JPH0574351A - 真空管の排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 排気ヘッドの排気管部の挿入作業が容易であ
ると共に、排気工程の信頼性の向上を図る。 【構成】 押圧環状部材８の排気管部１ａの挿入穴８ｂ
及び回転ねじ締め金具９の排気管部１ａの挿入穴９ｂ
は、挿入側に広がる形で傾斜面を有し、排気金具６の弾
性部材支持部６ｃの開口部は、ポンプ側に広がる形で傾
斜面を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空管の排気装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の真空管の排気装置は、実開平１ー
７３７４４号公報に従来技術（第３図、第４図参照）と
して開示されているものが知られている。この構造は、
図４に示すように、排気前の真空管１をバルブ支持部材
２に載置し、排気ヘッド３を上昇させて真空管１の排気
管部１ａを排気ヘッド３に挿入する。そして、油拡散ポ
ンプ４及び油回転ポンプ５により真空管１内部の排気を
行うようになっている。

【０００３】前記排気ヘッド３は、図５に示すように、
油拡散ポンプ４の排気口に連通する排気金具６の頭部６
ａ内には弾性部材７を介して押圧環状部材８が載置さ
れ、排気金具６の頭部６ａの外周に形成されたねじ部に
回転ねじ締め金具９を螺合させてなる。また排気金具６
の油拡散ポンプ４側の排気穴６ｂの内径は、排気管部１
ａの径より小さく形成され、排気完了時の排気管部封着
切断残部が油拡散ポンプ４内に吸引落下するのを防ぐ役
目をしている。そこで、前記したように真空管１の排気
管部１ａを排気ヘッド３に挿入する時は、回転ねじ締め
金具９を緩めた状態で挿入し、その後回転ねじ締め金具
９を締め付ける。これにより、押圧環状部材８で弾性部
材７が押圧されて変形し、排気管部１ａは排気ヘッド３
に気密に固定される。この状態で排気する。

【０００４】また前記実開平１ー７３７４４号公報にお
いては、断面がＵ字状の環状弾性部材を新たに設け、こ
の環状弾性部材の内空間に圧縮空気を供給して環状弾性
部材を変形させることにより排気管部１ａを排気ヘッド
３に密着させるものが提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記図５に示す構造
は、排気管部１ａを挿入する押圧環状部材８の挿入穴８
ａ及び回転ねじ締め金具９の挿入穴９ａは、ストレート
で排気管部１ａとの隙間が狭いので、排気管部１ａと回
転ねじ締め金具９の挿入穴９ａとの中心位置及び中心軸
合わせ精度が必要である。このため、排気管部１ａを排
気ヘッド３に挿入する作業が手間取り、熟練作業者に依
存するところが多く、自動化へのネックになっていた。
また挿入された排気管部１ａの傾きに対する裕度がな
く、排気中の真空管１の振動やバルブ支持部材２のがた
つきなどにより、排気管部１ａがクラックするなど排気
工程の信頼性に欠ける面があった。また排気金具６の油
拡散ポンプ４側の排気穴６ｂが小さく、排気ガスの吸引
力を低下させるので、真空管１の真空度に対する信頼性
にも問題点があった。

【０００６】上記実開平１ー７３７４４号公報に示す構
造は、構造が複雑で、また余分に環状弾性部材及び圧縮
空気供給手段を必要とするので、一般には前記した図５
の構造が用いられている。

【０００７】本発明の目的は、排気ヘッドへの排気管部
の挿入作業が容易であると共に、排気工程の信頼性の向
上が図れる真空管の排気装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、真空管の排気管部を気密に固持する排気ヘッドと、
この排気ヘッドに固持された排気管部を通して真空管内
部を排気するポンプとを備え、前記排気ヘッドは、前記
ポンプに接続された排気金具と、この排気金具の頭部内
に配設された弾性部材と、この弾性部材上に配設された
押圧環状部材と、前記排気金具に螺合され前記押圧環状
部材を介して前記弾性部材を押圧する回転ねじ締め金具
とからなる真空管の排気装置において、前記押圧環状部
材の排気管部の挿入穴及び前記回転ねじ締め金具の排気
管部の挿入穴は、挿入側に広がる形で傾斜面を有し、前
記排気金具の弾性部材支持部の開口部は、ポンプ側に広
がる形で傾斜面を有してなることを特徴とする。

【０００９】

【作用】押圧環状部材の排気管部の挿入穴及び回転ねじ
締め金具の排気管部の挿入穴は、排気管部の挿入側が広
い傾斜面よりなり、排気金具の弾性部材支持部の開口部
は、ポンプ側が広い傾斜面よりなるので、弾性部材の密
着部位を支点とした排気管部の傾き回転裕度が向上す
る。これにより、排気管部の排気ヘッドへの挿入作業が
容易になり、また排気中の真空管の振動（特にブラウン
管のように頭部に重心があるものは振動し易い）に対す
る真空管のクラックが防止され、不良原因が減少する。
またポンプ側に連なる排気金具の排気穴の内径を大きく
形成することにより、排気のコンダクタンスが良くな
り、真空管内の真空度に対する信頼性が向上する。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３によ
り説明する。なお、図５と同じ又は相当部材には同一符
号を付して説明する。図１に示すように、回転ねじ締め
金具９の挿入穴９ｂ及び押圧環状部材８の挿入穴８ｂ
は、排気管部１ａの挿入側が広くなるように口径を拡げ
た傾斜面となっている。また弾性部材７を支持する排気
金具６の支持部６ｃの開口部を油拡散ポンプ４側に広が
る形で傾斜を持たせてなる。

【００１１】このように、挿入穴９ｂ及び挿入穴８ｂは
排気管部１ａの挿入側が広い傾斜面よりなり、支持部６
ｃの開口部は油拡散ポンプ４側が広い傾斜面よりなるの
で、弾性部材７の密着部位を支点とした排気管部１ａの
傾き回転裕度が向上する。これにより、排気管部１ａの
排気ヘッド３への挿入作業が容易になり、また排気中の
真空管１の振動（特にブラウン管のように頭部に重心が
あるものは振動し易い）に対する真空管１のクラックが
防止され、不良原因が減少する。

【００１２】また図１に示すように、油拡散ポンプ４に
連なる排気穴６ｄの内径を大きくしてなる。この場合、
排気完了後、排気管部１ａを封止切断する際に排気管部
１ａの残査が油拡散ポンプ４に吸引落下して油拡散ポン
プ４を故障させるのを防止するために、排気穴６ｄ内に
は、図２に示すような網状の排気管残査落下防止部材１
０を設けるか、又は図３に示すように複数個の棒状より
なる排気管残査落下防止部材１１を設ける。ここで、排
気管残査落下防止部材１０又は１１は、排気ガスの抵抗
にならないように少なくとも排気管部１ａの内径断面積
より排気管残査落下防止部材１０又は１１の間隙の総面
積が大きくなるように構成する。

【００１３】このように、排気穴６ｄの内径を大きく形
成してなるので、真空管１内の真空度に対する信頼性が
向上する。この場合、排気穴６ｄ内に排気管残査落下防
止部材１０又は１１を設けることにより、排気管部１ａ
の残査が油拡散ポンプ４に吸引落下するのが防止され
る。

【００１４】

【発明の効果】本発明によれば、排気管部の排気ヘッド
への挿入作業が容易になり、また排気中の真空管の振動
に対する真空管のクラックが防止され、不良原因が減少
する。またポンプ側に連なる排気金具の排気穴の内径を
大きく形成することにより、排気のコンダクタンスが良
くなり、真空管の製品に対する信頼性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる真空管の排気装置の一実施例を示
す要部断面図である。

【図２】図１のＡーＡ線断面図である。

【図３】本発明になる真空管の排気装置の他の実施例を
示し、図２と同様の断面図である。

【図４】真空管の排気装置の全体構成図である。

【図５】従来例の要部断面図である。

【符号の説明】

１ 真空管 １ａ 排気管部 ３ 排気ヘッド ４ 油拡散ポンプ ６ 排気金具 ６ａ 頭部 ６ｃ 支持部 ６ｄ 排気穴 ７ 弾性部材 ８ 押圧環状部材 ８ｂ 挿入穴 ９ 回転ねじ締め金具 ９ｂ 挿入穴 １０、１１ 排気管残査落下防止部材

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空管の排気管部を気密に固持する排気
   ヘッドと、この排気ヘッドに固持された排気管部を通し
   て真空管内部を排気するポンプとを備え、前記排気ヘッ
   ドは、前記ポンプに接続された排気金具と、この排気金
   具の頭部内に配設された弾性部材と、この弾性部材上に
   配設された押圧環状部材と、前記排気金具に螺合され前
   記押圧環状部材を介して前記弾性部材を押圧する回転ね
   じ締め金具とからなる真空管の排気装置において、前記
   押圧環状部材の排気管部の挿入穴及び前記回転ねじ締め
   金具の排気管部の挿入穴は、挿入側に広がる形で傾斜面
   を有し、前記排気金具の弾性部材支持部の開口部は、ポ
   ンプ側に広がる形で傾斜面を有してなることを特徴とす
   る真空管の排気装置。
2. 【請求項２】 前記排気金具は、前記ポンプ側に連なる
   排気穴の内径を広げ、かつ前記排気穴に排気管残査落下
   防止部材を設けてなることを特徴とする請求項１記載の
   真空管の排気装置。