JPH0576816A

JPH0576816A - 累積膜の連続製造方法

Info

Publication number: JPH0576816A
Application number: JP24758891A
Authority: JP
Inventors: Junjiro Aoki; 恂次郎青木; Yoshihisa Komori; 慶久小森
Original assignee: Fuji Kagakushi Kogyo Co Ltd; Fujicopian Co Ltd
Current assignee: Fujicopian Co Ltd
Priority date: 1991-09-26
Filing date: 1991-09-26
Publication date: 1993-03-30

Abstract

(57)【要約】【目的】単分子膜の２分子累積膜を連続して生成せし
める。【構成】第１の単分子膜形成物質の溶剤溶液および第
２の単分子膜形成物質の溶剤溶液を、それぞれ第１の液
面51上および第２の液面52上に相対する方向に連続的に
供給して第１の単分子膜および第２の単分子膜を連続的
に形成せしめ、前記両単分子膜の先端が合する累積誘導
片２の先端４で両単分子膜を、移動する支持体上に、実
質的に無荷重下に順次移して累積膜とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は累積膜の連続製造法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来半導体技術や光学技術分野において
使用される薄膜には無機材料が使用されていた。しか
し、最近では機能性に富む有機化合物が新しい機能性薄
膜材料として研究・開発されてきている。そして、集積
回路デバイスなどでは有機分子の累積膜の使用が研究さ
れている。

【０００３】累積膜をうるにはまず液面上に単分子膜を
形成し、それを基板表面に移しとる方法で基板上に単分
子膜を累積して単分子累積膜とするのが一般的である。

【０００４】すなわち、二次元ピストンとして移動可能
なフロ−トを設けた展開液槽に水または他の液体を満た
し、揮発性溶剤に単分子膜形成物質を溶解した溶液を前
記液面に滴下し、展開させる。揮発性溶剤の蒸発後はい
わゆる単分子の気体膜が残るが、フロ−トを移動して液
面上の単分子が展開している液面の拡がりを縮めてゆく
と、分子間の相互作用が強まり、液状膨脹膜を経て分子
の配向配列がきれいに揃った凝縮膜（固体膜）が形成さ
れる。ついで前記単分子膜に累積操作に好適な一定の表
面圧をかけながら、基板を垂直に出し入れして単分子膜
を基板に移しとっている。

【０００５】この方法では、浸漬時だけ単分子膜が基板
８に付着するＸ型（図４〜６）、浸漬時にも引上げ時に
も単分子膜が付着するＹ型（図７〜９）、引上げ時のみ
単分子膜が付着するＺ型（図10〜12）の３種類がある。
なお、図４〜12において展開液は水であり、分子９の部
分91は親水性部分、部分92は疎水性部分である。

【０００６】しかし、この方法はいわゆるバッチ式であ
って、生産性は極めて低い。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前記のごとく累積膜を
利用した各種の機能性薄膜が実用化に向かって脚光をあ
びてきてはいるものの、累積膜の生産性がきわめて低い
ということが、その実用化を妨げる一つの大きな要因と
なっている。

【０００８】したがって、累積膜の効率のよい製造方法
の開発が累積膜の実用化を推進するうえで各方面から強
く望まれている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者らは累積膜のこ
の欠点を改善すべく鋭意研究の結果、累積膜を連続して
製造する方法を見出し、前記の問題点を解決することに
成功した。

【００１０】すなわち本発明は、第１の単分子膜形成物
質の溶剤溶液および第２の単分子膜形成物質の溶剤溶液
を、それぞれ第１の液面上および第２の液面上に相対す
る方向に連続的に供給して第１の単分子膜および第２の
単分子膜を連続的に形成せしめ、前記両単分子膜の先端
が合する領域で両単分子膜を、移動する支持体上に、実
質的に無荷重下に順次移して累積膜とすることを特徴と
する累積膜の連続製造方法に関する。

【００１１】本発明はまた、上端部が先端に向かって厚
さを減じた、上下動可能な薄板状の累積誘導片が、該累
積誘導片の厚さよりわずかに広い間隔で設けられた２個
の展開液槽間に両展開液槽の各端部に接触しないように
設けられ、かつその先端が初期状態で両液槽の液面レベ
ルよりわずかに低く位置するように設定されている累積
膜連続製造装置を用い、前記両展開液槽の液面上にそれ
ぞれ第１の単分子膜形成物質の溶剤溶液、および第２の
単分子膜形成物質の溶剤溶液を連続的に供給して、第１
の単分子膜および第２の単分子膜を連続的に形成せし
め、該第１および第２の単分子膜を前記各展開液槽端部
に接するまで移動させたのち、前記累積誘導片をその先
端がわずかに液面レベルより上になる位置にまで上昇せ
しめることによって、前記両単分子膜を前記累積誘導片
の上端部で互いに接触させて累積せしめつつ、前記累積
誘導片の上端部に近接して移動する支持体上に、実質的
に無荷重下に順次移すことを特徴とする累積膜の連続製
造方法に関する。

【００１２】本発明はまた、下端部が先端に向かって厚
さを減じた、上下動可能な薄板状の累積誘導片が、該累
積誘導片の厚さよりわずかに広い間隔で設けられた２個
の展開液槽間に両展開液槽の各端部に接触しないように
設けられ、かつその先端が初期状態で両液槽の液面レベ
ルよりわずかに低く位置するように設定されている累積
膜連続製造装置を用い、前記両展開液槽の液面上にそれ
ぞれ第１の単分子膜形成物質の溶剤溶液、および第２の
単分子膜形成物質の溶剤溶液を連続的に供給して、第１
の単分子膜および第２の単分子膜を連続的に形成せし
め、該第１および第２の単分子膜を前記累積誘導片に接
するまで移動させたのち、前記累積誘導片をその先端が
わずかに液面レベルより上になる位置にまで上昇せしめ
ることによって、前記両単分子膜を前記累積誘導片の下
端部で互いに接触させて累積せしめつつ、前記累積誘導
片下端部に近接して移動する支持体上に、実質的に無荷
重下に順次移すことを特徴とする累積膜の連続製造方法
に関する。

【００１３】本発明はまた、下端部が先端に向かって厚
さを減じた、上下動可能な薄板状の累積誘導片が、該累
積誘導片の厚さよりわずかに広い間隔で設けられた２個
の展開液槽間に両展開液槽の各端部に接触しないように
設けられ、かつその先端が初期状態で両液槽の液面レベ
ルよりわずかに高く位置するように設定されている累積
膜連続製造装置を用い、前記両展開液槽の液面上にそれ
ぞれ第１の単分子膜形成物質の溶剤溶液、および第２の
単分子膜形成物質の溶剤溶液を連続的に供給して、第１
の単分子膜および第２の単分子膜を連続的に形成せし
め、該第１および第２の単分子膜を前記各展開液槽端部
に接するまで移動させたのち、前記累積誘導片をその先
端がわずかに液面レベルより下になる位置にまで下降せ
しめることによって、前記両単分子膜を前記累積誘導片
の下端部で互いに接触させて累積せしめつつ、前記累積
誘導片の下端部に近接して移動する支持体上に、実質的
に無荷重下に順次移すことを特徴とする累積膜の連続製
造方法に関する。

【００１４】本発明はまた、展開液槽の中央付近の液中
に、上端部が先端に向かって厚さを減じた薄板状の累積
誘導片が、前記展開槽の液面を第１の液面と第２の液面
とに２分するように、かつ初期状態でその先端が僅かに
液面上にあるように設定されている累積膜連続製造装置
を用い、前記両液面上にそれぞれ第１の単分子膜形成物
質の溶剤溶液、および第２の単分子膜形成物質の溶剤溶
液を連続的に供給して、第１の単分子膜および第２の単
分子膜を連続的に形成せしめ、両単分子膜を前記累積誘
導片に接するまで移動させ、該累積誘導片の上端部で互
いに接触せしめて累積せしめつつ、前記累積誘導片の上
端部にごく近接して移動する支持体上に、実質的に無荷
重下に順次移すことを特徴とする累積膜の連続製造方法
に関する。

【００１５】本発明はまた、展開液槽の中央付近の液中
に、上端部が先端に向かって厚さを減じた、上下および
水平方向に移動可能な薄板状の累積誘導片が、前記展開
液槽の液面を第１の液面と第２の液面とに２分するよう
に、かつ初期状態でその先端が僅かに液面下にあるよう
に設定されている累積膜連続製造装置を用い、前記両液
面上にそれぞれ第１の単分子膜形成物質の溶剤溶液、お
よび第２の単分子膜形成物質の溶剤溶液を連続的に供給
して、第１の単分子膜および第２の単分子膜を連続的に
形成せしめ、前記両単分子膜を前記累積誘導片の方向に
移動せしめ、その上端部付近に達したところで、累積誘
導片をその先端が液面よりわずかに上になる位置にまで
上昇せしめ、前記両単分子膜を前記累積誘導片の上端部
で互いに接触せしめて累積せしめつつ、前記累積誘導片
の上端部にごく近接して移動する支持体上に、実質的に
無荷重下に順次移すことを特徴とする累積膜の連続製造
方法に関する。

【００１６】本発明はまた、展開液槽の中央付近の液中
に、下端部が先端に向かって厚さを減じた、上下および
水平方向に移動可能な薄板状の累積誘導片が、前記展開
液槽の液面を第１の液面と第２の液面とに２分するよう
に、かつ初期状態でその先端が僅かに液面下にあるよう
に設定されている累積膜連続製造装置を用い、前記両液
面上にそれぞれ第１の単分子膜形成物質の溶剤溶液、お
よび第２の単分子膜形成物質の溶剤溶液を連続的に供給
して、第１の単分子膜および第２の単分子膜を連続的に
形成せしめ、前記両単分子膜を前記累積誘導片に接する
まで移動せしめたのち、前記累積誘導片をその先端がわ
ずかに液面より上になる位置にまで上昇せしめ、前記両
単分子膜を前記累積誘導片の下端部で互いに接触せしめ
て累積せしめつつ、前記累積誘導片の下端部にごく近接
して移動する支持体上に、実質的に無荷重下に順次移す
ことを特徴とする累積膜の連続製造方法に関する。

【００１７】

【作用および実施例】本発明の方法は同一の、または異
なった単分子膜を累積誘導片を介して累積しつつ、これ
を支持体に連続して移しとることによって累積膜をつく
ることを特徴としている。前記同一のまたは異なった２
種類の単分子膜は、それぞれ異なった展開液槽で生成せ
しめてもよく、あるいは一つの展開液槽を分割してそれ
ぞれの領域で別個に生成せしめてもよい。

【００１８】以下図面に基づいて本発明の方法を説明す
る。

【００１９】本発明の方法において使用する装置は図１
および図２に示すごとく２つの展開液槽11、12間に累積
誘導片２が設けられたものであっても、あるいは図３に
示すごとく１つの展開液槽１中にこれを２分するように
累積誘導片２が設けられたものであってもよい。

【００２０】前記展開液槽の形に特別の限定はないが、
少なくともえようとする累積膜の幅以上の幅が必要であ
り、通常は長方形のものが使用される。図１および図２
のごとく２槽を用いるばあいには、それらは後記する累
積誘導片と接触しない程度にできるかぎり近接して設け
られる。

【００２１】前記累積誘導片２は単分子膜を累積するた
めの薄板状の補助具で、金属、ガラス、プラスチックス
あるいは塗膜などによる滑らかな表面を有している。単
分子膜が水など極性の液体上に形成されるときは、単分
子膜の親水性部分は液中に、疎水性部分は液気界面に並
ぶので累積誘導片の表面はガラス、金属などの親水性の
材料にするのが好適である。単分子膜が非極性の液体上
に形成されるときは、累積誘導片の表面は疎水性の材料
が一般に使用される。

【００２２】累積誘導片２は横幅は展開液槽１、11、12
の幅とほぼ等しく、その上端部または下端部が先端４に
向かって厚さを減じた板状で、断面は頂点がやや丸みを
帯びた二等辺三角形をしている。その厚さは幅、材質に
よって異なるが、上下動に対してゆがみが起こらない程
度が好ましく、実際には１〜10mm程度のものが用いられ
る。前記先端４は実施の態様によって上端のばあいと、
下端のばあいとがある。図３のばあいのごとく展開液槽
が１つのばあいには、累積誘導片２の材質は耐水性でそ
の両側辺は展開液槽の側壁に接触しており展開液面を２
分している。

【００２３】前記累積誘導片２は液槽外に設けられた移
動手段によって、上下に移動可能である。なお、図３の
ごとく１槽のみを用いるタイプのばあいはさらに水平方
向にも移動可能とするのがよい。

【００２４】前記展開液槽１、11、12の、累積誘導片か
ら遠い端面71、72には、およそその幅にわたってごく狭
いスリット状の吐出ノズル31、32を有する単分子膜形成
物質溶液供給手段が液面に接して設けられている。

【００２５】前記展開液槽１、11、12には平滑な面を作
る展開液が満たされている。これは通常は純水が使用さ
れるが、化学的に不活性な高純度の有機溶剤を用いるこ
ともできる。水をはじめこれらの溶剤は高純度であるこ
とが必要条件であるということは、これらの品質が一定
であり、不純物を過剰に含まないことを意味し、水をは
じめ不活性溶剤は使用する過程で洗浄分別を行う。

【００２６】２つの相異なる展開液を用いるばあいは図
１のごとく、２つの展開液槽を使用する必要がある。

【００２７】該累積誘導片２の両側の液面上には、通常
累積誘導片と平行に各１本の線状体61、62が設けられて
いて、液槽の端部71、72との間に展開液面51、52を区切
っている。該線状体は絹糸、銅アンモニア人絹糸、レ−
ヨン糸、アセテ−ト糸、ナイロン糸、ポリエスエル糸な
ど、疎水性に近い両親媒性繊維から作る微細な糸からな
るもので、細いほどよく通常は直径が１〜0.5 μｍ程度
のものが好ましい。前記線状体は展開液槽外にある緊張
手段でたるまないように液面上に張られており、かつ液
槽外にある移動手段によって累積誘導片と平行を保った
まま展開液槽の一端から累積誘導片まで、液面上を移動
することが可能である。

【００２８】前記線状体61、62は、液面上に生成した単
分子の層を表面圧によって揃え単分子膜を形成しやすく
することと、生成した単分子膜の縁を累積誘導片２と平
行に揃え、その状態のまま累積誘導片２にまで誘導する
機能を有する。

【００２９】単分子膜形成物質としては、単分子膜形成
能のある両親媒性の化合物、たとえばカルボキシル基、
スルホ基、アンモニウム基、水酸基などの親水性基と長
鎖の炭化水素基などの疎水性基の両方をもつ界面活性
剤、カップリング剤、脂肪酸、有機合成高分子、蛋白質
などが用いられる。

【００３０】前記単分子膜形成物質は、高純度で揮発性
または展開液と混合しうる有機溶剤、たとえばアルコー
ル類、ケトン類、エーテル類、エステル類、炭化水素な
どの単独または混合物に完全に溶解して用いられる。そ
の濃度は単分子膜形成物質の種類、分子量、溶剤の溶解
能によって異なるが、容易に単分子膜に拡散することが
できる範囲であって、しかも高いほど好ましく、通常
0.1〜5.0 重量％程度で使用される。

【００３１】単分子膜を生成せしめるには、ノズル31か
ら前記単分子膜の構成物質Ａの溶液を前記線状体61と前
記液槽の端部71とに挟まれた液面51上に、またノズル32
からＢの溶液を液面52上に静かに流延する。この際Ａと
Ｂとは同じであっても異なっていてもよい。

【００３２】前記単分子膜の構成物質の溶液を一定速度
で供給しつづけると、溶剤が揮発するか展開液に溶解す
る結果、展開液に不溶の単分子膜形成物質が展開液面に
析出し、表面圧により線状体に沿って固体膜が形成され
る。そののちさらに前記溶液の供給をつづけながら前記
線状体を前記累積誘導片方向に移動させ、累積誘導片の
両側の単分子膜の前縁を累積誘導片に同時に接触せしめ
る。

【００３３】累積膜をうるには、累積誘導片の両側に到
達した単分子膜の前縁を同時に累積誘導片の先端４に至
らしめる。先端４で左右両側の単分子膜が互いに接触し
てＹ型の２分子累積膜となったところで、該２分子累積
膜を累積誘導片上から、先端４にごく近接して移動する
支持体上に実質的に無荷重下に順次移してゆく。

【００３４】ここで実質的に無荷重とは累積誘導片上で
生成した２分子累積膜が、とくに力を加えられない状態
のまま支持体上に、親和性の差にもとづく付着によって
直接移ることを意味する。

【００３５】前記移動する支持体の材質はプラスチッ
ク、金属などの薄膜で、のちの利用も考慮して選択され
る。たとえば親水性のフィルムとしては表面処理ポリビ
ニルアルコール、エチレン改質ポリビニルアルコール、
疎水性のフィルムとしてはポリエチレンテレフタレー
ト、ポリアミド、ビニルアルコール改質ポリエチレン、
ポリエチレンなどがあげられる。えられる２分子膜が累
積誘導片に疎水性基で吸着するばあいには疎水性の支持
体が、親水性基で吸着するばあいには親水性の支持体が
使用される。

【００３６】支持体は、厚さが約2.5 〜10.0μｍ程度の
ロール状に巻かれた長尺のものが取扱いの点から好まし
い。表面に累積膜を有する支持体は駆動軸で巻き取られ
るか、あるいはシート状に裁断される。

【００３７】支持体に代わって、無端ベルトなどの適当
な仮の受容体に累積膜を移し、そののち該受容体に近接
して平行に同じ速度で移動する前記の支持体に再び移す
こともできる。このばあい、仮の受容体の材質の選択は
直接支持体に移すばあいにくらべて選択の自由度が大き
い。

【００３８】単分子膜および累積膜の形成操作に用いら
れる水、溶剤、器具などは単分子膜形成の一般的注意に
したがって、不純物などによる汚染をさけねばならな
い。また操作中は温度は一定に、濃度もできるかぎり一
定に保つことが必要である。

【００３９】該支持体の移動速度は単分子膜の生成速度
と釣り合うことが必要で、通常約10〜200 mm／分程度で
あるが、一般にディスペンサーと呼ばれている定比例秤
量、均斉混合、定量吐出装置を使用して単分子膜形成物
質を溶剤に溶解し、そのまま単分子膜を形成しやすい濃
度、速度で流延するときは 200〜2000mm／分の速度にま
で上昇せしめることができる。

【００４０】以下具体的な各態様について説明する。

【００４１】態様１においては、図１に示されるように
累積誘導片２を挟んで２個の展開液槽11、12が該累積誘
導片の厚さよりもごく僅か広い間隔で設けられている。
累積誘導片２の上端部は先端４にむかって厚さを順次減
じ、頂点がやや丸みをおびた二等辺三角形の断面をもつ
ごく薄い板状をしている。該累積誘導片は垂直に自立で
きる限り薄いほうがよく、液槽外にある移動手段によっ
て上下方向に移動可能である。初期状態では先端４が液
面レベル51、52よりわずか下になるように設けられてお
り、液槽の端部には接触していない。

【００４２】線状体61、62はなくてもよいがあったほう
が好ましい。

【００４３】単分子膜を生成せしめるには、単分子膜形
成物質の溶液を前記線状体61と前記液槽の端部71とに挟
まれた液面51上にノズル31から、また液面52上にはノズ
ル32から静かに流延する。流延を一定速度でつづける
と、表面圧によって線状体を前縁とした単分子膜を形成
する。そののちさらに前記溶液の流延をつづけながら前
記線状体を前記累積誘導片方向に移動させ、その前縁を
液槽の端部に到達せしめる。

【００４４】累積膜をうるには、単分子膜の前縁が前記
液槽の端部に到達したとき、前記累積誘導片２をその上
端部の先端４が液面レベルよりわずかに上になるように
上昇せしめて、到達した単分子膜の前縁を同時に累積誘
導片の先端に至らしめる。先端で左右両側の単分子膜が
互いに接触して２分子累積膜となったところで、該２分
子累積膜を累積誘導片先端４上から、先端にごく近接し
て移動する支持体上に実質的に無荷重下に順次移してゆ
く。

【００４５】態様２においては、累積誘導片はその大部
分が液面レベルより上にあり、その順次薄くなる先端４
が下端部に設けられていて、初期状態では先端４が前記
液面レベルよりわずか下になるように設定されている。
その他両液槽の間隔などについては態様１のばあいと全
く同様である。

【００４６】累積膜をうるには、前記態様１のばあいと
同様にして液面51、52上に単分子膜をつくり、その前縁
が展開液槽の端部に達し前記累積誘導片２に触れたの
ち、該累積誘導片２をその先端が僅かに液面上にでるま
で上昇せしめ、左右の単分子膜を同時にその下端部の先
端４に至らしめる。先端４で左右両側の単分子膜が互い
に接触して２分子累積膜となったところで、該２分子累
積膜を累積誘導片先端４上から、先端にごく近接して移
動する支持体上に実質的に無荷重下に順次移してゆく。

【００４７】態様３においては、図２に示すごとく累積
誘導片は全体が液面レベル上にあり、その順次薄くなる
先端４が下端部に設けられていて、初期状態では先端４
が液面レベルよりわずか上にあるように設定されてい
る。

【００４８】累積膜をうるには、まず態様１のばあいと
同様にして液面51、52上に単分子膜をつくり、その前縁
が展開液槽の端部に到達したとき、前記累積誘導片２を
その下端部の先端４が液面レベルより下になるように下
降せしめて、先端４で単分子膜を累積せしめつつ態様１
のばあいと同様に該累積膜を、移動する支持体に接触せ
しめて、実質的に無荷重下に累積膜を移しとる。支持体
は両槽間に設け累積誘導片の先端４の下側で累積膜を移
しとる。

【００４９】この態様のばあいには移動する支持体を設
けやすいように図２に示すように２個の液槽の相対する
面を斜めにするのが好都合である。

【００５０】態様４においては、図３に示すように１つ
の液槽が用いられる。該液槽の液面をほぼ２分する位置
には上端が先端４となった累積誘導片２が、その先端４
がわずかに液面上に出るように設けられている。前記累
積誘導片は移動できないが、液面レベルに対応したり、
左右の単分子膜が同時に到達できるようにするために上
下にも、水平方向にも多少の移動調節は可能である。

【００５１】本態様においては、態様１のばあいと同様
にして液面51、52上に単分子膜をつくり、線状体を使用
して単分子膜の前縁を累積誘導片に到達せしめ、ひき続
いて上端部の先端４に至らしめる。先端４で左右両側の
単分子膜が互いに接触して２分子累積膜となったところ
で、該２分子累積膜を累積誘導片先端から、先端にごく
近接して移動する支持体上に実質的に無荷重下に順次移
してゆく。

【００５２】態様５においては、態様４のばあいとほぼ
同様の装置を用いるが、累積誘導片２は上下および累積
誘導片の水平方向に移動可能である。その先端４は初期
状態では両液面レベルよりわずかに低く位置するように
設定されている。単分子膜は態様４のばあいと同様にし
てえられるが、線状体61、62によって両側の単分子膜の
前縁が累積誘導片２の上部近傍に達したところで、累積
誘導片を水平方向に移動せしめて両側の単分子膜が同時
に累積誘導片に到達するように調節し、かつその先端が
わずかに液面レベルより上になるまで上昇せしめて、到
達した単分子膜の前縁を同時に累積誘導片の上端部の先
端４に至らしめる。先端４で左右両側の単分子膜が互い
に接触して２分子累積膜となったところで、該２分子累
積膜を累積誘導片先端から、先端にごく近接して移動す
る支持体上に実質的に無荷重下に順次移してゆく。

【００５３】態様６においてはその装置は態様５のばあ
いとほぼ同様であるが、累積誘導片は態様５のばあいと
は逆に先端４は下端部に設けられていて、初期状態では
先端４が液面よりわずか下にあるように設定されてい
る。

【００５４】累積膜をうるには、前記累積誘導片を水平
方向に移動させて、態様５のばあいと同様にして、単分
子膜の前縁を累積誘導片の両側に同時に到達せしめたの
ち、その先端４がわずかに液面より上に離れるまで上昇
せしめる。

【００５５】累積誘導片下端部の先端４で左右両側の単
分子膜が互いに接触して２分子累積膜となったところ
で、該２分子累積膜を累積誘導片先端から、先端にごく
近接して移動する支持体上に実質的に無荷重下に順次移
してゆく。

【００５６】なお本発明においては、えられた累積膜を
有する支持体を新たな支持体として処理を繰り返すこと
によって、さらに累積を重ね支持体上に多重累積膜をう
ることもできる。

【００５７】えられた２分子Ｙ型累積膜は分子エレクト
ロニクス用などに、また２分子逆Ｙ型累積膜はバイオニ
クス材料用などとして使用されうる。

【００５８】実験例１図１の装置を用い、ステアリン酸のベンゼン溶液を左右
の水面上にノズルから供給し単分子膜を形成した。左右
の液槽で形成された単分子膜をナイロンシートからなる
累積誘導片を介して２分子膜を連続して形成し、 600mm
／分で移動する厚さ 7.5μｍのナイロン６６からなる支
持体上に移すことができた。

【００５９】

【発明の効果】本発明によると、２分子累積膜を連続し
て、効率よく製造することができ、多分子累積膜をつく
るのに有用である。

【図面の簡単な説明】

【図１】態様１における累積膜連続製造装置を説明する
ための断面説明図である。

【図２】態様３における累積膜連続製造装置を説明する
ための断面説明図である。

【図３】態様４における累積膜連続製造装置を説明する
ための断面説明図である。

【図４】単分子膜のＸ型沈積において、基板を浸漬する
ばあいの概念図である。

【図５】単分子膜のＸ型沈積において、基板を引き上げ
るばあいの概念図である。

【図６】Ｘ型累積膜の概念図である。

【図７】単分子膜のＹ型沈積において、基板を浸漬する
ばあいの概念図である。

【図８】単分子膜のＹ型沈積において、基板を引き上げ
るばあいの概念図である。

【図９】Ｙ型累積膜の概念図である。

【図１０】単分子膜のＺ型沈積において、基板を浸漬す
るばあいの概念図である。

【図１１】単分子膜のＺ型沈積において、基板を引き上
げるばあいの概念図である。

【図１２】Ｚ型累積膜の概念図である。

【符号の説明】

２累積誘導片４先端 61 線状体 62 線状体８基板９分子 91 親水性部分 92 疎水性部分

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の単分子膜形成物質の溶剤溶液およ
び第２の単分子膜形成物質の溶剤溶液を、それぞれ第１
の液面上および第２の液面上に相対する方向に連続的に
供給して第１の単分子膜および第２の単分子膜を連続的
に形成せしめ、前記両単分子膜の先端が合する領域で両
単分子膜を、移動する支持体上に、実質的に無荷重下に
順次移して累積膜とすることを特徴とする累積膜の連続
製造方法。
【請求項２】上端部が先端に向かって厚さを減じた、
上下動可能な薄板状の累積誘導片が、該累積誘導片の厚
さよりわずかに広い間隔で設けられた２個の展開液槽間
に両展開液槽の各端部に接触しないように設けられ、か
つその先端が初期状態で両液槽の液面レベルよりわずか
に低く位置するように設定されている累積膜連続製造装
置を用い、前記両展開液槽の液面上にそれぞれ第１の単
分子膜形成物質の溶剤溶液、および第２の単分子膜形成
物質の溶剤溶液を連続的に供給して、第１の単分子膜お
よび第２の単分子膜を連続的に形成せしめ、該第１およ
び第２の単分子膜を前記各展開液槽端部に接するまで移
動させたのち、前記累積誘導片をその先端がわずかに液
面レベルより上になる位置にまで上昇せしめることによ
って、前記両単分子膜を前記累積誘導片の上端部で互い
に接触させて累積せしめつつ、前記累積誘導片の上端部
に近接して移動する支持体上に、実質的に無荷重下に順
次移すことを特徴とする請求項１記載の累積膜の連続製
造方法。
【請求項３】下端部が先端に向かって厚さを減じた、
上下動可能な薄板状の累積誘導片が、該累積誘導片の厚
さよりわずかに広い間隔で設けられた２個の展開液槽間
に両展開液槽の各端部に接触しないように設けられ、か
つその先端が初期状態で両液槽の液面レベルよりわずか
に低く位置するように設定されている累積膜連続製造装
置を用い、前記両展開液槽の液面上にそれぞれ第１の単
分子膜形成物質の溶剤溶液、および第２の単分子膜形成
物質の溶剤溶液を連続的に供給して、第１の単分子膜お
よび第２の単分子膜を連続的に形成せしめ、該第１およ
び第２の単分子膜を前記累積誘導片に接するまで移動さ
せたのち、前記累積誘導片をその先端がわずかに液面レ
ベルより上になる位置にまで上昇せしめることによっ
て、前記両単分子膜を前記累積誘導片の下端部で互いに
接触させて累積せしめつつ、前記累積誘導片下端部に近
接して移動する支持体上に、実質的に無荷重下に順次移
すことを特徴とする請求項１記載の累積膜の連続製造方
法。
【請求項４】下端部が先端に向かって厚さを減じた、
上下動可能な薄板状の累積誘導片が、該累積誘導片の厚
さよりわずかに広い間隔で設けられた２個の展開液槽間
に両展開液槽の各端部に接触しないように設けられ、か
つその先端が初期状態で両液槽の液面レベルよりわずか
に高く位置するように設定されている累積膜連続製造装
置を用い、前記両展開液槽の液面上にそれぞれ第１の単
分子膜形成物質の溶剤溶液、および第２の単分子膜形成
物質の溶剤溶液を連続的に供給して、第１の単分子膜お
よび第２の単分子膜を連続的に形成せしめ、該第１およ
び第２の単分子膜を前記各展開液槽端部に接するまで移
動させたのち、前記累積誘導片をその先端がわずかに液
面レベルより下になる位置にまで下降せしめることによ
って、前記両単分子膜を前記累積誘導片の下端部で互い
に接触させて累積せしめつつ、前記累積誘導片の下端部
に近接して移動する支持体上に、実質的に無荷重下に順
次移すことを特徴とする請求項１記載の累積膜の連続製
造方法。
【請求項５】展開液槽の中央付近の液中に、上端部が
先端に向かって厚さを減じた薄板状の累積誘導片が、前
記展開槽の液面を第１の液面と第２の液面とに２分する
ように、かつ初期状態でその先端が僅かに液面上にある
ように設定されている累積膜連続製造装置を用い、前記
両液面上にそれぞれ第１の単分子膜形成物質の溶剤溶
液、および第２の単分子膜形成物質の溶剤溶液を連続的
に供給して、第１の単分子膜および第２の単分子膜を連
続的に形成せしめ、両単分子膜を前記累積誘導片に接す
るまで移動させ、該累積誘導片の上端部で互いに接触せ
しめて累積せしめつつ、前記累積誘導片の上端部にごく
近接して移動する支持体上に、実質的に無荷重下に順次
移すことを特徴とする請求項１記載の累積膜の連続製造
方法。
【請求項６】展開液槽の中央付近の液中に、上端部が
先端に向かって厚さを減じた、上下および水平方向に移
動可能な薄板状の累積誘導片が、前記展開液槽の液面を
第１の液面と第２の液面とに２分するように、かつ初期
状態でその先端が僅かに液面下にあるように設定されて
いる累積膜連続製造装置を用い、前記両液面上にそれぞ
れ第１の単分子膜形成物質の溶剤溶液、および第２の単
分子膜形成物質の溶剤溶液を連続的に供給して、第１の
単分子膜および第２の単分子膜を連続的に形成せしめ、
前記両単分子膜を前記累積誘導片の方向に移動せしめ、
その上端部付近に達したところで、累積誘導片をその先
端が液面よりわずかに上になる位置にまで上昇せしめ、
前記両単分子膜を前記累積誘導片の上端部で互いに接触
せしめて累積せしめつつ、前記累積誘導片の上端部にご
く近接して移動する支持体上に、実質的に無荷重下に順
次移すことを特徴とする請求項１記載の累積膜の連続製
造方法。
【請求項７】展開液槽の中央付近の液中に、下端部が
先端に向かって厚さを減じた、上下および水平方向に移
動可能な薄板状の累積誘導片が、前記展開液槽の液面を
第１の液面と第２の液面とに２分するように、かつ初期
状態でその先端が僅かに液面下にあるように設定されて
いる累積膜連続製造装置を用い、前記両液面上にそれぞ
れ第１の単分子膜形成物質の溶剤溶液、および第２の単
分子膜形成物質の溶剤溶液を連続的に供給して、第１の
単分子膜および第２の単分子膜を連続的に形成せしめ、
前記両単分子膜を前記累積誘導片に接するまで移動せし
めたのち、前記累積誘導片をその先端がわずかに液面よ
り上になる位置にまで上昇せしめ、前記両単分子膜を前
記累積誘導片の下端部で互いに接触せしめて累積せしめ
つつ、前記累積誘導片の下端部にごく近接して移動する
支持体上に、実質的に無荷重下に順次移すことを特徴と
する請求項１記載の累積膜の連続製造方法。