JPH0572916B2 - - Google Patents
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Description
産業上の利用分野
本発明は、新規なフルオロアルコキシ環状ホス
ホニトリルエステルに関する。 従来の技術 従来ロータリーポンプ油としては、40℃の動粘
度が30ないし150センチストークスの石油潤滑油
留分を更に分子蒸留等で分別精製した蒸気圧の極
めて低い、耐熱性の優れた石油系潤滑油がその要
求性能を満足するものとして広く使用されてい
る。 然るに近年、真空の応用分野が拡大されるに伴
つて、ロータリーポンプ油に要求される性能も高
度なものとなり、石油系ロータリーポンプ油では
その要求を満足させることができないケースが多
くなつている。特に薄膜製造技術への真空の利用
の拡大に伴つて、ハロゲン化合物等の活性ガスに
対する優れた耐性を有するロータリーポンプ油の
出現が強く望まれている。例えば、半導体製造工
程におけるドライエツチング装置のロータリーポ
ンプ油は、活性ガスとしてフロン−14と酸素との
混合ガス等が使用されるため、従来の石油系ロー
タリーポンプ油では短時間で油の粘度上昇やスラ
ツジの析出が起こり、頻繁な油の交換を必要と
し、またロータリーポンプの保守に多大な時間と
労力を費すことを余義なくされている。 このため、これらの活性ガスに対して、特に耐
性のあるロータリーポンプ油が要求されている。 現在、活性ガスを使用もしくは排気する必要の
ある装置としては、各種のドライエツチング装置
やイオン注入装置及びプラズマCVD装置等に代
表される半導体製造装置、超硬合金製切削工具用
のCVD装置、ハロゲンランプの製造装置、鉄鋼
の脱ガス装置、超電導材料の製造装置等がある。 また、活性ガスとしてはホスフイン、アルシ
ン、ジボラン、セレン化水素、三塩化ヒ素、シラ
ン、四塩化ケイ素、塩化水素、ジクロルシラン、
フロン−14、アンモニア、五フツ化リン、四フツ
化ケイ素、四塩化炭素、酸素等が用途に応じて単
独もしくは２種類以上の組合せで使用されてい
る。 上記の装置で使用されるロータリーポンプ油
は、いずれも前記従来のポンプでは、活性ガスと
の反応等による油の劣化が激しく、例えば塩素系
の活性ガスの場合にはポンプ油の粘度が低下し、
フツ素系の場合には逆に粘度が上昇する等の変化
やスラツジの析出等が起こるため、長時間に亘つ
て使用し得ず、これに代る耐活性ガス性の優れた
新規なポンプ油の開発が望まれている。特にロー
タリーポンプ油として要求される各種性能のバラ
ンスの問題は極めて微妙な困難を含有しており、
極めた低い粘度と低い蒸気圧を有し、且つ凝固点
がマイナス数＋度という良好な低温特性に加えて
ポンプ運転時の発熱に耐える相当程度の耐熱性を
一つの化学構造に全て実現しなければならない。
これらはそれぞれ相反する要求特性の同時実現と
いう側面があり、例えば分子量を下げれば低い粘
度は得られても蒸気圧は上昇するし、また低温特
性を追求すれば良好な油性を示す温度の上限は低
くなる傾向が生じる等なかなか分子設計上うまく
ゆかぬ困難な問題に遭遇するのである。ましてこ
れらのことが得られた化学物質の極度の安定性、
即ち酸、アルカリ等の活性物質特に活性ガスに対
する優れた安定性を保持した上で具現されねばな
らぬのであるから、これら全ての要求特性を非常
にバランス良く兼備した化学物質を新規に合成す
ることは大変困難である。 本発明者らは、このような観点から上記用途に
満足するフルオロホスホニトリレート油を既に開
発した（特開昭58−164698号公報参照）。しかし
ながら、このフルオロホスホニトリレート油は非
常に優れた潤滑性能及び耐活性ガス性を有してい
るものの、耐熱性、樹脂適合性及び粘性の点で改
良の余地を有している。 本発明者らは、斯かる現状に鑑み、潤滑性能及
び耐活性ガス性の他、耐熱性、樹脂適合性及び粘
性の点にも優れた化合物を開発すべく鋭意研究の
結果、本発明を完成するに至つたものである。 発明の開示 即ち、本発明は、下記式(1)で表わされるフルオ
ロアルコキシ環状ホスホニトリルエステルに係
る。 〔Ｈ（CF2CF2）nCH2Ｏ〕2o-1〔CF3CF2CH2Ｏ〕lPo
No (1) 〔但し、式中、（CF2CF2）nで示されるセグメン
トは、（CF2CF2）なる単位の整数倍である単一の
セグメントもしくは整数倍である異なつた鎖長の
セグメントの混在を示し、単一のセグメントの場
合においてはｍ＝２であり、また異なつた鎖長の
セグメントの混在している場合にあつてはｍはそ
の平均の鎖長を表わす（CF2CF2）単位の平均反
復数を意味しており、ｍの値は1.3≦ｍ≦2.8なる
範囲にあり、ｌの値は2n−１≧ｌ≧１なる範囲
内にあり、またｎはホスホニトリル環骨格のPN
単位の反復数を示し、異なつた反復数の環の混合
体にあつては、その平均の反復数を示すもので、
３≦ｎ≦4.3なる範囲内の実数値をとるものとす
る。〕 本発明において、上記一般式(1)のフルオロアル
コキシ環状ホスホニトリルエステルは、文献未記
載の新規化合物（各種の弗素化アルコールと塩化
ホスホニトリルとの反応生成物としてのフルオロ
アルコキシホスフアゼンは公知であるが、上記一
般式に示したフルオロホスフアゼンについては合
成例及び物性の記載が公知文献に見当らない。）
であり、例えば後記参考例にも示されているよう
に、ホスホニトリルハライドのオリゴマーとフル
オロアルコールより製造される物質である。ここ
でホスホニトリルハライドのオリゴマーとして
は、例えばホスホニトリルクロリドのホリマー、
ホスホニトリルクロリドのテトラマー等やこれら
の混合物を例示できる。また、フルオロアルコー
ルとしては、例えば１，１，３−トリヒドロベル
フルオロプロパノール、１，１，５−トリヒドロ
ペルフルオロペンタノール等の１，１，ω−トリ
ヒドロパーフルオロアルコール等やこれと２，
２，３，３，３−ペンタフルオロプロパノールと
の混合物等を例示できる。また、上記一般式(1)の
フルオロアルコキシ環状ホスホニトリルエステル
は、上記１，１，ω−トリヒドロパーフルオロア
ルコールの１種もしくは２種以上と２，２，３，
３，３−ペンタフルオロプロパノールの混合物を
予めナトリウム等と反応させてアルコラートとし
ておき、次いでこのアルコラートをホスホニトリ
ルハライドのオリゴマーと反応させることによつ
ても製造される。 上記一般式(1)で表わされるフルオロアルコキシ
環状ホスホニトリルエステルの中で、好ましいも
のとしては例えば上記一般式(1)においてｎが４、
ｍが２及びｌが１≦ｌ≦７である混合フルオロア
ルコキシテトラホスホニトリレート等を挙げるこ
とができる。 本発明の化合物は、不燃性潤滑油、作動油等の
用途、特にロータリーポンプ油の用途に好適であ
る。 尚ｌが０の場合、常温での粘度が大きく、ポン
プ起動時に過大のトルクを要し、電動機損傷の原
因となり、またｌが８の場合、常温で固体となり
流体としての使用が不可能なことから、両者共に
上記用途には不適当である。 実施例 以下に実施例及び参考例を掲げて本発明をより
一層明らかにする。 実施例 １ コンデンサー、攪拌装置及び温度計を備えた四
つ口フラスコに２，２，３，３，３−ペンタフル
オロプロパノール310ｇ（2.06モル）、１，１，５
−トリヒドロパーフルオロペンタノール480ｇ
（2.06モル）とトルエン2000mlを仕込み、冷却下
にナトリウムの小片91ｇ（3.95モル）を投入し、
徐々に昇温し、40℃でナトリウムが完全に溶解す
るまで反応を行なつた。この反応液に、トルエン
1000mlに溶解したホスホニトリルクロリドテトラ
マー178ｇ（0.384モル）の溶液を約50℃で滴下
し、還流下に４時間反応を行つた。生成した塩化
ナトリウムを除くため、水洗し、脱水、濃縮後、
油状の粗製物620ｇを得た。これを160〜220℃／
0.5〜0.03mmHgで単蒸留した後、高温精密分留
装置HP−9000B（柴田化学製）にて精密分留を行
ない、各留分のガスクロマトグラフイー、マスス
ペクトル、赤外吸収スペクトル及びプロトン核磁
気共鳴スペクトル分析により下記に示す化合物の
生成を確認した。 （CF3CF2CH2Ｏ）l（HCF2CF2CF2CF2CH2Ｏ）8-l
P4N4 Γ （２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロ
ポキシ）ヘプタキス（１，１，５−トリヒドロ
パーフルオロペンチルオキシ）シクロテトラホ
スホニトリル（ｌ＝１である化合物） 融点：209〜211℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3532 分子量：1946 Γ ビス（２，２，３，３，３−ペンタフルオロ
プロポキシ）ヘキサキス（１，１，５−トリヒ
ドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテト
ラホスホニトリル（ｌ＝２である化合物） 融点：201〜203℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3518 分子量：1864 Γ トリス（２，２，３，３，３−ペンタフルオ
ロプロポキシ）ヘプタキス（１，１，５−トリ
ヒドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテ
トラホスホニトリル（ｌ＝３である化合物） 融点：195〜197℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3503 分子量：1782 Γ テトラキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）テトラキス（１，１，５−
トリヒドロパーフルオロペンチルオキシ）シク
ロテトラホスホニトリル（ｌ＝４である化合
物） 融点：189〜191℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3489 分子量：1700 Γ ペンタキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）トリス（１，１，５−トリ
ヒドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテ
トラホスホニトリル（ｌ＝５である化合物） 融点：179〜182℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3475 分子量：1618 Γ ヘキサキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）ビス（１，１，５−トリヒ
ドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテト
ラホスホニトリル（ｌ＝６である化合物） 融点：168〜170℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3460 分子量：1536 Γ ヘプタキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）（１，１，５−トリヒドロ
パーフルオロペンチルオキシ）シクロテトラホ
スホニトリル（ｌ＝７である化合物） 融点：157〜159℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3446 分子量：1454 上記で得られる各種化合物は同一パターンのス
ペクトルを示すため、これらの内、ペンタキス
（２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロポキ
シ）トリス（１，１，５−トリヒドロパーフルオ
ロペンチルオキシ）シクロテトラホスホニトリル
のプロトン核磁気共鳴スペクトルを第１図に示
す。このスペクトルは5.75、6.40、7.05ppmに弗
素とカツプリングした５位の水素の特徴的な吸収
を有し、他の６種の化合物のスペクトルとの違い
は4.5ppmの１位の水素の吸収との積分強度比が
異なるのみであつた。 上記で得られるテトラキス（２，２，３，３，
３−ペンタフルオロプロポキシ）テトラキス
（１，１，５−トリヒドロパーフルオロペンチル
オキシ）シクロテトラホスホニトリルの赤外吸収
スペクトルを第２図に示す。このスペクトルによ
れば、1350cm-1に環状ホスホニトリル四量体骨格
の吸収が現われている。 上記で得られるトリス（２，２，３，３，３−
ペンタフルオロプロポキシ）ペンタキス（１，
１，５−トリヒドロパーフルオロペンチルオキ
シ）シクロテトラホスホニトリル、テトラキス
（２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロポキ
シ）テトラキス（１，１，５−トリヒドロパーフ
ルオロペンチルオキシ）シクロテトラホスホニト
リル及びペンタキス（２，２，３，３，３−ペン
タフルオロプロポキシ）トリス（１，１，５−ト
リヒドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテ
トラホスホニトリルの蒸気圧線図を第３図に示
す。 実施例 ２ 実施例１と同様にしてアルコラートを合成し、
これにホスホニトリルクロリドトリマー178ｇの
トルエン溶液を滴下し、実施例１と同様に反応、
後処理を行い、油状の粗製物605ｇを得た。これ
を130〜195℃／0.75〜0.03mmHgで単蒸留した
後、HP−9000Bにて精密分留を行ない、下記に
示す化合物の生成を確認した。 （CF3CF2CH2Ｏ）l（HCF2CF2CF2CF2CH2Ｏ）6-1
P3N3 Γ （２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロ
ポキシ）ペンタキス（１，１，５−トリヒドロ
パーフルオロペンチルオキシ）シクロテトラホ
スホニトリル（ｌ＝１である化合物） 沸点：178〜180℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3483 分子量：1439 ビス（２，２，３，３，３−ペンタフルオロ
プロポキシ）テトラキス（１，１，５−トリヒ
ドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテト
ラホスホニトリル（ｌ＝２である化合物） 沸点：167〜169℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3459 分子量：1357 Γ トリス（２，２，３，３，３−ペンタフルオ
ロプロポキシ）トリス（１，１，５−トリヒド
ロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテトラ
ホスホニトリル（ｌ＝３である化合物） 沸点：153〜155℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3436 分子量：1275 Γ テトラキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）ビス（１，１，５−トリヒ
ドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロホス
ホニトリル（ｌ＝４である化合物） 沸点：142〜144℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3412 分子量：1193 Γ ペンタキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）（１，１，５−トリヒドロ
パーフルオロペンチルオキシ）シクロホスホニ
トリル（ｌ＝５である化合物） 沸点：130〜132℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3388 分子量：1111 上記で得られる化合物の内、ビス（２，２，
３，３，３−ペンタフルオロプロポキシ）テトラ
キス（１，１，５−トリヒドロパーフルオロペン
チルオキシ）シクロホスホニトリル、トリス
（２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロポキ
シ）トリス（１，１，５−トリヒドロパーフルオ
ロペンチルオキシ）シクロホスホニトリル及びテ
トラキス（２，２，３，３，３−ペンタフルオロ
プロポキシ）ビス（１，１，５−トリヒドロパー
フルオロペンチルオキシ）シクロホスホニトリル
の核磁気共鳴スペクトルをそれぞれ第４図、第５
図、第６図に示す。また、テトラキス（２，２，
３，３，３−ペンタフルオロプロポキシ）ビス
（１，１，５−トリヒドロパーフルオロペンチル
オキシ）シクロホスホニトリルの赤外吸収スペク
トルを第７図に示す。 実施例 ３ 実施例１と同様の反応器にホスホニトリルクロ
リドテトラマー178ｇ（0.384モル）とトルエン
1000mlを仕込み、完全に溶解した後、１，１，５
−トリヒドロパーフルオロペンタノール480ｇ
（2.06モル）とナトリウム45.5ｇ（1.98モル）より
トルエン1000ml中で調製したアルコラートを滴下
し、50℃で４時間反応を行つた。この反応液に
２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパノー
ル155ｇ（1.03モル）と１，１，３−トリヒドロ
テトラフルオロプロパノール136ｇ（1.03モル）
とナトリウム45.5ｇ（1.98モル）をトルエン100
ml中で別途調製したアルコラートを滴下し、50℃
で４時間反応を行つた。以下、実施例１と同様に
処理、単蒸留、精密分留を行ない、193〜195℃／
0.3mmHgの留分120ｇを得た。得られる化合物
は、ガスクロマトグラフイー、質量分析及びプロ
トン核磁気共鳴スペクトルからビス（２，２，
３，３，３−ペンタフルオロプロポキシ）ビス
（１，１，３−トリヒドロパーフルオロプロポキ
シ）テトラキス（１，１，５−トリヒドロパーフ
ルオロペンチルオキシ）シクロテトラホスホニト
リルであることを確認した。またこの化合物の屈
折率は20℃において1.3567であつた。この化合物
のプロトン核磁気共鳴スペクトルを第８図、赤外
吸収スペクトルを第９図に示す。 実施例 ４ コンデンサー、攪拌装置及び温度計を備えた四
ツ口フラスコに２，２，３，３，３−ペンタフル
オロプロパノール155ｇ（1.03モル）、１，１，５
−トリヒドロオクタフルオロペンタノール240ｇ
（1.03モル）とトルエン1000mlを仕込み、冷却下
にナトリウムの小片45.3ｇ（1.97モル）を投入
し、ナトリウムが完全に溶解するまで40℃で４時
間反応を行なつた。この反応液に、トルエン500
mlに溶解したホスホニトリルクロリドテトラマー
89ｇ（0.192モル）の溶液を約50℃で滴下し、還
流下に４時間反応を行なつた。生成した塩化ナト
リウムを除くため、水洗し、脱水、濃縮後、油状
の粗製物310ｇを得た。これを減圧蒸留し、160〜
193℃／0.3mHgの留分260ｇを分取した。無色透
明のこの油状物はGC及びGC−MS分析の結果、
ｎが４であり、ｍが２である上記一般式(1)の化合
物において、ｌ＝１が1.6％、ｌ＝２が8.6％、ｌ
＝３が22.9％、ｌ＝４が32.7％、ｌ＝５が23.3％、
ｌ＝６が8.5％及びｌ＝７が1.5％の割合の７成分
の混合物であることが確認された。この物質の比
重は1.746（20℃）、粘度は204cps（40℃）、蒸気圧
は1mmHg／188℃、、流動点は−37.5℃であつた。
この物質を以下「化合物Ａ」という。 実施例 ５ ２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパノ
ール63ｇ、１，１，３−トリヒドロテトラフルオ
ロプロパノール56ｇ及び１，１，５−トリヒドロ
オクタフルオロペンタノール98ｇの混合物を用
い、実施例１と同様にしてアルコラートを合成
し、これとホスホニトリルクロライドテトラマー
を反応させて実施例１と同様に処理し、160〜185
℃／0.03mmHgの留分235ｇを分取した。このも
のは無色透明の油状物（以下「化合物Ｂ」とい
う）であつて、比重1.73（20℃）、粘度285cps（40
℃）、流動点−35℃の物性を有していた。またこ
の化合物Ｂは、精密に測定した1H−NMRの積
分値よりｌ＝0.59、ｍ＝1.55の平均値を有するこ
とがわかつた。 実施例 ６ 式Ｈ（CF2CF2）nCH2OHで表わされるテロメリ
ツクフツ化アルコールの混合物（ｍ＝１，２，
３，４，５のそれぞれの比率が33，42，17，５，
３％〔GC分析値で平均の値がｍ＝2.03である〕
240ｇに、２，２，３，３，３−ペンタフルオロ
プロパノール155ｇを加えたものでアルコラート
を合成し、これとホスホニトリルクロリド混合物
（ｎ＝３，４，５，６以上のそれぞれの比率がGC
分析でそれぞれ69，16，７，８％である）89ｇを
反応させ、167〜220℃／0.03mmHgの留分210ｇ
を分取した。このもの（以下「化合物Ｃ」とい
う）の物性は比重1.74（20℃）、粘度340cps（40
℃）、流動点−35℃であつた。 参考例 １ 厳密に溶剤で洗浄した直結型油回転真空ポンプ
に化合物Ａを注入し、始動時及び１週間連続運転
時の油温、真空度及び消費電力の測定を行なつ
た。この結果をそれぞれ第１表及び第２表に示
す。これらの結果から油回転真空ポンプ油として
何等問題のないことが確認された。
ホニトリルエステルに関する。 従来の技術 従来ロータリーポンプ油としては、40℃の動粘
度が30ないし150センチストークスの石油潤滑油
留分を更に分子蒸留等で分別精製した蒸気圧の極
めて低い、耐熱性の優れた石油系潤滑油がその要
求性能を満足するものとして広く使用されてい
る。 然るに近年、真空の応用分野が拡大されるに伴
つて、ロータリーポンプ油に要求される性能も高
度なものとなり、石油系ロータリーポンプ油では
その要求を満足させることができないケースが多
くなつている。特に薄膜製造技術への真空の利用
の拡大に伴つて、ハロゲン化合物等の活性ガスに
対する優れた耐性を有するロータリーポンプ油の
出現が強く望まれている。例えば、半導体製造工
程におけるドライエツチング装置のロータリーポ
ンプ油は、活性ガスとしてフロン−14と酸素との
混合ガス等が使用されるため、従来の石油系ロー
タリーポンプ油では短時間で油の粘度上昇やスラ
ツジの析出が起こり、頻繁な油の交換を必要と
し、またロータリーポンプの保守に多大な時間と
労力を費すことを余義なくされている。 このため、これらの活性ガスに対して、特に耐
性のあるロータリーポンプ油が要求されている。 現在、活性ガスを使用もしくは排気する必要の
ある装置としては、各種のドライエツチング装置
やイオン注入装置及びプラズマCVD装置等に代
表される半導体製造装置、超硬合金製切削工具用
のCVD装置、ハロゲンランプの製造装置、鉄鋼
の脱ガス装置、超電導材料の製造装置等がある。 また、活性ガスとしてはホスフイン、アルシ
ン、ジボラン、セレン化水素、三塩化ヒ素、シラ
ン、四塩化ケイ素、塩化水素、ジクロルシラン、
フロン−14、アンモニア、五フツ化リン、四フツ
化ケイ素、四塩化炭素、酸素等が用途に応じて単
独もしくは２種類以上の組合せで使用されてい
る。 上記の装置で使用されるロータリーポンプ油
は、いずれも前記従来のポンプでは、活性ガスと
の反応等による油の劣化が激しく、例えば塩素系
の活性ガスの場合にはポンプ油の粘度が低下し、
フツ素系の場合には逆に粘度が上昇する等の変化
やスラツジの析出等が起こるため、長時間に亘つ
て使用し得ず、これに代る耐活性ガス性の優れた
新規なポンプ油の開発が望まれている。特にロー
タリーポンプ油として要求される各種性能のバラ
ンスの問題は極めて微妙な困難を含有しており、
極めた低い粘度と低い蒸気圧を有し、且つ凝固点
がマイナス数＋度という良好な低温特性に加えて
ポンプ運転時の発熱に耐える相当程度の耐熱性を
一つの化学構造に全て実現しなければならない。
これらはそれぞれ相反する要求特性の同時実現と
いう側面があり、例えば分子量を下げれば低い粘
度は得られても蒸気圧は上昇するし、また低温特
性を追求すれば良好な油性を示す温度の上限は低
くなる傾向が生じる等なかなか分子設計上うまく
ゆかぬ困難な問題に遭遇するのである。ましてこ
れらのことが得られた化学物質の極度の安定性、
即ち酸、アルカリ等の活性物質特に活性ガスに対
する優れた安定性を保持した上で具現されねばな
らぬのであるから、これら全ての要求特性を非常
にバランス良く兼備した化学物質を新規に合成す
ることは大変困難である。 本発明者らは、このような観点から上記用途に
満足するフルオロホスホニトリレート油を既に開
発した（特開昭58−164698号公報参照）。しかし
ながら、このフルオロホスホニトリレート油は非
常に優れた潤滑性能及び耐活性ガス性を有してい
るものの、耐熱性、樹脂適合性及び粘性の点で改
良の余地を有している。 本発明者らは、斯かる現状に鑑み、潤滑性能及
び耐活性ガス性の他、耐熱性、樹脂適合性及び粘
性の点にも優れた化合物を開発すべく鋭意研究の
結果、本発明を完成するに至つたものである。 発明の開示 即ち、本発明は、下記式(1)で表わされるフルオ
ロアルコキシ環状ホスホニトリルエステルに係
る。 〔Ｈ（CF2CF2）nCH2Ｏ〕2o-1〔CF3CF2CH2Ｏ〕lPo
No (1) 〔但し、式中、（CF2CF2）nで示されるセグメン
トは、（CF2CF2）なる単位の整数倍である単一の
セグメントもしくは整数倍である異なつた鎖長の
セグメントの混在を示し、単一のセグメントの場
合においてはｍ＝２であり、また異なつた鎖長の
セグメントの混在している場合にあつてはｍはそ
の平均の鎖長を表わす（CF2CF2）単位の平均反
復数を意味しており、ｍの値は1.3≦ｍ≦2.8なる
範囲にあり、ｌの値は2n−１≧ｌ≧１なる範囲
内にあり、またｎはホスホニトリル環骨格のPN
単位の反復数を示し、異なつた反復数の環の混合
体にあつては、その平均の反復数を示すもので、
３≦ｎ≦4.3なる範囲内の実数値をとるものとす
る。〕 本発明において、上記一般式(1)のフルオロアル
コキシ環状ホスホニトリルエステルは、文献未記
載の新規化合物（各種の弗素化アルコールと塩化
ホスホニトリルとの反応生成物としてのフルオロ
アルコキシホスフアゼンは公知であるが、上記一
般式に示したフルオロホスフアゼンについては合
成例及び物性の記載が公知文献に見当らない。）
であり、例えば後記参考例にも示されているよう
に、ホスホニトリルハライドのオリゴマーとフル
オロアルコールより製造される物質である。ここ
でホスホニトリルハライドのオリゴマーとして
は、例えばホスホニトリルクロリドのホリマー、
ホスホニトリルクロリドのテトラマー等やこれら
の混合物を例示できる。また、フルオロアルコー
ルとしては、例えば１，１，３−トリヒドロベル
フルオロプロパノール、１，１，５−トリヒドロ
ペルフルオロペンタノール等の１，１，ω−トリ
ヒドロパーフルオロアルコール等やこれと２，
２，３，３，３−ペンタフルオロプロパノールと
の混合物等を例示できる。また、上記一般式(1)の
フルオロアルコキシ環状ホスホニトリルエステル
は、上記１，１，ω−トリヒドロパーフルオロア
ルコールの１種もしくは２種以上と２，２，３，
３，３−ペンタフルオロプロパノールの混合物を
予めナトリウム等と反応させてアルコラートとし
ておき、次いでこのアルコラートをホスホニトリ
ルハライドのオリゴマーと反応させることによつ
ても製造される。 上記一般式(1)で表わされるフルオロアルコキシ
環状ホスホニトリルエステルの中で、好ましいも
のとしては例えば上記一般式(1)においてｎが４、
ｍが２及びｌが１≦ｌ≦７である混合フルオロア
ルコキシテトラホスホニトリレート等を挙げるこ
とができる。 本発明の化合物は、不燃性潤滑油、作動油等の
用途、特にロータリーポンプ油の用途に好適であ
る。 尚ｌが０の場合、常温での粘度が大きく、ポン
プ起動時に過大のトルクを要し、電動機損傷の原
因となり、またｌが８の場合、常温で固体となり
流体としての使用が不可能なことから、両者共に
上記用途には不適当である。 実施例 以下に実施例及び参考例を掲げて本発明をより
一層明らかにする。 実施例 １ コンデンサー、攪拌装置及び温度計を備えた四
つ口フラスコに２，２，３，３，３−ペンタフル
オロプロパノール310ｇ（2.06モル）、１，１，５
−トリヒドロパーフルオロペンタノール480ｇ
（2.06モル）とトルエン2000mlを仕込み、冷却下
にナトリウムの小片91ｇ（3.95モル）を投入し、
徐々に昇温し、40℃でナトリウムが完全に溶解す
るまで反応を行なつた。この反応液に、トルエン
1000mlに溶解したホスホニトリルクロリドテトラ
マー178ｇ（0.384モル）の溶液を約50℃で滴下
し、還流下に４時間反応を行つた。生成した塩化
ナトリウムを除くため、水洗し、脱水、濃縮後、
油状の粗製物620ｇを得た。これを160〜220℃／
0.5〜0.03mmHgで単蒸留した後、高温精密分留
装置HP−9000B（柴田化学製）にて精密分留を行
ない、各留分のガスクロマトグラフイー、マスス
ペクトル、赤外吸収スペクトル及びプロトン核磁
気共鳴スペクトル分析により下記に示す化合物の
生成を確認した。 （CF3CF2CH2Ｏ）l（HCF2CF2CF2CF2CH2Ｏ）8-l
P4N4 Γ （２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロ
ポキシ）ヘプタキス（１，１，５−トリヒドロ
パーフルオロペンチルオキシ）シクロテトラホ
スホニトリル（ｌ＝１である化合物） 融点：209〜211℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3532 分子量：1946 Γ ビス（２，２，３，３，３−ペンタフルオロ
プロポキシ）ヘキサキス（１，１，５−トリヒ
ドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテト
ラホスホニトリル（ｌ＝２である化合物） 融点：201〜203℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3518 分子量：1864 Γ トリス（２，２，３，３，３−ペンタフルオ
ロプロポキシ）ヘプタキス（１，１，５−トリ
ヒドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテ
トラホスホニトリル（ｌ＝３である化合物） 融点：195〜197℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3503 分子量：1782 Γ テトラキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）テトラキス（１，１，５−
トリヒドロパーフルオロペンチルオキシ）シク
ロテトラホスホニトリル（ｌ＝４である化合
物） 融点：189〜191℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3489 分子量：1700 Γ ペンタキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）トリス（１，１，５−トリ
ヒドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテ
トラホスホニトリル（ｌ＝５である化合物） 融点：179〜182℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3475 分子量：1618 Γ ヘキサキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）ビス（１，１，５−トリヒ
ドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテト
ラホスホニトリル（ｌ＝６である化合物） 融点：168〜170℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3460 分子量：1536 Γ ヘプタキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）（１，１，５−トリヒドロ
パーフルオロペンチルオキシ）シクロテトラホ
スホニトリル（ｌ＝７である化合物） 融点：157〜159℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3446 分子量：1454 上記で得られる各種化合物は同一パターンのス
ペクトルを示すため、これらの内、ペンタキス
（２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロポキ
シ）トリス（１，１，５−トリヒドロパーフルオ
ロペンチルオキシ）シクロテトラホスホニトリル
のプロトン核磁気共鳴スペクトルを第１図に示
す。このスペクトルは5.75、6.40、7.05ppmに弗
素とカツプリングした５位の水素の特徴的な吸収
を有し、他の６種の化合物のスペクトルとの違い
は4.5ppmの１位の水素の吸収との積分強度比が
異なるのみであつた。 上記で得られるテトラキス（２，２，３，３，
３−ペンタフルオロプロポキシ）テトラキス
（１，１，５−トリヒドロパーフルオロペンチル
オキシ）シクロテトラホスホニトリルの赤外吸収
スペクトルを第２図に示す。このスペクトルによ
れば、1350cm-1に環状ホスホニトリル四量体骨格
の吸収が現われている。 上記で得られるトリス（２，２，３，３，３−
ペンタフルオロプロポキシ）ペンタキス（１，
１，５−トリヒドロパーフルオロペンチルオキ
シ）シクロテトラホスホニトリル、テトラキス
（２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロポキ
シ）テトラキス（１，１，５−トリヒドロパーフ
ルオロペンチルオキシ）シクロテトラホスホニト
リル及びペンタキス（２，２，３，３，３−ペン
タフルオロプロポキシ）トリス（１，１，５−ト
リヒドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテ
トラホスホニトリルの蒸気圧線図を第３図に示
す。 実施例 ２ 実施例１と同様にしてアルコラートを合成し、
これにホスホニトリルクロリドトリマー178ｇの
トルエン溶液を滴下し、実施例１と同様に反応、
後処理を行い、油状の粗製物605ｇを得た。これ
を130〜195℃／0.75〜0.03mmHgで単蒸留した
後、HP−9000Bにて精密分留を行ない、下記に
示す化合物の生成を確認した。 （CF3CF2CH2Ｏ）l（HCF2CF2CF2CF2CH2Ｏ）6-1
P3N3 Γ （２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロ
ポキシ）ペンタキス（１，１，５−トリヒドロ
パーフルオロペンチルオキシ）シクロテトラホ
スホニトリル（ｌ＝１である化合物） 沸点：178〜180℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3483 分子量：1439 ビス（２，２，３，３，３−ペンタフルオロ
プロポキシ）テトラキス（１，１，５−トリヒ
ドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテト
ラホスホニトリル（ｌ＝２である化合物） 沸点：167〜169℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3459 分子量：1357 Γ トリス（２，２，３，３，３−ペンタフルオ
ロプロポキシ）トリス（１，１，５−トリヒド
ロパーフルオロペンチルオキシ）シクロテトラ
ホスホニトリル（ｌ＝３である化合物） 沸点：153〜155℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3436 分子量：1275 Γ テトラキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）ビス（１，１，５−トリヒ
ドロパーフルオロペンチルオキシ）シクロホス
ホニトリル（ｌ＝４である化合物） 沸点：142〜144℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3412 分子量：1193 Γ ペンタキス（２，２，３，３，３−ペンタフ
ルオロプロポキシ）（１，１，５−トリヒドロ
パーフルオロペンチルオキシ）シクロホスホニ
トリル（ｌ＝５である化合物） 沸点：130〜132℃／0.3mmHg 屈折率（ｎ、20℃）：1.3388 分子量：1111 上記で得られる化合物の内、ビス（２，２，
３，３，３−ペンタフルオロプロポキシ）テトラ
キス（１，１，５−トリヒドロパーフルオロペン
チルオキシ）シクロホスホニトリル、トリス
（２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロポキ
シ）トリス（１，１，５−トリヒドロパーフルオ
ロペンチルオキシ）シクロホスホニトリル及びテ
トラキス（２，２，３，３，３−ペンタフルオロ
プロポキシ）ビス（１，１，５−トリヒドロパー
フルオロペンチルオキシ）シクロホスホニトリル
の核磁気共鳴スペクトルをそれぞれ第４図、第５
図、第６図に示す。また、テトラキス（２，２，
３，３，３−ペンタフルオロプロポキシ）ビス
（１，１，５−トリヒドロパーフルオロペンチル
オキシ）シクロホスホニトリルの赤外吸収スペク
トルを第７図に示す。 実施例 ３ 実施例１と同様の反応器にホスホニトリルクロ
リドテトラマー178ｇ（0.384モル）とトルエン
1000mlを仕込み、完全に溶解した後、１，１，５
−トリヒドロパーフルオロペンタノール480ｇ
（2.06モル）とナトリウム45.5ｇ（1.98モル）より
トルエン1000ml中で調製したアルコラートを滴下
し、50℃で４時間反応を行つた。この反応液に
２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパノー
ル155ｇ（1.03モル）と１，１，３−トリヒドロ
テトラフルオロプロパノール136ｇ（1.03モル）
とナトリウム45.5ｇ（1.98モル）をトルエン100
ml中で別途調製したアルコラートを滴下し、50℃
で４時間反応を行つた。以下、実施例１と同様に
処理、単蒸留、精密分留を行ない、193〜195℃／
0.3mmHgの留分120ｇを得た。得られる化合物
は、ガスクロマトグラフイー、質量分析及びプロ
トン核磁気共鳴スペクトルからビス（２，２，
３，３，３−ペンタフルオロプロポキシ）ビス
（１，１，３−トリヒドロパーフルオロプロポキ
シ）テトラキス（１，１，５−トリヒドロパーフ
ルオロペンチルオキシ）シクロテトラホスホニト
リルであることを確認した。またこの化合物の屈
折率は20℃において1.3567であつた。この化合物
のプロトン核磁気共鳴スペクトルを第８図、赤外
吸収スペクトルを第９図に示す。 実施例 ４ コンデンサー、攪拌装置及び温度計を備えた四
ツ口フラスコに２，２，３，３，３−ペンタフル
オロプロパノール155ｇ（1.03モル）、１，１，５
−トリヒドロオクタフルオロペンタノール240ｇ
（1.03モル）とトルエン1000mlを仕込み、冷却下
にナトリウムの小片45.3ｇ（1.97モル）を投入
し、ナトリウムが完全に溶解するまで40℃で４時
間反応を行なつた。この反応液に、トルエン500
mlに溶解したホスホニトリルクロリドテトラマー
89ｇ（0.192モル）の溶液を約50℃で滴下し、還
流下に４時間反応を行なつた。生成した塩化ナト
リウムを除くため、水洗し、脱水、濃縮後、油状
の粗製物310ｇを得た。これを減圧蒸留し、160〜
193℃／0.3mHgの留分260ｇを分取した。無色透
明のこの油状物はGC及びGC−MS分析の結果、
ｎが４であり、ｍが２である上記一般式(1)の化合
物において、ｌ＝１が1.6％、ｌ＝２が8.6％、ｌ
＝３が22.9％、ｌ＝４が32.7％、ｌ＝５が23.3％、
ｌ＝６が8.5％及びｌ＝７が1.5％の割合の７成分
の混合物であることが確認された。この物質の比
重は1.746（20℃）、粘度は204cps（40℃）、蒸気圧
は1mmHg／188℃、、流動点は−37.5℃であつた。
この物質を以下「化合物Ａ」という。 実施例 ５ ２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパノ
ール63ｇ、１，１，３−トリヒドロテトラフルオ
ロプロパノール56ｇ及び１，１，５−トリヒドロ
オクタフルオロペンタノール98ｇの混合物を用
い、実施例１と同様にしてアルコラートを合成
し、これとホスホニトリルクロライドテトラマー
を反応させて実施例１と同様に処理し、160〜185
℃／0.03mmHgの留分235ｇを分取した。このも
のは無色透明の油状物（以下「化合物Ｂ」とい
う）であつて、比重1.73（20℃）、粘度285cps（40
℃）、流動点−35℃の物性を有していた。またこ
の化合物Ｂは、精密に測定した1H−NMRの積
分値よりｌ＝0.59、ｍ＝1.55の平均値を有するこ
とがわかつた。 実施例 ６ 式Ｈ（CF2CF2）nCH2OHで表わされるテロメリ
ツクフツ化アルコールの混合物（ｍ＝１，２，
３，４，５のそれぞれの比率が33，42，17，５，
３％〔GC分析値で平均の値がｍ＝2.03である〕
240ｇに、２，２，３，３，３−ペンタフルオロ
プロパノール155ｇを加えたものでアルコラート
を合成し、これとホスホニトリルクロリド混合物
（ｎ＝３，４，５，６以上のそれぞれの比率がGC
分析でそれぞれ69，16，７，８％である）89ｇを
反応させ、167〜220℃／0.03mmHgの留分210ｇ
を分取した。このもの（以下「化合物Ｃ」とい
う）の物性は比重1.74（20℃）、粘度340cps（40
℃）、流動点−35℃であつた。 参考例 １ 厳密に溶剤で洗浄した直結型油回転真空ポンプ
に化合物Ａを注入し、始動時及び１週間連続運転
時の油温、真空度及び消費電力の測定を行なつ
た。この結果をそれぞれ第１表及び第２表に示
す。これらの結果から油回転真空ポンプ油として
何等問題のないことが確認された。
【表】
【表】
参考例 ２
厳密に溶剤で洗浄した直結型油回転真空ポンプ
に化合物Ｂを注入し、フロン14と水素との混合ガ
スを使用する試験用プラズマ発生装置の運転を行
なつた。30日間の運転においてモーター電流値に
異常は認められなかつた。油を抜いて調べた結
果、油の上部に少量の赤褐色の液状物が認められ
たが、粘度は40℃において280cpsであり、新油の
同温度における粘度285cpsと比較して殆んど変化
が認められなかつた。使用後の油のIR、NMR及
びMS（マススペクトル）の各分析結果は、いず
れも使用前の油のスペクトルと比較して差が認め
られなかつた。赤褐色液状物はプラズマもしくは
被エツチング物に由来するものと思われるがロー
タリーポンプの運転に支障を来たすほどのもので
はなかつた。 参考例 ３ 半導体製造工程で、フロン14と酸素ガスの混合
ガスを使用してケイ素基板のエツチング作業を行
なつているドライエツチング装置の直結型油回転
真空ポンプ（排気速度960／分、油量2.2）に
化合物Ａを注入して運転を行なつた。 ３週間運転を行なつた後、油を抜いて調べた結
果、油は濁り、赤褐色の混入物が油の上部に若干
浮遊しているのが認められたが、油そのものの粘
度は200cps（40℃）で、新油の粘度204cps（40℃）
と比較して殆んど変化がなく、IR、NMR及び
MSの各スペクトルの結果も使用前のものと差が
なく、上記の活性ガスに対し化合物Ａが極めて優
れた耐性を有することが認められた。尚、濁りと
赤褐色浮遊物は、エツチング物等外部からの混入
物に起因するものと判定された。 参考例４ （樹脂適合性評価） 耐薬品性の要求される用途で頻繁に使用されて
いる弗素ゴムの適合性試験を行なつた。即ち、旭
ケミカルス社製バイトンＯリング（Ｖ＃4640
4DG−30）を化合物Ａに80℃で15日間浸漬した
後、その体積変化を測定した所、体積増加率は
2.2％であつた。比較のために、化合物Ａの代り
にヘキサキス（１，１，５−トリヒドロオクタフ
ルオロペンチル）トリホスホニトリレート（特開
昭58−164698号公報記載の「耐活性ガス性ロータ
リーポンプ油Ａ」）を用い、上記と同様にして体
積増加率を求めた所、9.55％であつた。 以上の結果より、化合物Ａはバイトンを殆んど
膨潤させず良好な樹脂適合性を有することが確認
された。 参考例５ （熱安定性評価） 化合物Ａ、特開昭58−164698号公報記載の「耐
活性ガス性ロータリーポンプ油Ａ」又は市販も鉱
油系高真空オイル「MR−200」を耐熱ガラス容
器中で空気接触下、150℃に加熱し、変化を観察
した。化合物Ａは、20日で僅かにくもりを認めた
が、死後殆んど変化がなかつた。これに対して耐
活性ガス性ロータリーポンプ油Ａは、10日で白濁
を認め、以後徐々にその度合が増加した。また、
MR−200は、加熱開始１時間で淡褐色となり、
以後時間の経過と共に着色が増加した。 以上の結果から化合物Ａは耐熱性が良好である
ことがわかる。
に化合物Ｂを注入し、フロン14と水素との混合ガ
スを使用する試験用プラズマ発生装置の運転を行
なつた。30日間の運転においてモーター電流値に
異常は認められなかつた。油を抜いて調べた結
果、油の上部に少量の赤褐色の液状物が認められ
たが、粘度は40℃において280cpsであり、新油の
同温度における粘度285cpsと比較して殆んど変化
が認められなかつた。使用後の油のIR、NMR及
びMS（マススペクトル）の各分析結果は、いず
れも使用前の油のスペクトルと比較して差が認め
られなかつた。赤褐色液状物はプラズマもしくは
被エツチング物に由来するものと思われるがロー
タリーポンプの運転に支障を来たすほどのもので
はなかつた。 参考例 ３ 半導体製造工程で、フロン14と酸素ガスの混合
ガスを使用してケイ素基板のエツチング作業を行
なつているドライエツチング装置の直結型油回転
真空ポンプ（排気速度960／分、油量2.2）に
化合物Ａを注入して運転を行なつた。 ３週間運転を行なつた後、油を抜いて調べた結
果、油は濁り、赤褐色の混入物が油の上部に若干
浮遊しているのが認められたが、油そのものの粘
度は200cps（40℃）で、新油の粘度204cps（40℃）
と比較して殆んど変化がなく、IR、NMR及び
MSの各スペクトルの結果も使用前のものと差が
なく、上記の活性ガスに対し化合物Ａが極めて優
れた耐性を有することが認められた。尚、濁りと
赤褐色浮遊物は、エツチング物等外部からの混入
物に起因するものと判定された。 参考例４ （樹脂適合性評価） 耐薬品性の要求される用途で頻繁に使用されて
いる弗素ゴムの適合性試験を行なつた。即ち、旭
ケミカルス社製バイトンＯリング（Ｖ＃4640
4DG−30）を化合物Ａに80℃で15日間浸漬した
後、その体積変化を測定した所、体積増加率は
2.2％であつた。比較のために、化合物Ａの代り
にヘキサキス（１，１，５−トリヒドロオクタフ
ルオロペンチル）トリホスホニトリレート（特開
昭58−164698号公報記載の「耐活性ガス性ロータ
リーポンプ油Ａ」）を用い、上記と同様にして体
積増加率を求めた所、9.55％であつた。 以上の結果より、化合物Ａはバイトンを殆んど
膨潤させず良好な樹脂適合性を有することが確認
された。 参考例５ （熱安定性評価） 化合物Ａ、特開昭58−164698号公報記載の「耐
活性ガス性ロータリーポンプ油Ａ」又は市販も鉱
油系高真空オイル「MR−200」を耐熱ガラス容
器中で空気接触下、150℃に加熱し、変化を観察
した。化合物Ａは、20日で僅かにくもりを認めた
が、死後殆んど変化がなかつた。これに対して耐
活性ガス性ロータリーポンプ油Ａは、10日で白濁
を認め、以後徐々にその度合が増加した。また、
MR−200は、加熱開始１時間で淡褐色となり、
以後時間の経過と共に着色が増加した。 以上の結果から化合物Ａは耐熱性が良好である
ことがわかる。
第１図は、実施例１で得られる化合物のプロト
ン核磁気共鳴スペクトル図である。第２図は、実
施例１で得られる化合物の赤外吸収スペクトル図
である。第３図は、実施例１で得られる化合物の
蒸気圧線図である。第４図、第５図及び第６図
は、実施例２で得られる各化合物のプロトン核磁
気共鳴スペクトル図である。第７図は、実施例２
で得られる化合物の赤外吸収スペクトル図であ
る。第８図は、実施例３で得られる各化合物のプ
ロトン核磁気共鳴スペクトル図である。第９図
は、実施例３で得られる化合物の赤外吸収スペク
トル図である。
ン核磁気共鳴スペクトル図である。第２図は、実
施例１で得られる化合物の赤外吸収スペクトル図
である。第３図は、実施例１で得られる化合物の
蒸気圧線図である。第４図、第５図及び第６図
は、実施例２で得られる各化合物のプロトン核磁
気共鳴スペクトル図である。第７図は、実施例２
で得られる化合物の赤外吸収スペクトル図であ
る。第８図は、実施例３で得られる各化合物のプ
ロトン核磁気共鳴スペクトル図である。第９図
は、実施例３で得られる化合物の赤外吸収スペク
トル図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 下記式(1)で表わされるフルオロアルコキシ環
状ホスホニトリルエステル。 〔Ｈ（CF2CF2）nCH2Ｏ〕2o-1〔CF3CF2CH2Ｏ〕lPo
No (1) 〔但し、式中、（CF2CF2）nで示されるセグメン
トは、（CF2CF2）なる単位の整数倍である単一の
セグメントもしくは整数倍である異なつた鎖長の
セグメントの混在を示し、単一のセグメントの場
合においてはｍ＝２であり、また異なつた鎖長の
セグメントの混在している場合にあつてはｍはそ
の平均の鎖長を表わす（CF2CF2）単位の平均反
復数を意味しており、ｍの値は1.3≦ｍ≦2.8なる
範囲にあり、ｌの値は2n−１≧ｌ≧１なる範囲
内にあり、またｎはホスホニトリル環骨格のPN
単位の反復数を示し、異なつた反復数の環の混合
体にあつては、その平均の反復数を示すもので、
３≦ｎ≦4.3なる範囲内の実数値をとるものとす
る。〕 ２ ｍの値が２の単一鎖長のセグメントであり、
ｌの値が2n−１≧ｌ≧１であり、且つｎが４で
ある特許請求の範囲第１項記載のフロオロアルコ
キシ環状テトラホスホニトリルエステル。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9429685 | 1985-04-30 | ||
| JP60-94296 | 1985-04-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6253996A JPS6253996A (ja) | 1987-03-09 |
| JPH0572916B2 true JPH0572916B2 (ja) | 1993-10-13 |
Family
ID=14106304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61101287A Granted JPS6253996A (ja) | 1985-04-30 | 1986-04-30 | フルオロアルコキシ環状ホスホニトリルエステル |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4724264A (ja) |
| EP (1) | EP0204144B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6253996A (ja) |
| DE (1) | DE3662399D1 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5230964A (en) * | 1989-10-05 | 1993-07-27 | The Dow Chemical Company | Magnetic recording media a comprising magnetic particles binder and (fluorinated phenoxy)(3-perfluoroalkylphenoxy)-cyclic phosphazene lubricant |
| US5015405A (en) * | 1989-10-05 | 1991-05-14 | The Dow Chemical Company | (Fluorinated phenoxy)(3-perfluoroalkylphenoxy)-cyclic phosphazenes |
| US5099055A (en) * | 1989-10-05 | 1992-03-24 | The Dow Chemical Company | (Fluorinated phenoxy)(3-perfluoro-alkylphenoxy)-cyclic phosphazenes |
| US5073284A (en) * | 1989-12-07 | 1991-12-17 | Ethyl Corporation | Phosphonitrilic mixed esters |
| IT1256304B (it) * | 1992-11-10 | 1995-11-30 | Ausimont Spa | Derivati fosfazenici e loro impiego come stabilizzanti per oli e grassi a base di perfluoropolieteri |
| US7658994B2 (en) * | 2003-12-30 | 2010-02-09 | 3M Innovative Properties Company | Substrates and compounds bonded thereto |
| EP1704415A1 (en) * | 2003-12-30 | 2006-09-27 | 3M Innovative Properties Company | Substrates and compounds bonded thereto |
| WO2007043450A1 (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Matsumura Oil Research Corp. | パーフルオロポリエーテル化合物、およびこれを用いた潤滑剤ならびに磁気ディスク |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2876247A (en) * | 1957-07-03 | 1959-03-03 | Olin Mathieson Chemcial Corp | Polymeric polyfluoroalkyl phosphonitrilates |
| BE790016A (fr) * | 1971-10-13 | 1973-04-12 | Horizons Research Inc | Preparation de polyphosphazenes |
| JPS6046154B2 (ja) * | 1982-03-24 | 1985-10-14 | 株式会社松村石油研究所 | 耐活性ガス性ロ−タリポンプ油 |
| US4601843A (en) * | 1985-04-02 | 1986-07-22 | Borg-Warner Chemicals, Inc. | Phosphazene based functional fluid compositions |
-
1986
- 1986-04-28 US US06/856,360 patent/US4724264A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-04-29 DE DE8686105872T patent/DE3662399D1/de not_active Expired
- 1986-04-29 EP EP86105872A patent/EP0204144B1/en not_active Expired
- 1986-04-30 JP JP61101287A patent/JPS6253996A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4724264A (en) | 1988-02-09 |
| EP0204144A2 (en) | 1986-12-10 |
| EP0204144A3 (en) | 1987-01-28 |
| JPS6253996A (ja) | 1987-03-09 |
| DE3662399D1 (en) | 1989-04-20 |
| EP0204144B1 (en) | 1989-03-15 |
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