
- 断面矩形のスライドガイドに、四枚の構成部材を角筒状
に組合せて形成したスライドテーブルを外嵌し、スライ
ドテーブルの内周各面とスライドガイドの対向面との間
に軸受隙間を形成し、この隙間に加圧空気を送り込むよ
うにした直線スライド型静圧空気軸受の組立方法であり
、スライドテーブル構成部材の相対向する一組の部材の
スライドガイド軸方向と直交する方向の寸法を前記ガイ
ドの対応する面の同寸法よりも僅かに短かく形成したス
ライドテーブル構成部材と、前記軸受隙間の２倍の厚み
を有する間座とを用い、スライドテーブル構成部材をス
ライドガイドの周囲四面を囲むようにスライドガイドの
隣接する二面において間座を介在させた状態で当てがい
、各構成部材の合せ端部を、その対向面間に生じた隙間
に充填剤を注入して硬化させたのち機械的に結合するこ
とを特徴とする直線スライド型静圧軸受の組立方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20127185A JPS6262020A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 直線スライド型静圧空気軸受の組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20127185A JPS6262020A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 直線スライド型静圧空気軸受の組立方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6262020A true JPS6262020A (ja) | 1987-03-18 |
| JPH056041B2 JPH056041B2 (ja) | 1993-01-25 |
Family
ID=16438187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20127185A Granted JPS6262020A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 直線スライド型静圧空気軸受の組立方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6262020A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333022A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-11-22 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
| JP2006341350A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Taiheiyo Cement Corp | エアスライドおよびその組立方法 |
-
1985
- 1985-09-09 JP JP20127185A patent/JPS6262020A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333022A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-11-22 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
| JP2006341350A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Taiheiyo Cement Corp | エアスライドおよびその組立方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH056041B2 (ja) | 1993-01-25 |
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