JPH0574182B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0574182B2 JPH0574182B2 JP59046172A JP4617284A JPH0574182B2 JP H0574182 B2 JPH0574182 B2 JP H0574182B2 JP 59046172 A JP59046172 A JP 59046172A JP 4617284 A JP4617284 A JP 4617284A JP H0574182 B2 JPH0574182 B2 JP H0574182B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- analysis
- exchange pipe
- preliminary
- rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はＸ線マイクロアナライザ、イオンマイ
クロアナライザ、走査型電子顕微鏡などのように
真空本体を備え、荷電粒子線を用いる分析装置の
試料交換装置に関するものである。
クロアナライザ、走査型電子顕微鏡などのように
真空本体を備え、荷電粒子線を用いる分析装置の
試料交換装置に関するものである。
（従来技術）
従来、上記のような分析装置における試料交換
は、装置全体を大気にして行なう方式や、予備排
気される単一の試料交換室を備え、そこへ先に試
料ステージなど分析装置本体に装填されて分析さ
れた試料を一旦収納し、試料交換室のみを大気に
してその試料を取り出し、次に新しい試料を装填
して予備排気した後、分析装置本体へ装填する方
式がとられている。しかし、何れの場合も試料の
交換が一連の動作として行なわれるため、試料交
換に時間がかかり分析効率の低下をきたす問題が
ある。
は、装置全体を大気にして行なう方式や、予備排
気される単一の試料交換室を備え、そこへ先に試
料ステージなど分析装置本体に装填されて分析さ
れた試料を一旦収納し、試料交換室のみを大気に
してその試料を取り出し、次に新しい試料を装填
して予備排気した後、分析装置本体へ装填する方
式がとられている。しかし、何れの場合も試料の
交換が一連の動作として行なわれるため、試料交
換に時間がかかり分析効率の低下をきたす問題が
ある。
（目的）
本発明は、多数の試料の取付け、予備排気、分
析位置への設定、吸気、取出しが連続的に並行し
て行なえ、試料の移動のための時間以外は一切不
要にすることによつて装置の稼動率を向上させ、
分析効率を高める試料交換装置を提供することに
ある。
析位置への設定、吸気、取出しが連続的に並行し
て行なえ、試料の移動のための時間以外は一切不
要にすることによつて装置の稼動率を向上させ、
分析効率を高める試料交換装置を提供することに
ある。
（構成）
本発明は荷電粒子線を用いる分析装置の試料交
換装置であつて、試料交換パイプとその中を摺動
して試料交換を行なう試料棒とから構成されてい
る。試料交換パイプは分析装置本体の真空容器内
の分析位置に開口を有し、その開口から所定距離
のところに予備排気手段を備えている。一方、試
料棒には上記所定距離に対応する間隔で試料取付
部が設けられ、この試料棒と試料交換パイプの間
は気密が保たれている。試料棒は予備排気手段側
から分析位置方向へ一方向に移動する。
換装置であつて、試料交換パイプとその中を摺動
して試料交換を行なう試料棒とから構成されてい
る。試料交換パイプは分析装置本体の真空容器内
の分析位置に開口を有し、その開口から所定距離
のところに予備排気手段を備えている。一方、試
料棒には上記所定距離に対応する間隔で試料取付
部が設けられ、この試料棒と試料交換パイプの間
は気密が保たれている。試料棒は予備排気手段側
から分析位置方向へ一方向に移動する。
以下、実施例により本発明を詳細に説明する。
（実施例）
図はＸ線マイクロアナライザのような分析装置
に本発明を適用した例であり、装置本体の真空容
器１には試料２に電子ビーム３を照射する電子ビ
ーム照射系４や、図には表わされていないが試料
２からの二次電子線などを検出する電子線検出器
や特性Ｘ線を検出するＸ線分光検出系が設けられ
ている。
に本発明を適用した例であり、装置本体の真空容
器１には試料２に電子ビーム３を照射する電子ビ
ーム照射系４や、図には表わされていないが試料
２からの二次電子線などを検出する電子線検出器
や特性Ｘ線を検出するＸ線分光検出系が設けられ
ている。
５は試料交換パイプで、電子ビーム３に対して
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に移動できる試料ステージ６に固
着され、この試料交換パイプ５の外周と真空容器
１との間はベローズ７により可動的に真空封止が
なされている。試料交換パイプ５のうち試料２に
電子ビームが照射され試料２からの二次電子線や
特性Ｘ線が取り出される分析位置には開口８が開
けられ、その開口８から一定の距離のところに予
備排気用の排気口９が開けられ、この排気口９は
真空パイプ１０を介して真空ポンプ１１により常
に排気が行なわれている。
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に移動できる試料ステージ６に固
着され、この試料交換パイプ５の外周と真空容器
１との間はベローズ７により可動的に真空封止が
なされている。試料交換パイプ５のうち試料２に
電子ビームが照射され試料２からの二次電子線や
特性Ｘ線が取り出される分析位置には開口８が開
けられ、その開口８から一定の距離のところに予
備排気用の排気口９が開けられ、この排気口９は
真空パイプ１０を介して真空ポンプ１１により常
に排気が行なわれている。
試料交換パイプ５の内側には試料棒１２が摺動
可能に挿入されており、この試料棒１２には試料
取付部１３が一定の間隔で設けられ、各試料取付
部１３には試料２がセツトされるようになつてい
る。
可能に挿入されており、この試料棒１２には試料
取付部１３が一定の間隔で設けられ、各試料取付
部１３には試料２がセツトされるようになつてい
る。
試料棒１２の試料取付部１３の間隔は、試料交
換パイプ５の開口８と予備排気用排気口９との間
隔に対応しており、試料取付部１３の１つが開口
部８の位置にあるときその手前の試料取付部１３
が排気口９の位置になるように設定されている。
また、隣接する試料取付部１３の間にはＯリング
溝１４が設けられ、そこにＯリング１５がはめら
れて真空容器１の内と外を真空的に封止してい
る。
換パイプ５の開口８と予備排気用排気口９との間
隔に対応しており、試料取付部１３の１つが開口
部８の位置にあるときその手前の試料取付部１３
が排気口９の位置になるように設定されている。
また、隣接する試料取付部１３の間にはＯリング
溝１４が設けられ、そこにＯリング１５がはめら
れて真空容器１の内と外を真空的に封止してい
る。
本実施例の動作を説明すると、いま図の状態に
おいて、試料Ａの分析中、試料Ｂは吸気・試料取
出し中、試料Ｃは予備排気中、試料Ｄは試料取付
中であり、各段階の操作が並行して行なわれてい
る。
おいて、試料Ａの分析中、試料Ｂは吸気・試料取
出し中、試料Ｃは予備排気中、試料Ｄは試料取付
中であり、各段階の操作が並行して行なわれてい
る。
次に、試料Ａの分析が終了すると、試料棒１２
を矢印方向に１ピツチだけ移動させることによ
り、予備排気を終えた試料Ｃが分析位置へ移動
し、試料Ｄが予備排気され、試料Ａが吸気されて
取り出されるようになる。
を矢印方向に１ピツチだけ移動させることによ
り、予備排気を終えた試料Ｃが分析位置へ移動
し、試料Ｄが予備排気され、試料Ａが吸気されて
取り出されるようになる。
以下、同様にして、分析位置の試料の分析が終
了する度に試料棒１２を１ピツチだけ移動させる
だけで試料交換が行なわれる。したがつて、試料
交換に要する時間は試料棒１２を１ピツチ分移動
させるための時間だけである。
了する度に試料棒１２を１ピツチだけ移動させる
だけで試料交換が行なわれる。したがつて、試料
交換に要する時間は試料棒１２を１ピツチ分移動
させるための時間だけである。
本実施例では、試料棒１２は矢印方向へ一方向
的に移動されるだけであるので、例えば、新しい
試料棒１６をネジ込手段１７などにより継ぎ足し
ていけば連続して幾つもの試料を分析することが
できるようになる。
的に移動されるだけであるので、例えば、新しい
試料棒１６をネジ込手段１７などにより継ぎ足し
ていけば連続して幾つもの試料を分析することが
できるようになる。
また、予備排気口９を試料取出し方向（図では
左側）にも設け、試料棒１２を往復動させるよう
にすれば、１本の試料棒１２で繰り返し分析を続
けることができるようになる。
左側）にも設け、試料棒１２を往復動させるよう
にすれば、１本の試料棒１２で繰り返し分析を続
けることができるようになる。
図の実施例は試料ステージ６を備え、試料位置
を移動できるようにしているので、試料交換パイ
プ５と真空容器１の間をベローズ７を用いて可動
的に真空封止しているが、例えば、走査型電子顕
微鏡の如く試料位置を移動する必要のないものも
ある。そのような場合、試料交換パイプ５と真空
容器１との間を固定して真空封止すればよい。
を移動できるようにしているので、試料交換パイ
プ５と真空容器１の間をベローズ７を用いて可動
的に真空封止しているが、例えば、走査型電子顕
微鏡の如く試料位置を移動する必要のないものも
ある。そのような場合、試料交換パイプ５と真空
容器１との間を固定して真空封止すればよい。
（効果）
本発明の試料交換装置では、分析、予備排気、
試料の取付け、取出しが並行して行なわれ、試料
交換に要する時間は試料棒を１ピツチ移動させる
ための時間だけでするので、分析位置の移動効率
が向上し、分析効果が大幅に向上する効果があ
る。
試料の取付け、取出しが並行して行なわれ、試料
交換に要する時間は試料棒を１ピツチ移動させる
ための時間だけでするので、分析位置の移動効率
が向上し、分析効果が大幅に向上する効果があ
る。
図は本発明の一実施例を示す断面図である。
１……分析装置本体の真空容器、２……試料、
５……試料交換パイプ、８……開口、９……予備
排気用排気口、１２……試料棒、１３……試料取
付部、１５……Ｏリング。
５……試料交換パイプ、８……開口、９……予備
排気用排気口、１２……試料棒、１３……試料取
付部、１５……Ｏリング。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 荷電粒子線を用いる分析装置において、 該分析装置本体の真空容器内の分析位置に開口
を有し、該開口から所定距離離れた位置に予備排
気手段を有する試料交換パイプと、 分析試料を保持するために前記所定距離に対応
した間隔で試料取付部が複数個設けられ、前記試
料交換パイプ中を気密に保つて摺動し前記予備排
気手段側から前記分析位置方向へ一方向に移動さ
せられる試料棒と、を備え、前記分析位置に位置
決めされた試料取付部に保持された試料の分析、
前記予備排気手段位置に位置決めされた試料取付
部に保持された試料の予備排気、及び前記試料交
換パイプ外の試料取付部への試料の取付けが同時
になされることを特徴とする試料交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59046172A JPS60189853A (ja) | 1984-03-10 | 1984-03-10 | 試料交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59046172A JPS60189853A (ja) | 1984-03-10 | 1984-03-10 | 試料交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60189853A JPS60189853A (ja) | 1985-09-27 |
| JPH0574182B2 true JPH0574182B2 (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=12739603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59046172A Granted JPS60189853A (ja) | 1984-03-10 | 1984-03-10 | 試料交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60189853A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5032076B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2012-09-26 | 株式会社テクノフロント | 質量分析装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53161686U (ja) * | 1977-05-20 | 1978-12-18 | ||
| JPS57138758A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Sample exchange device |
-
1984
- 1984-03-10 JP JP59046172A patent/JPS60189853A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60189853A (ja) | 1985-09-27 |
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