JPH05709A - クリーン収納庫用クレーン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 一組の降り出しアームの降り出し量の誤差を
修正する。 【構成】 ポスト３に沿って昇降する昇降台４上に備え
られた一組の振り出しアーム５、５は、それぞれ第１ア
ーム６、第２アーム７、第３アーム８を連結してなり、
連結されたアーム間の角度を変えて保持具９を水平移動
させ、また接近離反させることによりカセットＣを保持
する。第２アーム７と第３アーム８との間接部分同士に
腰折れリンク１０を架設することにより、２つの振り出
しアーム５、５間の振り出し位置のずれを防止するとと
もに、接近離反の障害とならないようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、発塵を嫌うクリーン収
納庫用クレーンに関し、特にその受け渡し装置の構造に
関する。

【０００２】

【従来の技術】工場内においてシリコンウエハのような
塵埃の付着を防止しなければならない半加工品を一時保
管するために、複数の棚とクレーンとを内蔵し、空気清
浄装置を備えたクリーン収納庫が使用されている。クリ
ーン収納庫用クレーンは、駆動部からの発塵を少なくす
るために特殊な構造のものが適用されているが、その一
つに振り出しアームを受け渡し機構に利用したタイプが
ある。この振り出しアームは、それぞれ２本以上のアー
ムを連結し、同期して連動する組からなる。各組は、各
組間における対応するアームが相互に平行な関係を維持
しつつ連結されたアーム間の角度を変えることにより伸
び縮みして、各組の先端のカセット把持具を把持位置ま
で移動させることができ、さらに各組をそれぞれ接近離
反させることによりバケットの把持及び解放を行なうよ
うになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような一組の振り
出しアームを利用した受け渡し装置においては、両方の
振り出しアームが正確に同期して振り出されなければ、
受け渡しミスを生じたり、カセットの姿勢が傾いて落下
したりすることがある。正確に同期させるためには、例
えばロッドを２つの振り出しアーム間に掛け渡せばよい
が、接近離反させることができなくなる。またスプライ
ンの伸縮ロッド等は接近離反にも適応するが、その際に
こじれを生じやすい。

【０００４】よって本発明の目的は、振り出しアームの
接近離反に支障を生じることなく、正確に同期して振り
出すことのできる振り出しアームを備えたクリーン収納
庫用クレーンを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、それぞれ２本以上のアームを連結してなる
一組の振り出しアームを、各組間における対応するアー
ムが相互に平行な関係を維持しつつ連結したアーム間の
角度を変えて各組の先端の把持具を略水平方向にスライ
ドさせ、各把持具をそれぞれ接近離反させて受け渡し動
作を行なう機構を備えたクリーン収納庫用クレーンにお
いて、各振り出しアームの各組間における対応する位置
に、一方向にのみ折れる腰折れ部分を有する腰折れリン
クの各端を、それぞれ該腰折れリンクが折れるのを妨げ
ない方向にのみ回動可能に取り付けてクリーン収納庫用
クレーンを構成した。

【０００６】

【作用効果】本発明は上記の構成としたので、次のよう
な作用効果を奏する。

【０００７】本発明に係るクリーン収納庫用クレーンに
おいては、振り出しアームを振り出して先端の把持具を
略水平方向にスライドさせる場合に、各組間における対
応する位置に、一方向にのみ折れる腰折れ部分を有する
腰折れリンクの各端が、それぞれ腰折れリンクが折れる
のを妨げない方向にのみ回動可能に取り付けたので、振
り出しアームの組が連動して振り出され、把持具が略水
平方向に移動する時にずれが生じるのを防止することが
できる。また振り出しアームの組を接近離反させる際に
は、腰折れリンクが略垂直方向に折れて、その全長を変
化させる。

【０００８】よって本発明に係るクリーン収納庫用クレ
ーンによると、２本の振り出しアームを正確に同期させ
て連動させることができるので、ずれに起因して把持を
ミスしたり、物品が傾いて落下したりすることはなく、
かつ物品の把持の障害となることはない。

【０００９】

【実施例】以下図示の実施例について説明する。

【００１０】図１は、本発明に係るクリーン収納庫用ク
レーンの一実施例を示す正面図であり、図２は同じ実施
例の振り出しアーム５、５が振り出された状態を示す側
面図である。

【００１１】各図において、クリーン収納庫用クレーン
はレール２に沿って走行する走行台車１と、走行台車１
から垂直に立設されたポスト３と、ポスト３に沿って昇
降する昇降台４とから成る。昇降台４の上部には、棚
（図示していない）との間でカセットＣの受け渡しを行
なう受け渡し装置として、一組の振り出しアーム５、５
が備えられている。各振り出しアーム５、５は第１アー
ム６、６（回動しないが便宜上アームと呼ぶ）、第１ア
ーム６、６に対してそれぞれ回動可能な第２アーム７、
７、先端にそれぞれカセット把持具９、９を備え、第２
アーム７、７に対してそれぞれ回動可能な第３アーム
８、８を連結して成り、図２視左右方向に振り出される
とともに、相互に接近離反する。第１アーム６は回動せ
ずに接近離反するのみであるが、このように構成するこ
とで、昇降台４の上面の第１アーム６が突出している部
分には、接近離反のためのスリットのみを設ければ足
り、振り出しのための大きな開口を必要としない。よっ
て昇降台４に内蔵された駆動機構から発生する塵埃や油
蒸気が昇降台４の内部から外に出にくくなる。

【００１２】第２アーム７、７と第３アーム８、８の連
結部分同士は、図１視垂直方向にのみ曲がることのでき
る腰折れリンク１０により連結されている。腰折れリン
ク１０は中央部で折れることができ、全体は半円状に湾
曲している。

【００１３】図３は振り出しアーム５の一方の構造を示
す断面図であり、図４、５、６はそれぞれ第１アーム
６、第２アーム７、第３アーム８の内部を示す図であ
る。

【００１４】各図において、第１アーム６内部の一端近
くにはスプロケット１１が軸支されている。スプロケッ
ト１１は昇降台４に内蔵された振り出しモータ（後述す
る）によりチェーン１２を駆動することにより回動す
る。１３はチェーン１２の張力を調整するためのテンシ
ョンアジャスタ、１４、１４はチェーンを張るためのテ
ンションスプロケットである。

【００１５】スプロケット１１は第２アーム７に固定さ
れており、スプロケット１１を回動させることにより、
第２アーム７が回動する。第２アーム７内部の一端近く
にはスプロケット１１と軸線を共通にするスプロケット
１５が、第２アーム７に固定されている。よってスプロ
ケット１５もスプロケット１１とともに回動する。

【００１６】スプロケット１５にはチェーン１６が巻回
されている。１７はテンションアジャスタ、１８、１８
はテンションスプロケットである。チェーン１６は、第
２アーム７の他端近くに軸支されたスプロケット１９に
巻回されており、スプロケット１５により駆動される。
図５に示されているように、スプロケット１９の径のサ
イズは、スプロケット１５の径のサイズの半分である。

【００１７】スプロケット１９は第３アーム８の一端近
くに固定されているので、第３アーム８はスプロケット
１９の回動とともに回動する。第３アーム８内部の一端
近くには、スプロケット１９と軸線を共通にするスプロ
ケット２０が固定されている。よってスプロケット２０
もスプロケット１９とともに回動する。

【００１８】スプロケット２０にはチェーン２１が巻回
されている。２２はテンションアジャスタである。さら
にチェーン２１には第３アーム８内部の他端近くに軸支
されたスプロケット２３が巻回されている。スプロケッ
ト２０の径のサイズは、スプロケット２３の径のサイズ
の半分である。

【００１９】スプロケット２３には保持具９が固定され
ており、スプロケット２３とともに回動する。この保持
具９は振り出しアーム５が振り出されても常に一定の高
さを保ち、また水平姿勢を維持することができる。これ
はスプロケット１５、１９とスプロケット２０、２３の
径のサイズの比に基づく。

【００２０】図３に示されるように、腰折れリンク１０
はスプロケット１９、２０の軸線の延長線に沿って第３
アーム８から突き出たブラケット２４に回動可能に取り
付けられている。腰折れリンク１０の連結部分を図７に
示す。２本のリンクはベアリング２５により連結され、
ベアリング２５の両側はキャップ２６、２６によりそれ
ぞれカバーされ、発塵や油蒸気の発生を防止している。
これにより腰折れリンク１０は第３図に矢印で示す方向
にのみ折れ曲がることができ、ブラケット２４への取付
け部も腰折れリンク１０の折れるのを妨げることのない
方向に腰折れリンク１０が回動可能なようになってい
る。

【００２１】腰折れリンク１０は振り出しアーム５が折
畳まれた状態では中央部が下方に垂れ下がった姿勢とな
り、また降り出された状態では図２に示すようなカセッ
トＣから遠ざかる方に湾曲した姿勢となるので、保持具
９に保持されるカセットＣに当たることがない。

【００２２】図８〜１１は昇降台４に内蔵された駆動機
構の構造を示す図であり、図８はスプライン軸の軸線に
沿って切断した一部断面図、図９は平面図、図１０、１
１はスプライン軸の軸線に垂直な面で切断した一部断面
図であり、それぞれ駆動機構の一部分のみを示す。

【００２３】スプライン軸２７は両端を昇降台４の側壁
に軸支されており、両端近くには複数の軸線方向に走る
溝が設けられてスプライン軸となっている。その間は円
筒形の軸をなす。円筒形の部分にはウォーム２８と組合
うウォームホイール２９が固定されている。ウォーム２
８はウォームホイールカバー３０に上下端を軸支された
軸３１の途中に固定されている。軸３１の上端近くには
プーリ３２が固定されている。プーリ３２にはタイミン
グベルト３３が巻回され、タイミングベルト３３は降り
出しモータ３４の駆動軸に固定されたプーリ３５に巻回
されている。

【００２４】スプライン軸２７の両端近くにはスプロケ
ット３６がスプライン軸２７の軸線方向に沿って摺動可
能に嵌められている。スプロケット３６にはチェーン１
２が巻回されているので、スプライン軸２７を回動させ
ることにより、図３、４に示したスプロケット１１を回
動させることができる。スプロケット３６は、第１アー
ム６が固定されたスプロケットケース３７に軸支されて
収容されており、スプロケットケース３７は昇降台４の
内面に備えられたリニアベアリング３８にガイドされ、
スプライン軸２７の軸線に沿った方向にスライドするこ
とができる。

【００２５】スプロケットケース３７は丸ラック３９に
取り付けられている。丸ラック３９にはピニオン４０が
歯合しており、ピニオン４０はチャッキングモータ４１
の駆動軸に固定されている。ピニオン４０を挟んだ丸ラ
ック３９の反対側には丸ラック４２がピニオン４０に歯
合している。丸ラック４２は、図示していないが、スプ
ライン軸２７の他端に備えられたスプロケットケース３
７と同様のスプロケットケースに取り付けられている。
よってチャッキングモータ４１の駆動により、丸ラック
３９、４２がスライドし、これにより振り出しアーム
５、５を相互に接近離反させることができる。

【００２６】本実施例においては、振り出しモータ３
４、チャッキングモータ４１を含む以上のような駆動機
構を昇降台４の片側の、ポスト３に近接した方に配置し
たので、昇降台４の昇降に当たっての慣性モーメントが
減少でき、ポスト３の剛性の節約や停止位置の精度向上
を図ることができる。

【００２７】次に本実施例の作用について説明する。上
述のように、振り出しアーム５、５は振り出しモータ３
４を作動させることにより、図２に示すように、保持具
９が、その姿勢を保持しつつ水平方向に移動するように
振り出される。次にチャッキングモータ４１を作動させ
て振り出しアーム５、５を相互に接近離反させることに
より保持具９の間隔を調整してカセットＣの保持及び解
放を行なうことができる。

【００２８】その際、振り出しアーム５、５は腰折れリ
ンク１０により連結されているので、振り出しアーム
５、５の第２アーム７と第３アーム８との間接部分の位
置は相互に正確に対応する位置に保持され、振り出しア
ーム５、５の振れ角度の誤差が生じないようにすること
ができる。従ってチャッキングのミスや、カセットが傾
いて落下する等の事故を防止することができる。

【００２９】また振り出しアーム５、５が相互に接近離
反する時には、腰折れリンク１０は折れてその長さを変
えるので、チャッキングに支障を来すことはない。

【００３０】さらに、腰折れリンク１０は湾曲している
ので、図２、３に示されるようにカセットＣに当たった
りすることはない。

【００３１】なお、本実施例においてはカセット検出の
ために保持具９にはリミットスイッチ４３が備えられて
いる。リミットスイッチ４３への配線は、スリップリン
グ４４を介して第３アーム８の内部を配線され（図示し
ていない）、さらに各アームの間接ごとにスリップリン
グを介し、各アームの内部を配線されて昇降台４の内部
に接続されている。これらのスリップリングを利用する
ことにより、従来振り出しアーム５の外部からの配線が
絡まったりしやすかったという問題点を解消することが
できる。

【００３２】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明
の要旨の範囲内において適宜変形実施可能であることは
言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明に係るクリーン収納庫用クレーン
の一実施例を示す正面図である。

【図２】図２は図１に示した実施例の振り出しアームが
振り出された状態を示す側面図である。

【図３】図３は図１に示した実施例の振り出しアームの
折り畳まれた状態の横断面図である。

【図４】図４は図１に示した実施例の振り出しアームの
第１アームのカバーを外した状態を示す拡大図である。

【図５】図５は図１に示した実施例の振り出しアームの
第２アームのカバーを外した状態を示す拡大図である。

【図６】図６は図１に示した実施例の振り出しアームの
第３アームのカバーを外した状態を示す拡大図である。

【図７】図７は図１に示した実施例の腰折れリンクの中
央の連結部を示す拡大平面図である。

【図８】図８は図１に示した実施例の昇降台内部の駆動
機構を示す一部拡大横断面図である。

【図９】図９は図１に示した実施例の昇降台内部の駆動
機構を示す拡大部分平面図である。

【図１０】図１０は図１に示した実施例の昇降台内部の
スプライン軸の軸線と垂直な平面でウォームホイールカ
バーを切断した一部拡大断面図である。

【図１１】図１１は図１に示した実施例の昇降台内部の
スプライン軸の軸線と垂直な平面でスプライン軸の丸棒
部分を切断した拡大断面図である。

【符号の説明】

１ 走行台車 ３ ポスト ４ 昇降台 ５、５ 振り出しアーム ６ 第１アーム ７ 第２アーム ８ 第３アーム ９ 保持具 １０ 腰折れリンク Ｃ カセット

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 それぞれ２本以上のアームを連結してな
   る一組の振り出しアームを、各組間における対応するア
   ームが相互に平行な関係を維持しつつ連結したアーム間
   の角度を変えて各組の先端の把持具を略水平方向にスラ
   イドさせ、各把持具をそれぞれ接近離反させて受け渡し
   動作を行なう機構を備えたクリーン収納庫用クレーンに
   おいて、各振り出しアームの各組間における対応する位
   置に、一方向にのみ折れる腰折れ部分を有する腰折れリ
   ンクの各端を、それぞれ該腰折れリンクが折れるのを妨
   げない方向にのみ回動可能に取り付けたことを特徴とす
   るクリーン収納庫用クレーン。