JPH0571979A - 工作機械における計測データの雑音除去方法 - Google Patents
工作機械における計測データの雑音除去方法Info
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- JPH0571979A JPH0571979A JP3261089A JP26108991A JPH0571979A JP H0571979 A JPH0571979 A JP H0571979A JP 3261089 A JP3261089 A JP 3261089A JP 26108991 A JP26108991 A JP 26108991A JP H0571979 A JPH0571979 A JP H0571979A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 39
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 18
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- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定タイミングの違いによるデータのばらつ
きを防止し、計測データの信頼性の向上を図る。 【構成】 まずセンサ40の信号波形Aに含まれている
雑音周期Tを測定し、その周期Tの等分割周期tを決定
する。雑音周期Tの測定は、適宜の計測器を用いて行
う。前記等分割周期tを信号読込手段45に設定してお
き、NC制御部21からデータ読み込み指令があると、
前記等分割周期tでセンサ40の信号波形Aを読み取
る。その読み取りデータの雑音周期T分のデータの平均
値を演算し、計測データDとする。この計測データDを
工作機械の誤差補正手段47に出力する。
きを防止し、計測データの信頼性の向上を図る。 【構成】 まずセンサ40の信号波形Aに含まれている
雑音周期Tを測定し、その周期Tの等分割周期tを決定
する。雑音周期Tの測定は、適宜の計測器を用いて行
う。前記等分割周期tを信号読込手段45に設定してお
き、NC制御部21からデータ読み込み指令があると、
前記等分割周期tでセンサ40の信号波形Aを読み取
る。その読み取りデータの雑音周期T分のデータの平均
値を演算し、計測データDとする。この計測データDを
工作機械の誤差補正手段47に出力する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、熱変位補正等に際し
て温度検出や変位検出を行うときに、センサのアナログ
信号に乗る雑音を除去する工作機械における計測データ
の雑音除去方法に関する。
て温度検出や変位検出を行うときに、センサのアナログ
信号に乗る雑音を除去する工作機械における計測データ
の雑音除去方法に関する。
【0002】
【従来の技術】旋盤等の工作機械では、切削によって大
量の熱が発生するため、各部の熱変位が大きく、主軸の
軸心位置や方向のずれ、あるいは刃物台の軸心位置や方
向のずれが生じる。そのため、各部の温度や変位を検出
し、これら検出値に基づいて必要な補正量を演算し、N
C装置等の制御系で熱変位補正を行っている。
量の熱が発生するため、各部の熱変位が大きく、主軸の
軸心位置や方向のずれ、あるいは刃物台の軸心位置や方
向のずれが生じる。そのため、各部の温度や変位を検出
し、これら検出値に基づいて必要な補正量を演算し、N
C装置等の制御系で熱変位補正を行っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、工作機械にお
いては、種々の雑音発生源があるため、例えば図6の曲
線pで示すように、センサのアナログ信号の出力波形に
雑音が乗り、そのため読み込みタイミングによって計測
データがばらつくという問題点がある。同図の曲線p
は、熱電対温度センサのアンプ出力の交流分信号波形で
あり、恒温室内のテスト機の測定結果を示す。曲線q
は、熱電対の電源の交流分波形を示す。
いては、種々の雑音発生源があるため、例えば図6の曲
線pで示すように、センサのアナログ信号の出力波形に
雑音が乗り、そのため読み込みタイミングによって計測
データがばらつくという問題点がある。同図の曲線p
は、熱電対温度センサのアンプ出力の交流分信号波形で
あり、恒温室内のテスト機の測定結果を示す。曲線q
は、熱電対の電源の交流分波形を示す。
【0004】同図からわかるように、センサの信号波形
の雑音は、電源部の雑音等による低周波が主な原因であ
るが、このような低周波やインピーダンスの低い発生源
の雑音は、電子回路のみで簡単に除去することができな
い。そのため、雑音を含んだままの計測データをやむな
く使用しており、熱変位補正の精度向上につき、満足で
きる結果を得ることが難しかった。
の雑音は、電源部の雑音等による低周波が主な原因であ
るが、このような低周波やインピーダンスの低い発生源
の雑音は、電子回路のみで簡単に除去することができな
い。そのため、雑音を含んだままの計測データをやむな
く使用しており、熱変位補正の精度向上につき、満足で
きる結果を得ることが難しかった。
【0005】この発明の目的は、測定タイミングの違い
によるデータのばらつきを防止でき、計測データの信頼
性を向上できる工作機械における計測データの雑音除去
方法を提供することである。
によるデータのばらつきを防止でき、計測データの信頼
性を向上できる工作機械における計測データの雑音除去
方法を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明の構成を実施例
に対応する図1と共に説明する。この計測データの雑音
除去方法は、まずセンサ(40)の信号波形(A)に含
まれている雑音周期(T)を測定し、その周期(T)の
等分割周期(t)を決定する。この等分割周期(t)で
センサ(40)の信号波形(A)を読み取り、その読み
取りデータの雑音周期(T)分のデータの平均値を演算
して計測データ(D)とする。この計測データ(D)を
工作機械の誤差補正手段(47)に出力する。
に対応する図1と共に説明する。この計測データの雑音
除去方法は、まずセンサ(40)の信号波形(A)に含
まれている雑音周期(T)を測定し、その周期(T)の
等分割周期(t)を決定する。この等分割周期(t)で
センサ(40)の信号波形(A)を読み取り、その読み
取りデータの雑音周期(T)分のデータの平均値を演算
して計測データ(D)とする。この計測データ(D)を
工作機械の誤差補正手段(47)に出力する。
【0007】
【作用】この発明方法よると、雑音周期(T)の等分割
周期(t)でセンサ(40)の信号波形(A)を読み取
り、その1周期分のデータを平均して計測データ(D)
とするため、どのタイミングから計測を開始しても同等
値となり、雑音が除去されて、データ(D)のばらつき
がなくなる。
周期(t)でセンサ(40)の信号波形(A)を読み取
り、その1周期分のデータを平均して計測データ(D)
とするため、どのタイミングから計測を開始しても同等
値となり、雑音が除去されて、データ(D)のばらつき
がなくなる。
【0008】
【実施例】この発明の一実施例を図1に基づいて説明す
る。この雑音除去方法を適用する装置の概略をまず説明
する。熱電対式の温度センサ40のアンプ41は、12
Vの直流電源42に接続され、アンプ41の出力はA/
D変換器43を介して平均データ出力手段44に入力さ
れる。平均値データ出力手段44は、CPUおよびメモ
リ装置等で構成されるマイクロプロセッサからなり、そ
のプログラム等からなる機能手段として、信号読込手段
45と、平均値演算手段46とが設けてある。平均値デ
ータ出力手段44の出力Dは、工作機械のNC制御部2
1の熱変位誤差補正手段47に入力される。
る。この雑音除去方法を適用する装置の概略をまず説明
する。熱電対式の温度センサ40のアンプ41は、12
Vの直流電源42に接続され、アンプ41の出力はA/
D変換器43を介して平均データ出力手段44に入力さ
れる。平均値データ出力手段44は、CPUおよびメモ
リ装置等で構成されるマイクロプロセッサからなり、そ
のプログラム等からなる機能手段として、信号読込手段
45と、平均値演算手段46とが設けてある。平均値デ
ータ出力手段44の出力Dは、工作機械のNC制御部2
1の熱変位誤差補正手段47に入力される。
【0009】雑音除去方法を説明する。まず、準備段階
として、温度センサ40のアンプ41の信号波形Aに含
まれている雑音周期をオペレータにより適宜の計測器で
測定し、その周期の等分割周期を決定する。分割数は任
意に設定する。すなわち、図1のグラフ部分に示す曲線
Aは、アンプ41の出力のアナログ信号波形を示し、こ
の波形に乗っている雑音周期Tを等分の分割周期tに分
割する。同図は7等分した例であり、2サイクル間を示
している。
として、温度センサ40のアンプ41の信号波形Aに含
まれている雑音周期をオペレータにより適宜の計測器で
測定し、その周期の等分割周期を決定する。分割数は任
意に設定する。すなわち、図1のグラフ部分に示す曲線
Aは、アンプ41の出力のアナログ信号波形を示し、こ
の波形に乗っている雑音周期Tを等分の分割周期tに分
割する。同図は7等分した例であり、2サイクル間を示
している。
【0010】このように決定した等分割周期tを信号読
込手段45に設定し、かつその分割数を平均値演算手段
46の演算式に設定しておく。平均値データ出力手段4
4に入力されるデータはディジタル値であるが、雑音周
期Tは商用交流電源の周波数である50または60サイ
クルの低周波であるため、A/D変換器43によるサン
プリング周期は、前記の等分割周期tに比べて充分に短
く、ディジタル化による支障はない。
込手段45に設定し、かつその分割数を平均値演算手段
46の演算式に設定しておく。平均値データ出力手段4
4に入力されるデータはディジタル値であるが、雑音周
期Tは商用交流電源の周波数である50または60サイ
クルの低周波であるため、A/D変換器43によるサン
プリング周期は、前記の等分割周期tに比べて充分に短
く、ディジタル化による支障はない。
【0011】信号読込手段45による温度センサ40の
信号波形Aの読み取りは、NC制御部21のデータ読込
み指令に応答して開始され、設定した雑音周期T分だ
け、等分割周期tで読み込む。平均値手段46は、この
読み込まれた雑音周期T分(1サイクル)のデータか
ら、その平均値を演算し、計測データDとしてNC制御
部21の熱変位補正手段47に出力する。
信号波形Aの読み取りは、NC制御部21のデータ読込
み指令に応答して開始され、設定した雑音周期T分だ
け、等分割周期tで読み込む。平均値手段46は、この
読み込まれた雑音周期T分(1サイクル)のデータか
ら、その平均値を演算し、計測データDとしてNC制御
部21の熱変位補正手段47に出力する。
【0012】このように、雑音周期Tの等分割周期tで
温度センサ40の信号波形Aを読み取り、その1周期分
のデータを平均して計測データDとするため、どのタイ
ミングから計測を開始しても同等値となり、雑音が除去
される。すなわち、図1のグラフ部分にイ.ロ.ハで示
すように、どのタイミングで計測を開始しても、その1
周期T分のデータの平均値は等しい。そのため、測定タ
イミングによるデータDのばらつきが防止できて、計測
データDの信頼性が向上し、工作機械の熱変位誤差の補
正が精度良く行える。
温度センサ40の信号波形Aを読み取り、その1周期分
のデータを平均して計測データDとするため、どのタイ
ミングから計測を開始しても同等値となり、雑音が除去
される。すなわち、図1のグラフ部分にイ.ロ.ハで示
すように、どのタイミングで計測を開始しても、その1
周期T分のデータの平均値は等しい。そのため、測定タ
イミングによるデータDのばらつきが防止できて、計測
データDの信頼性が向上し、工作機械の熱変位誤差の補
正が精度良く行える。
【0013】図2ないし図5は、この雑音除去方法を適
用する工作機械およびその制御系の例を示す。図3にお
いて、工作機械1はタレット旋盤からなり、タレット2
を搭載したクロススライド3が、ベッド4のレール5上
に、主軸6の軸方向(Z軸方向)と直交する方向(X軸
方向)に移動自在に設置されている。前記タレット2と
クロススライド3とで刃物台8が構成される。主軸6は
ベッド4に設置した主軸台7に支持され、主軸チャック
6aが装着されている。図4に示すように、主軸6の後
部には回転駆動用のプーリ9が設けられ、かつ主軸チャ
ック6aの開閉用のチャックシリンダ10が連結されて
いる。
用する工作機械およびその制御系の例を示す。図3にお
いて、工作機械1はタレット旋盤からなり、タレット2
を搭載したクロススライド3が、ベッド4のレール5上
に、主軸6の軸方向(Z軸方向)と直交する方向(X軸
方向)に移動自在に設置されている。前記タレット2と
クロススライド3とで刃物台8が構成される。主軸6は
ベッド4に設置した主軸台7に支持され、主軸チャック
6aが装着されている。図4に示すように、主軸6の後
部には回転駆動用のプーリ9が設けられ、かつ主軸チャ
ック6aの開閉用のチャックシリンダ10が連結されて
いる。
【0014】クロススライド3は、タレット軸2aを介
してタレット2を回転および前後(Z軸方向)移動自在
に支持したものであり、タレット2の割り出し回転機構
と前後送り機構とを内蔵している。クロススライド3の
移動は、X軸ボールねじ11を介してサーボモータ(図
示せず)により行われる。タレット2は、正面形状が多
角形のドラム状のものであり、各周面部分からなる工具
ステーションに工具12が取付けられる。
してタレット2を回転および前後(Z軸方向)移動自在
に支持したものであり、タレット2の割り出し回転機構
と前後送り機構とを内蔵している。クロススライド3の
移動は、X軸ボールねじ11を介してサーボモータ(図
示せず)により行われる。タレット2は、正面形状が多
角形のドラム状のものであり、各周面部分からなる工具
ステーションに工具12が取付けられる。
【0015】主軸台7の側面には、熱変位量検出手段で
ある2個の変位センサS1,S2が取付治具13を介し
て取付けてある。これら変位センサS1,S2は、クロ
ススライド3を主軸台7に近接させた状態で、クロスス
ライド3の側面に設けられた被検出板14に接触して変
位量を検出するものであり、差動トランスが用いられて
いる。両変位センサS1,S2は、互いに主軸6の軸方
向に離して配置し、かつ主軸6の軸心と同一高さに配置
してある。
ある2個の変位センサS1,S2が取付治具13を介し
て取付けてある。これら変位センサS1,S2は、クロ
ススライド3を主軸台7に近接させた状態で、クロスス
ライド3の側面に設けられた被検出板14に接触して変
位量を検出するものであり、差動トランスが用いられて
いる。両変位センサS1,S2は、互いに主軸6の軸方
向に離して配置し、かつ主軸6の軸心と同一高さに配置
してある。
【0016】また、主軸台7には主軸6の温度を測定す
る主軸温度センサSPを設け、前記ボールねじ11の軸
受11aに、ボールねじ11の温度を測定するための軸
受温度センサBLが設けてある。これら温度センサS
P,BLは熱電対温度センサからなる。
る主軸温度センサSPを設け、前記ボールねじ11の軸
受11aに、ボールねじ11の温度を測定するための軸
受温度センサBLが設けてある。これら温度センサS
P,BLは熱電対温度センサからなる。
【0017】図2は、工作機械全体の制御装置15のハ
ードウェア構成例を示す。NC制御部21は、NC装置
23に操作盤24を設けると共に、補正用入力データの
補助演算を行う補助データ演算装置25を設けたもので
あり、NC装置23から、X軸,Z軸,主軸,およびそ
の他のサーボモータ26〜29に軸送り指令が出力され
る。
ードウェア構成例を示す。NC制御部21は、NC装置
23に操作盤24を設けると共に、補正用入力データの
補助演算を行う補助データ演算装置25を設けたもので
あり、NC装置23から、X軸,Z軸,主軸,およびそ
の他のサーボモータ26〜29に軸送り指令が出力され
る。
【0018】熱変位コントローラ30は、A/D変換器
43により、前記各変位センサS1,S2、および各温
度センサSP,BLの検出信号をディジタル値に変換し
てCPU32に入力し、所定の演算を行う手段であり、
演算プログラムの記述されたROMおよびデータ記憶等
を行うRAM34を備えている。CPU32の出力は、
RS232C規格等の直列伝送用のインタフェース35
を介してNC制御部21の補助データ演算装置25に入
力される。
43により、前記各変位センサS1,S2、および各温
度センサSP,BLの検出信号をディジタル値に変換し
てCPU32に入力し、所定の演算を行う手段であり、
演算プログラムの記述されたROMおよびデータ記憶等
を行うRAM34を備えている。CPU32の出力は、
RS232C規格等の直列伝送用のインタフェース35
を介してNC制御部21の補助データ演算装置25に入
力される。
【0019】前記熱変位コントローラ30の一部で、図
1の平均値データ出力手段44が構成され、各変位セン
サS1,S2、および温度センサSP,BLの出力信号
波形の処理に、図1と共に説明した雑音除去方法が各々
適用される。また、NC装置23における機能手段と、
熱変位コントローラ30の一部の機能手段とで、図1の
熱変位誤差補正手段47が構成される。
1の平均値データ出力手段44が構成され、各変位セン
サS1,S2、および温度センサSP,BLの出力信号
波形の処理に、図1と共に説明した雑音除去方法が各々
適用される。また、NC装置23における機能手段と、
熱変位コントローラ30の一部の機能手段とで、図1の
熱変位誤差補正手段47が構成される。
【0020】図1の熱変位誤差補正手段47は、演算式 Xt=δX−δBL−δSP …… で示される補正量Xtを演算し、この補正量XtだけN
C装置23における機械座標系をX軸方向にシフトして
加工プログラムによるX軸方向の送り量を補正する手段
である。
C装置23における機械座標系をX軸方向にシフトして
加工プログラムによるX軸方向の送り量を補正する手段
である。
【0021】上式δXは、変位センサS1,S2の測
定値S1 ,S2 によって補正する主補正量であり、後に
詳述する。δBLは、ボールねじ11の温度変化によっ
て影響される工具12の刃先TaのX軸方向の熱変位量
を示し、軸受温度センサBLの検出温度を変数とする適
宜の演算式で演算される。δSPは、主軸6の温度変化
によって影響されるワークWと工具12との間のX軸方
向の熱変位量を示し、主軸温度センサSPの検出温度を
変数とする所定の演算式で演算される。
定値S1 ,S2 によって補正する主補正量であり、後に
詳述する。δBLは、ボールねじ11の温度変化によっ
て影響される工具12の刃先TaのX軸方向の熱変位量
を示し、軸受温度センサBLの検出温度を変数とする適
宜の演算式で演算される。δSPは、主軸6の温度変化
によって影響されるワークWと工具12との間のX軸方
向の熱変位量を示し、主軸温度センサSPの検出温度を
変数とする所定の演算式で演算される。
【0022】上記構成による熱変位補正の動作につき説
明する。熱変位の検出は、運転の開始時や、開始後の所
定の時間間隔おきの時点などに、次のようにして行う。
明する。熱変位の検出は、運転の開始時や、開始後の所
定の時間間隔おきの時点などに、次のようにして行う。
【0023】すなわち、クロススライド3を主軸台7に
設定位置まで近接させ、両変位センサS1,S2をクロ
ススライド3の被検出板14に接触させる。この接触に
より、差動トランスからなる変位センサS1,S2によ
り、主軸6の軸方向の2箇所における主軸台7とクロス
スライド3とのX軸方向の相対熱変位量S1 S2 (図
5)が検出される。この相対熱変位量S1S2 により、
次式に従って、工具12の刃先Ta(図4)と、目標
座標であるワーク加工点Wa(ワークWの先端位置)と
のX軸方向の誤差成分δX(図5)を演算する。
設定位置まで近接させ、両変位センサS1,S2をクロ
ススライド3の被検出板14に接触させる。この接触に
より、差動トランスからなる変位センサS1,S2によ
り、主軸6の軸方向の2箇所における主軸台7とクロス
スライド3とのX軸方向の相対熱変位量S1 S2 (図
5)が検出される。この相対熱変位量S1S2 により、
次式に従って、工具12の刃先Ta(図4)と、目標
座標であるワーク加工点Wa(ワークWの先端位置)と
のX軸方向の誤差成分δX(図5)を演算する。
【0024】 δX=[(a+b)S1 −bS2 ]/a …… 上式において、aは両変位センサS1,S2間の距
離、bは変位センサS2からワーク加工点Waまでの距
離である。図5から相対熱変位量S1 S2 によって誤差
成分δXが式により演算できることがわかる。なお、
この演算は、各部の熱変位が線形性を有するものとして
近似計算するものである。前記補正演算式のδBLお
よびδSPの演算については、その説明を省略する。
離、bは変位センサS2からワーク加工点Waまでの距
離である。図5から相対熱変位量S1 S2 によって誤差
成分δXが式により演算できることがわかる。なお、
この演算は、各部の熱変位が線形性を有するものとして
近似計算するものである。前記補正演算式のδBLお
よびδSPの演算については、その説明を省略する。
【0025】このようにして、各変位センサS1,S
2、および温度センサSP,BLの検出値により熱変位
補正を行うに際して、センサ出力の処理に図1と共に前
述した雑音除去方法を採用することにより、測定タイミ
ングによるデータのばらつきを解消し、精度良く熱変位
補正を行うことができる。
2、および温度センサSP,BLの検出値により熱変位
補正を行うに際して、センサ出力の処理に図1と共に前
述した雑音除去方法を採用することにより、測定タイミ
ングによるデータのばらつきを解消し、精度良く熱変位
補正を行うことができる。
【0026】
【発明の効果】この発明の計測データの雑音除去方法に
よると、雑音周期の等分割周期でセンサの信号波形を読
み取り、その1周期分のデータを平均して計測データと
するため、どのタイミングから計測を開始しても同等値
となり、雑音が除去される。そのため、測定タイミング
によるデータのばらつきが防止できて、計測データの信
頼性が向上し、工作機械の誤差補正が精度良く行える。
よると、雑音周期の等分割周期でセンサの信号波形を読
み取り、その1周期分のデータを平均して計測データと
するため、どのタイミングから計測を開始しても同等値
となり、雑音が除去される。そのため、測定タイミング
によるデータのばらつきが防止できて、計測データの信
頼性が向上し、工作機械の誤差補正が精度良く行える。
【図1】この発明の一実施例にかかる雑音除去方法を適
用する制御系の概念図である。
用する制御系の概念図である。
【図2】同雑音防止方法を適用する工作機械の制御系全
体のブロック図である。
体のブロック図である。
【図3】その工作機械の斜視図である。
【図4】同工作機械の平面図である。
【図5】同工作機械の熱変位を示す説明図である。
【図6】従来のセンサに含まれる雑音波形の説明図であ
る。
る。
21…NC制御部、40…熱電対温度センサ、41…ア
ンプ、43…A/D変換器、44…平均値データ出力手
段、45…信号読込手段、46…平均値演算手段、47
…熱変位誤差補正手段、A…センサの信号波形、T…雑
音周期、t…等分割周期
ンプ、43…A/D変換器、44…平均値データ出力手
段、45…信号読込手段、46…平均値演算手段、47
…熱変位誤差補正手段、A…センサの信号波形、T…雑
音周期、t…等分割周期
Claims (1)
- 【請求項1】 センサの信号波形に含まれている雑音周
期を測定しその周期の等分割周期を決定する過程と、こ
の等分割周期で前記センサの信号波形を読み取る過程
と、この読み取りデータの前記雑音周期分のデータの平
均値を演算して計測データとする過程と、この計測デー
タを工作機械の誤差補正手段に出力する過程とを含む工
作機械における計測データの雑音除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3261089A JPH0571979A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 工作機械における計測データの雑音除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3261089A JPH0571979A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 工作機械における計測データの雑音除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0571979A true JPH0571979A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=17356935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3261089A Pending JPH0571979A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 工作機械における計測データの雑音除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0571979A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016179525A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 三井精機工業株式会社 | 工作機械及び該工作機械における熱変位補正方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59223897A (ja) * | 1983-06-01 | 1984-12-15 | 帝人株式会社 | 雑音処理方法及び装置 |
-
1991
- 1991-09-11 JP JP3261089A patent/JPH0571979A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59223897A (ja) * | 1983-06-01 | 1984-12-15 | 帝人株式会社 | 雑音処理方法及び装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016179525A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 三井精機工業株式会社 | 工作機械及び該工作機械における熱変位補正方法 |
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