JPH0621877U - ロボットハンド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ロボットハンドの第２揺動アームの先端の物
品支承台によって被搬送物であるキャリアの張り出し片
を安定状態で確実に支承する。 【構成】 左右の物品保持具６７が平行状態でないとき
も、物品支承台６９をキャリア５１の張り出し片５２の
真下に位置させ、その後、物品支承台６９によって張り
出し片５２を支承する際、内側に突出状態の物品支承台
６９がキャリア５１に当ってばね９１に抗して外方に退
入する状態とすれば、物品支承台６９を確実に張り出し
片５２の真下に位置させて、キャリア５１の張り出し片
５２を安定状態で確実に支承することが出来る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案はロボットハンドに関する。

【０００２】

【既に開発のロボットハンド】

この出願人は既に以下のごときロボットハンドを出願している。即ち、基台と 、この基台に相互に近接・離隔自在に設けられた左右一対の柱と、これら柱の上 端対向部側に、共通軸心を左右方向に向けた枢軸を介して揺動自在に設けられた 第１揺動アームと、これら第１揺動アームの自由端対向部側に共通軸心を左右方 向に向けた枢軸を介して揺動自在に設けられた第２揺動アームと、これら第２揺 動アームの自由端対向部側に共通軸心を左右方向に向けた枢軸を介して揺動自在 に設けられた物品保持具と、前記第１揺動アームの揺動に連動して第２揺動アー ム及び物品保持具を所定の向きにするための揺動制御装置とを有しており、前記 物品保持具が、本体と、この本体に設けられた物品支承台とを有しているいるも のがそれである（特願平３−１０４８２２号出願参照）。

【０００３】

【前記ロボットハンドの作用】

前記ロボットハンドは以下のごとき作用をなす。 第１揺動アーム及び第２揺動アームを伸ばして、物品支承台をケース（例えば 半導体ウエハが収納されるキャリア）の左右部に形成された左右の張り出し片の 下方に位置させた後、今まで相互に離隔していた柱を相互に近寄らせて物品支承 台をケースの張り出し片の真下に位置させる。その後、基台を上昇させて物品支 承台によって張り出し片を支承した後、第１揺動アーム及び第２揺動アームを逆 への字状に折りたたんで垂直状態とすることによって、ケースを基台に持ち込む ことが出来、また前記と逆の作動によって、ケースを基台から降ろすことが出来 る。

【０００４】

【前記ロボットハンドの問題点】 前記ロボットハンドには以下の如き問題点があった。即ち、第１揺動アーム及 び第２揺動アームがいずれも片持ち状態であるため、たとえ精度よく製作しても 左右の物品保持具を常時相互に一定間隔の平行状態に保持することが困難な場合 があり、その結果、物品支承台の位置がケースの張り出し片の真下の設定位置か らずれることが有り、そのため、物品支承台によってケースの張り出し片を安定 状態で確実に支承出来ない恐れがあるという問題があった。殊に、前後方向に２ 個並んだケースを同時移送するため、物品保持具の本体に２個の物品支承台を前 後方向に並べて設けた場合、物品保持具の全体長さが前後方向に長くなるので、 その問題は更に大きなものであった。 しかし、この考案は、前記ロボットハンドにのみ適用・実施されるものではな く、要するに、共通の水平軸心を中心として同期して上下揺動自在で、且つ、相 互に近接・離隔自在となされた左右一対の揺動アームを有するロボットハンドに 適用・実施し得るものであることは云うまでもない。

【０００５】

【前記問題を解決するための手段】

この考案は前記問題を解決するために以下の如き手段を採用した。 この考案は、共通の水平軸心を中心として同期して上下揺動自在で、且つ、相 互に近接・離隔自在となされた左右一対の揺動アームと、これら揺動アームの自 由端に軸心を左右方向に向けた枢軸を介して揺動自在に設けられた物品保持具と を有しており、前記物品保持具が、本体と、この本体に左右動自在で且つばねで 相互に寄り合う方向に付勢された物品支承台とを有しているものである。

【０００６】

【考案の作用】

この考案は以下の如き作用をなすものである。 左右の物品保持具が平行状態でないときも、物品支承台をケースの張り出し片 の真下に位置させ、その後、物品支承台によって張り出し片を支承する際、内側 に突出状態の物品支承台がケースに当ってばねに抗して外方に退入する状態とす れば、物品支承台を確実に張り出し片の真下に位置させて、ケースの張り出し片 を安定状態で確実に支承することが出来る。要するに、物品支承台が外方に退入 することによって、左右の物品保持具が平行状態でないときに発生する間隔の誤 差を吸収することが出来る。

【０００７】

【実施例】

以下にこの考案を図面に示す実施例に基づいて説明する。なお、この明細書に おいて、前とは図３上側を、後とは同図下側をいい、左とは図１左側を、右とは 同図右側をいう。

【０００８】 ロボットハンド５４の中空状の基台５６の内部に、左右動ブロック５８が作動 装置５７によって相互に近接・離隔自在に設けられている。これら左右動ブロッ ク５８に中空状の柱５９が立設され、これら柱５９は基台５６に形成されたスリ ットを通じて上方に突出している。前記柱５９の上端に軸心を左右方向に向けた 枢軸６０が回転自在に設けられ、これら枢軸６０に、柱５９の内側（対向部側） に位置するようにして中空状の第１揺動アーム６１の基部が固定され、これら第 １揺動アーム６１の自由端に、軸心を左右方向に向けた枢軸６３が回転自在に設 けられ、これら枢軸６３に、第１揺動アーム６１の内側に位置するようにして中 空状の第２揺動アーム６４の基部が固定され、これら第２揺動アーム６４の自由 端に、軸心を左右方向に向けた枢軸６６が回転自在に設けられ、これら枢軸６６ に、第２揺動アーム６４の内側に位置するようにして、物品保持具６７が固定さ れ、これら物品保持具６７は、本体７０と、この本体７０に設けられた相互に対 向する物品支承片６８とを有しており、これら物品支承片６８に、被搬送物であ るキャリア５１の張り出し片５２を支承する前後２つの物品支承台６９が以下の ようにして設けられている。即ち、物品支承台６９は、物品支承台６９に形成さ れた左右方向に長い長孔８８を利用して、物品支承片６８に立設された垂直軸８ ９に前後方向の遊びなく左右動自在で、且つ、水平揺動自在に設けられている。 また、物品支承台６９は前後のガイドレール９０に案内されて、前記したごとく 左右動自在で、且つ、水平揺動自在ではあるが、上下方向には動かないように、 なされている。前記物品支承台６９はばね９１によって、他方の物品支承台６９ に向かって、換言すれば、相互に寄り合う方向に付勢されている。

【０００９】 前記枢軸６０と枢軸６３との距離と、枢軸６３と枢軸６６との距離は等しくな されている。また、左右の枢軸６０は共通軸心であり、左右の枢軸６３も共通軸 心であり、左右の枢軸６６も共通軸心である。

【００１０】 前記ロボットハンド５４は第１揺動アーム６１の揺動に連動して第２揺動アー ム６４及び物品保持具６７の物品支承片６８を所定の向きにするための揺動制御 装置７２を有している。 前記揺動制御装置７２は、柱５９の下部を串刺し状にして、柱５９の左右動を 許容するようにして、中空状の基台５６の内部に回転自在に設けられたスプライ ンを有する回転軸７３を有しており、この回転軸７３は正逆回転自在なモーター ７４によって回転させられるようになされている。前記回転軸７３には、各柱５ ９に回転自在に設けられたホイール７６がスプライン連結され、このホイール７ ６と対となるようにして枢軸６０にホイール７７が嵌め止められ、このホイール ７７とホイール７６とにチェーン等からなるエンドレス帯７８が掛け渡されてい る。

【００１１】 前記柱５９の上端に、枢軸６０と同軸となるようにして、且つ第１揺動アーム ６１内部に位置するようにして、固定ホイール８０が固定されている。この固定 ホイール８０と対となるようにして、枢軸６３にホイール８１が嵌め止められ、 このホイール８１と固定ホイール８０とにチェーン等からなるエンドレス帯８２ が掛け渡されている。

【００１２】 前記第１揺動アーム６１の自由端に、枢軸６３と同軸となるようにして、且つ 第２揺動アーム６４内部に位置するようにして、固定ホイール８４が固定されて いる。この固定ホイール８４と対となるようにして、枢軸６６にホイール８５が 嵌め止められ、このホイール８５と固定ホイール８４とにチェーン等からなるエ ンドレス帯８６が掛け渡されている。 前記固定ホイール８０とホイール８５とは同じ大きさとなされ、ホイール８１ 及び固定ホイール８４は、固定ホイール８０の２分の１の大きさとなされている 。

【００１３】 なお、柱５９に第１揺動アーム６１及び第２揺動アーム６４が重なった状態に おいて、物品支承片６８自体が水平となるようになされている。上記のごとき構 成によって、第１揺動アーム６１が所定角度θ揺動すると、この第１揺動アーム ６１に対して第２揺動アーム６４が逆方向に２θ揺動し、更に、第２揺動アーム ６４に対してそれとは逆方向にθだけ物品保持具６７が揺動する。その結果、物 品保持具６７の物品支承片６８は常時水平状態を保持する。 この実施例のロボットハンドの作用自体は前記の既開発のロボットハンドと同 様である。

【００１４】

【考案の効果】

この考案は、前記した如き構成によって、以下の如き効果を奏するものである 。 左右の物品保持具が平行状態でないときも、物品支承台をケースの張り出し片 の真下に位置させ、その後、物品支承台によって張り出し片を支承する際、内側 へ突出状態の物品支承台がケースに当ってばねに抗して外方に退入する状態とす れば、物品支承台を確実に張り出し片の真下に位置させて、ケースの張り出し片 を安定状態で支承することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の実施例を示す一部破砕斜視図であ
る。

【図２】揺動制御装置の機構を示す展開立面図である。

【図３】実施例の一部破砕平面図である。

【図４】図３の一部破砕側面図である。

【図５】図３のＡ部分拡大図である。

【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。

【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う中間省略の断面
図である。

【符号の説明】

５４ ロボットハンド ６４ 第２揺動アーム ６６ 枢軸 ６７ 物品保持具 ６８ 物品支承片 ６９ 物品支承台 ７０ 本体

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 共通の水平軸心を中心として同期して上
   下揺動自在で、且つ、相互に近接・離隔自在となされた
   左右一対の揺動アームと、これら揺動アームの自由端に
   軸心を左右方向に向けた枢軸を介して揺動自在に設けら
   れた物品保持具とを有しており、前記物品保持具が、本
   体と、この本体に左右動自在で且つばねで相互に寄り合
   う方向に付勢された物品支承台とを有しているロボット
   ハンド。
2. 【請求項２】 前記物品保持具各々に、２つの物品支承
   台が設けられている請求項１記載のロボットハンド。
3. 【請求項３】 基台と、この基台に相互に近接・離隔自
   在に設けられた左右一対の柱と、これら柱の上端対向部
   側に、共通軸心を左右方向に向けた枢軸を介して揺動自
   在に設けられた第１揺動アームと、これら第１揺動アー
   ムの自由端対向部側に共通軸心を左右方向に向けた枢軸
   を介して揺動自在に設けられた第２揺動アームと、これ
   ら第２揺動アームの自由端対向部側に共通軸心を左右方
   向に向けた枢軸を介して揺動自在に設けられた物品保持
   具と、前記第１揺動アームの揺動に連動して第２揺動ア
   ーム及び物品保持具を所定の向きにするための揺動制御
   装置とを有しており、前記物品保持具各々が、本体と、
   この本体に左右動自在に設けられると共にばねで相互に
   寄り合う方向に付勢された物品支承台とを有しているロ
   ボットハンド。