JPH0565802B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0565802B2 JPH0565802B2 JP59052179A JP5217984A JPH0565802B2 JP H0565802 B2 JPH0565802 B2 JP H0565802B2 JP 59052179 A JP59052179 A JP 59052179A JP 5217984 A JP5217984 A JP 5217984A JP H0565802 B2 JPH0565802 B2 JP H0565802B2
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- JP
- Japan
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- resistor
- insulator
- conductive film
- spiral groove
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Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、空気通路内の質量流量を一度温度に
加熱した抵抗体によつて検出する空気流量計にお
いて特に自動車のエンジンに供給される空気流量
を計測する空気流量計に利用される。
加熱した抵抗体によつて検出する空気流量計にお
いて特に自動車のエンジンに供給される空気流量
を計測する空気流量計に利用される。
第１図は、特開昭58−55762などに示されてい
る抵抗体の構造を示したものである。外径0.5mm
長さ２mmのアルミナ製絶縁管２の外周にはスパツ
タリングにより白金の導電膜３が蒸着されてい
る。さらに絶縁管２には外径0.15mmの白金製リー
ド線Ａ５とリード線Ｂ６が互いに接触しないよう
に挿入され導電接着剤９によつて固定されてい
る。この状態で抵抗体１の初期抵抗値20（Ω）を
得るために前記導電膜３の一端からレーザ光線に
より螺旋状の溝４を形成している。こ螺旋状の溝
４の形成は従来絶縁管２の一端よりl1＝0.5mm離れ
た点を溝の始点７としリード線Ａ５とリード線Ｂ
６間の抵抗値を測定しながら、レーザ光線のビー
ムを移動し、さらに抵抗体１を回転して形成して
いた。しかし第２図の抵抗体１の断面図で示すよ
うにスパツクリングで形成した導電膜３の膜厚t1
とt2に約30％のバラツキがあるため、前記螺旋状
の溝４の溝の終点８の位置l2のバラツキが大き
く、第４図のように抵抗体１の温度分布を測定し
た場合、抵抗体１の一部分に加熱部分が集中した
Ａのような温度分布を示していた。この抵抗体を
第５図のように流量計測に使用した場合、流量Ｑ
に対する抵抗変化がばらつき、精度良く流量計測
ができない欠点があつた。
る抵抗体の構造を示したものである。外径0.5mm
長さ２mmのアルミナ製絶縁管２の外周にはスパツ
タリングにより白金の導電膜３が蒸着されてい
る。さらに絶縁管２には外径0.15mmの白金製リー
ド線Ａ５とリード線Ｂ６が互いに接触しないよう
に挿入され導電接着剤９によつて固定されてい
る。この状態で抵抗体１の初期抵抗値20（Ω）を
得るために前記導電膜３の一端からレーザ光線に
より螺旋状の溝４を形成している。こ螺旋状の溝
４の形成は従来絶縁管２の一端よりl1＝0.5mm離れ
た点を溝の始点７としリード線Ａ５とリード線Ｂ
６間の抵抗値を測定しながら、レーザ光線のビー
ムを移動し、さらに抵抗体１を回転して形成して
いた。しかし第２図の抵抗体１の断面図で示すよ
うにスパツクリングで形成した導電膜３の膜厚t1
とt2に約30％のバラツキがあるため、前記螺旋状
の溝４の溝の終点８の位置l2のバラツキが大き
く、第４図のように抵抗体１の温度分布を測定し
た場合、抵抗体１の一部分に加熱部分が集中した
Ａのような温度分布を示していた。この抵抗体を
第５図のように流量計測に使用した場合、流量Ｑ
に対する抵抗変化がばらつき、精度良く流量計測
ができない欠点があつた。
本発明の目的は前記した従来技術の欠点をなく
し、温度分布の均一な抵抗体を有するホツトフイ
ルム式空気流量計を提供することにある。
し、温度分布の均一な抵抗体を有するホツトフイ
ルム式空気流量計を提供することにある。
本発明は温度分布の均一な抵抗体を得るために
抵抗体の抵抗値を調整する螺旋状の溝を絶縁管の
両端を始点として形成したことにある。
抵抗体の抵抗値を調整する螺旋状の溝を絶縁管の
両端を始点として形成したことにある。
以下本発明の実施例を詳細に説明する。第３図
は本発明の一実施例を示したものである。前記し
たように絶縁管２（φ0.4×２）の表面に導電膜３
が形成されており、さらに絶縁管２には両端にリ
ード線Ａ５、リード線Ｂ６が導電接着剤９によつ
て接続されている。抵抗体１の抵抗値調整は最終
抵抗値20（Ω）の半分10（Ω）を、絶縁管２の一端
よりl1＝0.5mm溝の始点７からレーザ光線により溝
の終点８まで溝４を形成して行い、さらに残りの
10（Ω）を絶縁管２の他端よりl2＝0.5mm溝の始点
７からレーザ光線により溝の終点８まで溝４を形
成して行つている。以上の実施例により絶縁管２
の端面からの溝４の始点の位置をl1＝l2＝0.5mmと
設定することができるので抵抗体１の温度分布を
第４図のＢ特性にすることができる効果がある。
他の応用例としてリード線Ａ５、リード線Ｂ６か
らの熱伝導による熱損失の影響を少くするために
絶縁管２の両端付近の螺旋状の溝４の間隔を狭く
して温度分布をさらに改善することが可能であ
る。
は本発明の一実施例を示したものである。前記し
たように絶縁管２（φ0.4×２）の表面に導電膜３
が形成されており、さらに絶縁管２には両端にリ
ード線Ａ５、リード線Ｂ６が導電接着剤９によつ
て接続されている。抵抗体１の抵抗値調整は最終
抵抗値20（Ω）の半分10（Ω）を、絶縁管２の一端
よりl1＝0.5mm溝の始点７からレーザ光線により溝
の終点８まで溝４を形成して行い、さらに残りの
10（Ω）を絶縁管２の他端よりl2＝0.5mm溝の始点
７からレーザ光線により溝の終点８まで溝４を形
成して行つている。以上の実施例により絶縁管２
の端面からの溝４の始点の位置をl1＝l2＝0.5mmと
設定することができるので抵抗体１の温度分布を
第４図のＢ特性にすることができる効果がある。
他の応用例としてリード線Ａ５、リード線Ｂ６か
らの熱伝導による熱損失の影響を少くするために
絶縁管２の両端付近の螺旋状の溝４の間隔を狭く
して温度分布をさらに改善することが可能であ
る。
本発明により温度分布の均一な抵抗体を有する
ホツトフイルム式空気流量計を提供できる効果が
ある。
ホツトフイルム式空気流量計を提供できる効果が
ある。
第１図は従来型のホツトフイルム式空気流量計
の抵抗体の構造図、第２図は断面図、第３図は本
発明による実施例を示す抵抗体の構造図、第４図
は抵抗体の温度分布特性図、第５図はホツトフイ
ルム式空気流量計の流量計測図を示す。 １……抵抗体、２……絶縁管、３……導電膜、
４……溝、５……リード線Ａ、６……リード線
Ｂ、７……溝の始点、８……溝の終点、９……導
電接着剤。
の抵抗体の構造図、第２図は断面図、第３図は本
発明による実施例を示す抵抗体の構造図、第４図
は抵抗体の温度分布特性図、第５図はホツトフイ
ルム式空気流量計の流量計測図を示す。 １……抵抗体、２……絶縁管、３……導電膜、
４……溝、５……リード線Ａ、６……リード線
Ｂ、７……溝の始点、８……溝の終点、９……導
電接着剤。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 絶縁体の表面に導電膜を形成し、該導電膜に
螺旋状の溝を設けて抵抗体とし、この抵抗体に電
流を供給して加熱し、この電流の変化から流体の
流量を検出するホツトフイルム式空気流量計にお
いて、前記螺旋状の溝を前記導電膜の両端近傍を
始点とする２本の溝で、形成したことを特徴とす
るホツトフイルム式空気流量計。 ２ 特許請求の範囲第１項において前記螺旋状の
２本の溝を、前記絶縁体の両端位置を始点として
形成したことを特徴とするホツトフイルム式空気
流量計。 ３ 特許請求の範囲第１項において、前記螺旋状
の溝の始点の位置を、き絶縁体の端面位置と同一
の位置にしたことを特徴とするホツトフイルム式
空気流量計。 ４ 特許請求の範囲第１項及び３項において、前
記螺旋状の溝の始点の位置を前記絶縁体の両端位
置から前記絶縁体の長さの1/4以内に設けたこと
を特徴とするホツトフイルム式空気流量計。 ５ 特許請求の範囲第１乃至第４項において、前
記絶縁体に形成した前記螺旋状の溝の間隔を長手
方向に粗、密に形成したことを特徴とするホツト
フイルム式空気流量計。 ６ 絶縁体の表面に導電膜を形成し、該導電膜に
螺旋状の溝を設けて抵抗体とし、この抵抗体に電
流を供給して加熱し、この電流の変化から流体の
流量を検出するホツトフイルム式空気流量計にお
いて、前記絶縁体の加熱温度分布が、前記絶縁体
の中央部で平坦な分布となるようにしたことを特
徴とするホツトフイルム式空気流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59052179A JPS60196625A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | ホツトフイルム式空気流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59052179A JPS60196625A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | ホツトフイルム式空気流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60196625A JPS60196625A (ja) | 1985-10-05 |
| JPH0565802B2 true JPH0565802B2 (ja) | 1993-09-20 |
Family
ID=12907579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59052179A Granted JPS60196625A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | ホツトフイルム式空気流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60196625A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3803276A1 (de) * | 1988-02-04 | 1989-08-17 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zur saugrohrdruckerfassung bei einer brennkraftmaschine |
-
1984
- 1984-03-21 JP JP59052179A patent/JPS60196625A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60196625A (ja) | 1985-10-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |