JPH05623B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH05623B2 JPH05623B2 JP59146804A JP14680484A JPH05623B2 JP H05623 B2 JPH05623 B2 JP H05623B2 JP 59146804 A JP59146804 A JP 59146804A JP 14680484 A JP14680484 A JP 14680484A JP H05623 B2 JPH05623 B2 JP H05623B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- air
- clean area
- cold air
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Ventilation (AREA)
- Air-Flow Control Members (AREA)
- Air-Conditioning Room Units, And Self-Contained Units In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は温調チヤンバーに係り、特にクリーン
ルーム内での局部的な精密温度調節機構に関す
る。
ルーム内での局部的な精密温度調節機構に関す
る。
〔発明の背景〕
クリーンルームに設置される装置が、例えば高
精度な測定機や露光装置などの場合には、その装
置の周りの雰囲気温度を23±0.1℃程度に精密に
制御する必要が生じる。
精度な測定機や露光装置などの場合には、その装
置の周りの雰囲気温度を23±0.1℃程度に精密に
制御する必要が生じる。
このような場合には、従来、第１図に示すよう
な方法でクリーンルーム内を局部的に温度コント
ロールすることが行なわれている。第１図に示す
ダウンフロータイプのクリーンルームの断面は、
大きく分けて、空気流通口１ａが設けられた床面
１と天井面２の間で装置３が設置されているクリ
ーンエリア４と、天井面２の上方で温調された冷
風が供給されているサプライチヤンバー５と、床
面１の下方でクリーンエリア４から排出される空
気を流すリターンチヤンバー６に分けられる。
な方法でクリーンルーム内を局部的に温度コント
ロールすることが行なわれている。第１図に示す
ダウンフロータイプのクリーンルームの断面は、
大きく分けて、空気流通口１ａが設けられた床面
１と天井面２の間で装置３が設置されているクリ
ーンエリア４と、天井面２の上方で温調された冷
風が供給されているサプライチヤンバー５と、床
面１の下方でクリーンエリア４から排出される空
気を流すリターンチヤンバー６に分けられる。
この方法は、クリーンエリア４の空気をリター
ンダクト７を介し、ブロワ８により吸引して温調
ユニツト９に吹き込む。温調ユニツト９は、冷凍
器１０によつて冷却される冷却コイル１１と、塵
埃をろかするフイルタ１２と、このフイルタ１２
の下方に配設された温度センサ１３の信号を受け
て温調器１４により精密に温度制御される再熱ヒ
ータ１５とを有する。従つて、ブロワ８により温
調ユニツト９に吹き込まれた空気は、冷却コイル
１１で冷却され、その後再熱ヒータ１５により精
密に温度制御され、フイルタ１２を通つてクリー
ンエリア４に吹き出す。この場合の温度精度は一
般に±0.1℃程度であり、非常に精密な温度制御
ができる。
ンダクト７を介し、ブロワ８により吸引して温調
ユニツト９に吹き込む。温調ユニツト９は、冷凍
器１０によつて冷却される冷却コイル１１と、塵
埃をろかするフイルタ１２と、このフイルタ１２
の下方に配設された温度センサ１３の信号を受け
て温調器１４により精密に温度制御される再熱ヒ
ータ１５とを有する。従つて、ブロワ８により温
調ユニツト９に吹き込まれた空気は、冷却コイル
１１で冷却され、その後再熱ヒータ１５により精
密に温度制御され、フイルタ１２を通つてクリー
ンエリア４に吹き出す。この場合の温度精度は一
般に±0.1℃程度であり、非常に精密な温度制御
ができる。
しかし、この方法は、冷凍器１０、再熱ヒータ
１５などを用いるので、大きな設置スペースを必
要とし、また工事が大変であると共に、使用エネ
ルギー（電力）が大きいという問題点を有する。
１５などを用いるので、大きな設置スペースを必
要とし、また工事が大変であると共に、使用エネ
ルギー（電力）が大きいという問題点を有する。
本発明の目的は、コンパクトで、容易に設置で
き、しかも使用エネルギーが少なくてすむ温調チ
ヤンバーを提供することにある。
き、しかも使用エネルギーが少なくてすむ温調チ
ヤンバーを提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために、温調ユニ
ツトは、サプライチヤンバーの冷風を取り入れる
冷風取入口と、リターンチヤンバーの高温空気を
取り入れる高温循環空気取入口とを有し、クリー
ンエリアの温度に応じて前記冷風取入口からの冷
風と前記高温循環空気取入口からの高温循環空気
との混合比率を制御する制御手段を有し、この制
御手段で制御された空気をクリーンエリアに供給
することを特徴とする。
ツトは、サプライチヤンバーの冷風を取り入れる
冷風取入口と、リターンチヤンバーの高温空気を
取り入れる高温循環空気取入口とを有し、クリー
ンエリアの温度に応じて前記冷風取入口からの冷
風と前記高温循環空気取入口からの高温循環空気
との混合比率を制御する制御手段を有し、この制
御手段で制御された空気をクリーンエリアに供給
することを特徴とする。
以下、本発明の一実施例を第２図により説明す
る。なお、第１図と同じまたは相当部材及び部分
には同一符号を付して説明する。装置３の背面側
には下方に開口部２０ａを有する隔壁２０が設け
られている。クリーンエリア４に温度制御された
空気を吹き込む温調ユニツト２１は、図示しない
空調器で温調されたサプライチヤンバー５の冷風
を取り入れる冷風取入口２１ａと、リターンチヤ
ンバー６及びクリーンエリア４の開口部２０ａを
通つた空気を取り入れる高温循環空気取入口２１
ｂを有し、前記冷風取入口２１ａには空気式ダン
パー操作器２２で開口量が制御されるダンパ２３
が配設されている。また温調ユニツト２１は、内
部にブロワ２４を、クリーンエリア４への吹き出
し口にフイルタ１２を有し、フイルタ１２より吹
き出された空気は温度センサ１３で検出されるよ
うになつている。温度センサ１３は調節計２５に
接続されており、調節計２５は温度センサ１３の
温度によつて前記ダンパ２３の開口量を制御する
電気信号を出力するようになつている。調節計２
５は電気信号を空気圧に変換する変換器２６を介
して前記空気式ダンパ操作器２２に接続されてい
る。
る。なお、第１図と同じまたは相当部材及び部分
には同一符号を付して説明する。装置３の背面側
には下方に開口部２０ａを有する隔壁２０が設け
られている。クリーンエリア４に温度制御された
空気を吹き込む温調ユニツト２１は、図示しない
空調器で温調されたサプライチヤンバー５の冷風
を取り入れる冷風取入口２１ａと、リターンチヤ
ンバー６及びクリーンエリア４の開口部２０ａを
通つた空気を取り入れる高温循環空気取入口２１
ｂを有し、前記冷風取入口２１ａには空気式ダン
パー操作器２２で開口量が制御されるダンパ２３
が配設されている。また温調ユニツト２１は、内
部にブロワ２４を、クリーンエリア４への吹き出
し口にフイルタ１２を有し、フイルタ１２より吹
き出された空気は温度センサ１３で検出されるよ
うになつている。温度センサ１３は調節計２５に
接続されており、調節計２５は温度センサ１３の
温度によつて前記ダンパ２３の開口量を制御する
電気信号を出力するようになつている。調節計２
５は電気信号を空気圧に変換する変換器２６を介
して前記空気式ダンパ操作器２２に接続されてい
る。
次に作動について説明する。ブロワ２４が回転
すると、冷風取入口２１ａから冷風を、高温循環
空気取入口２１ｂから高温空気を取り入れ、冷風
と高温空気は混合されてフイルタ１２よりクリー
ンエリア４に吹き出される。フイルタ１２からの
空気の温度は温度センサ１３により検出され、フ
イルタ１２から吹き出される空気の温度が一定に
なるように、調節計２５により変換器２６に電気
信号が入力され、変換器２６はこの電気信号を空
気圧に変換し、空気式ダンパ操作器２２を介して
ダンパ２３の開口量を制御する。これにより冷風
取入口２１ａから取り入れられる冷風の量が制御
され、クリーンエリア４の局所的な温度が±0.1
℃程度に精密に制御される。
すると、冷風取入口２１ａから冷風を、高温循環
空気取入口２１ｂから高温空気を取り入れ、冷風
と高温空気は混合されてフイルタ１２よりクリー
ンエリア４に吹き出される。フイルタ１２からの
空気の温度は温度センサ１３により検出され、フ
イルタ１２から吹き出される空気の温度が一定に
なるように、調節計２５により変換器２６に電気
信号が入力され、変換器２６はこの電気信号を空
気圧に変換し、空気式ダンパ操作器２２を介して
ダンパ２３の開口量を制御する。これにより冷風
取入口２１ａから取り入れられる冷風の量が制御
され、クリーンエリア４の局所的な温度が±0.1
℃程度に精密に制御される。
このように、冷風と高温循環空気との混合比率
を制御して温度制御するので、従来のような冷凍
器、再熱ヒータが不要となり、従来の約1/5程度
に極めて小型で、かつ従来の約1/4程度に安価に
なる。また冷凍器、再熱ヒータが不要となること
により、従来16KWの電力を必要としているもの
が、約0.3KW以下となり、エネルギーも大幅に
低減される。
を制御して温度制御するので、従来のような冷凍
器、再熱ヒータが不要となり、従来の約1/5程度
に極めて小型で、かつ従来の約1/4程度に安価に
なる。また冷凍器、再熱ヒータが不要となること
により、従来16KWの電力を必要としているもの
が、約0.3KW以下となり、エネルギーも大幅に
低減される。
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、コンパクトで、安価になると共に、使用エネ
ルギーも低減される。
ば、コンパクトで、安価になると共に、使用エネ
ルギーも低減される。
第１図は従来例の説明図、第２図は本発明の一
実施例を示す説明図である。 ４…クリーンエリア、５…サプライチヤンバ
ー、６…リターンチヤンバー、１２…フイルタ、
１３…温度センサ、２１…温調ユニツト、２１ａ
…冷風取入口、２１ｂ…高温循環空気取入口、２
２…空気式ダンパー操作器、２３…ダンパ、２４
…ブロワ、２５…調節計、２６…変換器。
実施例を示す説明図である。 ４…クリーンエリア、５…サプライチヤンバ
ー、６…リターンチヤンバー、１２…フイルタ、
１３…温度センサ、２１…温調ユニツト、２１ａ
…冷風取入口、２１ｂ…高温循環空気取入口、２
２…空気式ダンパー操作器、２３…ダンパ、２４
…ブロワ、２５…調節計、２６…変換器。
Claims (1)
- １ クリーンエリアと、室内空調用の冷風が供給
されるサプライチヤンバーと、クリーンエリアか
ら排出される高温空気を流すリターンチヤンバー
とを有し、前記クリーンエリアに温度制御された
空気を供給する温調ユニツトを備えた温調チヤン
バーにおいて、前記温調ユニツトは、前記サプラ
イチヤンバーの冷風を取り入れる冷風取入口と、
前記リターンチヤンバーの高温空気を取り入れる
高温循環空気取入口とを有し、前記クリーンエリ
アの温度に応じて前記冷風取入口からの冷風と前
記高温循環空気取入口からの高温循環空気との混
合比率を制御する制御手段を有し、この制御手段
で制御された空気をクリーンエリアに供給するこ
とを特徴とする温調チヤンバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14680484A JPS6127427A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 温調チヤンバ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14680484A JPS6127427A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 温調チヤンバ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6127427A JPS6127427A (ja) | 1986-02-06 |
| JPH05623B2 true JPH05623B2 (ja) | 1993-01-06 |
Family
ID=15415900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14680484A Granted JPS6127427A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 温調チヤンバ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6127427A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3924947B2 (ja) * | 1998-09-17 | 2007-06-06 | ダイキン工業株式会社 | 空気調和装置 |
| JP4712910B1 (ja) * | 2010-12-28 | 2011-06-29 | 株式会社朝日工業社 | 精密空調機 |
| CN112728678B (zh) * | 2021-01-25 | 2025-08-26 | 珠海格力电器股份有限公司 | 水箱装配结构及冷风扇 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5427770A (en) * | 1977-08-04 | 1979-03-02 | Takasago Thermal Engineering | Constant temperature clean bench |
| JPS56146940A (en) * | 1980-04-15 | 1981-11-14 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | Method of cooling and air-conditioning by utilizing atmospheric air |
-
1984
- 1984-07-17 JP JP14680484A patent/JPS6127427A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6127427A (ja) | 1986-02-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |