JPH0563404B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0563404B2 JPH0563404B2 JP63052569A JP5256988A JPH0563404B2 JP H0563404 B2 JPH0563404 B2 JP H0563404B2 JP 63052569 A JP63052569 A JP 63052569A JP 5256988 A JP5256988 A JP 5256988A JP H0563404 B2 JPH0563404 B2 JP H0563404B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary furnace
- carbon
- nitride
- powder
- shell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、回転炉を用いた窒化物の製造方法に
関する。 (従来の技術) 窒化物粉末、特に、窒化アルミニウム、窒化ホ
ウ素、窒化ケイ素の製造方法として、酸化物と炭
素より成る混合物を窒素またはアンモニアガス中
で反応させる酸化物還元法が工業的に採用されて
いる。 この製造方法の特徴は、反応に使用する原料の
入手が容易かつ安価であり、窒化反応後、特別な
粉砕手段が不要なため、高純度でかつよく整粒さ
れている窒化物粉末が得られることにある。該酸
化物還元法の場合、窒化反応を均一に行なわせる
為には、通常、酸化物に対して化学量論的な量よ
りも過剰に炭素が混合される。このため、窒化反
応によつても、炭素が完全に消費されず、余剰の
炭素を含む窒化物粉末が得られる。そこで、余剰
の炭素を含む窒化物粉末を酸化処理し、炭素を燃
焼除去することが行なわれている。 (発明が解決しようとする課題) このような酸化物還元法では、原料である酸化
物として粗粒のものを使用した場合、得られる窒
化物粉末を焼結して得た焼結体の物性が低下す
る。そのため、原料である酸化物として微粉のも
のが採用される。しかし、そうすると得られる窒
化物粉末も微粉となり、極めて嵩比重が小さく、
その取扱いが困難となる。そこで、窒化物粉末の
取扱いを良好とするために得られた窒化物粉末を
スプレードライ等の方法で造粒することが試みら
れている。 (課題を解決するための手段) 本発明者らは、得られた窒化物粉末を造粒する
のではなく、窒化物粉末の製造方法自体に改良を
加えることによつて嵩比重の高い窒化物粉末を得
ることを目的とし、鋭意研究を重ねてきた。その
結果、前記した酸化処理を回転炉中で行なうこと
により上記の目的が達成されることを見い出し、
本発明を完成させるに至つた。 即ち、本発明は、金属又は半金属の酸化物の還
元法により得られた該金属又は半金属の窒化物粉
末と炭素との混合粉末を回転炉中で酸化すること
によつて炭素を除去することを特徴とする金属又
は半金属の窒化物粉末の製造方法である。 本発明で原料として使用される金属又は半金属
の窒化物粉末は、一般に該当する金属又は半金属
の酸化物を還元剤である炭素と共に窒素供給源の
存在下に加熱処理して還元と同時に窒化するか或
いは、炭素により還元した後窒素源と接触させて
窒化することによつて得られる。本発明は、この
ようにして得られた公知のものが何ら制限なく採
用される。例えば、窒化ホウ素、窒化アルミニウ
ム、窒化ケイ素、窒化チタン及び窒化ジルコニウ
ム等を挙げることができる。金属又は半金属の窒
化物粉末の平均粒子径は、窒化物粉末を焼結して
得られる窒化物焼結体の物性を勘案すると、一般
に2μm以下であることが好ましい。また、炭素
としては、一般にカーボンブラツクが好適に使用
される。上記の金属又は半金属の窒化物粉末と炭
素との混合割合は任意であるが、酸化物還元法に
より得られた混合粉末は、一般に金属又は半金属
の窒化物粉末100重量部に対して炭素が1〜100重
量部の範囲で混合されている。 上記の金属又は半金属の窒化物粉末と炭素との
混合粉末は酸化処理によつて炭素のみが燃焼除去
される。本発明に於いては、上記酸化処理が回転
炉中で行なわれる。回転炉を使用すると窒化物粉
末が回転炉内壁に付着し、酸化処理が不可能であ
ると予想されていたが、意外にも回転炉内壁への
窒化物の付着は極くわずかであつた。しかも、適
度な嵩比重を有する窒化物粉末が得られることが
わかつた。 回転炉は、公知のものがそのまま使用でき、連
続法及びバツチ法のいずれも採用できる。酸化処
理は、一般には酸素又は空気雰囲気下で、炭素は
燃焼するが窒化物は酸化されない条件で行なわれ
る。酸化温度と酸化時間は、窒化物粉末と炭素と
の混合粉末中の炭素の量に応じて適宜選択される
が、通常は600〜900℃の温度で0.5〜数時間の範
囲から選択される。 第1図に連続式の酸化処理を行なう場合に使用
される回転炉について、回転炉の長手方向に対し
て平行な平面で該回転炉を切断した断面図を示し
た。原料ホツパー6内の金属又は半金属の窒化物
粉末と炭素との混合粉末は、混合粉末供給機7に
よつて回転炉のシエル1内に供給される。回転炉
は、混合粉末の入口側が高くなるように傾斜させ
て設置されているが、バツチ式の場合には必ずし
も傾斜させる必要はない。上記の混合粉末はシエ
ル1内を移動しながらヒーター11で加熱され酸
化処理される。炭素が燃焼除去された後の窒化物
粉末は、窒化物回収容器8中に回収される。シエ
ル1の中には、酸化処理を良好に行なうために、
空気又は酸素が、ガス供給口9から強制的に供給
される。空気又は酸素等のガスは混合粉末と向流
に流す方が酸化効果が良好である。空気又は酸素
の供給量は特に制限されないが、一般的には、次
式で示される燃焼反応に必要な量以上であれはよ
い。 4C+3O2→2CO+2CO2 回転炉の回転数は任意であるが、得られる窒化
物粉末の嵩比重を上げるため及び酸化時間を短縮
するためには0.1〜10回転/分とすることが好ま
しい。 本発明において、特に好適に使用される回転炉
は、原材料の供給や製品の取り出しを連続して行
う所謂連続式回転炉及び原材料の供給や製品の取
り出しを回分式で行なう所謂バツチ式、或いはそ
れらの中間である所謂セミバツチ式等のいかなる
方式であつてもよいが、少なくとも長尺の筒状の
シエルと、その内部に後述する気流を妨げるため
の遮断板が、該シエル内避との間に間〓を形成し
て設けられている構造である。即ち本発明は、長
尺の筒状のシエル内部に、該シエル内の気流を妨
げるための遮断板が該シエルとの間に間〓を形成
して設けられてなる回転炉をも提供するものであ
る。 以下、に添付図面に従つてより具体的に説明す
る。 第1図には、長尺の筒状のシエル1の内部に遮
断板2が4枚設けられた回転炉を示した。該遮断
板2は、酸化処理に於いて回転炉内の気流によつ
て炭素が回転炉内に拡散することを防止し、回転
炉出口近傍に於ける酸化処理がほぼ完了した窒化
物の炭素による汚染を防止するためのものであ
る。遮断板2は、シエル1の長手方向に対して垂
直に設けることが好ましいが、上記した遮断板の
機能を発揮し得る最大の傾斜度、例えば、シエル
の長手方向に対して45°迄傾斜させても支障ない。
また、遮断板の数は1以上であれば良いが、上記
した炭素の拡散の防止を効果的に行なうために回
転炉の大きさに応じて適宜選択すれば良い。一般
には、2〜4枚の遮断板が採用される。 遮断板の取付位置は、特に制限されるものでは
ないが、一般には、シエルの一端から他端までの
長さを等分する位置であることが好ましい。 遮断板は、既述のとおり回転炉内の気流による
炭素の拡散を防止するものであるため、回転炉内
の気相部のみに設ければ良い。従つて、回転炉の
シエルの内壁に沿つて移動する窒化物粉末と炭素
との混合粉末を妨げないように、遮断板はシエル
との間に間隙3を形成して設けられている。間隙
3は上記の混合粉末が移動し得るように設けられ
ていれば良い。例えば、第2図に示すように、シ
エル1の内径より短い直径の遮断板2を、シエル
1の長手方向に設けられた軸4に垂直に取付け、
該遮断板2の全周にわたつてシエル1との間に間
隙3を形成させる方法、及び第3図に示すよう
に、シエル1に内接する遮断板2の周辺を部分的
に切欠いて間隙3を形成させる方法等が挙げられ
る。 遮断板の面積は、炭素の拡散の防止及び窒化物
粉末と炭素との混合粉末の移動のしやすさを勘案
して決定すれば良いが、一般的には、回転炉内を
流れる気流の流速が間隙3に於いて1〜200cm/
secとなるように選択することが好ましい。 また、上記の回転炉に於いて、得られる窒化物
粉末の嵩比重を良好とするために、第4図に示す
ように回転炉のシエル内壁に、回転炉の回転方向
にほぼ垂直な突状5を設けることが好ましい。突
状5は、回転炉内の混合粉末を回転方向にかき上
げる機能を有する。突状の設置態様形状、大きさ
及び数等は特に制限されない。例えば、第4図に
示すようにシエルの内周を4等分するような高さ
数cmの突状5が、シエルの一端から他端まで連続
して設けられていても良い。また、シエルの一端
から他端の間で部分的に切断されていても良い。 さらに、シエル内壁への窒化物粉末の付着を防
止するために、シエルをハンマリング等の公知の
方法で振動させることは、本発明に於いて好適に
採用される。 (効果) 本発明の方法によれば、酸化物還元法による窒
化物粉末の製造に於いて酸化処理に回転炉を用い
ることによつて、回転炉内に窒化物粉末が付着す
ることなく、嵩比重の良好な窒化物粉末を得るこ
とができる。しかも、得られる窒化物粉末は、顆
粒状となるために取扱いが良好である。また、本
発明の方法によれば、従来の静置による酸化方法
に比べて酸化に要する時間を1/2以下に短縮する
ことができる。さらに、その際に遮断板を有する
回転炉を使用した場合には、回転炉内の気流によ
る炭素の拡散が防止され、炭素残存量の極めて低
い窒化物を得ることができる。 (実施例) 以下に本発明を実施例によりさらに具体的に説
明するが、本発明はこれらの実施例に限定される
ものではない。 なお、本発明における粉末嵩比重測定は、ホソ
カワミクロン(株)製パウダー・テスターによつた。
測定数は、10個とし、その算術平均値にて示し
た。また、残存炭素量の分析は、(株)堀場製作所製
EMIA−110カーボン・アナライザーにて行つた。 実施例 1 第1図に示すように回転炉内に、遮断板4枚を
取付け、さらに第4図に示すように突状4枚を取
付けた後、均熱帯での滞留時間が、3時間となる
ように回転数を0.5回転/分とした。 炉内温度680℃に均一に加熱し、回転炉内の一
端より乾燥空気52Nl/min、他端より窒化アルミ
ニウムθと炭素の1:0.2(重量比)の混合粉末を
470g/Hrの供給速度にて供給し、連続酸化処理
を実施した。得られた窒化アルミニウムは、直径
0.5〜20mmの殆んど球状に近い顆粒で、嵩比重
0.43g/c.c.、残存炭素量170ppmであつた。 実施例 2 実施例1と同一条件にて、窒化ホウ素と炭素の
1:0.2(重量比)の混合粉末を連続的に回転炉内
に供給し、連続酸化処理を実施した。 得られた窒化ホウ素の性質を第1表に示した。 実施例 3 回転炉内の遮断板及び、突状を取り外したほか
は実施例1と同様に行なつた。 得られた窒化アルミニウムの性質を第1表に示
した。 実施例 4 回転炉内の遮断板及び突状を取り外し、その代
りに均熱帯内部に固定反応容器を設置し、バツチ
式回転炉とした。 固定反応容器内へ窒化アルミニウムと炭素1:
0.2(重量比)の混合粉末1400gを仕込み、回転炉
の勾配を水平に設定した他は全て実施例1と同一
条件にて回転させながらバツチ式で酸化処理を行
つた。 得られた窒化アルミニウムの性質を第1表に示
した。 比較例 1 回転炉の回転を止めた他は、実施例4と同一条
件にて、バツチ酸化処理を行つた。 得られた窒化アルミニウムの性質を、第1表に
示した。 【表】
関する。 (従来の技術) 窒化物粉末、特に、窒化アルミニウム、窒化ホ
ウ素、窒化ケイ素の製造方法として、酸化物と炭
素より成る混合物を窒素またはアンモニアガス中
で反応させる酸化物還元法が工業的に採用されて
いる。 この製造方法の特徴は、反応に使用する原料の
入手が容易かつ安価であり、窒化反応後、特別な
粉砕手段が不要なため、高純度でかつよく整粒さ
れている窒化物粉末が得られることにある。該酸
化物還元法の場合、窒化反応を均一に行なわせる
為には、通常、酸化物に対して化学量論的な量よ
りも過剰に炭素が混合される。このため、窒化反
応によつても、炭素が完全に消費されず、余剰の
炭素を含む窒化物粉末が得られる。そこで、余剰
の炭素を含む窒化物粉末を酸化処理し、炭素を燃
焼除去することが行なわれている。 (発明が解決しようとする課題) このような酸化物還元法では、原料である酸化
物として粗粒のものを使用した場合、得られる窒
化物粉末を焼結して得た焼結体の物性が低下す
る。そのため、原料である酸化物として微粉のも
のが採用される。しかし、そうすると得られる窒
化物粉末も微粉となり、極めて嵩比重が小さく、
その取扱いが困難となる。そこで、窒化物粉末の
取扱いを良好とするために得られた窒化物粉末を
スプレードライ等の方法で造粒することが試みら
れている。 (課題を解決するための手段) 本発明者らは、得られた窒化物粉末を造粒する
のではなく、窒化物粉末の製造方法自体に改良を
加えることによつて嵩比重の高い窒化物粉末を得
ることを目的とし、鋭意研究を重ねてきた。その
結果、前記した酸化処理を回転炉中で行なうこと
により上記の目的が達成されることを見い出し、
本発明を完成させるに至つた。 即ち、本発明は、金属又は半金属の酸化物の還
元法により得られた該金属又は半金属の窒化物粉
末と炭素との混合粉末を回転炉中で酸化すること
によつて炭素を除去することを特徴とする金属又
は半金属の窒化物粉末の製造方法である。 本発明で原料として使用される金属又は半金属
の窒化物粉末は、一般に該当する金属又は半金属
の酸化物を還元剤である炭素と共に窒素供給源の
存在下に加熱処理して還元と同時に窒化するか或
いは、炭素により還元した後窒素源と接触させて
窒化することによつて得られる。本発明は、この
ようにして得られた公知のものが何ら制限なく採
用される。例えば、窒化ホウ素、窒化アルミニウ
ム、窒化ケイ素、窒化チタン及び窒化ジルコニウ
ム等を挙げることができる。金属又は半金属の窒
化物粉末の平均粒子径は、窒化物粉末を焼結して
得られる窒化物焼結体の物性を勘案すると、一般
に2μm以下であることが好ましい。また、炭素
としては、一般にカーボンブラツクが好適に使用
される。上記の金属又は半金属の窒化物粉末と炭
素との混合割合は任意であるが、酸化物還元法に
より得られた混合粉末は、一般に金属又は半金属
の窒化物粉末100重量部に対して炭素が1〜100重
量部の範囲で混合されている。 上記の金属又は半金属の窒化物粉末と炭素との
混合粉末は酸化処理によつて炭素のみが燃焼除去
される。本発明に於いては、上記酸化処理が回転
炉中で行なわれる。回転炉を使用すると窒化物粉
末が回転炉内壁に付着し、酸化処理が不可能であ
ると予想されていたが、意外にも回転炉内壁への
窒化物の付着は極くわずかであつた。しかも、適
度な嵩比重を有する窒化物粉末が得られることが
わかつた。 回転炉は、公知のものがそのまま使用でき、連
続法及びバツチ法のいずれも採用できる。酸化処
理は、一般には酸素又は空気雰囲気下で、炭素は
燃焼するが窒化物は酸化されない条件で行なわれ
る。酸化温度と酸化時間は、窒化物粉末と炭素と
の混合粉末中の炭素の量に応じて適宜選択される
が、通常は600〜900℃の温度で0.5〜数時間の範
囲から選択される。 第1図に連続式の酸化処理を行なう場合に使用
される回転炉について、回転炉の長手方向に対し
て平行な平面で該回転炉を切断した断面図を示し
た。原料ホツパー6内の金属又は半金属の窒化物
粉末と炭素との混合粉末は、混合粉末供給機7に
よつて回転炉のシエル1内に供給される。回転炉
は、混合粉末の入口側が高くなるように傾斜させ
て設置されているが、バツチ式の場合には必ずし
も傾斜させる必要はない。上記の混合粉末はシエ
ル1内を移動しながらヒーター11で加熱され酸
化処理される。炭素が燃焼除去された後の窒化物
粉末は、窒化物回収容器8中に回収される。シエ
ル1の中には、酸化処理を良好に行なうために、
空気又は酸素が、ガス供給口9から強制的に供給
される。空気又は酸素等のガスは混合粉末と向流
に流す方が酸化効果が良好である。空気又は酸素
の供給量は特に制限されないが、一般的には、次
式で示される燃焼反応に必要な量以上であれはよ
い。 4C+3O2→2CO+2CO2 回転炉の回転数は任意であるが、得られる窒化
物粉末の嵩比重を上げるため及び酸化時間を短縮
するためには0.1〜10回転/分とすることが好ま
しい。 本発明において、特に好適に使用される回転炉
は、原材料の供給や製品の取り出しを連続して行
う所謂連続式回転炉及び原材料の供給や製品の取
り出しを回分式で行なう所謂バツチ式、或いはそ
れらの中間である所謂セミバツチ式等のいかなる
方式であつてもよいが、少なくとも長尺の筒状の
シエルと、その内部に後述する気流を妨げるため
の遮断板が、該シエル内避との間に間〓を形成し
て設けられている構造である。即ち本発明は、長
尺の筒状のシエル内部に、該シエル内の気流を妨
げるための遮断板が該シエルとの間に間〓を形成
して設けられてなる回転炉をも提供するものであ
る。 以下、に添付図面に従つてより具体的に説明す
る。 第1図には、長尺の筒状のシエル1の内部に遮
断板2が4枚設けられた回転炉を示した。該遮断
板2は、酸化処理に於いて回転炉内の気流によつ
て炭素が回転炉内に拡散することを防止し、回転
炉出口近傍に於ける酸化処理がほぼ完了した窒化
物の炭素による汚染を防止するためのものであ
る。遮断板2は、シエル1の長手方向に対して垂
直に設けることが好ましいが、上記した遮断板の
機能を発揮し得る最大の傾斜度、例えば、シエル
の長手方向に対して45°迄傾斜させても支障ない。
また、遮断板の数は1以上であれば良いが、上記
した炭素の拡散の防止を効果的に行なうために回
転炉の大きさに応じて適宜選択すれば良い。一般
には、2〜4枚の遮断板が採用される。 遮断板の取付位置は、特に制限されるものでは
ないが、一般には、シエルの一端から他端までの
長さを等分する位置であることが好ましい。 遮断板は、既述のとおり回転炉内の気流による
炭素の拡散を防止するものであるため、回転炉内
の気相部のみに設ければ良い。従つて、回転炉の
シエルの内壁に沿つて移動する窒化物粉末と炭素
との混合粉末を妨げないように、遮断板はシエル
との間に間隙3を形成して設けられている。間隙
3は上記の混合粉末が移動し得るように設けられ
ていれば良い。例えば、第2図に示すように、シ
エル1の内径より短い直径の遮断板2を、シエル
1の長手方向に設けられた軸4に垂直に取付け、
該遮断板2の全周にわたつてシエル1との間に間
隙3を形成させる方法、及び第3図に示すよう
に、シエル1に内接する遮断板2の周辺を部分的
に切欠いて間隙3を形成させる方法等が挙げられ
る。 遮断板の面積は、炭素の拡散の防止及び窒化物
粉末と炭素との混合粉末の移動のしやすさを勘案
して決定すれば良いが、一般的には、回転炉内を
流れる気流の流速が間隙3に於いて1〜200cm/
secとなるように選択することが好ましい。 また、上記の回転炉に於いて、得られる窒化物
粉末の嵩比重を良好とするために、第4図に示す
ように回転炉のシエル内壁に、回転炉の回転方向
にほぼ垂直な突状5を設けることが好ましい。突
状5は、回転炉内の混合粉末を回転方向にかき上
げる機能を有する。突状の設置態様形状、大きさ
及び数等は特に制限されない。例えば、第4図に
示すようにシエルの内周を4等分するような高さ
数cmの突状5が、シエルの一端から他端まで連続
して設けられていても良い。また、シエルの一端
から他端の間で部分的に切断されていても良い。 さらに、シエル内壁への窒化物粉末の付着を防
止するために、シエルをハンマリング等の公知の
方法で振動させることは、本発明に於いて好適に
採用される。 (効果) 本発明の方法によれば、酸化物還元法による窒
化物粉末の製造に於いて酸化処理に回転炉を用い
ることによつて、回転炉内に窒化物粉末が付着す
ることなく、嵩比重の良好な窒化物粉末を得るこ
とができる。しかも、得られる窒化物粉末は、顆
粒状となるために取扱いが良好である。また、本
発明の方法によれば、従来の静置による酸化方法
に比べて酸化に要する時間を1/2以下に短縮する
ことができる。さらに、その際に遮断板を有する
回転炉を使用した場合には、回転炉内の気流によ
る炭素の拡散が防止され、炭素残存量の極めて低
い窒化物を得ることができる。 (実施例) 以下に本発明を実施例によりさらに具体的に説
明するが、本発明はこれらの実施例に限定される
ものではない。 なお、本発明における粉末嵩比重測定は、ホソ
カワミクロン(株)製パウダー・テスターによつた。
測定数は、10個とし、その算術平均値にて示し
た。また、残存炭素量の分析は、(株)堀場製作所製
EMIA−110カーボン・アナライザーにて行つた。 実施例 1 第1図に示すように回転炉内に、遮断板4枚を
取付け、さらに第4図に示すように突状4枚を取
付けた後、均熱帯での滞留時間が、3時間となる
ように回転数を0.5回転/分とした。 炉内温度680℃に均一に加熱し、回転炉内の一
端より乾燥空気52Nl/min、他端より窒化アルミ
ニウムθと炭素の1:0.2(重量比)の混合粉末を
470g/Hrの供給速度にて供給し、連続酸化処理
を実施した。得られた窒化アルミニウムは、直径
0.5〜20mmの殆んど球状に近い顆粒で、嵩比重
0.43g/c.c.、残存炭素量170ppmであつた。 実施例 2 実施例1と同一条件にて、窒化ホウ素と炭素の
1:0.2(重量比)の混合粉末を連続的に回転炉内
に供給し、連続酸化処理を実施した。 得られた窒化ホウ素の性質を第1表に示した。 実施例 3 回転炉内の遮断板及び、突状を取り外したほか
は実施例1と同様に行なつた。 得られた窒化アルミニウムの性質を第1表に示
した。 実施例 4 回転炉内の遮断板及び突状を取り外し、その代
りに均熱帯内部に固定反応容器を設置し、バツチ
式回転炉とした。 固定反応容器内へ窒化アルミニウムと炭素1:
0.2(重量比)の混合粉末1400gを仕込み、回転炉
の勾配を水平に設定した他は全て実施例1と同一
条件にて回転させながらバツチ式で酸化処理を行
つた。 得られた窒化アルミニウムの性質を第1表に示
した。 比較例 1 回転炉の回転を止めた他は、実施例4と同一条
件にて、バツチ酸化処理を行つた。 得られた窒化アルミニウムの性質を、第1表に
示した。 【表】
第1図は、本発明の回転炉を長手方向に平行な
平面で切断した断面図である。第2図、第3図及
び第4図は、本発明の回転炉を長手方向に垂直な
平面で切断した断面の斜視図である。 図中、1はシエル、2は遮断板、3は間隙、4
は軸、5は突状、6は原料ホツパー、7は混合粉
末供給機、8は窒化物回収容器、9はガス供給
口、10は排ガスダクト、11はヒーターを夫々
示す。
平面で切断した断面図である。第2図、第3図及
び第4図は、本発明の回転炉を長手方向に垂直な
平面で切断した断面の斜視図である。 図中、1はシエル、2は遮断板、3は間隙、4
は軸、5は突状、6は原料ホツパー、7は混合粉
末供給機、8は窒化物回収容器、9はガス供給
口、10は排ガスダクト、11はヒーターを夫々
示す。
Claims (1)
- 1 金属又は半金属の酸化物の還元法により得ら
れた該金属又は半金属の窒化物粉末と炭素との混
合粉末を回転炉中で酸化することによつて炭素を
除去することを特徴とする金属又は半金属の窒化
物粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5256988A JPH01226705A (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 | 窒化物粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5256988A JPH01226705A (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 | 窒化物粉末の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01226705A JPH01226705A (ja) | 1989-09-11 |
| JPH0563404B2 true JPH0563404B2 (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=12918437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5256988A Granted JPH01226705A (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 | 窒化物粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01226705A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101664296B1 (ko) * | 2015-09-16 | 2016-10-10 | 주식회사 유라코퍼레이션 | 감전 방지 수단을 갖는 고전압 커넥터 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5934010B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-06-15 | 株式会社トクヤマ | 金属窒化物粉末の製造方法 |
| JP7785504B2 (ja) * | 2021-10-28 | 2025-12-15 | デンカ株式会社 | 粉末、及びその製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS512164Y2 (ja) * | 1971-05-04 | 1976-01-22 | ||
| JPS4838006U (ja) * | 1971-09-09 | 1973-05-10 |
-
1988
- 1988-03-08 JP JP5256988A patent/JPH01226705A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101664296B1 (ko) * | 2015-09-16 | 2016-10-10 | 주식회사 유라코퍼레이션 | 감전 방지 수단을 갖는 고전압 커넥터 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01226705A (ja) | 1989-09-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5190737A (en) | High yield manufacturing process for silicon carbide | |
| EP1308526B1 (en) | Process for the production of molybdenum metal | |
| JPH01226705A (ja) | 窒化物粉末の製造方法 | |
| AU765840B2 (en) | Highly white zinc oxide fine particles and method for preparation thereof | |
| AU632795B2 (en) | Process for preparation of silicon carbide | |
| EP1684930A1 (en) | Method for producing molybdenum metal and molybdenum metal | |
| US4547220A (en) | Reduction of MoO3 and ammonium molybdates by ammonia in a rotary furnace | |
| EP0508011A1 (en) | A method and apparatus to continuously manufacture red lead | |
| EP0628514B1 (en) | Preparation of high alpha-type silicon nitride powder | |
| US3969477A (en) | Method of defluorinating uranium compositions in a calciner | |
| JP7813162B2 (ja) | 炭化タングステンの製造方法 | |
| Jiang et al. | Preparation of titanium diboride from titanium alkoxides and boron powder | |
| JP2003146639A (ja) | 炭化モリブデンの製造装置および製造方法 | |
| US3211527A (en) | Process for producing ultrafine silicon nitride | |
| KR970005185B1 (ko) | 알루미나의 카보니트라이드화에 의한 알루미늄 니트라이드의 연속 제조방법 | |
| EP0634359B1 (en) | Preparation of high alpha-type silicon nitride powder | |
| JPH057237Y2 (ja) | ||
| JP3912580B2 (ja) | 炭窒化チタンの製造方法 | |
| JP2004123487A (ja) | 酸化ニッケル粉末の製造方法 | |
| JP5934010B2 (ja) | 金属窒化物粉末の製造方法 | |
| JP3340772B2 (ja) | 低次酸化チタンの製造方法 | |
| Yamada et al. | Commercial Production of High Purity Silicon Nitride Powder | |
| JPH04209705A (ja) | 窒化珪素質粉末の製造方法 | |
| JPH0925112A (ja) | 金属ケイ素の処理方法及び装置 | |
| SU1549578A1 (ru) | Устройство дл получени ультрадисперсных порошков |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |