JPS61195550A - イオン源 - Google Patents

イオン源

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JPS61195550A
JPS61195550A JP60034372A JP3437285A JPS61195550A JP S61195550 A JPS61195550 A JP S61195550A JP 60034372 A JP60034372 A JP 60034372A JP 3437285 A JP3437285 A JP 3437285A JP S61195550 A JPS61195550 A JP S61195550A
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JP
Japan
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electrode
ion source
electrodes
divided
ions
Prior art date
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Application number
JP60034372A
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English (en)
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JPH0574901B2 (ja
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Shinya Sekimoto
関本　信也
Isao Hashimoto
勲 橋本
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 畳〔発明の利用分野〕 本発明は、大型イオン源の製作を可能にするものに係シ
、具体的にはイオン源電極を数個のブロックに分割独立
させたものを組合せて用いることによシ大型化を可能に
したイオン電極に関する。
〔発明の背景〕
従来のイオン源電極は、特開昭５７−７８８００号公報
に記載のように、イオンが加速される方向に数個の長方
形又は円形、あるいは球面形状した電極が重ね配置され
ていた。しかし、イオン源が多用化し、大型化や多種類
の電極材料が使用されるようになると、電極の熱変形な
どにより支持構造がむずかしくなることや、また、大き
な電極の材料が製作出来ないなどの点があり、この点に
ついては配慮されていなかった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は熱変形が小さくて大きな面積の電極が得
られるイオン源電極を提供することにある。
〔発明の概要〕
イオンを加速するための電極は、２個又は２個以上の各
々の電極間を絶縁物で保持し電圧を印加してイオンを加
速するようになっており、この電極はフィラメントによ
る輻射熱とイオンの衝突による発熱のため温度上昇する
が、この温度上昇は電極の変形を招き、したがって、イ
オンの方向性が悪くなるものであった。このことは大口
径になればなる相変形量も多くなり、また、大口径にな
ると電極の材料について問題があり製造不可能になると
いうことが生じてくるものであった。そのため該電極を
小さなブロックに分割したものを組合せることによシ、
大きな面積でかつ変形の少ない電極が得られる構造とし
て、前述の目的を達成するようにしたものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図によシ説明するプラズ
マ室１には、フィラメント電流を導きフィラメント２を
加熱するだめの、電流導入端子３と水素やアルゴンなど
のガスを導入するだめのガス導入口４がある。イオンを
加速するための加速電極５、減速電極６、接地電極７は
各々の電極間をセラミックスなどの絶縁物スペーサ８で
ギャップを保ちながら電極支持金具９に固定されている
。
また、各電極は第２図に示すように加速されるイオンと
直角方向の平面においても数個に分割され、分割された
ブロックは加速、減速、接地の各電極５．６．７が組合
わさり独立している。
このようにすれば電極は数個のブロックに分割されてい
るため、個々のブロック内の熱変形が小さいイオン源電
極が得られる。また、メンテナンスの時に電極全体を解
体せず必要な個所のブロックのみ取外し出来るため、メ
ンテナンス時間短縮を図れるという効果をも有する。
〔発明の効果〕
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば
電極を分割、独立させることにより、電極面積が大きい
にも拘わらず熱変形の少ないイオン源電極を得ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示すイオン源の側面断面図
、第２図は第１図のＡ、　−Ａ線における断面図を示す
。 １・・・プラズマ室、２・・・フィラメント、３・・・
電流導入端子、４・・・ガス導入口、５・・・加速電極
、６・・・減速電極、７・・・接地電極、８・・・スペ
ーサ、９・・・電極支持金具、１０・・・ブロック電極
。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、ガス等を導入し、このガス等をプラズマ化するプラ
    ズマ室と、そのプラズマ室よりイオンを引出すための２
    個以上の重ね配置された電極を備えたイオン源において
    、各々の前記各電極を少なくとも２個以上に分割したこ
    とを特徴とするイオン源電極。
JP60034372A 1985-02-25 1985-02-25 イオン源 Granted JPS61195550A (ja)

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JPH0574901B2 JPH0574901B2 (ja) 1993-10-19

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6394545A (ja) * 1986-10-08 1988-04-25 Hitachi Ltd イオンビ−ムの加工装置
JP2012195177A (ja) * 2011-03-17 2012-10-11 Nissin Ion Equipment Co Ltd スリット電極及びこれを備えた荷電粒子ビーム発生装置

Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5740246U (ja) * 1980-08-15 1982-03-04
JPS5778800A (en) * 1980-11-04 1982-05-17 Hitachi Ltd Ion source for netral particle incident device

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