JPH0567638A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH0567638A JPH0567638A JP3255831A JP25583191A JPH0567638A JP H0567638 A JPH0567638 A JP H0567638A JP 3255831 A JP3255831 A JP 3255831A JP 25583191 A JP25583191 A JP 25583191A JP H0567638 A JPH0567638 A JP H0567638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- insulating layer
- semiconductor device
- radial
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/30—Die-attach connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/013—Manufacture or treatment of die-attach connectors
- H10W72/01308—Manufacture or treatment of die-attach connectors using permanent auxiliary members, e.g. using alignment marks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/90—Bond pads, in general
- H10W72/931—Shapes of bond pads
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置用回路基板を用いて半導体装置を
製造するに際し、半導体チップや端子等の部材を電極上
に精度よく半田付けできるようにする。 【構成】 半導体装置用回路基板の電極３の上面中央部
に放射状４の絶縁層を形成し、さらに複数の凸部６を有
する絶縁層５を電極３上面の外周を囲むように形成し
て、放射状４の絶縁層を含む露出した電極３上への半導
体チップや端子等の部材７の適正な位置決めと精度よい
半田付けを可能とした。
製造するに際し、半導体チップや端子等の部材を電極上
に精度よく半田付けできるようにする。 【構成】 半導体装置用回路基板の電極３の上面中央部
に放射状４の絶縁層を形成し、さらに複数の凸部６を有
する絶縁層５を電極３上面の外周を囲むように形成し
て、放射状４の絶縁層を含む露出した電極３上への半導
体チップや端子等の部材７の適正な位置決めと精度よい
半田付けを可能とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は半導体装置用回路基板
に対する半導体チップあるいは端子部材の取り付けを改
良した半導体装置に関するものである。
に対する半導体チップあるいは端子部材の取り付けを改
良した半導体装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置用回路基板としては、
金属基板１１上に絶縁層１２、電極１３を順次設け、こ
の電極１３の周囲に絶縁層１４を形成し、中央部の露出
した電極１３上に半導体チップあるいは端子部材（以
下、部材という）１５を半田付け１６した図３に断面図
として示す構造のものがある。このような回路基板にお
いて、電極１３上の絶縁層１４は図４に示すように、電
極１３の上面中央部に半田付け等によって取り付ける部
材１５の位置決めのために電極１３の周囲に用いられる
もので、電極１３上の部材１５取り付け位置をマスキン
グしたのち、該電極１３上にエポキシ樹脂のような絶縁
材を塗布して形成するか、電極１３上の全面に絶縁層を
形成したのち、部材１５の取り付け位置の絶縁層１４の
みをエッチング等にて除去して電極１３面を露出させ、
この露出した電極１３上面に部材１５が半田付けされて
いる。
金属基板１１上に絶縁層１２、電極１３を順次設け、こ
の電極１３の周囲に絶縁層１４を形成し、中央部の露出
した電極１３上に半導体チップあるいは端子部材（以
下、部材という）１５を半田付け１６した図３に断面図
として示す構造のものがある。このような回路基板にお
いて、電極１３上の絶縁層１４は図４に示すように、電
極１３の上面中央部に半田付け等によって取り付ける部
材１５の位置決めのために電極１３の周囲に用いられる
もので、電極１３上の部材１５取り付け位置をマスキン
グしたのち、該電極１３上にエポキシ樹脂のような絶縁
材を塗布して形成するか、電極１３上の全面に絶縁層を
形成したのち、部材１５の取り付け位置の絶縁層１４の
みをエッチング等にて除去して電極１３面を露出させ、
この露出した電極１３上面に部材１５が半田付けされて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような電極１３の上面に部材１５が半田付けされる構
成では、半田付け中に半田内に含有されているフラック
スがガスを発生し、半田付け後このガスが半田内に残存
したりすると、半田層に空洞が生じ、部材と電極との接
触抵抗および熱抵抗値が増加するという問題がある。ま
た、上記した従来の絶縁層１４による部材の位置決めに
おいては、電極１３上への部材の半田付け時に半田の表
面張力によって部材が傾いたりしてその取り付け位置が
所定の位置よりずれるという問題があった。
たような電極１３の上面に部材１５が半田付けされる構
成では、半田付け中に半田内に含有されているフラック
スがガスを発生し、半田付け後このガスが半田内に残存
したりすると、半田層に空洞が生じ、部材と電極との接
触抵抗および熱抵抗値が増加するという問題がある。ま
た、上記した従来の絶縁層１４による部材の位置決めに
おいては、電極１３上への部材の半田付け時に半田の表
面張力によって部材が傾いたりしてその取り付け位置が
所定の位置よりずれるという問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、半導体装置
用回路基板の電極上面所定位置への半導体チップ等の取
り付け時における上記した従来の問題点を解消すべく検
討の結果、得られたものである。
用回路基板の電極上面所定位置への半導体チップ等の取
り付け時における上記した従来の問題点を解消すべく検
討の結果、得られたものである。
【０００５】即ち、この発明は金属基板上に絶縁層と電
極を有してなる半導体装置用回路基板の電極上面への半
導体チップあるいは端子部材の取り付けに際し、前記電
極の上面中央部に放射状の絶縁層と、さらに上面外周に
複数の凸部を有する絶縁層を設けた半導体装置を提供す
るものである。
極を有してなる半導体装置用回路基板の電極上面への半
導体チップあるいは端子部材の取り付けに際し、前記電
極の上面中央部に放射状の絶縁層と、さらに上面外周に
複数の凸部を有する絶縁層を設けた半導体装置を提供す
るものである。
【０００６】
【作用】この発明は、半導体装置用回路基板の電極の上
面中央部に放射状の絶縁層を設けることによって、部材
の電極上への半田付け時に発生するガスをこの放射状の
絶縁層を通して除去することができ、これにより電極と
部材を精度よく半田付けすることができる。また、さら
に電極の上面外周に複数の凸部を有する絶縁層を設ける
ことによって、部材の電極上への適正な位置決めを行う
ことができるのである。
面中央部に放射状の絶縁層を設けることによって、部材
の電極上への半田付け時に発生するガスをこの放射状の
絶縁層を通して除去することができ、これにより電極と
部材を精度よく半田付けすることができる。また、さら
に電極の上面外周に複数の凸部を有する絶縁層を設ける
ことによって、部材の電極上への適正な位置決めを行う
ことができるのである。
【０００７】この発明において、金属基板としてはAl、
CuあるいはFeなどの素材が用いられ、また絶縁層を形成
する絶縁材料としては、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂
などの耐熱性樹脂が用いられる。
CuあるいはFeなどの素材が用いられ、また絶縁層を形成
する絶縁材料としては、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂
などの耐熱性樹脂が用いられる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明をその一実施例を示す図によ
り詳細に説明する。図１は、この発明の半導体装置の断
面図であり、図２はその部分拡大平面図である。図にお
いて、１は上面に絶縁層２および電極３を設けた金属基
板である。４は電極３の上面中央部に放射状に設けた絶
縁層であり、５は電極３の上面外周に設けた内側に複数
の凸部６を有する絶縁層である。放射状の絶縁層４は電
極３の上面中央部を該放射状の形状となるようにマスク
して、その上からエポキシ樹脂等の絶縁材料を塗布し、
硬化させることにより得られる。
り詳細に説明する。図１は、この発明の半導体装置の断
面図であり、図２はその部分拡大平面図である。図にお
いて、１は上面に絶縁層２および電極３を設けた金属基
板である。４は電極３の上面中央部に放射状に設けた絶
縁層であり、５は電極３の上面外周に設けた内側に複数
の凸部６を有する絶縁層である。放射状の絶縁層４は電
極３の上面中央部を該放射状の形状となるようにマスク
して、その上からエポキシ樹脂等の絶縁材料を塗布し、
硬化させることにより得られる。
【０００９】次いで、複数の凸部６を有する絶縁層５
は、放射状絶縁層４を含む電極３上に該形状を得るよう
にマスクしてエポキシ樹脂を塗布することにより、電極
３の上面中央部は放射状の絶縁層を除いて電極３を露出
させ、同時に電極３の外周を囲むようにして得ることが
できる。その後、放射状絶縁層４を含めて露出した電極
３上に部材７を半田付け８することによりこの発明の半
導体装置が得られる。
は、放射状絶縁層４を含む電極３上に該形状を得るよう
にマスクしてエポキシ樹脂を塗布することにより、電極
３の上面中央部は放射状の絶縁層を除いて電極３を露出
させ、同時に電極３の外周を囲むようにして得ることが
できる。その後、放射状絶縁層４を含めて露出した電極
３上に部材７を半田付け８することによりこの発明の半
導体装置が得られる。
【００１０】なお、放射状の絶縁層４と複数の凸部６を
有する絶縁層５は、その厚みを異にし、前者はその上に
部材７を半田付けする際に、部材のズレをなくして精度
よく取り付けるためにも出来るだけ薄いことが好まし
い。また、後者、即ち複数の凸部６を有する絶縁層５
は、電極３の外周を囲むようにして電極３上への部材７
の適正な位置決めを行うものであるから、かなり厚く形
成することが必要である。
有する絶縁層５は、その厚みを異にし、前者はその上に
部材７を半田付けする際に、部材のズレをなくして精度
よく取り付けるためにも出来るだけ薄いことが好まし
い。また、後者、即ち複数の凸部６を有する絶縁層５
は、電極３の外周を囲むようにして電極３上への部材７
の適正な位置決めを行うものであるから、かなり厚く形
成することが必要である。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明は半導体
装置用回路基板の電極の上面中央部に放射状の絶縁層を
形成し、さらに複数の凸部を有する絶縁層を電極上面の
外周を囲むように形成したことにより、放射状絶縁層を
含む露出した電極上面に部材を半田付けにて取り付ける
際に、溶融した半田から発生するガスをこの放射状絶縁
層間を通して排除することが可能となり、電極と部材を
精度よく半田付けすることができるとともに、電極３上
面外周を囲むように形成した複数の凸部を有する絶縁層
によって、電極上への部材の適正な位置決めが行えるの
であり、従って品質の高い半導体装置を得ることができ
るのである。
装置用回路基板の電極の上面中央部に放射状の絶縁層を
形成し、さらに複数の凸部を有する絶縁層を電極上面の
外周を囲むように形成したことにより、放射状絶縁層を
含む露出した電極上面に部材を半田付けにて取り付ける
際に、溶融した半田から発生するガスをこの放射状絶縁
層間を通して排除することが可能となり、電極と部材を
精度よく半田付けすることができるとともに、電極３上
面外周を囲むように形成した複数の凸部を有する絶縁層
によって、電極上への部材の適正な位置決めが行えるの
であり、従って品質の高い半導体装置を得ることができ
るのである。
【図１】この発明の半導体装置の断面図である。
【図２】この発明の一実施例を示す半導体装置の部分拡
大平面図である。
大平面図である。
【図３】従来の半導体装置の断面図である。
【図４】従来の半導体装置における絶縁層の斜視図であ
る。
る。
１ 金属基板 ２ 絶縁層 ３ 電極 ４ 放射状絶縁層 ５ 絶縁層 ６ 絶縁層の凸部 ７ 部材 ８ 半田
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 徳田 俊秀 大阪府大阪市東淀川区淡路２丁目14番３号 株式会社三社電機製作所内
Claims (1)
- 【請求項１】 金属基板上に絶縁層と電極を有してなる
半導体装置用回路基板の電極上面への半導体チップある
いは端子部材の取り付けに際し、前記電極の上面中央部
に放射状の絶縁層と、さらに上面外周に複数の凸部を有
する絶縁層を設けたことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3255831A JPH07118488B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3255831A JPH07118488B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0567638A true JPH0567638A (ja) | 1993-03-19 |
| JPH07118488B2 JPH07118488B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=17284214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3255831A Expired - Fee Related JPH07118488B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07118488B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6916432B2 (en) | 2000-12-28 | 2005-07-12 | Kao Corporation | Hair bleach composition and hair dye composition |
-
1991
- 1991-09-06 JP JP3255831A patent/JPH07118488B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6916432B2 (en) | 2000-12-28 | 2005-07-12 | Kao Corporation | Hair bleach composition and hair dye composition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07118488B2 (ja) | 1995-12-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960604 |
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