JPH0573599U - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 加速管に負電荷が捉えられるのを防ぎ、ブリ
ーダ電流を正確に測定すること。 【構成】 加速電圧を下げるとき、加速管リング４に接
触するショーティングロッド８で加速管電極３の一部を
短絡する。ショーティングロッドの回路に抵抗９を接続
し、短絡部分の加速管電極に電位を強制的に与える。加
速管の短絡部分における絶縁部に負イオン、電子が捉え
られるのを防ぎ、負電荷が生じても接地部にスムーズに
流れて放電する。負電荷の放電電流によるブリーダ電流
計５の通流電流増加現象を抑制し、ブリーダ電流Ｉが正
確に測定できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、加速管の電極を短絡接地するショーティングロッドを有する電子線 照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

電子線照射装置では、電子線に対する加速電圧（加速エネルギー）を変更して 使用する場合があり、近年、電子線照射装置の多目的使用傾向に伴い、加速電圧 （加速エネルギー）の可変範囲も大きくなってきている。加速電圧を最大電圧よ りも減少させるときには、フォーカス条件を一定とし、加速管で電子線が適切に 加速されるように、加速電極間の電位を或る一定の範囲に維持する必要があり、 電子線の加速を行う加速管は、加速電極と絶縁環のスタックを多段に積層して構 成されており、加速電極には高電圧が印加される関係上、各電極の周囲には、対 応する加速電極と同電位となるように電気的に接続された電界緩和用の加速管リ ング（コロナシールドリング）がそれぞれ設けられているから、加速管リングに 接触するショーティングロッドを用いて、加速管の接地電位側に位置する加速電 極を部分的に短絡接地する方法が採用されている。

【０００３】 図２は、かかる加速電極の短絡を行うことができる電子線照射装置の構成図で ある。フィラメント１からの電子を加速し、下部に電子ビームの走査部が結合さ れている加速管２の周囲には、各加速電極３にそれぞれ接続された加速管リング ４が設けられている。最下段の加速電極３と加速管リング４はブリーダ電流計５ を介して接地接続されており、正極端子が接地されている直流電圧源６の負の直 流高電圧は、各加速電極と加速管リングに接続されている高抵抗のブリーダ抵抗 ７によって各加速電極、加速管リングに分圧印加される。所定の加速電極３を短 絡接地するために、先端に接触子部分を有するショーティングロッド（短絡棒） ８が対応する加速管リング４に接触可能に設けられ、ショーティングロッド８は 最下段の加速リング４とブリーダ電流計５の接続点に接続されており、ショーテ ィングロッド８の接触により、当該加速管リング４より下段の加速管リングもブ リーダ抵抗７によって接地電位とされる。ブリーダ電流計５によってブリーダ抵 抗７に流れるブリーダ電流Ｉが測定され、各加速管電極３、加速リング４間の電 位を知ることができ、ブリーダ電流Ｉそのものは、電子ビームのフォーカス条件 を決定する各加速電極の電位を固定するための重要な要素である。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

電子線照射装置の加速電圧が高くなり、１ＭＶ以上の装置になると、加速管２ の電極数も多くなり、加速管自体も長くなるので、電子ビームの発生に伴い加速 管内の真空度が悪化する。そのために、加速管内においてイオン化が生じ、プラ ズマが生成される。ショーティングロッド８によって短絡接地された加速電極よ り接地側に位置する加速管部分には電位が与えられていないから、負イオンまた は電子の負電荷が集められ、この負電荷が接地部へと流れて消滅するときの電流 Ｉｃが点線で示すようにブリーダ電流計５を通り、電流計の通流電流を増加させ てブリーダ電流Ｉの正確な測定を阻害することになり、かかる無電位状態にある 加速管部分の絶縁環内に捉えられた負イオン又は電子は容易には消滅しない。

【０００５】 本考案は、電子ビーム発生に伴うブリーダ電流の増加現象を抑制した電子線照 射装置を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

かかる目的を達成するために、本考案は、加速管電極を短絡接地するショーテ ィングロッドを有する電子線照射装置において、ショーティングロッドに直列接 続された抵抗を備えてなることを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】

ショーティングロッドに直列接続された抵抗にはブリーダ電流が流れるから、 この抵抗の端子電圧によって、ショーティングロッドの接触に係る加速電極より 接地側下段に位置する加速電極にも強制的に電位が与えられることになり、加速 管の絶縁部に捉えられた電荷を接地部にスムーズに流すと共に、絶縁部に電荷が 捉えられにくくなる。

【０００８】

【実施例】

本考案の一実施例について図面を参照して説明する。図１は電子線照射装置の 構成図であり、図２と同一符号は同等部分を示す。加速管２には、各加速電極３ にそれぞれ接続された加速管リング４が設けられており、加速管リング４に接触 可能のショーティングロッド（短絡棒）８とブリーダ電流計５との間には抵抗９ を接続する。ショーティングロッド８を所要の加速管リング３に接触させると、 この加速管リングより上段部分、即ち電子ビームの加速を行う加速管部分のブリ ーダ抵抗７に流れるブリーダ電流Ｉは、直流電圧源６から、ショーティングロッ ド８及び抵抗９を通る電流Ｉ₁と、前記加速管リングより下段部分のブリーダ抵 抗７を通る電流Ｉ₂の和として供給され、ショーティングロッド８に抵抗９を直 列接続したことにより、ショーティングロッド８の接触に係る加速電極３より接 地側、下段の、電子ビームの加速作用が停止される各加速電極３にも、抵抗９の 端子電圧をブリーダ抵抗で分圧された電位が強制的に与えられる。

【０００９】 このようにして、従来無電位であった電子ビームの加速作用が停止される加速 電極３の部分にも電位が存在するから、かかる加速管部分の絶縁部に捉えられた 負電荷は速やかに接地部に流れると共に、かかる絶縁部に負電荷が捉えられにく くなる。したがって、かかる負電荷に基づくブリーダ電流Ｉの増加現象が抑制さ れるから、電流計５によって、ブリーダ電流を正確に測定、把握できる。

【００１０】 ショーティングロッド８に接続される抵抗９の値は、ショーティングロッド８ に加速電極の短絡段数に応じて１０ないし１００ｋＶの電位を与え、ショーティ ングロッドの接触に係る加速電極３より接地側、下段の加速電極に１段当り数ｋ Ｖの電位差が与えられるように選ばれる。因みに、電子ビームの加速を行う部分 の加速電極１段当りの電位差は３０ｋＶ前後である。

【００１１】

【考案の効果】

本考案は以上説明したように構成したので、ショーティングロッドに直列接続 された抵抗の端子電圧によって、ショーティングロッドの接触に係る加速電極よ り接地側下段に位置する加速電極にも強制的に電位が与えられるから、加速管の 絶縁部に集められた電荷を接地部にスムーズに流すことが可能になると共に、絶 縁部には電荷が集まりにくくなり、ショーティングロッド使用時、ブリーダ電流 を正確に測定、把握することができる。。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の構成図である。

【図２】従来の電子線照射装置の構成図である。

【符号の説明】 2 加速管 3 加速電極 4 加速管リング 5 ブリーダ電流計 6 直流電圧源 7 ブリーダ抵抗 8 ショーティングロッド 9 抵抗 I ブリーダ電流

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 加速管の電極を短絡接地するショーティ
   ングロッドを有する電子線照射装置において、ショーテ
   ィングロッドに直列接続された抵抗を備えてなることを
   特徴とする電子線照射装置。