JPH0560596A

JPH0560596A - 回転機器異常診断装置

Info

Publication number: JPH0560596A
Application number: JP25030691A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Amano; 和雄天野; Makoto Hayashi; 眞琴林; Yukishi Takagi; 亨之高木; Hiroyuki Katsura; 裕之桂
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1991-09-04
Filing date: 1991-09-04
Publication date: 1993-03-09

Abstract

(57)【要約】【目的】単一の装置でオンライン及びオフラインデー
タを有機的に処理し、種々の回転機器の個々の特性に合
わせた健全性診断を行ない、前記回転機器の動作の異常
を早期に発見する回転機器異常診断装置の提供。【構成】回転機器に常設のセンサ８〜１２と、センサ
８〜１２からのオンラインデータ取り込み手段と、記録
媒体に記録したオフラインデータの取り込み手段と、コ
ンピュータ２４、３３と、オンラインデータとオフライ
ンデータを選択的にコンピュータ３３に供給して当該デ
ータを診断する手段と、オンラインデータをコンピュー
タ２４に供給してリアルタイムでモニタし、当該データ
に異常兆候があった場合にコンピュータ３３に割込みを
掛ける判定手段と、この割込み時にコンピュータ３３で
異常兆候のあるデータを詳細診断する診断手段とを有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転機器異常診断装置
に係り、特に、重要な回転機器に常設された各種センサ
からのデータを用いて前記回転機器の監視診断を行なう
オンライン処理、及び、その他の回転機器の診断個所で
得られたデータを用いて前記回転機器の監視診断を行な
うオフライン処理等を有機的に組合せ、前記各回転機器
を有するプラント全体の監視診断を行なう回転機器異常
診断装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、回転機器の動作の異常の予知ある
いは診断を行なうための回転機器異常診断装置にあって
は、診断すべき各回転機器がそれぞれ発生する振動の大
きさ、個別の回転機器に特徴的な振動の周波数成分の絶
対値レベル、及び、振動の経時的な変化の各項目の監視
を行なえば、前記動作の異常の予知あるいは診断ができ
ることは知られている。

【０００３】ところで、これら各項目の監視を行ってい
る従来のこの種の装置としては、「三菱重工技報」Ｖｏ
ｌ．２４、Ｎｏ．５（１９８９−９）に記載されている
ように、診断すべき回転機器の振動、温度、圧力等を検
出するセンサを当該回転機器に常設させ、それらセンサ
からの出力信号を監視装置に常時取り込むようにしてい
るオンライン型のものと、特開昭６０−１７７２６８号
に記載されているように、保守点検員が定期的に診断す
べき回転機器の巡回点検を実施し、その際に、振動セン
サを内蔵させた簡易な測定装置を用いて当該回転機器の
軸受部等における振動のアナログデータを測定し、その
測定データを磁気テープ等の記録媒体に記録するオフラ
イン型のものとがある。

【０００４】この場合、前記オンライン型のものは、常
時、診断すべき回転機器の運転状態をモニタできること
から、急激な動作の変動に対しても即刻対応できるとい
う利点がある反面、当該回転機器へ各種センサの取付け
を行なったり、監視装置と各種センサとの間の配線等を
行なうための作業及び設備費用を必要とし、また、監視
装置自体も高価になることから、既設プラントへの適用
が難しく、新設プラントであって、しかも、重要な回転
機器だけがその設置の対象になっていた。

【０００５】一方、オフライン型のものは、１回の点検
と次の点検の間の測定データが得られず、オンライン型
のものに比べて得られる情報量が少ないことから、重要
な回転機器に適用することはできないものの、測定デー
タを得る手段が比較的簡単であり、かつ、監視装置自体
も低価格のもので済むことから、広く一般の回転機器が
その設置の対象として選ばれている。

【０００６】しかしながら、前述のように従来のこの種
の装置は、重要な回転機器はオンライン型のもの、その
他の回転機器はオフライン型のものでそれぞれ監視を行
っているため、回転機器の健全性診断を効率的に行うこ
とができないものであった。

【０００７】そこで、前述の点を改良するものとして、
最近、オフライン型とオンライン型とを組み合わせて利
用する型（タイプ）のものが考案されるようになった。

【０００８】この種のタイプのものとしては、例えば、
データレコーダを搭載した監視装置を所要のスケジュー
ルにしたがって移動させ、前記監視装置からの送信情報
と前記レコーダからの記録情報とを利用するようにした
監視装置が、特開昭６０−２３７７８１号に開示され、
また、直接取り出せるデータはオンラインでコンピュー
タのデータファイルに収納し、それ以外のデータは手動
入力で同様にデータファイルに収納して、これら収納し
たデータを用いて総合診断を行なうプラント診断システ
ムが、特開昭６１−６８５９３１号に開示されている。
この他にも、プラント全体の知識ベースシステムの構築
を目的としたオフラインコンピュータシステムと、運転
ガイドを目的としたオンラインコンピュータシステムと
を伝送路に接続し、オンラインコンピュータシステムに
おける負荷を軽減させて、データ処理速度を向上させる
ようにしたプラント運転装置が、特開昭６３−１９１２
０８号に開示され、また、プラントで得られた複数パラ
メータの変動値をオンライン同定し、この変動値に基づ
いて異常の検知を行ない、異常が検知されるとオフライ
ンモードに移行し、前記パラメータの変動した可能性を
示す指標値を用いて前記パラメータの判定を行なうよう
にしたプラント診断装置が、特開昭６３−２２３８０９
号に開示されている。さらに、直接的には、オフライン
型とオンライン型とを組み合わせて利用するタイプのも
のとはいえないものの、前記タイプに類似したタイプの
ものとしては、特開昭６０−４０９２４号に開示された
回転機器の異常診断方法、特表昭６０−５０１７７５号
に開示された機械の動作監視装置、特開昭５５−７４６
０６号に開示されたプロセス制御システム、特開昭５８
−１６５０１８号に開示された回転体の振動データ取り
込み装置、特開昭６０−１５２９２１号に開示された携
帯用振動計等が知られている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のオフ
ライン型とオンライン型とを組み合わせて利用するタイ
プのもの、及び、それに準じたタイプものは、一定の範
囲内においては、それぞれ優れた成果を挙げることがで
きるものの、複数の機器あるいは装置（システム）全体
の監視診断を、これら機器あるいは装置（システム）の
特性に見合った監視診断を有機的に行ない、かつ、それ
らの動作時の異常を早期に発見することは困難であると
いう問題を有している。

【００１０】本発明は、前記問題点を解決するために考
案されたもので、その目的は、単一の装置によりオンラ
インデータ及びオフラインデータを有機的に処理して、
種々の回転機器から得られる各種のデータに基づいて当
該回転機器の個々の特性に合わせた健全性診断を行な
い、前記種々の回転機器の動作の異常を早期に発見する
ことができる回転機器異常診断装置を提供することであ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、回転機器の診断個所に得られた各種デー
タを用いて前記回転機器の動作異常の診断を行なう回転
機器異常診断装置において、回転機器に常設したセンサ
と、前記センサからの各種データをオンラインで取り込
む手段と、記録媒体に記録した各種データをオフライン
で取り込む手段と、第１及び第２のコンピュータと、オ
ンラインで取り込んだ各種データとオフラインで取り込
んだ各種データとを選択的に第２のコンピュータに供給
してそれらのデータの異常診断を行なう第１の診断手段
と、オンラインで取り込んだ各種データを第１のコンピ
ュータに供給して常時リアルタイムでモニタを行ない、
前記データに異常兆候があった場合に第２のコンピュー
タに割込みを掛ける異常判別手段と、前記割込み時に第
２のコンピュータにより前記異常兆候のあるデータを関
連するデータを用いて詳細に診断する第２の診断手段
と、前記第１及び第２の診断の結果を表示する表示手段
とを具備している。

【００１２】また、前記目的を達成するために、本発明
は、回転機器の診断個所に得られた各種データを用いて
前記回転機器の動作異常の診断を行なう回転機器異常診
断装置において、回転機器に常設したセンサと、前記セ
ンサからの各種データをオンラインで取り込む手段と、
記録媒体に記録した各種データをオフラインで取り込む
手段と、第１及び第２のコンピュータと、オンラインで
取り込んだ各種データとオフラインで取り込んだ各種デ
ータの監視、分析等のデータ処理を行なうデータ処理手
段と、前記オンライン及びオフラインで取り込んだ各種
データ、それに、前記データ処理後の各種データを記憶
させる記憶手段と、前記データ処理後のオンラインまた
はオフラインで取り込んだ各種データを選択的に第２の
コンピュータに供給して前記データの異常診断を行なう
第１の診断手段と、オンラインで取り込んだ各種データ
を第１のコンピュータに供給して常時リアルタイムでモ
ニタを行ない、前記データに異常兆候があった場合に第
２のコンピュータに割込みを掛ける異常判別手段と、前
記割込み時に第２のコンピュータにより前記異常兆候の
あるデータを、前記記憶手段中の関連するデータを用い
て詳細に診断する第２の診断手段と、前記第１の診断手
段の診断結果及び前記第２の診断手段の診断結果を、そ
の診断の都度表示する表示手段とを具備している。

【００１３】

【作用】診断すべき重要な回転機器に常設した各種セン
サから得られる各種のデータは、オンラインで直接回転
機器異常診断装置に取り込まれる。また、診断すべき汎
用の回転機器から得られる各種のデータは、一度記録媒
体に記録され、その後、再生されてオフラインで前記回
転機器異常診断装置に取り込まれる。このように、前記
回転機器異常診断装置は、オンラインデータとオフライ
ンデータとを合わせて取り込み、それらデータの選択的
な監視診断を行なうようにしているので、単一の装置で
あるにも係らず、オンラインデータとオフラインデータ
の双方の監視診断処理が可能になる。

【００１４】また、前記重要な回転機器からの各種デー
タの中の少なくとも１つは、その振動オーバーオール
（ＯＡ）値、周波数分析値、プロセス値がリアルタイム
で常時モニタされ、それらの値に異常が発見されれば、
即刻、前記データの選択的な監視診断を中断させ、異常
が発見されたデータの詳細診断を行なうようにしている
ので、重要な回転機器の異常発生に対しては早期の対応
が可能になる。

【００１５】さらに、前記監視診断に際しては、それぞ
れの回転機器の特性を記録したデータベースを診断の際
の比較データとして利用することにより、従来のこの種
の診断装置に比べて確実性の高い異常原因の推定が可能
になる。

【００１６】以上の点から、本発明の回転機器異常診断
装置は、単一の装置によって多数の回転機器、例えば、
プラント全体の全ての回転機器の監視診断を行なうこと
ができ、しかも、それら回転機器の異常兆候を初期段階
で発見できるので、回転機器の健全性を高信頼性をもっ
て監視診断を行なえるものである。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。

【００１８】図１は、本発明に係る回転機器異常診断装
置の概要を示すブロック構成図である。

【００１９】図１において、１は診断すべき重要な回転
機器の診断個所に常設された各種センサ、２は可搬型の
データ収集装置に結合可能で、診断すべき汎用的な回転
機器の診断個所に配置される各種センサ、３はオンライ
ンデータ収集部、４はオフラインデータ収集部、５はリ
アルタイムでデータ診断を行なう第１のコンピュータ、
６はインターフェイス、７は常時各種のデータの処理等
を行なう第２のコンピュータ（メインコンピュータ）で
ある。

【００２０】そして、オンラインデータ収集部３から出
力されるオンラインデータは第１のコンピュータ５及び
インターフェイス６を介して第２のコンピュータ７にそ
れぞれ供給され、前記第１のコンピュータ５で前記オン
ラインデータのリアルタイムの監視診断が、また、前記
第２のコンピュータ７で前記オンラインデータの通常の
診断が行なわれる。一方、オフラインデータ収集部４か
ら出力されるオフラインデータはインターフェイス６を
介して第２のコンピュータ７に供給され、そこで通常の
診断が行なわれる。この場合、インターフェイス６は、
通常、前記オンラインデータを前記第２のコンピュータ
７に供給しているが、必要に応じて、前記オンラインデ
ータに換えて前記オフラインデータを前記第２のコンピ
ュータ７に供給するように働く。

【００２１】前記構成において、各種センサ１で検出さ
れた各種のデータがオンラインデータ収集部３に供給さ
れると、前記オンラインデータ収集部３は直ちに各種の
データ（オンラインデータ）の中の少なくとも１つをオ
ンラインで前記第１のコンピュータ５にリアルタイムの
監視診断のために供給すると共に、前記各種のデータ
（オンラインデータ）をオンラインで診断のために第２
のコンピュータ７に適宜供給する。また、可搬型のデー
タ収集装置等に記録された各種のデータはオフラインで
オフラインデータ収集部４に集積され、このオフライン
データ収集部４に集積された各種のデータ（オフライン
データ）は順次診断のために第２のコンピュータ７に供
給される。この場合、第２のコンピュータ７は、通常、
前記オンラインデータの診断をしているが、必要に応じ
て、インターフェイス６の切り換えを行なって、オフラ
インデータの診断を行なうようにしている。

【００２２】いま、第１のコンピュータ５がリアルタイ
ムで監視（モニタ）しているオンラインデータの中に何
等かの異常な値を検出したとすると、第１のコンピュー
タ５は直ちに第２のコンピュータ７に対する割込み信号
を発生し、この割込み信号により第２のコンピュータ７
は現在行なっているデータ（オンラインデータまたはオ
フラインデータ）の診断を即時中断する。次に、第１の
コンピュータ５は前記異常を検出したオンラインデータ
等を第２のコンピュータ７に供給し、第２のコンピュー
タ７は前記オンラインデータの詳細な診断を行なって、
それが異常であるか否かの判定を行なうものである。

【００２３】このように、本発明に係る回転機器異常診
断装置は、重要な回転機器についてはオンラインデータ
によるリアルタイムの監視診断を含む監視診断を行なっ
ており、それ以外の汎用の回転機器についてはオフライ
ンデータによる監視診断を行なっているので、１つの回
転機器異常診断装置を用いているにも係らず、全ての回
転機器を一括してその重要度に応じた簡易診断及び詳細
診断を行なうことができる。また、重要な回転機器につ
いては同時にリアルタイムの監視診断を行なっているの
で、特に、重要な回転機器の動作の異常を早期に発見す
ることができるようになる。

【００２４】図２は、本発明に係る回転機器異常診断装
置をポンプの監視に適用した場合の実施例を示す構成図
である。

【００２５】図２において、８₁、８₂はポンプの回転
部の駆動軸側軸受及び非駆動軸側軸受の振動を測定する
常設の振動センサ（振動計）、９₁、９₂は前記回転部
の駆動軸側軸受及び非駆動軸側軸受の温度を測定する常
設の温度センサ（温度計）、９₃、９₄はポンプの吸い
込み側及び吐き出し側の水温を測定する常設の温度セン
サ（温度計）、１０₁、１０₂はポンプの吸い込み側及
び吐出側の圧力を測定する常設の圧力センサ（圧力
計）、１１₁、１１₂はポンプの吸い込み側及び吐出側
の流量を測定する常設の流量センサ（流量計）、１２は
ポンプ回転軸の回転数を測定する同じく常設の回転セン
サ（パルス計）である。

【００２６】また、１３は振動計８₁、８₂から直接オ
ンラインで供給される振動データとデータレコーダ１６
で再生された振動データとを受け、それら振動データの
中の一方を選択的にフィルタ１４に送るデータ変換部、
１４は高速ＡＩボード１７で振動データを取り込む際
に、不要な周波数成分を除いてデータ処理時のエリアジ
ング現象を防ぐためのフィルタ、１５は汎用のポンプか
らの各種のデータを収集するため、収集現場に持参して
前記ポンプの振動データをマグネット（磁気）テープに
記録するデータ収集装置、１６はデータ収集装置１５に
おいてマグネットテープに記録した振動データの再生を
行なうデータレコーダ、１７はデータ変換部１３及びフ
ィルタ１４を介して入力される振動計８₁、８₂からの
振動データ、または、データレコーダ１６で再生された
振動データを取り込む高速ＡＩボード、１８は温度計９
₁、９₂、９₃、９₄、圧力計１０₁、１０₂、流量計
１１₁、１１₂、パルス計１２にそれぞれ得られるプロ
セスデータをオンラインでそれぞれ取り込むＡＩボー
ド、１９はデータ変換部１３、フィルタ１４、データレ
コーダ１６の動作をそれぞれ制御するためのＧＰ−ＩＢ
ボードである。なお、汎用のポンプからの各種のデータ
の内、温度、圧力、流量、回転数等のプロセスデータ
は、前記マグネットテープ以外の記録手段、例えば、前
記プロセスデータのセンサ、即ち、温度計、圧力計、流
量計、回転計の指示値を記録する記録用紙等に記録を行
なっている。

【００２７】さらに、２０は高速ＡＩボード１７で取り
込んだ振動データのＦＦＴ（高速フーリエ変換）処理を
行うＦＦＴボード、２１は高速ＡＩボード１７で取り込
んだ振動データのＯＡ（オーバーオール）値の監視を行
うＯＡ監視ボード、２２は高速ＡＩボード１７で取り込
んだ振動データの周波数成分の監視分析を行なう周波数
成分監視ボード、２３はＡＩボード１８で取り込んだプ
ロセスデータの監視分析を行うプロセス監視ボード、２
４は高速ＡＩボード１７、ＡＩボード１８、ＧＰ−ＩＢ
ボード１９、ＦＦＴボード２０、ＯＡ監視ボード２１、
周波数成分監視ボード２２、プロセス監視ボード２３を
それぞれ制御管理下におき、それぞれの処理命令によっ
て、前記各ボード１７乃至２３に入出力される振動デー
タ及びプロセスデータを適宜取り込み、この取り込んだ
振動データ及びプロセスデータをリアルタイムで監視診
断する機能を有する信号取り込み監視用ＯＳボードであ
り、図１に示す第１のコンピュータ５に相当するもので
ある。

【００２８】この他に、２５は高速ＡＩボード１７に取
り込んだ振動データと、ＦＦＴボード１３でＦＦＴ処理
された振動データと、ＡＩボード１８に取り込んだ温
度、圧力、流量、回転数等のプロセスデータと、入出力
ボード３０からの温度、圧力、流量、回転数等のプロセ
スデータと、信号取り込みの処理に必要な点検情報をそ
れぞれ一時的に記憶するメモリボード、２６はメモリボ
ード２５に記憶された高速ＡＩボード１７に取り込んだ
振動データと、ＦＦＴボード２０でＦＦＴ処理された振
動データと、ＡＩボード１８に取り込んだ温度、圧力、
流量、回転数等の各種のプロセスデータと、入出力ボー
ド３０からの温度、圧力、流量、回転数等のプロセスデ
ータと、信号取り込みの処理に必要な点検情報をそれぞ
れ外部記憶装置２７に記憶させる制御を行うディスクコ
ントロールボード、２７はディスクコントロールボード
２６の制御によりメモリボード２５に一時的に記憶され
た前記各データ及び前記情報を移行させて永久的に記憶
する外部記憶装置、２８は各種のデータの監視診断状況
やその診断結果を表示させるための画面データを作成す
るグラフィックボード、２９は前記各種のデータの監視
診断状況やその診断結果を表示するカラーＣＲＴ（陰極
線管）、３０は前記各種のデータの監視診断状況やその
診断結果をプリンタ３１に出力したり、キーボード３２
からの入力を取り込む入出力ボード、３１は前記各種の
データの監視診断状況やその診断結果をプリントアウト
するプリンタ、３２はオフラインで供給される汎用のポ
ンプからのプロセスデータの入力や、データ処理の選択
を入力させるキーボード、３３は前記メモリボード２
５、ディスクコントロールボード２６、グラフィックボ
ード２８、入出力ボード３０をそれぞれ制御管理下にお
き、それぞれの処理命令によって、前記メモリボード２
５に記憶されたオンラインデータまたはオフラインデー
タを取り込み、この取り込んだ振動データ及び温度、圧
力、流量、回転数等のプロセスデータの診断を行う信号
処理診断用ＯＳボードであり、図１に示す第２のコンピ
ュータ７に相当するものである。また、３４は各ボード
１７乃至２６、２８、３０、３３間において、各種のデ
ータの交信を行なうバスラインである。

【００２９】この場合、高速ＡＩボード１７、ＡＩボー
ド１８、ＧＰ−ＩＢボード１９、ＦＦＴボード２０、Ｏ
Ａ監視ボード２１、周波数成分監視ボード２２、プロセ
ス監視ボード２３、信号取り込み監視用ＯＳボード２
４、メモリボード２５、ディスクコントロールボード２
６、グラフィックボード２８、入出力ボード３０、信号
処理診断用ＯＳボード３３は、いずれも、内部にマイク
ロコンピュータ（マイコン）またはそれに類似の回路装
置を具備しているもので、特に、信号取り込み監視用Ｏ
Ｓボード２４及び信号処理診断用ＯＳボード３３は、前
述のように、コンピュータからなっているものである。

【００３０】前記構成において、診断すべき重要なポン
プの測定個所に常設の振動計８₁、８₂、温度計９₁、
９₂、９₃、９₄、圧力計１０₁、１０₂、流量計１１
₁、１１₂、それにパルス計１２から得られた各種のデ
ータは、オンラインによって直接回転機器異常診断装置
に取り込まれ、前記診断すべきポンプのデータベースの
作成と、健全性の監視診断とに利用される。一方、デー
タ収集装置１５のマグネットテープに記録されている診
断すべき汎用のポンプから得られた振動データは、オフ
ラインによってデータレコーダ１６において再生され、
その再生データは同じく回転機器異常診断装置に取り込
まれ、前述の場合と同様に前記診断すべきポンプのデー
タベースの作成と、健全性の監視診断とに利用される。
そして、オンラインによって回転機器異常診断装置に取
り込まれた振動データ及び温度、圧力、流量、回転数等
のプロセスデータの中の少なくとも１つは、回転機器異
常診断装置においてリアルタイムの監視が行なわれ、そ
れらのデータの値に異常を発見したときには、当該デー
タに対する詳細な診断を行なうようにしている。

【００３１】続いて、前記回転機器異常診断装置の動作
の詳細を、以下に述べるフローチャート等を用いて順次
説明する。

【００３２】図３は、前記回転機器異常診断装置におい
て行なわれる各種のデータの処理手順を包括的に示すフ
ローチャートである。

【００３３】始めに、ステップ３５において、この回転
機器異常診断装置に入力された各種のデータがオフライ
ンにより入力されたデータであるか否か、即ち、前記デ
ータがオフライン処理を必要とするものであるか否かの
判定を行ない、前記データがオフライン処理を必要とし
ないものである場合はステップ３６に移行し、ステップ
３６において、前記データの取り込みを行なう。次に、
ステップ３７において、ステップ３６において取り入れ
た前記データ、即ち、振動データ及び温度、圧力、流
量、回転数等のプロセスデータに対するオンライン簡易
診断を実行する。次いで、ステップ３８において、前記
オンライン簡易診断が終了したか否かの判定を行ない、
オンライン簡易診断が未だ終了していない場合はステッ
プ３９に移行し、後述するステップ５３において発信さ
れる割込み信号が有るか否かの判定を行なう。この判定
において、割込み信号がない場合には前記ステップ３７
に戻ってオンライン簡易診断が繰り返し行われ、また、
割込み信号が有る場合にはステップ４０に移行し、ステ
ップ４０においては、後述するステップ５２において行
なわれるリアルタイム監視により、異常が検出されたポ
ンプ（以下、これを被疑ポンプという）の振動データ及
び温度、圧力、流量、回転数等の各種のプロセスデータ
をオンラインにより採取する。次に、ステップ４１にお
いて、外部記憶装置２７に記憶されている各種のポンプ
に対するデータベースの中から被疑ポンプに対するデー
タベースの取り出しを行ない、この被疑ポンプの特性、
過去の点検履歴等の読み込みを行なう。次いで、ステッ
プ４２において、被疑ポンプで得られた振動データ及び
温度、圧力、流量、回転数等の各種のプロセスデータ
と、ステップ４１において読み込んだ前記被疑ポンプの
データベースとを基にし、図２０に示すような因果マト
リクスを用いて、前記振動データ及び温度、圧力、流
量、回転数等の各種のプロセスデータに対する詳細な診
断を実行する。次に、ステップ４３において、前記詳細
な診断の結果を、カラーＣＲＴ２９の画面に、図２１に
示すようにポンプ概略構成図と異常状態の推定原因と確
信度とを合わせて表示するとともに、さらに、図２２に
示すように異常状態に対する対応策をガイダンスで表示
する。続いて、ステップ４４において、前記詳細な診断
の結果を基に被疑ポンプの異常状態の程度の判定を行な
い、その異常状態が厳しいものであるとの判定を行なっ
た場合はステップ４５に移行し、被疑ポンプに対する動
作の停止指令を発生する。また、その異常状態が軽微な
ものであるとの判定を行なった場合は始めのステップ３
５に移行し、前記ステップ３５以降オンラインデータに
対する処理がその流れにしたがって再び実行される。

【００３４】この場合に、オンライン簡易診断を行なう
前記ステップ３８において、オンライン簡易診断が終了
している場合はステップ４６に移行し、ステップ４６に
おいて、オンライン簡易診断の結果に異常兆候が見られ
るか否かの判定を行なう。この判定において、異常兆候
が見られる場合は前記ステップ４１に移行し、以下前述
のように、ステップ４１乃至ステップ４５における処理
が順次行われ、また、異常兆候が見られない場合は始め
のステップ３５に移行し、ステップ３５以降続いて入力
される各種のデータに対する処理が前記流れに沿って再
び実行される。

【００３５】一方、入力された各種のデータに対するオ
フライン処理の有無の判定を行なう前記ステップ３５に
おいて、前記データがオフライン処理を必要とするもの
であるとの判定を行なった場合はステップ４７に移行
し、ステップ４７において、前記データの取り込みを行
う。次に、ステップ４８において、前記ステップ３７で
行なったのと同様に、前記ステップ４７において取り入
れた前記データ、即ち、データレコーダ１６において再
生された振動データ及びキーボード３２から入力された
温度、圧力、流量、回転数等のプロセスデータに対する
オフライン簡易診断を実行する。次いで、ステップ４９
において、前記オフライン簡易診断が終了したか否かの
判定を行ない、オフライン簡易診断が未だ終了していな
い場合はステップ５０に移行し、後述するステップ５３
において発信される割込み信号が有るか否かの判定を行
なう。この判定において、割込み信号がない場合には前
記ステップ４８に戻ってオフライン簡易診断が繰り返し
行われ、また、割込み信号が有る場合には被疑ポンプに
対する前記振動データ及び前記プロセスデータを採取す
る前記ステップ４０に移行し、以下前述のように、前記
ステップ４０乃至ステップ４５の処理が順次行われる。

【００３６】この場合に、オフライン簡易診断を行なう
前記ステップ４８において、オフライン簡易診断が終了
している場合はステップ５１に移行し、ステップ５１に
おいて、オフライン簡易診断の結果に異常兆候が見られ
るか否かの判定を行なう。この判定において、異常兆候
が見られる場合は前記ステップ４１に移行し、以下前述
のように、ステップ４１乃至ステップ４５における処理
が順次行われ、また、異常兆候が見られない場合は始め
のステップ３５に移行し、ステップ３５以降続いて入力
される各種のデータに対する処理が前記流れに沿って再
び実行される。

【００３７】さらに、ステップ５２においては、この回
転機器異常診断装置にオンラインにより入力された各種
のデータの中の少なくとも１つを常時リアルタイムで取
り込んでおり、続く、ステップ５３において、前記ステ
ップ５２において取り込んだデータを同じくリアルタイ
ムで監視診断を行なう。そして、前記データに全く異常
が見い出されない場合は何等の出力も発生しないが、前
記データの中に１つでも異常な値が見い出された場合は
割込み信号を発生し、この割込み信号は前記ステップ３
９、５０において利用される。

【００３８】続いて、次に、本発明の回転機器異常診断
装置が各種のデータに対して実行するオンライン処理、
オフライン処理、リアルタイム処理、診断の各機能につ
いて個別に説明する。

【００３９】オンライン処理オンライン処理は、要約すれば、複数の重要なポンプの
診断個所にそれぞれ振動計８₁、８₂、温度計９₁、９
₂、９₃、９₄、圧力計１０₁、１０₂、流量計１
１₁、１１₂、パルス計１２等の各種のセンサを常設さ
せ、これらのセンサから得られる各種のデータを直接回
転機器異常診断装置に取り込み、取り込んだ各種のデー
タを基に、ポンプ別のデータベースを作成すると共に、
各ポンプの健全性を監視診断する機能を意味している。

【００４０】これを詳しく述べれば、振動計８₁、８₂
から得られた振動データは、オンラインでデータ変換部
１３に供給され、そこでデータレコーダ１６からの振動
データとの間で選択が行なわれる。データレコーダ１６
で振動計８₁、８₂から振動データが選択された場合
は、前記振動データは不要な周波数成分を除くフィルタ
１４を介して入力される振動データに適した速度で高速
ＡＩボード１７に取り込まれる。このとき、高速ＡＩボ
ード１７における振動データ取り込み速度及びフィルタ
１４で除かれる不要周波数領域の各設定は、信号取り込
み監視用ＯＳボード２４により管理されているＧＰ−Ｉ
Ｂボード１９の制御によって行なわれる。高速ＡＩボー
ド１７に取り込まれた振動データは、信号取り込み監視
用ＯＳボード２４の管理の基に、バスライン３４を介し
て、ＦＦＴボード２０と、ＯＡ監視ボード２１と、周波
数成分監視ボード２２と、メモリボード２５に送られ
る。ＦＦＴボード２０は、入力された振動データをＦＦ
Ｔ処理し、このＦＦＴ処理後の振動データをメモリボー
ド２５に伝送する。

【００４１】また、温度計９₁、９₂、９₃、９₄、圧
力計１０₁、１０₂、流量計１１₁、１１₂、パルス計
１２等の各種のセンサから得られたプロセスデータは、
オンラインでＡＩボード１８に取り込まれる。この取り
込まれたプロセスデータは、信号取り込み監視用ＯＳボ
ード２４の管理の基に、バスライン３４を介して、プロ
セス監視ボード２３と、メモリボード２５に送られる。
メモリボード２５は、各ポンプ別に、オンラインで取り
込んだ各種のデータの取り込み日時、ポンプ名、診断個
所等の点検情報、振動波形を示すデータ、ＦＦＴ処理デ
ータ、プロセスデータを順に一時的に記憶させる。メモ
リボード２５に記憶された振動波形を示すデータ、ＦＦ
Ｔ処理データ、プロセスデータの各データについては、
信号処理診断用ＯＳボード３３の制御によって信号処理
診断用ＯＳボード３３に取り込まれ、そこで前記各デー
タに対する簡易診断が行なわれる。

【００４２】前記簡易診断において、前記各データの値
に１つでも異常兆候が検出された場合は、続いて信号処
理診断用ＯＳボード３３において前記各データの詳細な
診断が行われ、その異常兆候の原因の推定を行なう。前
記詳細な診断の結果は、グラフィックボード２８によっ
て作成された画面データを基に、カラーＣＲＴ２９の画
面に表示され、かつ、必要事項がプリンタ３１によりプ
リントアウトされる。前記詳細な診断の終了後は、その
診断の結果とメモリボード２５に記憶された振動波形を
示すデータ、ＦＦＴ処理データ、プロセスデータの各デ
ータがディスクコントロールボード２６において処理さ
れ、前記各データは外部記憶装置２７に各ポンプ別のデ
ータベースとして永久的に記憶される。

【００４３】オフライン処理オフライン処理は、要約すれば、重要性の低い複数の汎
用的なポンプから得られるデータを対象としているもの
で、可搬型のデータ収集装置１５を診断すべき前記ポン
プの診断個所に持参し、その診断個所で得られた振動デ
ータをマグネットテープに記録し、また、プロセスデー
タをその他の記録手段に記録し、その後、前記記録され
た振動データをオフラインによりデータレコーダ１６に
おいて再生する。次に、この再生された振動データ及び
キーボード入力されたプロセスデータを回転機器異常診
断装置に取り込み、取り込んだ各種のデータを基に、前
記ポンプ別のデータベースを作成すると共に、前記各ポ
ンプの健全性を監視診断する機能を意味している。

【００４４】これを詳しく述べるに際して、前記オフラ
イン処理に用いられるデータ収集装置１５としては、例
えば、以下に述べるようなものが利用される。

【００４５】図４は、前記データ収集装置１５の一例を
示すブロック構成図で、振動センサとして３軸型の振動
計が用いられているものである。

【００４６】図４において、５４は診断すべきポンプの
測定個所に取り付け、その測定個所の振動の検出を行な
う振動センサ、５５は振動センサ５４と各増幅器５６₁
〜５６₃とを接続するコネクタ、５６₁は振動センサ５
４から出力されるＸ軸方向の振動検出信号を増幅するＸ
軸用増幅器、５６₂は振動センサ５４から出力されるＹ
軸方向の振動検出信号を増幅するＹ軸用増幅器、５６₃
は振動センサ５４から出力されるＺ軸方向の振動検出信
号を増幅するＺ軸用増幅器、５７₁はＸ軸用増幅器５６
₁の振動検出信号に対する適正増幅率を判定する増幅率
判定部、５７₂はＹ軸用増幅器５６₂の振動検出信号に
対する適正増幅率を判定する増幅率判定部、５７₃はＺ
軸用増幅器５６₃の振動検出信号に対する適正増幅率を
判定する増幅率判定部、５８₁は増幅率判定部５７₁で
判定した適正増幅率を対応する増幅器５６₁に設定する
増幅率設定部、５８₂は増幅率判定部５７₂で判定した
適正増幅率を対応する増幅器５６₂に設定する増幅率設
定部、５８₃は増幅率判定部５７₃で判定した適正増幅
率を対応する増幅器５６₃に設定する増幅率設定部、５
９は振動検出信号取り込み時にデータレコーダ６１の制
御を行う信号取り込み部、６０は前記各増幅率判定部５
７₁〜５７₃と、前記各増幅率設定部５８₁〜５８
₃と、信号取り込み部５９にそれぞれ動作命令を送出
し、振動検出信号をデータレコーダ６１においてマグネ
ット（磁気）テープに記録させるための制御を行うシン
グルボードコンピュータ、６１は振動検出信号を内蔵す
るマグネットテープに記録するデータレコーダ、６２は
振動検出信号をデータレコーダ６１のマグネットテープ
に記録する時間の設定を行う記録時間設定部である。

【００４７】また、図５は、データ収集装置１５におい
て行なわれる振動検出信号の記録収集を行なう処理のフ
ローチャートであり、このフローチャートを用いてデー
タ収集装置１５の動作を説明する。

【００４８】始めに、ステップ６３において、データ収
集装置１５に内蔵のデータレコーダ６１にマグネットテ
ープのセットを行ない、前記セットが終了したらステッ
プ６４に移行し、ステップ６４において、データ収集装
置１５の電源を投入する。次に、ステップ６５におい
て、診断すべきポンプの前へ移動してそれが測定すべき
ポンプであることを確認し、ステップ６６に移行する。
続いて、ステップ６６において、前記ポンプの測定個所
を確認し、さらに、振動センサ５４の取り付け方向を確
認しつつ振動センサ５４を前記測定個所に取り付ける。
次に、ステップ６７において、測定スイッチを投入する
と、振動センサ５４から得られたＸ軸方向の振動検出信
号がＸ軸用増幅器５６₁を介してＸ軸用増幅率判定部５
７₁に、Ｙ軸方向の振動検出信号がＹ軸用増幅器５６₂
を介してＹ軸用増幅率判定部５７₂に、Ｚ軸方向の振動
検出信号がＺ軸用増幅器５６₃を介してＺ軸用増幅率判
定部５７₃にそれぞれ送られる。このとき、前記各増幅
率判定部５７₁〜５７₃は、振動検出信号をマグネット
テープに記録する場合の前記各増幅器５６₁〜５６₃の
最適増幅率を、１倍、１０倍、１００倍の各増幅率の中
から判定し、その判定の結果をシングルボードコンピュ
ータ６０に送る。次に、ステップ６８において、前記各
増幅率判定部５７₁〜５７₃が行なった対応する前記各
増幅器５６₁〜５６₃の増幅率の判定結果に基づいて、
シングルボードコンピュータ６０は、前記各増幅器５６
₁〜５６₃に最適な増幅率の設定を対応する各増幅率設
定部５８₁〜５８₃に命令し、前記各増幅器５６₁〜５
６₃の増幅率をそれぞれ前記最適な増幅率に設定するた
めの操作を行なう。前記各増幅器５６₁〜５６₃の増幅
率の設定が終了すると、前記各増幅率設定部５８₁〜５
８₃は前記各増幅率の設定が終了したことをシングルボ
ードコンピュータ６０に伝える。次いで、ステップ６９
において、シングルボードコンピュータ６０は、信号取
り込み部５９に振動検出信号の取り込みの命令を発し、
同時に、データレコーダ６１の動作を開始させる。次
に、ステップ７０において、データレコーダ６１は、取
り込まれた振動検出信号をマグネットテープに図６に示
すように記録させる。振動検出信号が一定時間マグネッ
トテープに記録されると、ステップ７１に移行し、デー
タレコーダ６１の動作が停止される。次いで、ステップ
７２において、測定個所がまだ残っているか否かの判定
を行ない、測定個所がまだ残っている場合は前記ステッ
プ６６に移行し、次の測定個所に振動センサ５４を取り
付け、以下、前述のように、ステップ６６乃至ステップ
７２の処理を繰り返し実行する。一方、測定個所がもう
ない場合はステップ７３に移行し、測定（診断）すべき
ポンプ（回転機器）がまだ残っているか否かの判定を行
なう。このとき、測定すべきポンプがまだ残っている場
合はステップ７２に移行し、次に測定（診断）すべきポ
ンプ（回転機器）の前に移動して、以下、前述のよう
に、ステップ６５乃至ステップ７３の処理を繰り返し実
行する。一方、次に測定（診断）すべきポンプ（回転機
器）がもう残っていない場合は振動検出信号の記録収集
の処理のフローを終了させる。

【００４９】前記フローにおいて、前記ステップ６８乃
至ステップ７１で順次行なわれる各処理は、その前のス
テップ６７において、測定スイッチの投入を行なえば、
その後、シングルボードコンピュータ６０の管理の基
に、前述の各処理が自動的に順次実行される。このた
め、ユーザーは、何等難しい操作を行なう必要なしに、
データ収集装置１５を使用することができ、しかも、振
動検出信号の記録収集の処理の際に、各増幅器５６₁〜
５６₃の増幅率設定等において誤操作を行なう危険性が
大幅に低減される。

【００５０】ここで、図６は、図５のフローにおけるス
テップ７０において、マグネットテープに振動検出信号
を記録する場合の記録形式の一例を示す信号波形図であ
る。

【００５１】図６において、７４は第１信号記録部、７
５は第２信号記録部、７６は第３信号記録部、７７は第
４信号記録部、７８は第５信号記録部である。

【００５２】そして、第１信号記録部７４は、各増幅器
５６₁〜５６₃の増幅率記録部であって、増幅率１倍の
時は＋０．５（Ｖ）の電圧レベル、増幅率１０倍の時は
＋１（Ｖ）の電圧レベル、増幅率１００倍の時は−１
（Ｖ）の電圧レベルというように、増幅率に対応した電
圧レベルがそれぞれ記録される。第２信号記録部７５
は、較正電圧の記録部であって、基準となる電圧レベ
ル、例えば、１ｍＶの電圧レベルが記録される。第３信
号記録部７６は、振動検出信号（信号波形）の記録部で
あって、記録時間設定部６２で設定した時間間隔に振動
検出信号（信号波形）が記録される。第４信号記録部７
７は、終了信号の記録部であって、第１信号記録部７４
に記録された増幅率に対応した電圧レベルと同じ電圧レ
ベルが記録される。第５信号記録部７８は、ミュート信
号の記録部であって、各電圧レベルの基準となる電圧レ
ベル、例えば、０（Ｖ）の電圧レベルが記録される。

【００５３】このように、マグネットテープに記録され
る振動検出信号（信号波形）は、１データについて、増
幅器の増幅率の記録、較正電圧の記録、振動検出信号
（信号波形）の記録、終了信号の記録、ミュート信号の
記録の５つの記録が行なわれるように構成されている。

【００５４】ここで、データ収集装置１５に得られた振
動検出信号をオフラインにより回転機器異常診断装置に
取り込み、前記振動検出信号の処理を行なう過程を図２
を用いて説明する。

【００５５】データ収集装置１５のマグネットテープに
記録された振動検出信号（振動データ）については、そ
の記録した順に、どのポンプのどの個所の測定により得
られたデータであるかを示す点検情報をキーボード３２
で入力する。この入力した点検情報は、入出力ボード３
０を介して信号処理診断用ＯＳボード３３に伝達され、
その後、メモリボード２５に一時的に記憶される。ま
た、マグネットテープに記録された振動データはデータ
レコーダ１６で再生され、この再生された振動データは
データ変換部１３に供給される。データ変換部１３にお
いて、再生された振動データが選択された場合、この振
動データはフィルタ１４において不要な周波数成分が除
かれた後、この振動データに適した速度で高速ＡＩボー
ド１７に取り込まれる。このとき、フィルタ１４で除去
される不要な周波数領域及び高速ＡＩボード１７に対す
る振動データの取り込み速度の各設定は、信号取り込み
監視用ＯＳボード２４により管理されているＧＰ−ＩＢ
ボード１９の制御によって行なわれる。取り込まれた振
動データは、信号処理診断用ＯＳボード３３において、
マグネットテープに記録された前記振動データ（振動検
出信号）がどのポンプのどの個所の測定により得られた
ものであるかの確認が行なわれた後、高速ＡＩボード１
７から、バスライン３４を通して、ＦＦＴボード２０
と、ＯＡ監視ボード２１と、周波数成分監視ボード２２
と、メモリボード２５に送られる。この場合、ＦＦＴボ
ード２０は、入力された振動データをＦＦＴ処理し、Ｆ
ＦＴ処理後の振動データをメモリボード２５に送ってそ
こに一時記憶させる。

【００５６】また、このオフライン処理において、診断
すべきポンプの測定個所に接続した各種のセンサ、即
ち、温度計、圧力計、流量計、回転計等から得られた温
度、圧力、流量、回転数等のプロセスデータは、前記各
計器の指示値を何等かの形で記録させる等の手段によ
り、オフラインで回転機器異常診断装置に伝えられ、キ
ーボード３２により回転機器異常診断装置に取り込まれ
る。取り込まれたプロセスデータはメモリボード２５に
記憶されるが、その際、メモリボード２５には、各ポン
プ別に、オフラインによるプロセスデータの取り込み日
時、ポンプ名、測定個所等を示す点検情報と、プロセス
データとが順次記憶される。メモリボード２５に記憶さ
れたプロセスデータは、信号処理診断用ＯＳボード３３
の制御によって信号処理診断用ＯＳボード３３に読み込
まれ、そこで前記プロセスデータに対する簡易診断が行
なわれる。そして、前記プロセスデータに異常兆候が見
られた場合は詳細診断に移行し、前記異常兆候の原因の
推定を行なう。この診断の結果は、グラフィックボード
２８からの画面データによってカラーＣＲＴ２９の画面
に表示され、同時に、必要事項がプリンタ３１によって
プリントアウトされる。前記診断が終了すると、その診
断の結果と、メモリボード２５に記憶された前記点検情
報と、プロセスデータをディスクコントロールボード２
６で処理し、それらを外部記憶装置２７に各ポンプ別の
データベースとして永久的に記憶させる。

【００５７】リアルタイム処理リアルタイム処理は、要約すれば、重要なポンプからの
オンラインによる各種のデータをリアルタイムで監視
し、その各種のデータの中に１つでも異常な値が見い出
されると、現在行なっているオンラインデータまたはオ
フラインデータの診断に割込みを掛け、前記診断を中断
させる機能を意味している。

【００５８】それを詳しく述べれば、重要なポンプに常
設の振動計８₁、８₂で得られた振動データは、オンラ
インでデータ変換部１３とフィルタ１４とを介して高速
ＡＩボード１７に取り込まれ、取り込まれた振動データ
は、信号取り込み監視用ＯＳボード２４の管理の基に、
バスライン３４を介して、ＦＦＴボード２０と、ＯＡ監
視ボード２１と、周波数成分監視ボード２２とに送られ
る。また、同じく重要なポンプに常設の温度計９₁、９
₂、９₃、９₄、圧力計１０₁、１０₂、流量計１
１₁、１１₂、パルス計１２等で得られたプロセスデー
タは、オンラインでＡＩボード１８に取り込まれ、取り
込まれたプロセスデータは、信号取り込み監視用ＯＳボ
ード２４の管理の基に、バスライン３４を介して、プロ
セス監視ボード２３に送られる。

【００５９】この場合、ＯＡ監視ボード２１は送られて
きた振動データのオーバーオール値の監視を行い、周波
数成分監視ボード２２は送られてきた振動データの周波
数分析を行ない、各ポンプ別に全周波数帯域の振動レベ
ルと、着目した特定周波数帯域における振動レベルの監
視を行なう。また、プロセス監視ボード２３は送られて
きた温度、圧力、流量、回転数等のプロセスデータのレ
ベル監視を行なう。

【００６０】そして、オンラインデータの診断（オンラ
イン処理）またはオフラインデータの診断（オフライン
処理）の結果を示す画面中に、リアルタイム監視（リア
ルタイム処理）を行なっている重要なポンプの振動ＯＡ
値、周波数分析値、プロセス値を合わせて表示させ、常
時、前記各データの監視を行なうようにしている。

【００６１】即ち、リアルタイム処理に用いられる前記
各ボード２１、２２、２３は、それらに入力される各デ
ータの値が、それぞれの監視項目毎に設けた監視基準値
を超えているか否かの監視を行ない、前記各データの値
がそれぞれ監視基準値以内に収まっていれば、信号取り
込み監視用ＯＳボード２４に前記各データが正常である
ことを示す信号を送る。この信号を受けた信号取り込み
監視用ＯＳボード２４は、グラフィックボード２８を制
御し、図９に示すように、カラーＣＲＴ２９の画面に、
リアルタイム処理における各監視データが正常である旨
を表示させる。一方、前記各データの値がそれぞれの監
視項目に設けた監視基準値を超えている場合は、信号取
り込み監視用ＯＳボード２４に、監視基準値を超えてい
る程度に応じて、注意または異常であることを示す信号
を送る。このような信号を受けた信号取り込み監視用Ｏ
Ｓボード２４は、グラフィックボード２８を制御し、図
９に示すように、カラーＣＲＴ２９の画面に、リアルタ
イム処理における各監視データが注意または異常である
旨を表示させる。なお、前記表示において、例えば、正
常のときは緑色、注意のときは黄色、異常のときは赤色
の前記表示を行なえば、前記表示内容を直ちに理解認識
することができる。また、注意や異常の表示が行なわれ
た際には、信号処理診断用ＯＳボード３３において実行
中のオンライン処理またはオフライン処理に割込みを掛
けてその処理を停止させ、異常兆候のあるポンプの各種
のデータを信号処理診断用ＯＳボード３３に取り込み、
取り込んだ各種のデータを基にして異常兆候のあるデー
タを詳細に診断させる。

【００６２】診断本発明において行なわれる診断は、簡易診断と詳細診断
とに分類される。

【００６３】この内、簡易診断は、取り込んだ各種のデ
ータの振動トレンド（経緯）、振動と回転数との関係、
振動と流量との関係、位相変化の４項目のパターン分析
と、ウォーターフォール解析、相互相関解析、伝達関数
解析、リサージュ解析の４項目の解析とを行い、さら
に、前記各パターン分析の結果と前記各解析の結果とを
複合診断することにより、取り込んだ各種のデータを基
に、診断すべきポンプの動作の異常兆候を検出するもの
である。

【００６４】また、詳細診断は、簡易診断で得られた各
種データと、図２０に示すような振動事象と異常原因と
の関係を示す因果マトリクスとを用いて、前記異常原因
をその確信度によって求め、異常個所及び対策案の推定
を行ない、図２１に示すように、その推定結果をポンプ
概略構成図と共に、推定原因と確信度をカラーＣＲＴ２
９の画面に表示させ、さらに、図２２に示すように、そ
の対策案を同じくカラーＣＲＴ２９の画面に表示させ
る。この他に、詳細診断の結果に基づいてポンプの異常
状態の程度の判定を行ない、異常状態が厳しいと判定し
た場合にはポンプに動作停止命令を発生させるものであ
る。

【００６５】続いて、簡易診断及び詳細診断の際の動作
の詳細を、以下のフローチャートを用いて説明する。

【００６６】図７は、本発明において実行される簡易診
断の際のデータの処理の流れを示すフローチャートであ
る。

【００６７】始めに、ステップ７９において、診断すべ
きポンプから得られた振動データを取り込み、続くステ
ップ８０において、同じく診断すべきポンプから得られ
た温度、圧力、流量、回転数等のプロセスデータの取り
込みを行なう。次に、ステップ８１において、前記振動
データの周波数分析処理を行ない、続くステップ８２に
おいて、前記振動データの位相分析処理を行なう。次
に、ステップ８３において、前記振動データ及び前記プ
ロセスデータのトレンド処理を行ない、続くステップ８
４において、前記振動データの効果ベクトル処理を行な
う。この後、ステップ８５において、前記ステップ８１
乃至ステップ８４においてそれぞれ処理した前記振動デ
ータ及び前記プロセスデータのオーバーオール値（ＯＡ
値）及びピーク値を求め、それを基にこれらのデータの
基準化を行ない、ステップ８６及びステップ９０に移行
させる。

【００６８】前記移行した一方のステップ８６において
は、図１１に示すように、振動トレンドのパターン分析
を行ない、続くステップ８７において、図１２に示すよ
うに、振動と回転数との関係のパターン分析を行なう。
次に、ステップ８８において、図１３に示すように、振
動と流量との関係のパターン分析を行ない、続くステッ
プ８９において、図１４に示すように、位相変化のパタ
ーン分析を行なう。

【００６９】また、前記移行した他方のステップ９０に
おいては、図１６に示すように、ウォーターフォール解
析を行ない、続くステップ９１において、図１７に示す
ように、相互相関関数解析を行なう。次に、ステップ９
２において、図１８に示すように、伝達関数解析を行な
い、続くステップ９３において、図１７に示すように、
リサージュ解析を行なう。

【００７０】この後のステップ９４においては、前記ス
テップ８６乃至ステップ８９で行なった４種のパターン
分析結果と、前記ステップ９０乃至ステップ９３で行な
った４種の解析結果を基に、前記振動データ及び／また
は前記プロセスデータを複合診断し、診断すべきポンプ
の動作の異常兆候の検出を行ない、続くステップ９５に
おいて、図１５に示すように、この簡易診断の結果をカ
ラーＣＲＴ２９の画面に表示させる。次に、ステップ９
６において、この簡易診断の結果を基に、前記ポンプの
動作に異常兆候が見えるか否かの判定を行ない、異常兆
候が見えないと判定した場合は最初のステップ７９に移
行し、次に診断すべき振動データの取り込みを行い、以
下、前記ステップ７９乃至ステップ９６による処理が繰
り返し行なわれる。一方、異常兆候が見えると判定した
場合はステップ９７に移行し、続いて以下に詳しく述べ
る詳細診断が行なわれる。

【００７１】次に、図８は、本発明において実行される
詳細診断の際のデータの処理の流れを示すフローチャー
トである。

【００７２】始めに、ステップ９８においては、図７の
フローに示す簡易診断において得られた各種のデータを
入手し、入手した各種のデータの読み込みを行なう。次
に、ステップ９９において、前記ステップ９８で入手し
た各種データと、図２０に示すような因果マトリクスと
を用いて、診断すべきポンプの回転軸のカップリング
（駆動軸）側のＸ軸方向に対して種々の異常原因の診断
を行い、続く、ステップ１００において、前記ステップ
１００と同様に、前記カップリング側のＹ軸方向に対し
て種々の異常原因の診断を行なう。次いで、ステップ１
０１において、前記回転軸の反カップリング（非駆動
軸）側のＸ軸方向に対して種々の異常原因の診断を行な
い、続くステップ１０２において、前記反カップリング
側のＹ軸方向に対して種々の異常原因の診断を行なう。

【００７３】次のステップ１０３においては、前記ステ
ップ９９乃至ステップ１００で行なった診断の結果に基
づき、前記カップリング側に対して総合診断を行ない、
続くステップ１０４において、前記ステップ１０３と同
様に、前記ステップ１０１乃至ステップ１０２で行なっ
た診断の結果に基づき、前記反カップリング側に対して
総合診断を行なう。その後、ステップ１０５において、
前記ステップ１０３乃至ステップ１０４で行なった診断
の結果に基づき、前記ポンプの回転軸（回転系）全体に
対して全体診断を行ない、続くステップ１０６におい
て、図２１及び図２２に示すように、前記全体診断の結
果をカラーＣＲＴ２９の画面に表示させる。次に、ス
テップ１０７においては、前記ポンプの異常の程度の判
定を行ない、その異常の程度が軽微であると判定した場
合は最初のステップ９８に移行し、前記ステップ９８に
おいて、簡易診断において得られた次の各種のデータを
入手し、以下、前記ステップ９８乃至ステップ１０７に
よる処理が繰り返し行なわれる。一方、その異常の程度
が厳しいものであると判定した場合はステップ１０８に
移行し、前記ポンプの動作の停止命令を発生させる。

【００７４】なお、図７及び図８に示すフローにおい
て、前記ステップ８１乃至ステップ８４の間の処理順
序、前記ステップ８６乃至ステップ８９の間の処理順
序、前記ステップ９０乃至ステップ９３の間の処理順
序、及び、前記ステップ９９乃至ステップ１００の間の
処理順序、前記ステップ１０１乃至ステップ１０２の間
の処理順序は、それぞれの間で適宜変更することがで
き、また、前記ステップ１０３の処理を前記ステップ１
０１の処理の前に行なうことも可能である。

【００７５】ここで、本発明で行なう各種のデータの処
理の実行過程において、カラーＣＲＴ２９の画面に表示
される表示内容を以下の図面によって説明する。

【００７６】図９は、本発明の回転機器異常診断装置で
行なわれるオンラインデータまたはオフラインデータの
診断内容のメニューと共に、リアルタイムモニタリング
の状況が表示されている表示画面を示す。

【００７７】図９において、１２０はカラーＣＲＴ２９
の画面枠で、１２１はその中の１つの表示部である。こ
の表示部１２１には、リアルタイムで監視中のオンライ
ンによる振動データの振動ＯＡ値の監視部１２２及び前
記監視部１２２の各監視項目の状態を示す表示部１２６
ａと、前記振動データの全周波数帯域における周波数分
析値の監視部１２３及び前記監視部１２３の各監視項目
の状態を示す表示部１２６ｂと、前記振動データの特定
の周波数帯域における周波数分析値の監視部１２４及び
前記監視部１２４の各監視項目の状態を示す表示部１２
６ｃと、リアルタイムで監視中のオンラインによるプロ
セスデータを監視するプロセス監視部１２５及び前記監
視部１２５の各監視項目の状態を示す表示部１２６ｄが
それぞれ設けられている。また、１２７はリアルタイム
で監視中の前記振動データ及びプロセスデータの全体の
状態を示す表示部であり、前記各表示部１２６ａ乃至１
２６ｄの表示内容と連動した表示内容を有する。即ち、
振動ＯＡ値の監視部１２２、全周波数帯域における周波
数分析値の監視部１２３、特定周波数帯域における周波
数分析値の監視部１２４、プロセス監視部１２５の各監
視項目の状態を示す表示部１２６ａ乃至１２６ｄの表示
内容が全て正常であれば、正常の表示を行ない、前記表
示内容の中に１項目でも注意または異常状態を示す表示
内容であれば、注意または異常の表示を行なう。さら
に、１２８はオンラインデータまたはオフラインデータ
に対する各種の診断内容を示すメニューと、そのメニュ
ー中の選ばれた診断内容の表示を行なう表示部であり、
前記診断内容をキーボード３２の入力で適宜選択するこ
とにより、表示部１２８の画面表示の表示内容を選ぶこ
とができる。なお、ここで、図９は、オフラインデータ
の診断の処理を選択している場合の画面表示である。

【００７８】次に、図１０は、オンラインデータまたは
オフラインデータの診断時に、診断処理の結果を選択的
に表示した表示画面の一例を示すものである。

【００７９】図１０において、１３０は処理中のデータ
の種別を示す処理名称表示部、１３１は処理中のポンプ
の名称を示す機器名表示部、１３２は処理の選択部であ
り、この図の例は、オンライン処理を行なっている振動
データの波形と、振動データを周波数分析して帯域分割
スペクトル表示を行なったパワースペクトル（ＰＷＳ）
とを表示して場合である。

【００８０】また、図１１乃至図１９は、簡易診断に際
して、各種のデータについての種々のパターン分析の結
果を表示した表示画面の一例を示すものであり、また、
図２１、２２は、詳細診断に際して、その分析の結果を
表示した表示画面の一例を示すものである。

【００８１】図１１乃至１９、２１、２２において、１
３５ａ〜１３５ｋは何のパターン分析であるかを示す名
称表示部、１３６ａ〜１３６ｄはカップリング（ＣＰ）
側のデータのパターン図を表示する表示部、１３７ａ〜
１３７ｄは反カップリング（ＣＰ）側のデータのパター
ン図を表示する表示部、１３８ａ〜１３８ｋは測定診断
されたポンプ名称の表示部、１３９ａ〜１３５９ｋは行
なうべき処理の選択を示す表示部である。

【００８２】以下、図１１乃至１９、２１、２２に示さ
れた表示内容について説明する。

【００８３】図１１は、取り込んだ振動データにおける
トレンドパターン分析の結果を表示する表示画面であ
り、ＣＰ側及び反ＣＰ側ともに各表示部分(1)乃至(7)
において、縦軸は振動のピーク間振幅、横軸は時間を示
す。この表示画面においては、(1) 変動の少ない安定パ
ターン１４０ａ、１４０ｂ、(2) ランダムに増減を繰り
返すランダム変化パターン１４１ａ、１４１ｂ、(3) 時
間と共に次第に増加して行く漸増パターン１４２ａ、１
４２ｂ、(4) 時間と共に次第に減少して行く漸減パター
ン１４３ａ、１４３ｂ、(5) ある時間になると急に増加
する急増パターン１４４ａ、１４４ｂ、(6) ある時間に
なると急に減少する急減パターン１４５ａ、１４５ｂ、
(7) 周期的に増減を繰り返す周期変動パターン１４６
ａ、１４６ｂの７種類のパターンが常時表示されてい
て、前記振動データのトレンドパターンがその中のどれ
に該当するかの選定が行なわれ、該当するパターンにつ
いては他のパターンと異なる色の表示にしている。

【００８４】次に、図１２は、取り込んだＸ軸方向（画
面の上半部）及びＹ軸方向（画面の下半部）の振動デー
タにおける振動と回転数との関係のパターン分析を行な
った結果を表示する表示画面であり、ＣＰ側及び反ＣＰ
側ともに各表示部分(1) 乃至(4) において、縦軸は振動
のピーク間振幅、横軸は回転数を示す。この表示画面に
おいては、(1) 回転数の上昇に伴い次第に振動が増加す
る漸増パターン１５０ａ乃至１５０ｄ、(2) ある回転数
において振動が極値をとる共振パターン１５１ａ乃至１
５１ｄ、(3) ある回転数を境に振動が急に増加する急増
パターン１５２ａ乃至１５２ｄ、(4) 低速回転時の振動
が大きい低速大パターン１５３ａ乃至１５３ｄの４種類
のパターンが常時表示されていて、前記振動データにお
ける振動と回転数との関係のパターンがその中のどれに
該当するかの選定が行なわれ、該当するパターンについ
ては他のパターンと異なる色の表示にしている。

【００８５】次いで、図１３は、取り込んだＸ軸方向
（画面の上半部）及びＹ軸方向（画面の下半部）の振動
データにおける振動と流量との関係のパターン分析を行
なった結果を表示する表示画面であり、ＣＰ側及び反Ｃ
Ｐ側ともに各表示部分(1) 乃至(4) において、縦軸は振
動のピーク間振幅、横軸は流量を示す。この表示画面に
おいては、(1) 流量の増加に伴い振動が次第に減少する
漸減パターン１６０ａ乃至１６０ｄ、(2) ある流量を境
にして振動が急に増加する急減パターン１６１ａ乃至１
６１ｄ、(3) ある流量において振動が極値をとる極値パ
ターン１６２ａ乃至１６２ｄ、(4) 流量の増加に伴い振
動が次第に増加する漸増パターン１６３ａ乃至１６３ｄ
の４種類のパターンが常時表示されていて、前記振動デ
ータにおける振動と流量との関係のパターンがその中の
どれに該当するかの選定が行なわれ、該当するパターン
については他のパターンと異なる色の表示にしている。

【００８６】さらに、図１４は、取り込んだＸ軸方向及
びＹ軸方向の振動データにおける位相変化パターン分析
の結果を表示する表示画面であり、ＣＰ側及び反ＣＰ側
ともに各表示部分(1) 乃至(6) において、円は位相を示
す。この表示画面においては、(1) 位相変化がかなり少
ない位相変化小パターン１７０ａ乃至１７０ｄ、(2)位
相が回転方向と反対に移動する反回転方向移動パターン
１７１ａ乃至１７１ｄ、(3) 位相が回転方向に移動する
回転方向移動パターン１７２ａ乃至１７２ｄ、(4) 位相
が定まらない位相急変パターン１７３ａ乃至１７３ｄ、
(5) 位相が往復する位相往復パターン１７４ａ乃至１７
４ｄ、(6) 位相が回転する位相回転パターン１７５ａ乃
至１７５ｄの６種類のパターンが常時表示されていて、
前記振動データにおける位相変化パターンがその中のど
れに該当するかの選定が行なわれ、該当するパターンに
ついては他のパターンと異なる色の表示にしている。

【００８７】続いて、図１５は、図１１乃至１４におい
てそれぞれ示された振動データにおける、トレンドパタ
ーン分析、振動と回転数の関係のパターン分析、振動と
流量の関係のパターン分析、位相変化のパターン分析、
及び、以下の図に示すウォーターフォール解析、相互相
関関数解析、伝達関数解析、リサージュ解析との複合診
断に基づいて、当該振動データの異常兆候を検出する簡
易異常診断の結果を表示した表示画面の一例を示す。

【００８８】図１５において、１８０は振動トレンドの
パターン分析結果、１８１は振動と回転数の関係のパタ
ーン分析結果、１８２は振動と流量の関係のパターン分
析結果、１８３は位相変化のパターン分析結果を示すも
のであり、１８４は前記複合診断に基づいて検出した異
常兆候の現象の現れを示す一表示例である。

【００８９】次に、図１６は、簡易診断におけるウォー
ターフォール解析の結果を表示する表示画面であり、縦
軸は加速度、横軸は周波数、斜めの軸は時間をそれぞれ
示す。このウォーターフォール解析は、振動データを周
波数分析し、分割した周波数帯域のパワースペクトル
（ＰＷＳ）の時系列変化を求めたもので、全周波数帯域
における傾向変化を客観的に捉えることができるもので
あり、簡易診断においては、時間と共に周波数帯域毎に
振動データのレベルがどのように変化しているかを見
て、正常時の値を基準にして特にレベル変化の大きい周
波数帯域の判別を行ない、異常兆候の検出に用いてい
る。

【００９０】また、図１７は、簡易診断における相互相
関関数解析の結果を表示する表示画面であり、横軸は時
間を示す。この相互相関関数解析は、取り込んだ振動デ
ータの伝播経路や時間遅れの変化を求めているもので、
簡易診断においては、正常時の値を基準にしてその変化
量の判別を行ない、異常兆候の検出に用いている。

【００９１】続いて、図１８は、簡易診断における伝達
関数解析の結果を表示する表示画面であり、画面の上半
部において、縦軸は位相角、横軸は周波数であり、ま
た、画面の下半部において、縦軸は利得（ゲイン）、横
軸は周波数を示す。この伝達関数解析は、２つの時間領
域のデータをフーリエ変換し、所定の周波数範囲のデー
タに変換したものを基にして、その伝達特性を求めたも
ので、簡易診断においては、正常時の値を基準にしてそ
の特性の変化量の判別を行ない、異常兆候の検出に用い
ている。

【００９２】次に、図１９は、簡易診断におけるリサー
ジュ解析の結果を表示する表示画面であり、通常のリサ
ージュ表示を行なったものである。このリサージュ解析
は、水平、垂直２方向のデータの合成波（リサージュ）
を求めたもので、軸が振れ回る方向等を客観的に捉える
ことができ、簡易診断においては、正常時の値を基準に
して各軸方向の振幅の変化量の判別を行ない、異常兆候
の検出に用いて有効なものである。

【００９３】また、図２１は、詳細診断において得られ
た推定原因と推定位置とを表示する表示画面である。

【００９４】図２１において、１９０は、推定原因と確
信度とを合わせて表示する診断結果の表示部、１９１は
ポンプの概略構成図と異常発生の推定位置とを合わせて
表示する異常位置推定結果の表示部である。この場合、
表示部１９０には推定原因が具体的な形で示され、同時
に、確信度が数値で示される。表示部１９１には概略構
成図内に異常発生の推定位置が具体的に示される。

【００９５】さらに、図２２は、詳細診断において得ら
れた推定原因とその対策案とを表示する表示画面であ
る。

【００９６】図２２において、１９２は推定原因と確信
度とを合わせて表示する診断結果の表示部、１９３は詳
細診断によって求めた推定原因に対する具体的な対策案
の表示部である。この場合、表示部１９２の表示内容は
前記表示部１９０のそれと同じであり、表示部１９３に
は前記表示部１９２の表示内容に対応した具体的な対策
案（ガイダンス）が示される。

【００９７】最後に、図２０は、詳細診断において、異
常原因の確信度の計算の根拠になる振動事象と異常要因
との関連性を一覧表にした因果マトリクスである。この
因果マトリクスには、故障原因が羅列され、これらの故
障原因に対して振動データにおけるそれぞれの周波数成
分がどのような相関を有するものであるかを示すもの
で、相関の度合いは星の数によって表されている。そし
て、星の数がゼロの部分は全く相関がないこと、星の数
が１つの部分はやや相関があること、星の数が２つの部
分はかなり相関があること、星の数が３つの部分は緊密
な相関があることをそれぞれ表している。

【００９８】なお、この因果マトリクスは、主として、
経験則に基づいて得られるもので、状況に応じてその内
容は適宜変更されるものである。

【００９９】以上の実施例においては、本発明に係る回
転機器異常診断装置をポンプに適用した場合について説
明したが、本発明の適用対象はポンプに限られるもので
はなく、他の回転機器、例えば、モータ、蒸気タービン
等にも同様に適用できるものである。

【０１００】また、診断すべき回転機器に常設する各種
のセンサの種類及びその設置位置も、実施例に示す種類
及び設置位置に限られるものではなく、診断すべき回転
機器の特性やその使用または配置状況によって適宜選択
できるものである。

【０１０１】さらに、各種のデータの処理を行なうフロ
ーやカラーＣＲＴの表示画面の内容も、既に説明した内
容のものに限られるわけではなく、その技術思想を逸脱
しない範囲内において、適宜変更することが可能なもの
である。

【０１０２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
重要な複数の回転機器の監視診断にはオンラインにより
データの取り込みを行ない、また、その他の複数の回転
機器の監視診断にはオフラインによるデータの取り込み
を行なうとともに、これらのデータに対しては簡易診断
及び詳細診断を併用させ、前記回転機器全体の動作の健
全性を診断するようにしているので、単一の回転機器異
常診断装置を用いているにも係らず、例えば、プラント
等に用いられている全回転機器を有機的に一括監視診断
できるという効果がある。

【０１０３】また、本発明によれば、重要な複数の回転
機器の監視診断については、常時、リアルタイムの監視
を行なうようにしているので、特に、主要な部分の回転
機器の動作の異常を早期に発見して、その対策を講じる
ことができるので、前記回転機器を用いているプラント
等の信頼性を著しく向上できるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る回転機器異常診断装置の概要を示
すブロック構成図である。

【図２】本発明の回転機器異常診断装置をポンプに適用
した場合の実施例を示す構成図である。

【図３】本発明の回転機器異常診断装置の処理の流れを
包括的に示すフローチャートである。

【図４】データ収集装置の一例を示すブロック構成図で
ある。

【図５】データ収集装置が行なう振動データ収集の手順
を示すフローチャートである。

【図６】データ収集装置のマグネットテープに振動デー
タを記録した際の記録波形図である。

【図７】本発明の簡易診断の際の処理の流れを示すフロ
ーチャートである。

【図８】本発明の詳細診断の際の処理の流れを示すフロ
ーチャートである。

【図９】オフラインデータの処理時に表示されるＣＲＴ
表示画面の一例を示す図である。

【図１０】オンラインデータの処理時に表示されるＣＲ
Ｔ表示画面の一例を示す図である。

【図１１】振動トレンドパターン分析結果を表示したＣ
ＲＴ表示画面を示す図である。

【図１２】振動と周波数との関係のパターン分析結果を
表示したＣＲＴ表示画面を示す図である。

【図１３】振動と流量との関係のパターン分析結果を表
示したＣＲＴ表示画面を示す図である。

【図１４】振動の位相変化パターン分析結果を表示した
ＣＲＴ表示画面を示す図である。

【図１５】複合診断の結果の一例を表示したＣＲＴ表示
画面を示す図である。

【図１６】ウォーターフォール解析結果を表示したＣＲ
Ｔ表示画面を示す図である。

【図１７】相互相関関数解析結果を表示したＣＲＴ表示
画面を示す図である。

【図１８】伝達関数解析結果を表示したＣＲＴ表示画面
を示す図である。

【図１９】リサージュ解析結果を表示したＣＲＴ表示画
面を示す図である。

【図２０】因果マトリクスの構成の一例を示す図であ
る。

【図２１】詳細診断の結果の表示の一例を表すＣＲＴ表
示画面を示す図である。

【図２２】詳細診断の結果の表示の他の例を表すＣＲＴ
表示画面を示す図である。

【符号の説明】

１常設の各種センサ２それ以外の各種センサ３オンラインデータ収集部４オフラインデータ収集部５第１のコンピュータ６インターフェイス７第２のコンピュータ８₁、８₂ 振動センサ（振動計）９₁、９₂、９₃、９₄ 温度センサ（温度計）１０₁、１０₂ 圧力センサ（圧力計）１１₁、１１₂ 流量センサ（流量計）１２回転センサ（パルス計）１３データ変換部１４フィルタ１５データ収集装置１６データレコーダ１７高速ＡＩボード１８ＡＩボード１９ＧＰ−ＩＢボード２０ＦＦＴボード２１オーバーオール（ＯＡ）監視ボード２２周波数成分監視ボード２３プロセス監視ボード２４信号取り込み監視用ＯＳボード２５メモリボード２６ディスクコントロールボード２７外部記憶装置２８グラフィックボード２９カラーＣＲＴ（陰極線管）３０入出力ボード３１プリンタ３２キーボード３３信号処理診断用ＯＳボード３４バスライン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者桂裕之茨城県土浦市神立町603番地株式会社日立製作所土浦工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転機器の診断個所に得られた各種デー
タを用いて前記回転機器の動作異常の診断を行なう回転
機器異常診断装置において、回転機器に常設したセンサ
と、前記センサからの各種データをオンラインで取り込
む手段と、記録媒体に記録した各種データをオフライン
で取り込む手段と、第１及び第２のコンピュータと、オ
ンラインで取り込んだ各種データとオフラインで取り込
んだ各種データとを選択的に第２のコンピュータに供給
してそれらのデータの異常診断を行なう第１の診断手段
と、オンラインで取り込んだ各種データを第１のコンピ
ュータに供給して常時リアルタイムでモニタを行ない、
前記データに異常兆候があった場合に第２のコンピュー
タに割込みを掛ける異常判別手段と、前記割込み時に第
２のコンピュータにより前記異常兆候のあるデータを関
連するデータを用いて詳細に診断する第２の診断手段
と、前記第１及び第２の診断の結果を表示する表示手段
とを具備することを特徴とする回転機器異常診断装置。
【請求項２】回転機器の診断個所に得られた各種デー
タを用いて前記回転機器の動作異常の診断を行なう回転
機器異常診断装置において、回転機器に常設したセンサ
と、前記センサからの各種データをオンラインで取り込
む手段と、記録媒体に記録した各種データをオフライン
で取り込む手段と、第１及び第２のコンピュータと、オ
ンラインで取り込んだ各種データとオフラインで取り込
んだ各種データの監視、分析等のデータ処理を行なうデ
ータ処理手段と、前記オンライン及びオフラインで取り
込んだ各種データ、それに、前記データ処理後の各種デ
ータを記憶させる記憶手段と、前記データ処理後のオン
ラインまたはオフラインで取り込んだ各種データを選択
的に第２のコンピュータに供給して前記データの異常診
断を行なう第１の診断手段と、オンラインで取り込んだ
各種データを第１のコンピュータに供給して常時リアル
タイムでモニタを行ない、前記データに異常兆候があっ
た場合に第２のコンピュータに割込みを掛ける異常判別
手段と、前記割込み時に第２のコンピュータにより前記
異常兆候のあるデータを、前記記憶手段中の関連するデ
ータを用いて詳細に診断する第２の診断手段と、前記第
１の診断手段の診断結果及び前記第２の診断手段の診断
結果を、その診断の都度表示する表示手段とを具備する
ことを特徴とする回転機器異常診断装置。
【請求項３】前記回転機器に常設したセンサは、重要
な回転機器の振動データ診断個所に常設した振動センサ
と、各種のプロセスデータ診断個所に常設した温度、圧
力、流量、回転数を検出する各種センサであることを特
徴とする請求項１及び２記載の回転機器異常診断装置。
【請求項４】前記振動センサは、少なくとも２つの振
動を同時に測定可能な２軸以上の振動センサからなるこ
とを特徴とする請求項３記載の回転機器異常診断装置。
【請求項５】前記各種データをオンラインで取り込む
手段は、不要な周波数成分が除去された振動データを受
け入れる高速ＡＩ回路と、プロセスデータを受け入れる
ＡＩ回路からなることを特徴とする請求項１及び２記載
の回転機器異常診断装置。
【請求項６】前記記録媒体に記録した各種データをオ
フラインで取り込む手段は、可搬式のデータ収集手段の
記録媒体に記録した汎用的な回転機器の振動データを再
生するデータ再生手段と、不要な周波数成分が除去され
た前記再生した振動データを受け入れる高速ＡＩ回路
と、前記記録媒体に記録した汎用的な回転機器のプロセ
スデータを手動入力する入力機器と、前記入力機器から
のプロセスデータを受け入れる入出力回路からなること
を特徴とする請求項１及び２記載の回転機器異常診断装
置。
【請求項７】前記取り込んだ各種データの監視、分析
等のデータ処理を行なうデータ処理手段は、振動データ
のＦＦＴ処理を行なうＦＦＴ手段と、振動データのＯＡ
値の監視を行なうＯＡ値監視手段と、振動データの周波
数分析値の監視を行なう周波数分析値監視手段と、プロ
セスデータの監視を行なうプロセスデータ監視手段から
なることを特徴とする請求項２記載の回転機器異常診断
装置。
【請求項８】前記各種データを記憶させる記憶手段
は、一時的にデータを記憶させる内部記憶装置と、永久
的にデータを記憶させる外部記憶装置からなることを特
徴とする請求項２記載の回転機器異常診断装置。
【請求項９】前記第１の診断手段は、常時、オンライ
ンで取り込んだ各種データの異常診断を行なっており、
必要に応じてオフラインで取り込んだ各種データの異常
診断を行なうように選択されることを特徴とする請求項
１及び２記載の回転機器異常診断装置。
【請求項１０】前記第１の診断手段は、取り込んだ各
種データに対して、振動トレンド、振動と周波数との関
係、振動と流量との関係、位相変化の４項目について、
その要因のパターン分類を行ない、さらに、そのパター
ン分類を複合して異常の診断を行なうことを特徴とする
請求項１及び２記載の回転機器異常診断装置。
【請求項１１】前記オンラインで取り込んだ各種デー
タの異常兆候の有無をリアルタイムで判別する異常判別
手段は、常時、オンラインで取り込んだ少なくとも１つ
のデータに対する振動のＯＡ値、全周波数領域の振動レ
ベル、特定周波数領域の振動レベル、プロセスデータの
４種類の事項のモニタを行ない、前記データのモニタし
ている事項中にどれか１つでも測定値が指定した値を超
えている場合あるいは変化率が同じく指定した値を超え
ている場合に、第２のコンピュータに対して割込みを掛
けることを特徴とする請求項１及び２記載の回転機器異
常診断装置。
【請求項１２】前記第２の診断手段は、診断すべき回
転機器の駆動軸側で得られた振動データの診断と、前記
回転機器の非駆動軸側で得られた振動データの診断とを
別個に行ない、最後に前記２つの診断の結果を総合して
前記回転機器全体の診断を行なうことを特徴とする請求
項１及び２記載の回転機器異常診断装置。
【請求項１３】前記表示手段は、グラフィック制御手
段と、ＣＲＴ表示手段とからなることを特徴とする請求
項１及び２記載の回転機器異常診断装置。
【請求項１４】前記表示手段は、前記第１の診断手段
の診断結果の表示として、前記ＣＲＴ表示手段の画面
に、処理中のデータの種別、診断すべき回転機器の名称
とともに、診断すべき回転機器の全体の診断状態と、リ
アルタイムでモニタしているデータの個別の診断状態を
同時に表示させるようにしたことを特徴とする請求項１
及び２記載の回転機器異常診断装置。
【請求項１５】前記全体の診断状態の表示中にリアル
タイムでモニタしているデータの総合診断結果、及び、
前記個別の診断状態の表示中にリアルタイムでモニタし
ているデータの個別の診断結果を、それぞれ、正常、注
意、異常の３種の中の１つの表示によって行なうように
したことを特徴とする請求項１３記載の回転機器異常診
断装置。
【請求項１６】前記正常、注意、異常の３種の中の１
つの表示を行なう場合に、正常表示は緑色、注意表示は
黄色、異常表示は赤色で行なうようにしたことを特徴と
する請求項１４記載の回転機器異常診断装置。
【請求項１７】前記表示手段は、前記第２の診断手段
の診断結果の表示として、前記ＣＲＴ表示手段の画面
に、少なくとも推定原因と確信度とを含む診断結果、及
び、少なくとも回転機器の概略構成図と異常個所と推定
原因とを含む推定位置を同時に表示させるようにしたこ
とを特徴とする請求項１及び２記載の回転機器異常診断
装置。
【請求項１８】前記表示手段は、前記第２の診断手段
の診断結果の表示として、前記ＣＲＴ表示手段の画面
に、少なくとも推定原因と確信度とを含む診断結果、及
び、少なくとも診断結果の対策案と推定原因と確信度を
含む対策案を同時に表示させるようにしたことを特徴と
する請求項１及び２記載の回転機器異常診断装置。