JPH0575700U - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ビームシャッタを窓箔冷却風で冷却し、シャ
ッタの構成の簡単化、軽量化を図ること。 【構成】 照射窓２の窓フランジ２１に、窓箔２２に対
する吹き出し口６からの冷却風を反転させるリターン金
具７を取り付ける。ビームシャッタ４は窓箔冷却風で冷
却されるから、水冷構造にせずに済み、例えば板体で構
成できる。ビームシャッタの冷却が窓箔冷却風だけでは
不足し、水冷構造とする場合でも、冷却水量が少なくて
済むから、ビームシャッタを小型、軽量化できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、照射窓を覆うことができるビームシャッタを有する電子線照射装置 に関する。

【０００２】

【従来の技術】

電子線照射装置では、被照射物に対する電子ビームの照射時間の制御、搬送さ れる被照射物が所定の位置に到達した時点から照射の開始を行う等のためにビー ムシャッタが用いられている。図２は、ビームシャッタを有する走査型電子線照 射装置の一例を示す断面図である。加速管を通過した電子ビームは走査管１に導 入され、その端部に設けられた照射窓２から電子ビームを大気中に取り出し、矢 印ａ方向に搬送される被照射物３に照射する。照射窓２は、走査管１の端部のフ ランジ部１１に窓フランジ２１で取り付けられた窓箔２２を有し、走査管１及び 加速管を含む電子ビーム発生部内を真空状態に封止している。照射窓２の外側を 覆うことにより、被照射物３の搬送通過領域への電子ビーム到達を阻止するビー ムシャッタ４が設けられている。このビームシャッタ４は、例えば、操作用流体 シリンダ機構とリンク機構による操作、開閉機構を用いて矢印ｂで示すように移 動可能とされており（例えば実願昭６２−１９５５００号参照）、図示の電子ビ ーム遮蔽位置と、点線で示す電子ビーム非遮蔽位置に配置することができる。

【０００３】 電子ビームが照射窓２の窓箔２２を透過するとき、ビームエネルギの一部が熱 に変換され、窓箔温度が上昇するので、窓冷却ダクト５からの冷却風が吹き出し 口６から窓箔２２に吹き付けられ、矢印ｃで示すように流れる。電子ビームをビ ームシャッタ４で遮蔽すると、電子ビームのエネルギはビームシャッタ４で吸収 されて熱に変換される。そこでビームシャッタ４は、例えば、内部に冷却水が通 流するステンレス製の平角パイプ４１を並設して構成されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】 このように、ビームシャッタ４は、冷却水が通流するように構成されているの で、その構造は複雑になり、当然に、冷却水とその供給設備を必要とし、さらに 、冷却水が通流、充満している状態ではビームシャッタ本体の重量に冷却水の重 量が加わるから、全体では極めて重くなり、ビームシャッタ４の操作、開閉機構 は大がかりなものにならざるを得ない。

【０００５】 本考案は、冷却水の不要な、そして冷却水を要する場合でも冷却水量を減らす ことのできる電子線照射装置を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は、照射窓を覆うビームシャッタを有する電子線照射装置において、照 射窓のフランジに取り付けられた窓箔冷却風のリターン部材を備え、ビームシャ ッタを窓箔冷却風で冷却することを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】

ビームシャッタは、照射窓の窓箔を冷却する風で冷却されるから冷却水による 冷却を要しないことになる。窓箔の冷却風だけでは冷却能力が不足する場合には 、冷却水を併用するが、冷却水量は冷却水のみによる場合に比べ少なくて済む。

【０００８】

【実施例】

本考案の一実施例について図面を参照して説明する。図１は、走査型電子線照 射装置に適用した実施例の断面図であり、図２と同一符号は同等部分を示す。加 速管部からの加速された電子ビームは走査管１の端部に設けられた照射窓２を通 り、被照射物３に照射されるが、照射窓２の外側を覆い、被照射物３の搬送通過 領域への電子ビームの到達を阻止するようにビームシャッタ４が設けられている 。電子ビームの透過に伴う照射窓２の窓箔２２の発熱、温度上昇を抑えるために 窓冷却ダクト５からの冷却風が吹き出し口６から窓箔２２に吹き付けられている 。窓箔２２を取付け固定している窓フランジ２１に、窓箔２２の冷却風を反転さ せてビームシャッタ４に当てるリターン金具７を取り付ける。

【０００９】 このリターン金具７は、冷却風が当る面が傾斜している例えば断面が梯形で図 ２に示すように棒状のものであり、これはまた、傾斜屈曲面部を有する金属板で 構成することができる。冷却風は矢印ｄで示すように反転して流れ、ビームシャ ッタ４は窓箔２２の冷却風で冷却されるから、ビームシャッタ４は冷却水による 冷却を不要とすることができる。一般的には、電子ビームの透過に係る窓箔２２ と電子ビームの遮蔽に係るビームシャッタ４では、吸収ビームエネルギの違いか ら冷却に要する冷却媒体量にも差があるが、電子ビームの加速エネルギが大きく ないような場合には、窓箔２２の冷却風だけでビームシャッタ４を十分冷却する ことが可能であり、ビームシャッタ４は、水冷構造を必要としないから、図１に 示すように電子ビームの透過を防ぐことができる厚さの板体で構成することがで き、この板体の反冷却面は放熱面として機能する。したがって、従来のビームシ ャッタ４に比べてその構造は極めて簡単になると共に軽くなり、冷却水の重量分 がない点をも考慮するとビームシャッタ全体の重量が大幅に軽減され、操作、開 閉機構についても小型、軽量化することができる。

【００１０】 窓箔２２の冷却風だけではビームシャッタ４の冷却能力が不足する場合には、 従来のものと同様に、ビームシャッタ４は水冷構造のものとしなければならない が、冷却水だけの場合より冷却水量は少なくて済み、冷却水路の断面高さ、例え ば図３における平角パイプ４１の断面高さｈを減少させることができるから、ビ ームシャッタが軽量化されると共に、冷却水供給設備についても小容量、小型化 することができる。

【００１１】

【考案の効果】

本考案は以上説明したように、ビームシャッタは、照射窓の窓箔を冷却する風 で冷却されるから冷却水による冷却構造を要しないから、ビームシャッタは、板 体で構成することができ、極めて簡単な構造のものとなると共に、軽量化される 。また、窓箔の冷却風だけでは冷却能力が不足し、冷却水を併用する場合にあっ ても、冷却水量は冷却水のみによる場合に比べ少なくて済むから、ビームシャッ タを小型、軽量化することが可能であり、冷却水供給設備を小容量化することが できる。そして、何れの場合にあっても、ビームシャッタの軽量化に伴い、その 操作、開閉機構を簡便に構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】走査型電子線照射装置についての実施例の断面
図である。

【図２】リターン金具の斜視図である。

【図３】従来の走査型電子線照射装置についての断面図
である。

【符号の説明】

1 走査管 2 照射窓 3 被照射物 4 ビームシャッタ 5 窓冷却ダクト 6 吹き出し口 7 リターン金具

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 照射窓を覆うビームシャッタを有する電
   子線照射装置において、照射窓のフランジに取り付けら
   れた窓箔冷却風のリターン部材を備え、ビームシャッタ
   を窓箔冷却風で冷却することを特徴とする電子線照射装
   置。