JPH0574901B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0574901B2 JPH0574901B2 JP60034372A JP3437285A JPH0574901B2 JP H0574901 B2 JPH0574901 B2 JP H0574901B2 JP 60034372 A JP60034372 A JP 60034372A JP 3437285 A JP3437285 A JP 3437285A JP H0574901 B2 JPH0574901 B2 JP H0574901B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrodes
- ion source
- ions
- divided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はイオン源に係わり、特に、イオンを引
き出すための少なくとも２個重ね配置された電極
を備えているイオン源に関する。
き出すための少なくとも２個重ね配置された電極
を備えているイオン源に関する。
従来のイオン源の電極に関しては、例えば、特
開昭57−78800号公報に記載のように、イオンが
加速される方向に数個の長方形、又は円形、ある
いは球面形状した電極が重ね配置されていた。
開昭57−78800号公報に記載のように、イオンが
加速される方向に数個の長方形、又は円形、ある
いは球面形状した電極が重ね配置されていた。
しかし、イオン源が多様化し、大型化や多種類
の電極材料が使用されるようになると、電極の熱
変形などにより支持構造が難しくなること、ま
た、大きな電極の材料が製作できないこと、更
に、メンテナンス時にも電極全体を解体しなけれ
ばならず、メンテナンスに長時間かかること等の
難点があるが、上記公知例では、この点について
は配慮されていなかつた。
の電極材料が使用されるようになると、電極の熱
変形などにより支持構造が難しくなること、ま
た、大きな電極の材料が製作できないこと、更
に、メンテナンス時にも電極全体を解体しなけれ
ばならず、メンテナンスに長時間かかること等の
難点があるが、上記公知例では、この点について
は配慮されていなかつた。
本発明は上述の点に鑑みなされたもので、その
目的とするところは、大型化や多種類の電極材料
が使用されるようになつても熱変形が小さくて大
きな面積の電極が得られることは勿論、大きな電
極の材料を製作する必要がなく、かつ、電極のメ
ンテナンスを短時間に行なうことのできるイオン
源を提供するにある。
目的とするところは、大型化や多種類の電極材料
が使用されるようになつても熱変形が小さくて大
きな面積の電極が得られることは勿論、大きな電
極の材料を製作する必要がなく、かつ、電極のメ
ンテナンスを短時間に行なうことのできるイオン
源を提供するにある。
イオンを加速するための電極は、少なくとも２
個の電極間を絶縁物で保持し、電圧を印加してイ
オンを加速するようになつており、この電極は、
フイラメントによる輻射熱とイオンの衝突による
発熱のため温度上昇するが、この温度上昇は電極
の変形を招き、従つて、イオンの方向性が悪くな
るものであつた。
個の電極間を絶縁物で保持し、電圧を印加してイ
オンを加速するようになつており、この電極は、
フイラメントによる輻射熱とイオンの衝突による
発熱のため温度上昇するが、この温度上昇は電極
の変形を招き、従つて、イオンの方向性が悪くな
るものであつた。
このことは、大口径になればなるほど変形量も
多くなり、また、大口径になると電極の材料につ
いて問題があり、製造不可能になるということが
生じてくるし、メンテナンス時にも電極全体を解
体しなければならず時間がかかるものであつた。
そのため、重ね配置された各々の電極を複数個に
分割し、この分割したブロツクは、各々の電極が
組合わされて独立していることより、大きな面積
で、かつ、変形の少ない電極が得られることは勿
論、各ブロツクごとに電極が製造でき、かつ、解
体できる構造とし、前述の目的を達成するように
したものである。
多くなり、また、大口径になると電極の材料につ
いて問題があり、製造不可能になるということが
生じてくるし、メンテナンス時にも電極全体を解
体しなければならず時間がかかるものであつた。
そのため、重ね配置された各々の電極を複数個に
分割し、この分割したブロツクは、各々の電極が
組合わされて独立していることより、大きな面積
で、かつ、変形の少ない電極が得られることは勿
論、各ブロツクごとに電極が製造でき、かつ、解
体できる構造とし、前述の目的を達成するように
したものである。
以下、本発明の一実施例を第１図、及び第２図
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
該図に示すごとく、プラズマ室１には、フイラ
メント電流を導きフイラメント２を加熱するため
の電流導入端子３と、水素やアルゴンなどのガス
を導入するためのガス導入口４がある。一方、イ
オンを加速するための加速電極５、減速電極６、
接地電極７は、各々の電極間をセラミツクスなど
の絶縁物スペーサ８でギヤツプを保ちながら電極
支持金具９に固定されている。
メント電流を導きフイラメント２を加熱するため
の電流導入端子３と、水素やアルゴンなどのガス
を導入するためのガス導入口４がある。一方、イ
オンを加速するための加速電極５、減速電極６、
接地電極７は、各々の電極間をセラミツクスなど
の絶縁物スペーサ８でギヤツプを保ちながら電極
支持金具９に固定されている。
そして、本実施例では、各々の電極を第２図に
示すように、加速されるイオンと直角方向の平面
において複数個に分割し、分割したブロツクは加
速、減速、接地の各電極５，６，７が組合わされ
独立している。
示すように、加速されるイオンと直角方向の平面
において複数個に分割し、分割したブロツクは加
速、減速、接地の各電極５，６，７が組合わされ
独立している。
このようにすれば、電極は複数個のブロツクに
分割されているため、個々のブロツク内の熱変形
が小さいイオン源電極が得られる。また、大型化
しても一体の大きな電極を製作する必要がなく、
個々のブロツクごとに製作可能となるので製作が
容易となる。更に、メンテナンスの時に、電極全
体を解決せず必要な個所のブロツクのみ取外しで
きるため、メンテナンス時間の短縮が図れるとい
う効果をも有する。
分割されているため、個々のブロツク内の熱変形
が小さいイオン源電極が得られる。また、大型化
しても一体の大きな電極を製作する必要がなく、
個々のブロツクごとに製作可能となるので製作が
容易となる。更に、メンテナンスの時に、電極全
体を解決せず必要な個所のブロツクのみ取外しで
きるため、メンテナンス時間の短縮が図れるとい
う効果をも有する。
以上説明した本発明のイオン源によれば、プラ
ズマ室よりイオンを引出すための少なくとも２個
重ね配置された各々の電極を複数個に分割し、分
割された電極のブロツクは、各々の電極が組合わ
され独立しているものであるから、大型化や多種
類の電極材料が使用されるようになつても熱変形
が小さくて大きな面積の電極が得られることは勿
論、大きな電極の材料を製作する必要がなく、か
つ、電極のメンテナンスを短時間に行なうことの
できるイオン源を得ることができる。
ズマ室よりイオンを引出すための少なくとも２個
重ね配置された各々の電極を複数個に分割し、分
割された電極のブロツクは、各々の電極が組合わ
され独立しているものであるから、大型化や多種
類の電極材料が使用されるようになつても熱変形
が小さくて大きな面積の電極が得られることは勿
論、大きな電極の材料を製作する必要がなく、か
つ、電極のメンテナンスを短時間に行なうことの
できるイオン源を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示すイオン源の側
面断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断面
図である。 １……プラズマ室、２……フイラメント、３…
…電流導入端子、４……ガス導入口、５……加速
電極、６……減速電極、７……接地電極、８……
絶縁スペーサ、９……電極支持金具、１０……ブ
ロツク電極。
面断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断面
図である。 １……プラズマ室、２……フイラメント、３…
…電流導入端子、４……ガス導入口、５……加速
電極、６……減速電極、７……接地電極、８……
絶縁スペーサ、９……電極支持金具、１０……ブ
ロツク電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ガス等を導入し、このガス等をプラズマ化す
るプラズマ室と、そのプラズマ室よりイオンを引
出すための少なくとも２個重ね配置された電極と
を備えたイオン源において、 少なくとも２個重ね配置された前記各々の電極
は複数個に分割され、分割された電極のブロツク
は、前記各々の電極が組合わされ独立しているこ
とを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60034372A JPS61195550A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60034372A JPS61195550A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | イオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61195550A JPS61195550A (ja) | 1986-08-29 |
| JPH0574901B2 true JPH0574901B2 (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=12412338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60034372A Granted JPS61195550A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61195550A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0724205B2 (ja) * | 1986-10-08 | 1995-03-15 | 株式会社日立製作所 | イオンビ−ムの加工装置 |
| JP5589916B2 (ja) * | 2011-03-17 | 2014-09-17 | 日新イオン機器株式会社 | スリット電極及びこれを備えた荷電粒子ビーム発生装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5740246U (ja) * | 1980-08-15 | 1982-03-04 | ||
| JPS5778800A (en) * | 1980-11-04 | 1982-05-17 | Hitachi Ltd | Ion source for netral particle incident device |
-
1985
- 1985-02-25 JP JP60034372A patent/JPS61195550A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61195550A (ja) | 1986-08-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |