JPH0541397Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は、光電子分析装置用試料ホルダに係、
特には、Ｘ線や紫外線等の絞ることが困難な光線
を照射して、試料の微小部の分析を行う際に用い
る光電子分析装置用試料ホルダに関する。

(ロ) 従来技術 従来の、Ｘ線等を用いて分析を行う光電子分析
装置の試料ホルダは、第３図の断面図に示すよう
に、試料プローブ１０１上に試料台１０２を取り
付けて構成され、一般の光電子分析は、この試料
台１０２上に接着固定した試料１０３にＸ線を照
射した時、試料１０３表面から放出される光電子
を測定して行つている。

(ハ) 考案が解決しようとする問題点 ところが軟Ｘ線のような光線では、それを容易
に絞る手段が無く、それ故に、光線を絞つて試料
１０３の微小部に当て、その微小部の分析を行な
うことが通常できなかつた。どうしても試料１０
３の微小部の測定を行う場合は、試料１０３の微
小部に相対する部分のみ穴１０４の設けられたカ
バー１０５を、試料１０３上に付設することによ
つて行つている。即ち、Ｘ線源１０６からの照射
光を、カバー１０５の穴１０４から露出する試料
１０３の一微小部に当て、その部分から放出され
て収束レンズ１０７を経た光電子をアナライザで
分析している。

しかしながら、このような構成を有する従来例
の場合では、実際には、Ｘ線源１０６からのＸ線
の照射時に、カバー１０５からも光電子が放出さ
れ、その信号が大きくバツクグラウンドとなつて
測定されて所望部分の正確な分析が行なわれない
欠点があつた。

更に、試料１０３の表面が、カバー１０５によ
つて損傷されやすいという欠点もあつた。

また、Ｘ線光電子分析装置などの表面分析に要
求される内容の多くは、腐食、汚染などで異常部
が正常部と比べてどのような差異があるかの分析
（欠陥分析あるいは比較分析）である。この場合、
１回の試料の取付け導入で少なくとも２個所の分
析を行いたいが、従来の装置では不可能であつ
た。

本考案は、このような事情に鑑みてなされたも
のであつて、試料の被測定部である一微小部から
のみの光電子をアナライザ側に導出し、微小部の
光電子分析を精度良く行えるようにすると共に、
試料ホルダへの１回のセツトおよび超高真空中へ
の１回の試料導入で２個所の分析が簡単に行える
ようにすることを目的とする。

(ニ) 問題点を解決するための手段 本考案は、試料を載置する試料台と、前記試料
台と一定空間を保つて前記試料台を覆うように設
けられ、側面部に光源からの照射光を前記試料台
上に導き入れる複数個の照射開口と、前記試料台
に対向する位置で試料からの電子を取り出すため
の複数個のパイプと、前記パイプを隔離するため
の隔離板をそれぞれ設けた前記試料台のカバー体
と、前記カバー体及び試料台を一体として回転さ
せる回転シヤフトとから成る。

(ホ) 作用 本考案は、光源からの光線を照射開口を通して
試料表面に照射して、試料の表面から光電子放出
させた際、この殆どの光電子をカバー体で遮り、
微小部からの光電子のみをパイプを通過させ、そ
の光電子をアナライザに導く。試料の他の面を測
定するときは、シヤフトを180°回転させ試料の他
の面が光源に向くようにする。そして同様に別の
パイプを通過する光電子をアナライザに導く。

(ヘ) 実施例 以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。第１図は、本考案の実施例に係る
光電子分析装置用ホルダＡを示す断面図である。
１は、上面に試料２が載置される試料台であり、
下面には雄ネジ部３が下方に突出するように設け
られている。

４は、試料台１を一定間隔を保つて覆うように
設けられるボツクス状のカバー体であり、下部構
成部５と、下部構成部５上に嵌合して取り付けら
れる上部構成部６とから成つている。下部構成部
５の底部には雌ネジ部７が設けられていて、前記
試料台１は、この雌ネジ部７に雄ネジ部３が螺進
されて高さ調整自在に取り付けられている。

８は、回転シヤフトであり、この回転シヤフト
８の上部には前記下部構成部５が載置嵌合して取
り付けられ、下部にはモータ１４が取り付けられ
ている。上部構成部６の両方の側面部にはＸ線源
９からの照射光線を試料台１上に導き入れる照射
開口１０が設けられ、上面部の中央には後に述べ
る光電子の導出用部材（パイプ）１３とパイプを
隔離する隔離板１２が設けられている。

上記した試料ホルダーＡを構成するそれぞれの
部材は、全て金属材料から成つている。

次に、この実施例の作用を、この試料ホルダー
Ａの使用方法とともに、第１図と、第２図の光電
子分析装置１８の構成図を用いて説明する。

まず、装置１８外において前記試料ホルダーＡ
に次の手順で試料２の装着を行う。始めに、試料
台１上に、ガス放出の少ない接着剤を用いて試料
２を接着固定し、この試料台１をカバー体の下部
構成部５に、雄ネジ部３を雌ネジ部７に螺進する
ことにより取り付ける。そして、試料台１を取り
付けた下部構成部上に上部構成部６を嵌合して取
り付ける。試料台１の上に載せられた試料２は隔
離板１２（紙面の表裏の方向に長い）の下端ギリ
ギリまでねじ３によつて上方に持ち上げられる。
カバー体４を光学顕微鏡に載せ、パイプ１３の上
端開口１５から試料をのぞき第１図ｂのような微
小な分析点０がパイプ１３の中心になるよう複数
の押えねじ１１で調整する。この時分析点（変質
部）以外の部分Ｐ（相対的には大きな面積を占め
る）は別のパイプ１３の中心に来ていることを確
める。この状態を確めながら、押えねじ１１とね
じ３で試料が動かないようにする。

このようにして、試料２の装着された試料ホル
ダＡを、試料導入室１９の蓋２０とベローズ２１
とが一体に付設された試料ホルダー操作棒２２の
動作端２３に挾持し（点線図示）、この試料ホル
ダー操作棒２２を試料導入室１９に装着し、開閉
バルブ２４を閉じた状態において、試料導入室１
９内の真空引きを行う。そして試料導入室１９内
の真空引きを完了した後、開閉バルブ２４を開
き、操作棒２２の操作部２５を操作し、ベローズ
２１を縮小するようにして動作端２３を装置１８
の本体内に差し入れ、動作端２３に挾持した試料
ホルダＡを試料プローブ８の上部に、その照射開
口１０がＸ線源９に向くように載置嵌合する。

上記の準備が完了したらＸ線源９を動作させて
試料にＸ線を照射する。第１図ａで隔離板１２か
ら左側にある試料表面から電子が発生するがパイ
プ下端開口１６の真下にあるＯ部からの電子のみ
が上端開口１５から飛び出し、レンズ系１７を経
由してエネルギーアナライザ２６に導かれる。

Ｐ部を測定するときはシヤフト８をモータ１４
にて180°回転し右側の開口１０をＸ線源９の方向
に向け分析を行う。

なお、以上の説明では試料の分析箇所が２箇所
の場合だけであつたが、本考案はこれに限定され
ず照射開口、パイプ等を複数個設ければ複数箇所
の分析が同様にできる。

(ト) 効果 本考案によれば、簡単な試料ホルダを１度真空
中に導入するだけで試料を大気中に取り出すこと
なしに複数箇所の分析ができる。特に、高頻度で
分析の要求が起る異常部と正常部の分析を手軽に
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の試料ホルダの実施例断面
図、第２図は本考案の使用状態を示す、光電子部
材装置の構成図、第３図は、従来における試料ホ
ルダの断面図である。 １は試料台、２は試料、４はカバー体、８は回
転シヤフト、１０は照射開口、１３は導出用部材
（パイプ）、１４はモータである。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 試料を載置する試料台と、 前記試料台と一定空間を保つて前記試料台を覆
   うように設けられ、側面部に光源からの照射光を
   前記試料台上に導き入れる複数個の照射開口と、
   前記試料台に対向する位置で試料からの電子を取
   り出すための複数個のパイプと、前記パイプを相
   互に隔離するための隔離板をそれぞれ設けた前記
   試料台のカバー体と、 前記カバー体及び試料台を一体として回転させ
   る回転シヤフトとから成る光電子分析装置用試料
   ホルダー。