JPH0578845A - 高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金 - Google Patents
高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金Info
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- JPH0578845A JPH0578845A JP26848491A JP26848491A JPH0578845A JP H0578845 A JPH0578845 A JP H0578845A JP 26848491 A JP26848491 A JP 26848491A JP 26848491 A JP26848491 A JP 26848491A JP H0578845 A JPH0578845 A JP H0578845A
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 焼結合金の基材表面にダイヤモンド及び／又
はダイヤモンド状カーボンの良質な被膜を形成させると
共に、被膜と基材との密着性を高めて、耐剥離性に優れ
るようにしたダイヤモンド被覆焼結合金を提供する。 【構成】 硬質相と結合相とでなる焼結合金の基材表面
にダイヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボンの被
膜を形成させたダイヤモンド被覆焼結合金において、該
結合相に金属間化合物が含有されている高密着性ダイヤ
モンド被覆焼結合金。 【効果】 従来の被覆焼結合金に比べて、ダイヤモンド
及び／又はダイヤモンド状カーボンからなる良質な被膜
が形成されやすく、かつ被膜と基材との密着性が高めら
れ、被膜の耐剥離性が顕著に優れているという効果があ
る。
はダイヤモンド状カーボンの良質な被膜を形成させると
共に、被膜と基材との密着性を高めて、耐剥離性に優れ
るようにしたダイヤモンド被覆焼結合金を提供する。 【構成】 硬質相と結合相とでなる焼結合金の基材表面
にダイヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボンの被
膜を形成させたダイヤモンド被覆焼結合金において、該
結合相に金属間化合物が含有されている高密着性ダイヤ
モンド被覆焼結合金。 【効果】 従来の被覆焼結合金に比べて、ダイヤモンド
及び／又はダイヤモンド状カーボンからなる良質な被膜
が形成されやすく、かつ被膜と基材との密着性が高めら
れ、被膜の耐剥離性が顕著に優れているという効果があ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、旋削工具，フライス工
具，ドリル，エンドミル等からの切削工具、又はスリッ
ター，ワイヤカッター，ガイド等の耐摩耗工具として適
する高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金及びその製造方
法に関するものである。
具，ドリル，エンドミル等からの切削工具、又はスリッ
ター，ワイヤカッター，ガイド等の耐摩耗工具として適
する高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金及びその製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】超硬合金に代表される焼結合金の基材表
面にダイヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボンの
被膜を形成したダイヤモンド被覆焼結合金を切削工具に
応用しようという試みがなされている。
面にダイヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボンの
被膜を形成したダイヤモンド被覆焼結合金を切削工具に
応用しようという試みがなされている。
【０００３】ダイヤモンド被覆焼結合金を切削工具とし
て用いる場合、最大の問題点は、基材と被膜との密着性
である。
て用いる場合、最大の問題点は、基材と被膜との密着性
である。
【０００４】焼結合金の基材とダイヤモンド被膜との密
着性について注目し、切削工具に適するダイヤモンド被
覆焼結合金としての提案が多数なされており、その代表
的なものに、特開昭５８−１２６９７２号公報及び特開
昭６３−５３２６９号公報がある。
着性について注目し、切削工具に適するダイヤモンド被
覆焼結合金としての提案が多数なされており、その代表
的なものに、特開昭５８−１２６９７２号公報及び特開
昭６３−５３２６９号公報がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】特開昭５８−１２６９
７２号公報には、超硬合金の基材に隣接する内層が周期
律表の第４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，窒化物，ホ
ウ化物，酸化物及びこれらの化合物，混合物並びにＡｌ
2Ｏ3，ＡｌＮ，Ｂ4Ｃ ，Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＯ2，ＳｉＣから
選ばれた１種以上よりなり、外層がダイヤモンドよりな
るダイヤモンド被覆超硬合金が開示されている。具体的
には、同公報の発明は、ＮｉやＣｏを含む超硬合金の基
材に直接ダイヤモンド被膜を被覆すると、グラファイト
が析出しやすく基材と被膜との密着性の低下が顕著にな
るという問題に対し、基材と被膜との間に化学蒸着法
（ＣＶＤ法）又は物理蒸着法（ＰＶＤ法）でもってＷＣ
やＷ2Ｃ の内層を介在させることにより解決しようとし
たものである。
７２号公報には、超硬合金の基材に隣接する内層が周期
律表の第４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，窒化物，ホ
ウ化物，酸化物及びこれらの化合物，混合物並びにＡｌ
2Ｏ3，ＡｌＮ，Ｂ4Ｃ ，Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＯ2，ＳｉＣから
選ばれた１種以上よりなり、外層がダイヤモンドよりな
るダイヤモンド被覆超硬合金が開示されている。具体的
には、同公報の発明は、ＮｉやＣｏを含む超硬合金の基
材に直接ダイヤモンド被膜を被覆すると、グラファイト
が析出しやすく基材と被膜との密着性の低下が顕著にな
るという問題に対し、基材と被膜との間に化学蒸着法
（ＣＶＤ法）又は物理蒸着法（ＰＶＤ法）でもってＷＣ
やＷ2Ｃ の内層を介在させることにより解決しようとし
たものである。
【０００６】しかしながら、同公報に開示の内層とダイ
ヤモンド被膜との密着性は、切削工具として実用化でき
る程度に達しておらず、しかも製造工程の中に内層の形
成工程を別に設ける必要があるという工程の煩雑化、及
び内層の形成工程時のカーボン量の制御がダイヤモンド
被膜の材質と、基材と被膜の密着性に影響を及ぼすとい
う品質管理上の問題がある。
ヤモンド被膜との密着性は、切削工具として実用化でき
る程度に達しておらず、しかも製造工程の中に内層の形
成工程を別に設ける必要があるという工程の煩雑化、及
び内層の形成工程時のカーボン量の制御がダイヤモンド
被膜の材質と、基材と被膜の密着性に影響を及ぼすとい
う品質管理上の問題がある。
【０００７】特開昭６３−５３２６９号公報には、１〜
４ｗｔ％のＣｏと残りが炭化タングステンからなる超硬
合金の表面をエッチング処理し、超硬合金の表面にエッ
チング層を介在させて、ダイヤモンド被膜を形成してな
るダイヤモンド被覆超硬合金が開示されている。
４ｗｔ％のＣｏと残りが炭化タングステンからなる超硬
合金の表面をエッチング処理し、超硬合金の表面にエッ
チング層を介在させて、ダイヤモンド被膜を形成してな
るダイヤモンド被覆超硬合金が開示されている。
【０００８】同公報の発明は、超硬合金の表面部のＣｏ
を酸液で除去してエッチング層とし、エッチング層の表
面にダイヤモンド被膜を形成するのであるが、酸液でＣ
ｏが除去された後の空隙部分には、再びダイヤモンド被
膜形成時に超硬合金内部のＣｏが滲み出して埋められる
ために、局所的にダイヤモンドが粒成長しやすくなるこ
と及びダイヤモンド被膜とエッチング層との界面にグラ
ファイトが発生しやすくなるために被膜と超硬合金との
密着性が低いという問題がある。
を酸液で除去してエッチング層とし、エッチング層の表
面にダイヤモンド被膜を形成するのであるが、酸液でＣ
ｏが除去された後の空隙部分には、再びダイヤモンド被
膜形成時に超硬合金内部のＣｏが滲み出して埋められる
ために、局所的にダイヤモンドが粒成長しやすくなるこ
と及びダイヤモンド被膜とエッチング層との界面にグラ
ファイトが発生しやすくなるために被膜と超硬合金との
密着性が低いという問題がある。
【０００９】本発明は、上述のような問題点を解決した
もので、具体的には、金属間化合物の含有した基材でも
って、ダイヤモンド被膜形成時におけるグラファイト発
生を抑制し、良質なダイヤモンド被膜を形成すると共
に、基材とダイヤモンド被膜との密着性を高めることが
できたダイヤモンド被覆焼結合金の提供を目的とするも
のである。
もので、具体的には、金属間化合物の含有した基材でも
って、ダイヤモンド被膜形成時におけるグラファイト発
生を抑制し、良質なダイヤモンド被膜を形成すると共
に、基材とダイヤモンド被膜との密着性を高めることが
できたダイヤモンド被覆焼結合金の提供を目的とするも
のである。
【００１０】
【問題を解決するための手段】本発明者らは、超硬合金
の基材表面にダイヤモンドの被膜を形成する場合、基材
表面に析出するグラファイトを抑制する方法及び基材と
被膜との密着性を高めることについて検討していた所、
基材中に結合層として含有している鉄族金属がダイヤモ
ンドの被膜形成時にグラファイトを析出させる作用をす
るのに対し、金属間化合物の含有した結合相、特に結合
相中の鉄族金属により形成される金属間化合物の含有し
た結合相の場合、ダイヤモンドの被膜形成時においてグ
ラファイトの析出が抑制されること、及び基材とダイヤ
モンド被膜との密着性が顕著に向上するという知見を得
た。
の基材表面にダイヤモンドの被膜を形成する場合、基材
表面に析出するグラファイトを抑制する方法及び基材と
被膜との密着性を高めることについて検討していた所、
基材中に結合層として含有している鉄族金属がダイヤモ
ンドの被膜形成時にグラファイトを析出させる作用をす
るのに対し、金属間化合物の含有した結合相、特に結合
相中の鉄族金属により形成される金属間化合物の含有し
た結合相の場合、ダイヤモンドの被膜形成時においてグ
ラファイトの析出が抑制されること、及び基材とダイヤ
モンド被膜との密着性が顕著に向上するという知見を得
た。
【００１１】本発明は、上述の知見に基づいて完成する
に至ったものである。
に至ったものである。
【００１２】本発明の高密着性ダイヤモンド被覆焼結合
金は、周期律表の第４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，
窒化物及びこれらの相互固溶体の中の１種以上の硬質相
８０〜９９体積％と、残りがＣｏ及び／又はＮｉを主成
分とする結合相でなる焼結合金の基材表面にダイヤモン
ド及び／又はダイヤモンド状カーボンの被膜を形成して
なるダイヤモンド被覆焼結合金であって、該結合相に金
属間化合物が含有されていることを特徴とするものであ
る。
金は、周期律表の第４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，
窒化物及びこれらの相互固溶体の中の１種以上の硬質相
８０〜９９体積％と、残りがＣｏ及び／又はＮｉを主成
分とする結合相でなる焼結合金の基材表面にダイヤモン
ド及び／又はダイヤモンド状カーボンの被膜を形成して
なるダイヤモンド被覆焼結合金であって、該結合相に金
属間化合物が含有されていることを特徴とするものであ
る。
【００１３】本発明の被覆焼結合金における基材を構成
している硬質相は、具体的には、例えばＷＣのみからな
る場合、ＷＣを主成分とし、他にＴｉＣ，ＺｒＣ，Ｈｆ
Ｃ，ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，
（Ｗ，Ｔｉ）Ｃ，（Ｗ，Ｔａ）Ｃ，（Ｗ，Ｔａ，Ｔｉ）
Ｃ，（Ｗ，Ｔａ，Ｎｂ，Ｔｉ）Ｃ，ＴｉＮ，Ｔｉ（Ｎ，
Ｃ）及びこれらの相互固溶体を含んでいる場合、Ｔｉ
Ｃ，又はＴｉ（Ｃ，Ｎ）を主成分とし、他にＷＣ，Ｚｒ
Ｃ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ
2，ＴｉＮ，ＺｒＮ及びこれらの相互固溶体を含んでい
る場合を挙げることができる。この硬質相が基材全体に
対して８０体積％未満になると、相対的に結合相が２０
体積％を超えて多くなり、その結果基材の硬さ低下が著
しく、被膜がなくなった時点における基材の耐摩耗性が
極端に劣化し、逆に硬質相が基材全体に対して９９体積
％を超えて多くなると、相対的に結合相が１体積％未満
となり、その結果基材の強度低下が著しく、欠損し易
く、被膜の効果を充分に発揮させるのが困難になる。
している硬質相は、具体的には、例えばＷＣのみからな
る場合、ＷＣを主成分とし、他にＴｉＣ，ＺｒＣ，Ｈｆ
Ｃ，ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，
（Ｗ，Ｔｉ）Ｃ，（Ｗ，Ｔａ）Ｃ，（Ｗ，Ｔａ，Ｔｉ）
Ｃ，（Ｗ，Ｔａ，Ｎｂ，Ｔｉ）Ｃ，ＴｉＮ，Ｔｉ（Ｎ，
Ｃ）及びこれらの相互固溶体を含んでいる場合、Ｔｉ
Ｃ，又はＴｉ（Ｃ，Ｎ）を主成分とし、他にＷＣ，Ｚｒ
Ｃ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ
2，ＴｉＮ，ＺｒＮ及びこれらの相互固溶体を含んでい
る場合を挙げることができる。この硬質相が基材全体に
対して８０体積％未満になると、相対的に結合相が２０
体積％を超えて多くなり、その結果基材の硬さ低下が著
しく、被膜がなくなった時点における基材の耐摩耗性が
極端に劣化し、逆に硬質相が基材全体に対して９９体積
％を超えて多くなると、相対的に結合相が１体積％未満
となり、その結果基材の強度低下が著しく、欠損し易
く、被膜の効果を充分に発揮させるのが困難になる。
【００１４】本発明の被覆焼結合金における基材を構成
している結合相は、主成分であるＣｏ及び／又はＮｉに
金属間化合物が含有されているもので、具体的には、例
えばＣｏ及び／又はＮｉと金属間化合物とからなる場
合、Ｃｏ及び／又はＮｉを主成分とし、他にＴｉ，Ｚ
ｒ，Ｈｆ，Ｗ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｆｅと金属間化合物とから
なる場合であって、金属間化合物としては、ＮｉＳ
ｉ2，ＣｏＳｉ2，ＴｉＳｉ2，ＭｏＳｉ2，ＷＳｉ2，Ｆ
ｅ3Ａｌ，ＮｉＡｌ，Ｎｉ3Ａｌ，Ｎｉ3Ｎｂ，ＣｏＡ
ｌ，Ｃｏ2Ａｌ5，Ｃｏ3Ｔｉ，Ｚｒ3Ａｌ，Ｎｉ3（Ａ
ｌ，Ｗ），Ｎｉ3Ｓｉ，Ｎｉ2（Ａｌ，Ｔｉ），ＴｉＡ
ｌ，ＴｉＡｌ3，Ｎｂ3Ａｌ，Ｖ3Ｓｉを挙げることがで
きる。この金属間化合物は、Ｃｏ及び／又はＮｉと、Ａ
ｌ及び／又はＳｉからなる、例えばＮｉＳｉ2，ＣｏＳ
ｉ2，ＮｉＡｌ，Ｎｉ3Ａｌ，ＣｏＡｌ，Ｃｏ2Ａｌ5，Ｎ
ｉ3（Ａｌ，Ｗ），Ｎｉ3Ｓｉ，Ｎｉ2（Ａｌ，Ｔｉ），
でなる場合が被膜の形成を促進する効果が高いことから
特に好ましく、結合相に対して金属間化合物が体積比で
５０％以上、 含有していることが好ましく、さらに被膜の耐剥離性及
び被膜の形成促進効果から８０％以上含有していること
が特に好ましい。
している結合相は、主成分であるＣｏ及び／又はＮｉに
金属間化合物が含有されているもので、具体的には、例
えばＣｏ及び／又はＮｉと金属間化合物とからなる場
合、Ｃｏ及び／又はＮｉを主成分とし、他にＴｉ，Ｚ
ｒ，Ｈｆ，Ｗ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｆｅと金属間化合物とから
なる場合であって、金属間化合物としては、ＮｉＳ
ｉ2，ＣｏＳｉ2，ＴｉＳｉ2，ＭｏＳｉ2，ＷＳｉ2，Ｆ
ｅ3Ａｌ，ＮｉＡｌ，Ｎｉ3Ａｌ，Ｎｉ3Ｎｂ，ＣｏＡ
ｌ，Ｃｏ2Ａｌ5，Ｃｏ3Ｔｉ，Ｚｒ3Ａｌ，Ｎｉ3（Ａ
ｌ，Ｗ），Ｎｉ3Ｓｉ，Ｎｉ2（Ａｌ，Ｔｉ），ＴｉＡ
ｌ，ＴｉＡｌ3，Ｎｂ3Ａｌ，Ｖ3Ｓｉを挙げることがで
きる。この金属間化合物は、Ｃｏ及び／又はＮｉと、Ａ
ｌ及び／又はＳｉからなる、例えばＮｉＳｉ2，ＣｏＳ
ｉ2，ＮｉＡｌ，Ｎｉ3Ａｌ，ＣｏＡｌ，Ｃｏ2Ａｌ5，Ｎ
ｉ3（Ａｌ，Ｗ），Ｎｉ3Ｓｉ，Ｎｉ2（Ａｌ，Ｔｉ），
でなる場合が被膜の形成を促進する効果が高いことから
特に好ましく、結合相に対して金属間化合物が体積比で
５０％以上、 含有していることが好ましく、さらに被膜の耐剥離性及
び被膜の形成促進効果から８０％以上含有していること
が特に好ましい。
【００１５】本発明の被覆焼結合金を構成している被膜
は、ラマン分光分析においてダイヤモンドの結晶構造を
示す約１３３３ｃｍ-1にピークを示すダイヤモンドの
膜、又はこのダイヤモンドと他に非晶質カーボンやガラ
ス状カーボン等を含有している場合、もしくはダイヤモ
ンドに近い性質を示すといわれているダイヤモンド状カ
ーボンからなる場合がある。この被膜の厚さは、用途及
び形状により選定する必要があり、特に耐衝撃性よりも
耐すきとり摩耗性を重要視する用途には、例えば３〜１
０μｍ厚さが好ましく、切削工具には、０．５〜７μｍ
厚さが好ましく、切削工具の中でもフライス用切削工具
のように耐衝撃性を重要視する用途、又はドリル，エン
ドミル等の切削工具やスリッター，切断刃，裁断刃等の
耐摩耗工具のように鋭角な切刃を有する形状には、例え
ば０．５〜３μｍ厚さと、被膜を薄くする構成にするこ
とが好ましいことである。
は、ラマン分光分析においてダイヤモンドの結晶構造を
示す約１３３３ｃｍ-1にピークを示すダイヤモンドの
膜、又はこのダイヤモンドと他に非晶質カーボンやガラ
ス状カーボン等を含有している場合、もしくはダイヤモ
ンドに近い性質を示すといわれているダイヤモンド状カ
ーボンからなる場合がある。この被膜の厚さは、用途及
び形状により選定する必要があり、特に耐衝撃性よりも
耐すきとり摩耗性を重要視する用途には、例えば３〜１
０μｍ厚さが好ましく、切削工具には、０．５〜７μｍ
厚さが好ましく、切削工具の中でもフライス用切削工具
のように耐衝撃性を重要視する用途、又はドリル，エン
ドミル等の切削工具やスリッター，切断刃，裁断刃等の
耐摩耗工具のように鋭角な切刃を有する形状には、例え
ば０．５〜３μｍ厚さと、被膜を薄くする構成にするこ
とが好ましいことである。
【００１６】本発明の被覆焼結合金を作製するには、従
来から行なわれている粉末冶金法を応用して基材を作製
した後、基材表面のきず付処理や洗浄処理等の前処理を
行なってから、従来から行なわれている気相合成による
ダイヤモンド被膜処理を施すことにより得ることができ
る。
来から行なわれている粉末冶金法を応用して基材を作製
した後、基材表面のきず付処理や洗浄処理等の前処理を
行なってから、従来から行なわれている気相合成による
ダイヤモンド被膜処理を施すことにより得ることができ
る。
【００１７】
【作用】本発明の高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金
は、基材を構成している結合相に含有している金属間化
合物が被膜形成初期におけるグラファイトの発生を抑制
する作用をしていること、被膜形成の促進作用をしてい
ること、高温における基材の強度，硬さを高める作用を
していること、及び被膜形成後は被膜と基材との密着性
を高める作用をしているものである。
は、基材を構成している結合相に含有している金属間化
合物が被膜形成初期におけるグラファイトの発生を抑制
する作用をしていること、被膜形成の促進作用をしてい
ること、高温における基材の強度，硬さを高める作用を
していること、及び被膜形成後は被膜と基材との密着性
を高める作用をしているものである。
【００１８】
【実施例１】市販されている平均粒径１．５μｍのＷＣ
粉末，平均粒径１．０μｍのＷ及びＮｉ粉末，平均粒径
０．２μｍのＡｌ粉末を用いて表１に示す組成に配合し
た。次いで、アセトン溶媒のボールミル中にて２４時
間、配合粉末を混合粉砕し、乾燥及び１重量％のパラフ
ィン添加を行なった後、１ ｔ／ｃｍ2の圧力で成形して
粉末圧粉体を得た。これらの粉末圧粉体を５〜８×１０
-2Ｔｏｒｒの真空中、１６５０℃、１時間保持にて焼結
し、本発明品１〜４及び比較品３，４に用いる焼結合金
の基材を得た。
粉末，平均粒径１．０μｍのＷ及びＮｉ粉末，平均粒径
０．２μｍのＡｌ粉末を用いて表１に示す組成に配合し
た。次いで、アセトン溶媒のボールミル中にて２４時
間、配合粉末を混合粉砕し、乾燥及び１重量％のパラフ
ィン添加を行なった後、１ ｔ／ｃｍ2の圧力で成形して
粉末圧粉体を得た。これらの粉末圧粉体を５〜８×１０
-2Ｔｏｒｒの真空中、１６５０℃、１時間保持にて焼結
し、本発明品１〜４及び比較品３，４に用いる焼結合金
の基材を得た。
【００１９】比較品１，２に用いる焼結合金の基材は、
１４５０℃で焼結した以外は上述と同様にして得た。
１４５０℃で焼結した以外は上述と同様にして得た。
【００２０】これらの基材中の金属間化合物は、Ｘ線回
折，ＳＥＭ，ＸＭＡでもって確認し、その結果を表２に
併記した。
折，ＳＥＭ，ＸＭＡでもって確認し、その結果を表２に
併記した。
【００２１】これらの基材の表面を研摩及び洗浄処理し
た後、マイクロ波ブラズマＣＶＤ法により、９ ９ｖｏｌ
％−１ｖｏｌ％ＣＨ4ガス雰囲気、２００ＳＣＣＭガス
流量、５０Ｔｏｒｒ圧力、４時間保持、９３０〜９５０
℃基材温度の条件でもって約５μｍ厚さによるようにダ
イヤモンド被膜を形成した。
た後、マイクロ波ブラズマＣＶＤ法により、９ ９ｖｏｌ
％−１ｖｏｌ％ＣＨ4ガス雰囲気、２００ＳＣＣＭガス
流量、５０Ｔｏｒｒ圧力、４時間保持、９３０〜９５０
℃基材温度の条件でもって約５μｍ厚さによるようにダ
イヤモンド被膜を形成した。
【００２２】こうして得た被覆焼結合金の被膜の状態を
観察した所、比較品１及び２は、被膜形成用反応炉から
取り出したときにすでに一部又は全面に亘り被膜が剥離
していたのに対し、本発明品１〜４及び比較品３，４の
被膜は剥離が生じていなかった。次に、本発明品１〜４
及び比較品３，４の被膜表面からロックウェル圧子圧入
法による被膜剥離試験を行なった所、本発明品１〜４
は、圧痕近辺への被膜剥離が生じてなかったのに対し、
比較品３，４は、圧痕近辺での被膜剥離が生じていた。
観察した所、比較品１及び２は、被膜形成用反応炉から
取り出したときにすでに一部又は全面に亘り被膜が剥離
していたのに対し、本発明品１〜４及び比較品３，４の
被膜は剥離が生じていなかった。次に、本発明品１〜４
及び比較品３，４の被膜表面からロックウェル圧子圧入
法による被膜剥離試験を行なった所、本発明品１〜４
は、圧痕近辺への被膜剥離が生じてなかったのに対し、
比較品３，４は、圧痕近辺での被膜剥離が生じていた。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【実施例２】実施例１で用いたＷＣ，Ａｌ粉末と平均粒
径３．０μｍのＣｏ粉末を用いて、表２に示す組成に配
合し、その他は実施例１と同様に行なって本発明品５〜
１４を得た。
径３．０μｍのＣｏ粉末を用いて、表２に示す組成に配
合し、その他は実施例１と同様に行なって本発明品５〜
１４を得た。
【００２５】こうして得た本発明品５〜１４の被膜表面
に３０ｋｇ荷重によるロックウェル圧子圧入法による被
膜剥離試験を行ない、ロックウェル圧子による圧痕領域
とこの圧痕領域近辺に生じている被膜剥離変形領域とを
金属顕微鏡写真より求めて、平均被膜剥離変形領域と平
均圧痕領域の比 として求めて、表２に併記した。
に３０ｋｇ荷重によるロックウェル圧子圧入法による被
膜剥離試験を行ない、ロックウェル圧子による圧痕領域
とこの圧痕領域近辺に生じている被膜剥離変形領域とを
金属顕微鏡写真より求めて、平均被膜剥離変形領域と平
均圧痕領域の比 として求めて、表２に併記した。
【００２６】
【表２】
【００２７】
【発明の効果】本発明の高密着性ダイヤモンドド被覆焼
結合金は、従来のダイヤモンドド被覆焼結合金又は本発
明を外れたダイヤモンド被覆焼結合金に比べて良質なダ
イヤモンド被膜が形成されやすいこと、及び被膜と基材
との密着性が高められ、被膜の耐剥離性が顕著に向上す
るという効果がある。
結合金は、従来のダイヤモンドド被覆焼結合金又は本発
明を外れたダイヤモンド被覆焼結合金に比べて良質なダ
イヤモンド被膜が形成されやすいこと、及び被膜と基材
との密着性が高められ、被膜の耐剥離性が顕著に向上す
るという効果がある。
Claims (3)
- 【請求項１】 周期律表の第４ａ，５ａ，６ａ族金属の
炭化物，窒化物及びこれらの相互固溶体の中の１種以上
の硬質相８０〜９９体積％と、残りがＣｏ及び／又はＮ
ｉを主成分とする結合相でなる焼結合金の基材表面にダ
イヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボンの被膜を
形成してなるダイヤモンド被覆焼結合金において、該結
合相に金属間化合物が含有されていることを特徴とする
高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金。 - 【請求項２】 上記金属間化合物がＣｏ及び／又はＮｉ
と、Ａｌ及び／又はＳｉからなり、かつ上記結合相に対
する該金属間化合物が体積比で５０％以上含有している
ことを特徴とする請求項第１項記載の高密着性ダイヤモ
ンド被覆焼結合金。 - 【請求項３】 上記硬質相が炭化タングステンを主成分
とするものからなることを特徴とする請求項１又は２記
載の高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26848491A JP3167374B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26848491A JP3167374B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0578845A true JPH0578845A (ja) | 1993-03-30 |
| JP3167374B2 JP3167374B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=17459139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26848491A Expired - Fee Related JP3167374B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3167374B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6656591B2 (en) | 2000-12-11 | 2003-12-02 | Osg Corporation | Diamond-coated body including interface layer interposed between substrate and diamond coating, and method of manufacturing the same |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP26848491A patent/JP3167374B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6656591B2 (en) | 2000-12-11 | 2003-12-02 | Osg Corporation | Diamond-coated body including interface layer interposed between substrate and diamond coating, and method of manufacturing the same |
| DE10150413B4 (de) * | 2000-12-11 | 2017-05-11 | Osg Corp. | Diamantbeschichteter Körper, Verwendung des diamantbeschichtteten Körpers und Verfahren zu dessen Herstellung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3167374B2 (ja) | 2001-05-21 |
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