JPH0573600U - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ブリーダ電流計に加速管に捉えられた負電荷
の放電電流が流れるのを防止すること。 【構成】 加速電圧を下げるとき、加速管リング４に接
触する第１のショーティングロッド８で加速管電極３の
一部を短絡する。接地接続された第２のショーティング
ロッド１０は、第１のショーティングロッドが接触する
加速管リングより１段下の加速管リングに接触する。第
１のショーティングロッドによって無電位、接地電位と
された加速管部分に集まる負電荷は、第２のショーティ
ングロッド、各ブリーダ抵抗７、抵抗１１を通って接地
部に放電する。イオン電流流入防止抵抗９の端子電圧に
より、第１のショーティングロッドの電位を接地電位よ
り数１０Ｖ下げ、ブリーダ電流計５に負電荷の放電電流
が流れ込むのを防ぐ。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、加速管の電極を短絡接地するショーティングロッドを有する電子線 照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

電子線照射装置では、電子線に対する加速電圧（加速エネルギー）を変更して 使用する場合があり、近年、電子線照射装置の多目的使用傾向に伴い、加速電圧 （加速エネルギー）の可変範囲も大きくなってきている。加速電圧を最大電圧よ りも減少させるときには、フォーカス条件を一定とし、加速管で電子線が適切に 加速されるように、加速電極間の電位を或る一定の範囲に維持する必要があり、 電子線の加速を行う加速管は、加速電極と絶縁環のスタックを多段に積層して構 成されており、加速電極には高電圧が印加される関係上、各電極の周囲には、対 応する加速電極と同電位となるように電気的に接続された電界緩和用の加速管リ ング（コロナシールドリング）がそれぞれ設けられているから、加速管リングに 接触するショーティングロッドを用いて、加速管の接地電位側に位置する加速電 極を部分的に短絡接地し、低加速電圧時、短い低電圧用加速管を用いている場合 と同じになる運転手法が採用されている。

【０００３】 図２は、かかる加速電極の短絡を行うことができる電子線照射装置の構成図で ある。フィラメント１からの電子を加速し、下部に電子ビームの走査部が結合さ れている加速管２の周囲には、各加速電極３にそれぞれ接続された加速管リング ４が設けられている。最下段の加速電極３と加速管リング４はブリーダ電流計５ を介して接地接続されており、正極端子が接地されている直流電圧源６の負の直 流高電圧は、各加速電極と加速管リングに接続されている高抵抗のブリーダ抵抗 ７によって各加速電極に分圧印加される。所定の加速電極３を短絡接地するため に、先端に接触子部分を有するショーティングロッド（短絡棒）８が対応する加 速管リング４に接触可能に設けられ、ショーティングロッド８は最下段の加速リ ング４とブリーダ電流計５の接続点に接続されており、ショーティングロッド８ の接触により、当該加速管リング４より下段の加速管リングもブリーダ抵抗７に よって接地電位とされる。ブリーダ電流計５によってブリーダ抵抗７に流れるブ リーダ電流Ｉが測定されるが、ブリーダ電流Ｉは電子ビームの加速を行う各加速 電極３に電位を与えるものであり、その値を正確に検出することは加速管、電子 線照射装置の運転状況を知る上で非常に重要なファクタである。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

電子線照射装置の加速電圧が高くなり、１ＭＶ以上の装置になると、加速管２ の電極数も多くなり、加速管自体も長くなるので、電子ビームの発生に伴い加速 管内の真空度が悪化する。そのために、加速管内においてイオン化が生じ、プラ ズマが生成される。ショーティングロッド８によって短絡接地された加速電極よ り接地側に位置する加速管部分には電位が与えられていないから、負イオンまた は電子の負電荷が集められ、この負電荷が接地部へと流れて消滅するときの電流 Ｉｃがブリーダ電流計５を通り、電流計の通流電流を増加させてブリーダ電流Ｉ の正確な検出を阻害することになり、かかる無電位状態にある加速管部分の絶縁 環内に捉えられた負イオン又は電子は容易には消滅しない。

【０００５】 本考案は、ショーティングロッドの使用により無電位状態とされた加速管部分 の集められた電荷の流れによる電流がブリーダ電流計に流れ込まないようにし、 ブリーダ電流を正確に検出できる電子線照射装置を提供することを目的とするも のである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

かかる目的を達成するために、本考案は、加速管電極を短絡接地するショーテ ィングロッドを有する電子線照射装置において、ブリーダ電流計を介して接地接 続された第１のショーティングロッドと、接地接続された第２のショーティング ロッドとを備えたことを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】

第１のショーティングロッドは、従来のショーティングロッドと同じく加速電 極の短絡接地、ブリーダ電流検出用として働く。第２のショーティングロッドは 、短絡接地部分に捉えられる負イオン、電子を接地部に流すように働くものであ り、第１のショーティングロッドの接触に係る加速電極より１段下の加速電極段 に接触させればよい。

【０００８】

【実施例】

本考案の一実施例について図面を参照して説明する。図１は電子線照射装置の 構成図であり、図２と同一符号は同等部分を示す。加速管２には、各加速電極３ にそれぞれ接続された加速管リング４が設けられており、加速管リング４に接触 可能の第１のショーティングロッド（短絡棒）８はイオン電流流入防止抵抗９と ブリーダ電流計５を介して接地接続する。直接接地接続される第２のショーティ ングロッド１０が設けられ、このショーティングロッドは第１のショーティング ロッド８が接触する加速管リング４より１段下の加速管リング４に接触する。加 速管２の最下段の加速電極３は抵抗１１を介して接地する。

【０００９】 第１のショーティングロッド８を所要の加速管リング４に接触させることによ り、この加速管リングの接触段より接地側、下段の加速電極３は接地電位とされ る。これに伴い、第１のショーティングロッド８によって接地電位、無電位にさ れている加速管部分の絶縁部に集められた負電荷は第２のショーティングロッド １０、各加速電極間に接続されているブリーダ抵抗７、そして抵抗１１を経て接 地部に流れて放電する。第１のショーティングロッド８の回路中に接続されてい るイオン電流流入防止抵抗９にはブリーダ電流Ｉが流れ、同抵抗の電圧降下で第 １のショーティングロッド８の電位を接地電位、したがって第２のショーティン グロッド１０の電位より僅かに、例えば数１０Ｖ低下させることにより、第１の ショーティングロッド８とブリーダ電流計５の回路に負イオン、電子の負電荷に よる放電電流が流入するのを防止する。したがって、ブリーダ電流計５によりブ リーダ電流Ｉを正確に検出することができる。

【００１０】

【考案の効果】

本考案は以上説明したように、加速管の電極短絡とブリーダ電流検出用の第１ のショーティングロッドと、電極短絡部に捉えられた負イオン、電子の負電荷を 接地部に流す第２のショーティングロッドを設けたから、第１のショーティング ロッドの回路中のブリーダ電流計によってブリーダ電流を正確に検出することが できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の構成図である。

【図２】従来の電子線照射装置の構成図である。

【符号の説明】

2 加速管 3 加速電極 4 加速管リング 5 ブリーダ電流計 6 直流電圧源 7 ブリーダ抵抗 8 第１のショーティングロッド 9 イオン電流流入防止抵抗 10 第２のショーティングロッド 11 抵抗 I ブリーダ電流

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 加速管の電極を短絡接地するショーティ
   ングロッドを有する電子線照射装置において、ブリーダ
   電流計を介して接地接続された第１のショーティングロ
   ッドと、接地接続された第２のショーティングロッドと
   を備えたことを特徴とする電子線照射装置。