JPH0568546B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0568546B2 JPH0568546B2 JP60151223A JP15122385A JPH0568546B2 JP H0568546 B2 JPH0568546 B2 JP H0568546B2 JP 60151223 A JP60151223 A JP 60151223A JP 15122385 A JP15122385 A JP 15122385A JP H0568546 B2 JPH0568546 B2 JP H0568546B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- deposition chamber
- metal band
- evaporation
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
本発明は主として連続的に鋼帯などの金属帯の
片面に亜鉛などの真空蒸着用金属を真空蒸着させ
る際に、真空蒸着用金属が金属帯の裏面に蒸着さ
れる現象が発生することを防止することのできる
片面連続真空蒸着方法に関するものである。
片面に亜鉛などの真空蒸着用金属を真空蒸着させ
る際に、真空蒸着用金属が金属帯の裏面に蒸着さ
れる現象が発生することを防止することのできる
片面連続真空蒸着方法に関するものである。
従来より真空蒸着は被蒸着用の基材の片面に簡
単且つ均一に所望の厚さに真空蒸着用金属を蒸着
できるため、小さな物品には広く応用されてい
た。しかしながら、鋼帯に亜鉛を連続的に真空蒸
着させて大量の亜鉛蒸着鋼帯を製造するというよ
うな大掛りな連続真空蒸着装置は技術的に種々の
問題があつて殆んど開発されていない。
単且つ均一に所望の厚さに真空蒸着用金属を蒸着
できるため、小さな物品には広く応用されてい
た。しかしながら、鋼帯に亜鉛を連続的に真空蒸
着させて大量の亜鉛蒸着鋼帯を製造するというよ
うな大掛りな連続真空蒸着装置は技術的に種々の
問題があつて殆んど開発されていない。
このような現状において、本出願人等は工業的
に大量の真空蒸着亜鉛鋼帯を製造すべく大規模な
テストプラントを製作して連続真空蒸着を行つて
きた。 この連続真空蒸着装置は、前処理炉により表面
を清浄化された金属帯を大気圧から蒸着室までの
圧力勾配を作る真空シール装置を経て蒸着室内へ
導き、該蒸着室内に設置されている巻付けロール
に金属帯を巻き付けてその移動方向を変向せしめ
る過程で該蒸着室内に設置されている蒸発槽から
蒸発した蒸発金属を金属帯の表面にのみ蒸着せし
める片面連続真空蒸着装置であるが、このような
片面連続真空蒸着装置においては真空蒸着される
金属帯は予め前処理炉により表面を清浄化させる
必要があり、この前処理炉としては還元性ガス雰
囲気中で加熱処理する方法を採用するため金属帯
に大きな張力を付与せしめておくと破断してしま
うためその張力は小さな状態で前処理を行う必要
があり、また大きな張力を付与する必要もなかつ
たのである。 しかしながら、このような前処理炉により表面
を清浄化された金属帯を大気圧から蒸着室までの
圧力勾配を作る真空シール装置を経て蒸着室内へ
導き、該蒸着室内に設置されている巻付けロール
に金属帯を巻き付けてその移動方向を変向せしめ
る過程で該蒸着室内に設置されている蒸発槽から
蒸発した蒸発金属を金属帯の片面すなわち表面の
みに蒸着せしめるに際し、蒸着室内に設置されて
いる巻付けロールに金属帯を巻き付けてその移動
方向を変向せしめる過程で該蒸着室内に設置され
ている蒸発槽から蒸発した蒸発金属を金属帯の表
面に蒸着せしめると、金属帯の両端部が巻付けロ
ールに密着した状態に巻き付かない現象が生じて
金属帯と巻付けロールとの間に蒸発金属が侵入し
て金属帯の裏面にまで蒸着が行われてしまい、片
面連続真空蒸着を行う目的が達成できないという
問題点が生じた。
に大量の真空蒸着亜鉛鋼帯を製造すべく大規模な
テストプラントを製作して連続真空蒸着を行つて
きた。 この連続真空蒸着装置は、前処理炉により表面
を清浄化された金属帯を大気圧から蒸着室までの
圧力勾配を作る真空シール装置を経て蒸着室内へ
導き、該蒸着室内に設置されている巻付けロール
に金属帯を巻き付けてその移動方向を変向せしめ
る過程で該蒸着室内に設置されている蒸発槽から
蒸発した蒸発金属を金属帯の表面にのみ蒸着せし
める片面連続真空蒸着装置であるが、このような
片面連続真空蒸着装置においては真空蒸着される
金属帯は予め前処理炉により表面を清浄化させる
必要があり、この前処理炉としては還元性ガス雰
囲気中で加熱処理する方法を採用するため金属帯
に大きな張力を付与せしめておくと破断してしま
うためその張力は小さな状態で前処理を行う必要
があり、また大きな張力を付与する必要もなかつ
たのである。 しかしながら、このような前処理炉により表面
を清浄化された金属帯を大気圧から蒸着室までの
圧力勾配を作る真空シール装置を経て蒸着室内へ
導き、該蒸着室内に設置されている巻付けロール
に金属帯を巻き付けてその移動方向を変向せしめ
る過程で該蒸着室内に設置されている蒸発槽から
蒸発した蒸発金属を金属帯の片面すなわち表面の
みに蒸着せしめるに際し、蒸着室内に設置されて
いる巻付けロールに金属帯を巻き付けてその移動
方向を変向せしめる過程で該蒸着室内に設置され
ている蒸発槽から蒸発した蒸発金属を金属帯の表
面に蒸着せしめると、金属帯の両端部が巻付けロ
ールに密着した状態に巻き付かない現象が生じて
金属帯と巻付けロールとの間に蒸発金属が侵入し
て金属帯の裏面にまで蒸着が行われてしまい、片
面連続真空蒸着を行う目的が達成できないという
問題点が生じた。
本発明者等は上記したような問題点を除去すべ
く鋭意研究の結果、金属帯の裏面に蒸発金属が蒸
着されるのは蒸着室内を移動する金属帯の張力が
小さいために金属帯が巻付けロールに密接した状
態で移動しないからであつて、前処理炉の出側に
ブライドルロールを設置して蒸着室内を移動する
金属帯が巻付けロールに密接させた状態に巻き付
いて移動するように前処理炉中を移動する金属帯
の張力よりも蒸着室内を移動する金属帯の張力を
大きくしてやればよいことを究明して本発明を完
成したのである。 すなわち、本発明は前処理炉により表面を清浄
化された金属帯を大気圧から蒸着室までの圧力勾
配を作る真空シール装置を経て蒸着室内へ導き、
該蒸着室内に設置されている巻付けロールに金属
帯を巻き付けてその移動方向を変向せしめる過程
で該蒸着室内に設置されている蒸発槽から蒸発し
た蒸発金属を金属帯の表面に蒸着せしめるに際
し、前記前処理炉の出側にブライドルロールを設
置して該蒸着室内を移動する金属帯の張力を前記
前処理炉中を移動する金属帯の張力より高めて金
属帯の両縁部を前記巻付けロールに密接させた状
態に巻き付けて移動させることを特徴とする片面
連続真空蒸着方法に関するものである。
く鋭意研究の結果、金属帯の裏面に蒸発金属が蒸
着されるのは蒸着室内を移動する金属帯の張力が
小さいために金属帯が巻付けロールに密接した状
態で移動しないからであつて、前処理炉の出側に
ブライドルロールを設置して蒸着室内を移動する
金属帯が巻付けロールに密接させた状態に巻き付
いて移動するように前処理炉中を移動する金属帯
の張力よりも蒸着室内を移動する金属帯の張力を
大きくしてやればよいことを究明して本発明を完
成したのである。 すなわち、本発明は前処理炉により表面を清浄
化された金属帯を大気圧から蒸着室までの圧力勾
配を作る真空シール装置を経て蒸着室内へ導き、
該蒸着室内に設置されている巻付けロールに金属
帯を巻き付けてその移動方向を変向せしめる過程
で該蒸着室内に設置されている蒸発槽から蒸発し
た蒸発金属を金属帯の表面に蒸着せしめるに際
し、前記前処理炉の出側にブライドルロールを設
置して該蒸着室内を移動する金属帯の張力を前記
前処理炉中を移動する金属帯の張力より高めて金
属帯の両縁部を前記巻付けロールに密接させた状
態に巻き付けて移動させることを特徴とする片面
連続真空蒸着方法に関するものである。
以下、図面により本発明に係る片面連続真空蒸
着方法について詳細に説明する。 図は本発明方法を実施するための本装置により
真空蒸着を行つている状態を示す概略説明図であ
る。 図中、１は真空蒸着される金属帯２の表面を清
浄化させるために、燃料空気比率を不完全燃焼域
にて燃焼させた高温燃焼ガスによつて金属帯２の
表面に付着している圧延油や防錆油を蒸発又は化
学反応により除去した後に弱酸化した金属帯２を
水素等の還元性ガス雰囲気中で還元させると同時
に金属帯２の軟化を行う焼鈍を目的とした前処理
炉である。３は前処理炉１により表面を清浄化さ
れた金属帯２を大気圧から次に説明する蒸着室ま
での圧力勾配を作る真空シール装置、４は真空シ
ール装置３を経て移動せしめられてきた金属帯２
の片面である表面にのみ蒸発金属を真空蒸着せし
めるための蒸着室であり通常真空蒸着用金属の飽
和蒸気圧力より低い圧力（例えば10Torr程度）
の不活性ガス雰囲気下にある。５は蒸着室４内に
設置されている蒸発槽であり、大気圧下にある真
空蒸着用金属の溶解炉７によつて溶解された真空
蒸着用溶融金属８が吸上管９を介して蒸着室４の
圧力と大気圧との差によつてこの蒸発槽５内へ供
給されるようになつている。６は蒸着室４内に設
置されている巻付けロールであり、金属帯２がそ
の周囲に巻き付けられてその移動方向を変向せし
められる過程で蒸着室４内に設置されている蒸発
槽５から蒸発した蒸発金属が金属帯２の表面に蒸
着せしめられるのである。１０は金属帯２の両縁
部が巻付けロール６の周囲に密接した状態に巻き
付いてその移動方向を変向せしめられるように蒸
着室４内を移動する金属帯２の張力を前処理炉１
中を移動する金属帯２の張力より高めるために処
理炉１の出側に設置されているブライドルロール
である。
着方法について詳細に説明する。 図は本発明方法を実施するための本装置により
真空蒸着を行つている状態を示す概略説明図であ
る。 図中、１は真空蒸着される金属帯２の表面を清
浄化させるために、燃料空気比率を不完全燃焼域
にて燃焼させた高温燃焼ガスによつて金属帯２の
表面に付着している圧延油や防錆油を蒸発又は化
学反応により除去した後に弱酸化した金属帯２を
水素等の還元性ガス雰囲気中で還元させると同時
に金属帯２の軟化を行う焼鈍を目的とした前処理
炉である。３は前処理炉１により表面を清浄化さ
れた金属帯２を大気圧から次に説明する蒸着室ま
での圧力勾配を作る真空シール装置、４は真空シ
ール装置３を経て移動せしめられてきた金属帯２
の片面である表面にのみ蒸発金属を真空蒸着せし
めるための蒸着室であり通常真空蒸着用金属の飽
和蒸気圧力より低い圧力（例えば10Torr程度）
の不活性ガス雰囲気下にある。５は蒸着室４内に
設置されている蒸発槽であり、大気圧下にある真
空蒸着用金属の溶解炉７によつて溶解された真空
蒸着用溶融金属８が吸上管９を介して蒸着室４の
圧力と大気圧との差によつてこの蒸発槽５内へ供
給されるようになつている。６は蒸着室４内に設
置されている巻付けロールであり、金属帯２がそ
の周囲に巻き付けられてその移動方向を変向せし
められる過程で蒸着室４内に設置されている蒸発
槽５から蒸発した蒸発金属が金属帯２の表面に蒸
着せしめられるのである。１０は金属帯２の両縁
部が巻付けロール６の周囲に密接した状態に巻き
付いてその移動方向を変向せしめられるように蒸
着室４内を移動する金属帯２の張力を前処理炉１
中を移動する金属帯２の張力より高めるために処
理炉１の出側に設置されているブライドルロール
である。
かかる構成において、前処理炉１により表面を
清浄化された金属帯２は大気圧から蒸着室までの
圧力勾配を作る真空シール装置３を経て蒸着室４
内へ導かれ、蒸着室４内に設置されている巻付け
ロール６に巻き付いてその移動方向を変向せしめ
られる過程で蒸着室４内に設置されている蒸発槽
５から蒸発した蒸発金属をその表面に蒸着せしめ
られるのであるが、前処理炉１の出側にはブライ
ドルロール１０が設置されていて蒸着室４内を移
動する金属帯２の両縁部が巻付けロール６に密接
させた状態に巻き付いた状態で移動するように蒸
着室４内を移動する金属帯２の張力が前処理炉１
中を移動する金属帯２の張力より高められている
ため、巻付けロールに密接している側である金属
帯２の裏面には真空蒸着用金属の蒸発金属が蒸着
することがないのである。
清浄化された金属帯２は大気圧から蒸着室までの
圧力勾配を作る真空シール装置３を経て蒸着室４
内へ導かれ、蒸着室４内に設置されている巻付け
ロール６に巻き付いてその移動方向を変向せしめ
られる過程で蒸着室４内に設置されている蒸発槽
５から蒸発した蒸発金属をその表面に蒸着せしめ
られるのであるが、前処理炉１の出側にはブライ
ドルロール１０が設置されていて蒸着室４内を移
動する金属帯２の両縁部が巻付けロール６に密接
させた状態に巻き付いた状態で移動するように蒸
着室４内を移動する金属帯２の張力が前処理炉１
中を移動する金属帯２の張力より高められている
ため、巻付けロールに密接している側である金属
帯２の裏面には真空蒸着用金属の蒸発金属が蒸着
することがないのである。
以上詳述した如く本発明は、工業的規模で連続
的に金属帯の表面のみに蒸着室内に設置されてい
る蒸発槽から蒸発した蒸発金属を蒸着せしめるに
際し、蒸着室内に設置されている蒸発槽から蒸発
した蒸発金属が金属帯の表面のみならず裏面にも
蒸着される現象を、金属帯の表面を清浄化させる
ために設置してある前処理炉の出側にブライドル
ロールを設置して蒸着室内を移動する金属帯の張
力を前処理炉中を移動する金属帯の張力より高め
て金属帯の両縁部を蒸着室内に設置されている巻
付けロールに密接させた状態に巻き付けて移動さ
せるという極めて簡単な手段により防止する方法
であり、本出願人等が先に提案した連続真空蒸着
装置に新らたに設置するのは前処理炉の出側に設
置するブライドルロールのみであるで安価且つ容
易に実施できると共に前処理炉による前処理に何
ら弊害も発生せしめないのであり、真空蒸着の良
好な片面連続蒸着を可能にするという特長を有効
に発揮せしめ得るので、片面連続真空蒸着を工業
的に効率良く実施できる本発明の工業的価値は非
常に大きなものがある。
的に金属帯の表面のみに蒸着室内に設置されてい
る蒸発槽から蒸発した蒸発金属を蒸着せしめるに
際し、蒸着室内に設置されている蒸発槽から蒸発
した蒸発金属が金属帯の表面のみならず裏面にも
蒸着される現象を、金属帯の表面を清浄化させる
ために設置してある前処理炉の出側にブライドル
ロールを設置して蒸着室内を移動する金属帯の張
力を前処理炉中を移動する金属帯の張力より高め
て金属帯の両縁部を蒸着室内に設置されている巻
付けロールに密接させた状態に巻き付けて移動さ
せるという極めて簡単な手段により防止する方法
であり、本出願人等が先に提案した連続真空蒸着
装置に新らたに設置するのは前処理炉の出側に設
置するブライドルロールのみであるで安価且つ容
易に実施できると共に前処理炉による前処理に何
ら弊害も発生せしめないのであり、真空蒸着の良
好な片面連続蒸着を可能にするという特長を有効
に発揮せしめ得るので、片面連続真空蒸着を工業
的に効率良く実施できる本発明の工業的価値は非
常に大きなものがある。
図面は本発明方法を実施するための装置により
真空蒸着を行つている状態を示す概略説明図であ
る。 １……前処理炉、２……金属帯、３……真空シ
ール装置、４……蒸着室、５……蒸発槽、６……
巻付けロール、７……溶解炉、８……真空蒸着用
溶融金属、９……吸上管、１０……ブライドルロ
ール。
真空蒸着を行つている状態を示す概略説明図であ
る。 １……前処理炉、２……金属帯、３……真空シ
ール装置、４……蒸着室、５……蒸発槽、６……
巻付けロール、７……溶解炉、８……真空蒸着用
溶融金属、９……吸上管、１０……ブライドルロ
ール。
Claims (1)
- １ 前処理炉により表面を清浄化された金属帯を
大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る真空シー
ル装置を経て蒸着室内に導き、該蒸着室内に設置
されている巻付けロールに金属帯を巻き付けてそ
の移動方向を変更せしめる過程で該蒸着室内に設
置されている蒸発槽から蒸発した蒸発金属を金属
帯の表面に蒸着せしめるに際し、前記前処理炉の
出側にブライドルロールを設置して該蒸着室内を
移動する金属帯の張力を前記前処理炉中を移動す
る金属帯の張力より高めて金属帯の両縁部を前記
巻付けロールに密接させた状態に巻き付けて移動
させることを特徴とする片面連続真空蒸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15122385A JPS6213571A (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | 片面連続真空蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15122385A JPS6213571A (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | 片面連続真空蒸着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6213571A JPS6213571A (ja) | 1987-01-22 |
| JPH0568546B2 true JPH0568546B2 (ja) | 1993-09-29 |
Family
ID=15513935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15122385A Granted JPS6213571A (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | 片面連続真空蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6213571A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0356054U (ja) * | 1989-09-26 | 1991-05-29 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5330932A (en) * | 1976-09-03 | 1978-03-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Continuous vacuum deposition zinc plating method |
| JPS6111225Y2 (ja) * | 1981-04-01 | 1986-04-09 | ||
| JPS5938382A (ja) * | 1982-08-26 | 1984-03-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空蒸着装置 |
| JPS60116787A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | メツキ方法およびその装置 |
-
1985
- 1985-07-11 JP JP15122385A patent/JPS6213571A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6213571A (ja) | 1987-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE508150C2 (sv) | Förfarande för att tillverka band av ferritiskt, rostfritt FeCrAl-stål | |
| JPS6213571A (ja) | 片面連続真空蒸着方法 | |
| US7122221B2 (en) | Method and apparatus for metal vapor coating | |
| US6811827B2 (en) | Method and installation for hot dip coating metal strips | |
| JPS58100675A (ja) | 連続蒸着方法及びその装置 | |
| JPH04297560A (ja) | 鋼帯の連続溶融めっき方法及び装置 | |
| JPH07268605A (ja) | 合金化Ｚｎ−Ｍｇ蒸着めっき鋼板の製造方法 | |
| JPH02247371A (ja) | イオンビーム照射前処理を施すことを特徴とする金属帯への連続真空蒸着またはイオンプレーテイング方法 | |
| JPH08134632A (ja) | Ｚｎ−Ｍｇ合金めっき鋼板の製造方法 | |
| JPS6353262B2 (ja) | ||
| JPS5938382A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH10180098A (ja) | 排気ガス浄化用触媒の製造方法および製造装置 | |
| JPH04154959A (ja) | Ｚｎ―Ｍｇ合金めっき鋼帯の連続製造方法 | |
| JPS6320448A (ja) | 耐熱性に優れたアルミニウムめつき鋼板 | |
| JPS6320449A (ja) | 耐熱性に優れたチタンめつき鋼板 | |
| JPS56163262A (en) | Method and apparatus for forming oxidation and weather resistant film after surface treatment | |
| JPH0143398Y2 (ja) | ||
| JPH02118072A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0633458B2 (ja) | 表面外観に優れた蒸着メツキ鋼板の製造方法 | |
| JPH021223B2 (ja) | ||
| JPS61281867A (ja) | 連続真空蒸着装置における板温分布制御方法 | |
| GB966664A (en) | Coating process | |
| JPH0488163A (ja) | 真空蒸着亜鉛めっき装置 | |
| JPH0545667B2 (ja) | ||
| JPH03249135A (ja) | ステンレス鋼帯の焼鈍方法 |