JPH057118B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH057118B2 JPH057118B2 JP60169619A JP16961985A JPH057118B2 JP H057118 B2 JPH057118 B2 JP H057118B2 JP 60169619 A JP60169619 A JP 60169619A JP 16961985 A JP16961985 A JP 16961985A JP H057118 B2 JPH057118 B2 JP H057118B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- circuit
- resistance value
- trimming
- control pulse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 27
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はレーザトリミング装置に関し、特に混
成集積回路中の膜抵抗体の抵抗値をレーザ光のオ
ンオフにより調整するレーザトリミング装置に関
する。
成集積回路中の膜抵抗体の抵抗値をレーザ光のオ
ンオフにより調整するレーザトリミング装置に関
する。
従来技術
一般にレーザトリミングの手順は以下の如く行
われる。先ず、トリミングしようとする抵抗体の
近傍にレーザ光の位置決めを行い、プローブのセ
ツト及び設定抵抗値に対応した測定系のレンジ等
のセツトを行う。次に、トリミングが可能なら
ば、すなわち被測定抵抗値が設定抵抗値よりも小
ならば、レーザ光をオンして走査を行う。このと
き、レーザ光のパルスに同期して１パルス毎に被
測定抵抗と設定抵抗との抵抗値比較を行い、前者
が大となればレーザ光をオフとする。レーザ光が
オフされると、トリミング直後の良否判定が行わ
れ、次の抵抗体のトリミングへ移る。
われる。先ず、トリミングしようとする抵抗体の
近傍にレーザ光の位置決めを行い、プローブのセ
ツト及び設定抵抗値に対応した測定系のレンジ等
のセツトを行う。次に、トリミングが可能なら
ば、すなわち被測定抵抗値が設定抵抗値よりも小
ならば、レーザ光をオンして走査を行う。このと
き、レーザ光のパルスに同期して１パルス毎に被
測定抵抗と設定抵抗との抵抗値比較を行い、前者
が大となればレーザ光をオフとする。レーザ光が
オフされると、トリミング直後の良否判定が行わ
れ、次の抵抗体のトリミングへ移る。
以上のような手順において、通常被測定抵抗値
と設定抵抗値の比較のためのサンプリングは１回
のみ行われ、そのサンプリングの結果被測定抵抗
値が大ならばレーザ光がオフされる。従つて、被
測定抵抗値と設定抵抗値の比較時、被測定抵抗値
がノイズ等の影響により変化した場合、誤検出と
なる恐れが十分にあり、その場合トリミング精度
が悪くなる。
と設定抵抗値の比較のためのサンプリングは１回
のみ行われ、そのサンプリングの結果被測定抵抗
値が大ならばレーザ光がオフされる。従つて、被
測定抵抗値と設定抵抗値の比較時、被測定抵抗値
がノイズ等の影響により変化した場合、誤検出と
なる恐れが十分にあり、その場合トリミング精度
が悪くなる。
発明の目的
本発明の目的は、ノイズの影響を極力小さくす
ることができ、トリミング精度を向上させるよう
にしたレーザトリミング装置を提供することを目
的としている。
ることができ、トリミング精度を向上させるよう
にしたレーザトリミング装置を提供することを目
的としている。
発明の構成
本発明によれば、抵抗体の抵抗値を所定の値に
調整するレーザトリミング装置であつて、トリミ
ング用のレーザ光のオンオフ制御をなす制御パル
スを発生する制御パルス発生回路と、前記抵抗値
を検出してこれに応じたレベルの検出信号を発生
する手段と、この検出信号のレベルと所定基準レ
ベルとを比較する比較手段と、前記制御パルスに
同期してこのパルスの周期毎に少なくとも３個の
サンプリング信号を発生する手段と、このサンプ
リング信号により前記比較手段の比較結果をサン
プリングして前記抵抗値が所定の値に達したこと
を示す比較結果が過半数以上のサンプリング値に
より得られたときに判定信号を出力する判定手段
とを含み、前記判定信号の発生に応答して前記制
御パルスを断とするようにしたことを特徴として
いる。
調整するレーザトリミング装置であつて、トリミ
ング用のレーザ光のオンオフ制御をなす制御パル
スを発生する制御パルス発生回路と、前記抵抗値
を検出してこれに応じたレベルの検出信号を発生
する手段と、この検出信号のレベルと所定基準レ
ベルとを比較する比較手段と、前記制御パルスに
同期してこのパルスの周期毎に少なくとも３個の
サンプリング信号を発生する手段と、このサンプ
リング信号により前記比較手段の比較結果をサン
プリングして前記抵抗値が所定の値に達したこと
を示す比較結果が過半数以上のサンプリング値に
より得られたときに判定信号を出力する判定手段
とを含み、前記判定信号の発生に応答して前記制
御パルスを断とするようにしたことを特徴として
いる。
実施例
以下に本発明について一実施例を図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
第１図は本発明のレーザトリミング制御回路の
一実施例の概略構成図である。
一実施例の概略構成図である。
この回路は抵抗体の抵抗値に比例した電圧V2
とトリミング設定抵抗値に比例した電圧V3との
比較回路３、レーザ光制御パルス発生回路６、分
周回路７、比較回路３の出力電圧V5に対するデ
イジタルフイルタ回路１５、レーザ光オン・オフ
制御回路１８から構成される。
とトリミング設定抵抗値に比例した電圧V3との
比較回路３、レーザ光制御パルス発生回路６、分
周回路７、比較回路３の出力電圧V5に対するデ
イジタルフイルタ回路１５、レーザ光オン・オフ
制御回路１８から構成される。
まず、トリミングされる抵抗体にプローブがセ
ツトされると定電流が印加される。それにより生
ずる抵抗の両端電圧V1は端子１から入力され、
ゲイン切替え可能なアンプ２により出力電圧V2
に変換されて比較回路３の一方の入力端子に入力
される。CPU（データ処理装置）５によりトリミ
ング設定抵抗値が指定されると、Ｄ／Ａ（デイジ
タル／アナログ）コンバータ４により設定抵抗値
に比例した電圧V3が出力され、これが比較回路
３の他方の入力端子に入力される。比較回路３の
出力電圧V5のレベルは入力電圧V2，V3の大小に
よりハイ、ローに変化する。すなわち、トリミン
グ前はV2＜V3であり、出力電圧V5のレベルはロ
ーであるが、トリミングにより抵抗値が増大し、
V2≧V3となると、電圧V5のレベルはハイとな
る。比較回路３の出力電圧はデイジタルフイルタ
回路１５に入力される。
ツトされると定電流が印加される。それにより生
ずる抵抗の両端電圧V1は端子１から入力され、
ゲイン切替え可能なアンプ２により出力電圧V2
に変換されて比較回路３の一方の入力端子に入力
される。CPU（データ処理装置）５によりトリミ
ング設定抵抗値が指定されると、Ｄ／Ａ（デイジ
タル／アナログ）コンバータ４により設定抵抗値
に比例した電圧V3が出力され、これが比較回路
３の他方の入力端子に入力される。比較回路３の
出力電圧V5のレベルは入力電圧V2，V3の大小に
よりハイ、ローに変化する。すなわち、トリミン
グ前はV2＜V3であり、出力電圧V5のレベルはロ
ーであるが、トリミングにより抵抗値が増大し、
V2≧V3となると、電圧V5のレベルはハイとな
る。比較回路３の出力電圧はデイジタルフイルタ
回路１５に入力される。
また、周波数可変なレーザ光制御パルス発生回
路６の出力電圧V4と、同信号を1/10分周回路７
に入力して得た出力電圧V6とを２入力とするゲ
ート回路８の出力電圧V7および前出の出力電圧
V6もデイジタルフイルタ回路１５に入力される。
路６の出力電圧V4と、同信号を1/10分周回路７
に入力して得た出力電圧V6とを２入力とするゲ
ート回路８の出力電圧V7および前出の出力電圧
V6もデイジタルフイルタ回路１５に入力される。
デイジタルフイルタ回路１５において、比較回
路３の出力電圧V5が例えば５つのパルスのサン
プリング信号Ｖ７によりサンプリングされ、その
結果５回のうち３回以上のサンプリングにおいて
電圧信号Ｖ５がハイと検出された場合にパルス信
号Ｖ１１が出力される。パルス信号Ｖ１１と、電
圧信号Ｖ６を入とするパルス整形回路１０の出力
電圧V9とレーザ光オン・オフ制御回路１８に入
力される。
路３の出力電圧V5が例えば５つのパルスのサン
プリング信号Ｖ７によりサンプリングされ、その
結果５回のうち３回以上のサンプリングにおいて
電圧信号Ｖ５がハイと検出された場合にパルス信
号Ｖ１１が出力される。パルス信号Ｖ１１と、電
圧信号Ｖ６を入とするパルス整形回路１０の出力
電圧V9とレーザ光オン・オフ制御回路１８に入
力される。
次に、デイジタルフイルタ回路１５およびレー
ザ光オン・オフ制御回路１８について第１図に記
入されている各信号のタイミングチヤートを示す
第２図および第３図を参照しながら説明する。
尚、第３図は第２図のタイムチヤートの一部時間
軸拡大したものを示している。
ザ光オン・オフ制御回路１８について第１図に記
入されている各信号のタイミングチヤートを示す
第２図および第３図を参照しながら説明する。
尚、第３図は第２図のタイムチヤートの一部時間
軸拡大したものを示している。
抵抗体にパルス状のレーザ光が照射されると、
１パルスのレーザ光照射毎に抵抗値がほぼ階段状
に上昇する。その様子が第２図の信号Ｖ２に示さ
れている。抵抗値の比較（サンプリング）はレー
ザ光照射後、レーザ光制御パルス信号Ｖ６と同期
した５個のパルス信号Ｖ７により行われる。尚、
電圧信号Ｖ７はパルス整形回路９により電圧信号
Ｖ８にパルス整形される。
１パルスのレーザ光照射毎に抵抗値がほぼ階段状
に上昇する。その様子が第２図の信号Ｖ２に示さ
れている。抵抗値の比較（サンプリング）はレー
ザ光照射後、レーザ光制御パルス信号Ｖ６と同期
した５個のパルス信号Ｖ７により行われる。尚、
電圧信号Ｖ７はパルス整形回路９により電圧信号
Ｖ８にパルス整形される。
電圧信号Ｖ５がローレベルのとき、ゲート回路
１１の出力V10はハイレベルの状態になつている
が、電圧信号Ｖ５がハイレベルになり、ゲート回
路１１によるパルス信号Ｖ８との論理積により生
じたパルス信号Ｖ１０によりカウンタ回路１２が
カウント・ダウンされる。サンプリングの直前に
レーザ光制御パルス信号Ｖ９よりカウンタ回路１
２はカウント３にプリセツトされ、サンプリング
パルス信号Ｖ７の５パルスのうち３パルス以上が
ゲート回路１１によりカウンタ回路１２に入力さ
れると、負パルス信号１１が出力される。その様
子が第３図に示されている。なお、第３図の電圧
信号Ｖ５にはレベルの変動が示されている。
１１の出力V10はハイレベルの状態になつている
が、電圧信号Ｖ５がハイレベルになり、ゲート回
路１１によるパルス信号Ｖ８との論理積により生
じたパルス信号Ｖ１０によりカウンタ回路１２が
カウント・ダウンされる。サンプリングの直前に
レーザ光制御パルス信号Ｖ９よりカウンタ回路１
２はカウント３にプリセツトされ、サンプリング
パルス信号Ｖ７の５パルスのうち３パルス以上が
ゲート回路１１によりカウンタ回路１２に入力さ
れると、負パルス信号１１が出力される。その様
子が第３図に示されている。なお、第３図の電圧
信号Ｖ５にはレベルの変動が示されている。
また、レーザトリミング開始時、すなわち電圧
信号Ｖ５がローレベルの時、フリツプフロツプ回
路１３の出力V12はハイレベルの状態になつてい
るが、電圧信号Ｖ５がハイレベルになり、デイジ
タルフイルタ回路によりパルス信号Ｖ１１が出力
されると、フリツプフロツプ回路１３の出力V12
がローレベル状態にセツトされる。その様子が第
２図および第３図に示されている。なお、フリツ
プフロツプ回路１３はトリミング開始前にリセツ
ト信号１６によりリセツトされる。
信号Ｖ５がローレベルの時、フリツプフロツプ回
路１３の出力V12はハイレベルの状態になつてい
るが、電圧信号Ｖ５がハイレベルになり、デイジ
タルフイルタ回路によりパルス信号Ｖ１１が出力
されると、フリツプフロツプ回路１３の出力V12
がローレベル状態にセツトされる。その様子が第
２図および第３図に示されている。なお、フリツ
プフロツプ回路１３はトリミング開始前にリセツ
ト信号１６によりリセツトされる。
一方、レーザ光制御パルス信号Ｖ９とゲート回
路１４による電圧信号Ｖ１２との論理積により生
ずる電圧信号Ｖ１３は、レーザ光オン・オフ制御
回路１８の出力信号として端子１７から出力さ
れ、この端子１７からのパルス信号Ｖ１３が発生
している時のみレーザ光をオンさせる働きをす
る。すなわち、フリツプフロツプ回路１３の出力
電圧V12がハイのときレーザ光はオンし、出力
V12がローとなつたときレーザ光はオフする。そ
の様子が第２図に示されている。
路１４による電圧信号Ｖ１２との論理積により生
ずる電圧信号Ｖ１３は、レーザ光オン・オフ制御
回路１８の出力信号として端子１７から出力さ
れ、この端子１７からのパルス信号Ｖ１３が発生
している時のみレーザ光をオンさせる働きをす
る。すなわち、フリツプフロツプ回路１３の出力
電圧V12がハイのときレーザ光はオンし、出力
V12がローとなつたときレーザ光はオフする。そ
の様子が第２図に示されている。
以下に上記の構成からなる本発明のレーザトリ
ミング制御回路の一例について詳細に説明する。
こでは混成集積回路中の膜抵抗体のレーザトリミ
ングについて言及する。
ミング制御回路の一例について詳細に説明する。
こでは混成集積回路中の膜抵抗体のレーザトリミ
ングについて言及する。
まず、測定系のパラメータをセツトし、第１番
目の抵抗体にブローブをセツトする。次にレーザ
光が走査され、トリミングスタート点に到達する
とレーザ光制御パルス発生回路６からパルス信号
Ｖ４が出力される。このとき、抵抗体の初期値が
トリミング設定値より小さいならば、すなわち
V2＜V3ならば出力V5はローである。従つて出力
V11および出力V12はハイのままであり、端子１
７からパルス信号Ｖ１３が出力され、レーザ光は
オンとなる。
目の抵抗体にブローブをセツトする。次にレーザ
光が走査され、トリミングスタート点に到達する
とレーザ光制御パルス発生回路６からパルス信号
Ｖ４が出力される。このとき、抵抗体の初期値が
トリミング設定値より小さいならば、すなわち
V2＜V3ならば出力V5はローである。従つて出力
V11および出力V12はハイのままであり、端子１
７からパルス信号Ｖ１３が出力され、レーザ光は
オンとなる。
レーザ光が走査され、被測定抵抗値がトリミン
グ設定値より大、すなわちV2≧V3かつ５パルス
のサンプリング信号Ｖ７のうち３パルス以上にて
V2≧V3が検出されたならば、負パルス信号Ｖ１
１が発生し、フリツプ・フロツプ回路１３の出力
電圧V12はローとなり、従つて、出力V13はハイ
レベル一定となり、レーザ光はオフされる。レー
ザ光オフ後、トリミングの良否判定を行い、次の
抵抗体のトリミングに移行する。以上の手順が抵
抗数分だけ繰り返される。
グ設定値より大、すなわちV2≧V3かつ５パルス
のサンプリング信号Ｖ７のうち３パルス以上にて
V2≧V3が検出されたならば、負パルス信号Ｖ１
１が発生し、フリツプ・フロツプ回路１３の出力
電圧V12はローとなり、従つて、出力V13はハイ
レベル一定となり、レーザ光はオフされる。レー
ザ光オフ後、トリミングの良否判定を行い、次の
抵抗体のトリミングに移行する。以上の手順が抵
抗数分だけ繰り返される。
発明の効果
以上に説明したように本発明によれば、被測定
抵抗値と設定抵抗値の比較のためのサンプリング
が複数回行われることにより、比較時のノイズ等
の影響を極力小さくすることができ、トリミング
精度を向上させることができる。また、レーザ光
のオン・オフをハードウエア的に行つているた
め、その間、コンピユータ処理が可能であり、ソ
フトウエアの使用効率を向上させることができ
る。
抵抗値と設定抵抗値の比較のためのサンプリング
が複数回行われることにより、比較時のノイズ等
の影響を極力小さくすることができ、トリミング
精度を向上させることができる。また、レーザ光
のオン・オフをハードウエア的に行つているた
め、その間、コンピユータ処理が可能であり、ソ
フトウエアの使用効率を向上させることができ
る。
第１図は本発明の一実施例の概略構成図、第２
図および第３図は第１図に示される各信号のタイ
ミグを示す図である。 主要部分の符号の説明 ３……比較回路、６…
…パルス発生回路、７……分周回路、１２……カ
ウンタ、１６……フリツプフロツプ、１５……デ
イジタルフイルタ回路、１８……レーザオンオフ
制御回路。
図および第３図は第１図に示される各信号のタイ
ミグを示す図である。 主要部分の符号の説明 ３……比較回路、６…
…パルス発生回路、７……分周回路、１２……カ
ウンタ、１６……フリツプフロツプ、１５……デ
イジタルフイルタ回路、１８……レーザオンオフ
制御回路。
Claims (1)
- １ 抵抗体の抵抗値を所定の値に調整するレーザ
トリミング装置であつて、トリミング用のレーザ
光のオンオフ制御をなす制御パルスを発生する制
御パルス発生回路と、前記抵抗値を検出してこれ
に応じたレベルの検出信号を発生する手段と、こ
の検出信号のレベルと所定基準レベルとを比較す
る比較手段と、前記制御パルスに同期してこのパ
ルスの周期毎に少なくとも３個のサンプリング信
号を発生する手段と、このサンプリング信号によ
り前記比較手段の比較結果をサンプリングして前
記抵抗値が所定の値に達したことを示す比較結果
が過半数以上のサンプリング値により得られたと
きに判定信号を出力する判定手段とを含み、前記
判定信号の発生に応答して前記制御パルスを断と
するようにしたことを特徴とするレーザトリミン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169619A JPS6233082A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | レ−ザトリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169619A JPS6233082A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | レ−ザトリミング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6233082A JPS6233082A (ja) | 1987-02-13 |
| JPH057118B2 true JPH057118B2 (ja) | 1993-01-28 |
Family
ID=15889855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60169619A Granted JPS6233082A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | レ−ザトリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6233082A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3026736B2 (ja) | 1994-09-12 | 2000-03-27 | 住友ゴム工業株式会社 | 空気入りラジアルタイヤ |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP60169619A patent/JPS6233082A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6233082A (ja) | 1987-02-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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