JPS6233082A - レ−ザトリミング装置 - Google Patents
レ−ザトリミング装置Info
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- JPS6233082A JPS6233082A JP60169619A JP16961985A JPS6233082A JP S6233082 A JPS6233082 A JP S6233082A JP 60169619 A JP60169619 A JP 60169619A JP 16961985 A JP16961985 A JP 16961985A JP S6233082 A JPS6233082 A JP S6233082A
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- Japan
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- trimming
- laser beam
- signal
- resistance value
- control pulse
- Prior art date
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- Granted
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- 238000009966 trimming Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 238000013508 migration Methods 0.000 abstract 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
艮亙旦１
本発明はレーザトリミング装置に関し、特に混成集積回
路中の膜抵抗体の抵抗値をレーザ光のオンオフにより調
整するレーザトリミング装置に関する。
路中の膜抵抗体の抵抗値をレーザ光のオンオフにより調
整するレーザトリミング装置に関する。
正】ＵＬ■
一般にレーザトリミングの手順は以下の如く行われる。
先ず、トリミングしようとする抵抗体の近傍にレーザ光
の位置決めを行い、プローブのセット及び設定抵抗値に
対応した測定系のレンジ等のセットを行う。次に、トリ
ミングが可能ならば、すなわち被測定抵抗値が設定抵抗
値よりも小ならば、レーザ光をオンして走査を行う。こ
のとき、レーザ光のパルスに同期して１パルス毎に被測
定抵抗と設定抵抗との抵抗値比較を行い、前者が大とな
ればレーザ光をオフとする。レーザ光がオフされると、
トリミング直後の良否判定が行われ、次の抵抗体のトリ
ミングへ移る。
の位置決めを行い、プローブのセット及び設定抵抗値に
対応した測定系のレンジ等のセットを行う。次に、トリ
ミングが可能ならば、すなわち被測定抵抗値が設定抵抗
値よりも小ならば、レーザ光をオンして走査を行う。こ
のとき、レーザ光のパルスに同期して１パルス毎に被測
定抵抗と設定抵抗との抵抗値比較を行い、前者が大とな
ればレーザ光をオフとする。レーザ光がオフされると、
トリミング直後の良否判定が行われ、次の抵抗体のトリ
ミングへ移る。
以上のような手順において、通常被測定抵抗値と設定抵
抗値の比較のためのサンプリングは１回のみ行われ、そ
のサンプリングの結果被測定抵抗値が大ならばレーザ光
がオフされる。従って、被測定抵抗値と設定抵抗値の比
較時、被測定抵抗値がノイズ等の影響により変化した場
合、誤検出となる恐れが十分にあり、その場合トリミン
グ精度が悪くなる。
抗値の比較のためのサンプリングは１回のみ行われ、そ
のサンプリングの結果被測定抵抗値が大ならばレーザ光
がオフされる。従って、被測定抵抗値と設定抵抗値の比
較時、被測定抵抗値がノイズ等の影響により変化した場
合、誤検出となる恐れが十分にあり、その場合トリミン
グ精度が悪くなる。
発明の目的
本発明の目的は、ノイズの影響を極力小さくすることが
でき、トリミング精度を向上させるようにしたレーザト
リミング装置を提供することを目的としている。
でき、トリミング精度を向上させるようにしたレーザト
リミング装置を提供することを目的としている。
発明の構成
本発明によれば、抵抗体の抵抗値を所定の値に調整する
レーザトリミング装置であって、トリミング用のレーザ
光のオンオフ制御をなす制御パルスを発生する制御パル
ス発生回路と、前記抵抗値を検出してこれに応じたレベ
ルの検出信号を発生する手段と、この検出信号のレベル
と所定基準レベルとを比較する比較手段と、前記制御パ
ルスに同期してこのパルスの周期毎に少なくとも３個の
サンプリング信号を発生する手段と、このサンプリング
信号により前記比較手段の比較結果をサンプリングして
前記抵抗値が所定の値に達したことを示す比較結果が過
半数以上のサンプリング値により得られたときに判定信
号を出力する判定手段とを含み、前記判定信号の発生に
応答して前記制御パルスを断とするようにしたことを特
徴としている。
レーザトリミング装置であって、トリミング用のレーザ
光のオンオフ制御をなす制御パルスを発生する制御パル
ス発生回路と、前記抵抗値を検出してこれに応じたレベ
ルの検出信号を発生する手段と、この検出信号のレベル
と所定基準レベルとを比較する比較手段と、前記制御パ
ルスに同期してこのパルスの周期毎に少なくとも３個の
サンプリング信号を発生する手段と、このサンプリング
信号により前記比較手段の比較結果をサンプリングして
前記抵抗値が所定の値に達したことを示す比較結果が過
半数以上のサンプリング値により得られたときに判定信
号を出力する判定手段とを含み、前記判定信号の発生に
応答して前記制御パルスを断とするようにしたことを特
徴としている。
１豊３
以下に本発明について一実施例を図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明のレーザトリミング制御回路の一実施例
の概略構成図である。
の概略構成図である。
この回路は抵抗体の抵抗値に比例した電圧■２とトリミ
ング設定抵抗値に比例した電圧■３との比較回路３、レ
ーザ光制御パルス発生回路６、分周回路７、比較回路３
の出力電圧Ｖ５に対するディジタルフィルタ回路１５、
レーザ光オン・オフ制御回路１８から構成される。
ング設定抵抗値に比例した電圧■３との比較回路３、レ
ーザ光制御パルス発生回路６、分周回路７、比較回路３
の出力電圧Ｖ５に対するディジタルフィルタ回路１５、
レーザ光オン・オフ制御回路１８から構成される。
まず、トリミングされる抵抗体にプローブがセットされ
ると定電流が印加される。それにより生ずる抵抗の両端
電圧Ｖ１は端子１から入力され、ゲイン切替え可能なア
ンプ２により出力電圧■２に変換されて比較回路３の一
方の入力端子に入力される。ｃｐｕ ＜データ処理袋＠
）５によりトリミング設定抵抗値が指定されると、Ｄ／
Ａ （ディジタル／アナログ）コンバータ４により設定
抵抗値に比例した電圧■３が出力され、これが比較回路
３の他方の入力端子に入力される。比較回路３の出力電
圧ｖ５のレベルは入力電圧Ｖ ２． Ｖ ３の大小によ
りハイ、ローに変化する。すなわち、トリミング前はＶ
２ ＜Ｖ３であり、出力電圧Ｖ５のレベルは〇−である
が、トリミングにより抵抗値が増大し、■２≧■３とな
ると、電圧■５のレベルはハイとなる。比較回路３の出
力電圧はディジタルフィルタ回路１５に入力される。
ると定電流が印加される。それにより生ずる抵抗の両端
電圧Ｖ１は端子１から入力され、ゲイン切替え可能なア
ンプ２により出力電圧■２に変換されて比較回路３の一
方の入力端子に入力される。ｃｐｕ ＜データ処理袋＠
）５によりトリミング設定抵抗値が指定されると、Ｄ／
Ａ （ディジタル／アナログ）コンバータ４により設定
抵抗値に比例した電圧■３が出力され、これが比較回路
３の他方の入力端子に入力される。比較回路３の出力電
圧ｖ５のレベルは入力電圧Ｖ ２． Ｖ ３の大小によ
りハイ、ローに変化する。すなわち、トリミング前はＶ
２ ＜Ｖ３であり、出力電圧Ｖ５のレベルは〇−である
が、トリミングにより抵抗値が増大し、■２≧■３とな
ると、電圧■５のレベルはハイとなる。比較回路３の出
力電圧はディジタルフィルタ回路１５に入力される。
また、周波数可変なレーザ光制御パルス発生回路６の出
力電圧Ｖ４と、同信号を１／１０分周回路７に入力して
得た出力電圧■６とを２人力とするゲート回路８の出力
電圧■７および前出の出力電圧ｖ６もディジタルフィル
タ回路１５に入力される。
力電圧Ｖ４と、同信号を１／１０分周回路７に入力して
得た出力電圧■６とを２人力とするゲート回路８の出力
電圧■７および前出の出力電圧ｖ６もディジタルフィル
タ回路１５に入力される。
ディジタルフィルタ回路１５において、比較回路３の出
力電圧Ｖ５が例えば５つのパルスのサンプリング信号■
７によりサンプリングされ、その結果５回のうち３回以
上のサンプリングにおいて電圧信号■５がハイと検出さ
れた場合にパルス信号Ｖ１１が出力される。パルス信号
Ｖ１．１と、電圧信号ｖ６を人とするパルス整形回路１
０の出力電圧ｖ９とはレーザ光オン・オフ制御回路１８
に入力される。
力電圧Ｖ５が例えば５つのパルスのサンプリング信号■
７によりサンプリングされ、その結果５回のうち３回以
上のサンプリングにおいて電圧信号■５がハイと検出さ
れた場合にパルス信号Ｖ１１が出力される。パルス信号
Ｖ１．１と、電圧信号ｖ６を人とするパルス整形回路１
０の出力電圧ｖ９とはレーザ光オン・オフ制御回路１８
に入力される。
次に、ディジタルフィルタ回路１５およびレーザ光オン
・オフ制御回路１８について第１図に記入されている各
信号のタイミングチャートを示す第２図および第３図を
参照しながら説明する。尚、第３図は第２図のタイムチ
ャートの一部時間軸拡大したものを示している。
・オフ制御回路１８について第１図に記入されている各
信号のタイミングチャートを示す第２図および第３図を
参照しながら説明する。尚、第３図は第２図のタイムチ
ャートの一部時間軸拡大したものを示している。
抵抗体にパルス状のレーザ光が照射されると、１パルス
のレーザ光照射毎に抵抗値がほぼ階段状に上昇する。そ
の様子が第２図の信号Ｖ２に示されている。抵抗値の比
較（サンプリング）はレーザ光照射後、レーザ光制御パ
ルス信号Ｖ６と同期した５個のパルス信号■７により行
われる。尚、電圧信号Ｖ７はパルス整形回路９により電
圧信号Ｖ８にパルス整形される。
のレーザ光照射毎に抵抗値がほぼ階段状に上昇する。そ
の様子が第２図の信号Ｖ２に示されている。抵抗値の比
較（サンプリング）はレーザ光照射後、レーザ光制御パ
ルス信号Ｖ６と同期した５個のパルス信号■７により行
われる。尚、電圧信号Ｖ７はパルス整形回路９により電
圧信号Ｖ８にパルス整形される。
電圧信号Ｖ５がローレベルのとき、ゲート回路１１の出
力ＶＩＯはハイレベルの状態になっているが、電圧信号
ｖ５がハイレベルになり、ゲート回路１１によるパルス
信号■８との論理積により生じたパルス信号Ｖ１０によ
りカウンタ回路１２がカウント・ダウンされる。サンプ
リングの直前にレーザ光制御パルス信号■９よりカウン
タ回路１２はカウント３にプリセットされ、サンプリン
グパルス信号Ｖ７の５パルスのうち３パルス以上がゲー
ト回路１１によりカウンタ回路１２に入力されると、負
パルス信号■１１が出力される。その様子が第３図に示
されている。なお、第３図の電圧信号Ｖ５にはレベルの
変動が示されている。
力ＶＩＯはハイレベルの状態になっているが、電圧信号
ｖ５がハイレベルになり、ゲート回路１１によるパルス
信号■８との論理積により生じたパルス信号Ｖ１０によ
りカウンタ回路１２がカウント・ダウンされる。サンプ
リングの直前にレーザ光制御パルス信号■９よりカウン
タ回路１２はカウント３にプリセットされ、サンプリン
グパルス信号Ｖ７の５パルスのうち３パルス以上がゲー
ト回路１１によりカウンタ回路１２に入力されると、負
パルス信号■１１が出力される。その様子が第３図に示
されている。なお、第３図の電圧信号Ｖ５にはレベルの
変動が示されている。
また、レーザトリミング開始時、すなわち電圧信号Ｖ５
がローレベルの時、フリップフロップ回路１３の出力Ｖ
１２はハイレベルの状態になっているが、電圧信号ｖ５
がハイレベルになり、ディジタルフィルタ回路によりパ
ルス信号Ｖ１１が出力されると、フリップフロップ回路
１３の出力Ｖ１２がローレベル状態にセットされる。そ
の様子が第２図および第３図に示されている。なお、フ
リツプフロツプ回路１３はトリミング開始前にリセット
信号１６によりリセットされる。
がローレベルの時、フリップフロップ回路１３の出力Ｖ
１２はハイレベルの状態になっているが、電圧信号ｖ５
がハイレベルになり、ディジタルフィルタ回路によりパ
ルス信号Ｖ１１が出力されると、フリップフロップ回路
１３の出力Ｖ１２がローレベル状態にセットされる。そ
の様子が第２図および第３図に示されている。なお、フ
リツプフロツプ回路１３はトリミング開始前にリセット
信号１６によりリセットされる。
一方、レーザ光制御パルス信号Ｖ９とゲート回路１４に
よる電圧信号Ｖ１２との論理積により生ずる電圧信号Ｖ
１３は、レーザ光オン・オフ制御回路１８の出力信号と
して端子１７から出力され、この端子１７からのパルス
信号Ｖ１３が発生している時のみレーザ光をオンさせる
働きをする。すなわら、フリップフロップ回路１３の出
力電圧Ｖ１２がハイのときレーザ光はオンし、出力Ｖ１
２がローとなったときレーザ光はオフする。その様子が
第２図に示されている。
よる電圧信号Ｖ１２との論理積により生ずる電圧信号Ｖ
１３は、レーザ光オン・オフ制御回路１８の出力信号と
して端子１７から出力され、この端子１７からのパルス
信号Ｖ１３が発生している時のみレーザ光をオンさせる
働きをする。すなわら、フリップフロップ回路１３の出
力電圧Ｖ１２がハイのときレーザ光はオンし、出力Ｖ１
２がローとなったときレーザ光はオフする。その様子が
第２図に示されている。
以下に上記の構成からなる本発明のレーザトリミング制
御回路の一例について詳細に説明する。
御回路の一例について詳細に説明する。
こては混成集積回路中の膜抵抗体のレーザトリミングに
ついて言及する。
ついて言及する。
まず、測定系のパラメータをセットし、第１！目の抵抗
体にプローブをセットする。次にレーザ光が走査され、
トリミングスタート点に到達するとレーザ光制御パルス
発生回路６からパルス信号Ｖ４が出力される。このとき
、抵抗体の初期値がトリミング設定値より小さいならば
、すなわちＶ２く■３ならば出力Ｖ５はＯ−である。従
って出力ｖ１１および出力Ｖ１２はハイのままであり、
端子１７からパルス信号Ｖ１３が出力され、レーザ光は
オンとなる。
体にプローブをセットする。次にレーザ光が走査され、
トリミングスタート点に到達するとレーザ光制御パルス
発生回路６からパルス信号Ｖ４が出力される。このとき
、抵抗体の初期値がトリミング設定値より小さいならば
、すなわちＶ２く■３ならば出力Ｖ５はＯ−である。従
って出力ｖ１１および出力Ｖ１２はハイのままであり、
端子１７からパルス信号Ｖ１３が出力され、レーザ光は
オンとなる。
レーザ光が走査され、被測定抵抗値がトリミング設定値
より大、すなわちＶ２≧■３かつ５パルスのサンプリン
グ信号ｖ７のうち３パルス以上にて■２≧■３が検出さ
れたならば、負パルス信号Ｖ１１が発生し、フリップ・
フロップ回路１３の出力電圧Ｖ１２はローとなり、従っ
て、出力Ｖ１３はハイレベル一定となり、レーザ光はオ
フされる。レーザ光オフ後、トリミングの良否判定を行
い、次の抵抗体のトリミングに移行する。以上の手順が
抵抗数分だけ繰り返される。
より大、すなわちＶ２≧■３かつ５パルスのサンプリン
グ信号ｖ７のうち３パルス以上にて■２≧■３が検出さ
れたならば、負パルス信号Ｖ１１が発生し、フリップ・
フロップ回路１３の出力電圧Ｖ１２はローとなり、従っ
て、出力Ｖ１３はハイレベル一定となり、レーザ光はオ
フされる。レーザ光オフ後、トリミングの良否判定を行
い、次の抵抗体のトリミングに移行する。以上の手順が
抵抗数分だけ繰り返される。
１豆立羞１
以上に説明したように本発明によれば、被測定抵抗値と
設定抵抗値の比較のためのサンプリングが複数回行われ
ることにより、比較時のノイズ等の影響を極力小さくす
ることができ、トリミング精度を向上させることができ
る。また、レーザ光のオン・オフをハードウェア的に行
っているため、その間、コンピュータ処理が可能であり
、ソフトウェアの使用効率を向上させることができる。
設定抵抗値の比較のためのサンプリングが複数回行われ
ることにより、比較時のノイズ等の影響を極力小さくす
ることができ、トリミング精度を向上させることができ
る。また、レーザ光のオン・オフをハードウェア的に行
っているため、その間、コンピュータ処理が可能であり
、ソフトウェアの使用効率を向上させることができる。
第１図は本発明の一実施例の概略構成図、第２図および
第３図は第１図に示される各信号のタイミングを示す図
である。 主要部分の符号の説明 ３・・・・・・比較回路 ６・・・・・・パルス発生回路 ７・・・・・・分周回路 １２・・・・・・カウンタ
第３図は第１図に示される各信号のタイミングを示す図
である。 主要部分の符号の説明 ３・・・・・・比較回路 ６・・・・・・パルス発生回路 ７・・・・・・分周回路 １２・・・・・・カウンタ
Claims (1)
- 抵抗体の抵抗値を所定の値に調整するレーザトリミング
装置であつて、トリミング用のレーザ光のオンオフ制御
をなす制御パルスを発生する制御パルス発生回路と、前
記抵抗値を検出してこれに応じたレベルの検出信号を発
生する手段と、この検出信号のレベルと所定基準レベル
とを比較する比較手段と、前記制御パルスに同期してこ
のパルスの周期毎に少なくとも３個のサンプリング信号
を発生する手段と、このサンプリング信号により前記比
較手段の比較結果をサンプリングして前記抵抗値が所定
の値に達したことを示す比較結果が過半数以上のサンプ
リング値により得られたときに判定信号を出力する判定
手段とを含み、前記判定信号の発生に応答して前記制御
パルスを断とするようにしたことを特徴とするレーザト
リミング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169619A JPS6233082A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | レ−ザトリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169619A JPS6233082A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | レ−ザトリミング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6233082A true JPS6233082A (ja) | 1987-02-13 |
| JPH057118B2 JPH057118B2 (ja) | 1993-01-28 |
Family
ID=15889855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60169619A Granted JPS6233082A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | レ−ザトリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6233082A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0700797A2 (en) | 1994-09-12 | 1996-03-13 | Sumitomo Rubber Industries Limited | Pneumatic radial tyre |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP60169619A patent/JPS6233082A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0700797A2 (en) | 1994-09-12 | 1996-03-13 | Sumitomo Rubber Industries Limited | Pneumatic radial tyre |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH057118B2 (ja) | 1993-01-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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