JPH0579958A - 粉末試料固定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 粉末合金、セラミックスなどに分析評価、イ
オン照射などの処理を施す場合、前記粉末試料を真空装
置内に導入するが、この際に粉末試料が飛散、紛失する
ことがないようこれを固定し、さらに試料の帯電を防止
する。 【構成】 試料台上の接着部材に粉末試料を載せてこれ
を押圧し、この押圧された粉末試料の周辺部をマスクで
覆う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、粉末合金やセラミック
スなどの粉末試料に、分析評価あるいはイオン照射など
の種々の処理を施すため、真空装置にこれら試料を導入
する際に必要となる粉末試料の固定方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】イオン照射などによるセラミックス表面
の改質や、セラミックス粉体の高分子などによる表面改
質、セラミックスと金属との接合など、表面が関与する
現象の解明のために、例えば光電子分光装置（ＸＰＳ）
やオージェ電子分光装置（ＡＥＳ）などのいわゆる表面
分析装置が用いられている。ところで、前記の装置に試
料を導入する際等において、試料が粉末であれば、この
飛散、紛失を防ぐため試料を固定する必要がある。さら
に絶縁性の粉末試料では、荷電粒子線を用いて行う分析
においては帯電が起こり、分析評価ができなくなるた
め、試料の帯電防止が必要となる。

【０００３】従来、装置内に粉末試料を導入する際の固
定方法としては、例えば「表面」ｖｏｌ．２７ Ｎｏ．
８（１９８９）Ｐ．６６７〜６７８に示されるように、
粉体をプレスしてペレット状にする方法、粉末をプ
レート上に載せる方法、粉末を両面接着テープに載せ
る方法等がよく用いられている。

【０００４】又、試料の帯電を防ぐ方法としては、(1)
導電性のある金あるいは炭素を試料表面に薄く蒸着し、
導電性を持たせたり、(2) 導電性のある両面接着テープ
の上に試料を載せる方法がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記の粉末
をペレット状にする方法では、そのための装置が必要で
あり、又の粉末をプレート上に載せる方法やの粉末
を両面接着テープに載せる方法では、試料の飛散、紛失
防止に十分とはいえない。又、(1) の金などを蒸着する
方法では、蒸着した元素が分析の障害となる場合があ
る。さらに、(2) の導電性テープを用いる方法でも、試
料全体で帯電を完全に防ぐことはできないという問題が
あった。本発明は以上の事情に鑑みてなされたものであ
って、粉末試料が飛散、紛失しないよう、又帯電しない
ように固定する方法を提供することを目的とするもので
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明固定方法は、試料台上の接着部材（例え
ば、両面接着テープ）に粉末試料を載せてこれを押圧
し、この押圧された粉末試料の周辺部をマスクで覆うこ
とを特徴とするものである。ここで、試料の周辺部のみ
を覆うには、例えば中心部に孔を有する板状のマスクを
用いればよい。又、前記粉末試料を接着部材に載せるの
に先だって、導電性メッシュを接着部材上に固定させて
おき、これを押圧して試料を固定させることが好まし
い。

【０００７】

【作用】上記のように、接着部材に載せた粉末試料を押
圧することで、試料は強く固定され、試料の飛散、紛失
を防止する。特に、メッシュを用いた場合は、粉末試料
が、接着部材上に既に固定されたメッシュの網目内に入
り込むため、より強固に固定される。又、粉末試料の飛
散、紛失は、押圧された試料の周辺部から起こる場合が
多く、この周辺部をマスクで覆うことにより、試料の飛
散、紛失は著しく抑制される。

【０００８】一方、粉末試料と共に押圧されたことによ
り、いわば試料と一体となったメッシュを、例えば金属
などの導電性のものとすることで、粉末試料及びメッシ
ュの全体として導電性を持たせることができ、その結果
試料が絶縁性のものの場合、帯電防止を図ることができ
る。この場合、メッシュは試料のほぼ全体に幅広く接触
しているため、粉末試料のほぼ全体にわたり帯電防止を
図ることができる。特に、接着部材及びマスクも導電性
のものとすれば帯電防止効果を一層完全なものとするこ
とができる。

【０００９】

【実施例】以下、図１を用いて本発明実施例を説明す
る。同図は本発明方法の手順をを示す説明図で、固定手
順は以下の通りである。 先ず、試料台１に粉末試料固定用の接着部材である導
電性の両面接着テープ２を貼り付ける。 次に、この両面接着テープ２の上に金属製のメッシュ
３を載せ、接着、固定させる。 の上に粉末試料４を載せる。 そして、試料表面を汚染しないように、硫酸紙５を粉
末試料４の上に載せて、これを押圧する。 前記硫酸紙５を静かに取り除き、金属製で中心部に孔
を有する円板状のマスク６で、押圧された粉末試料４の
周辺部を覆い、試料の固定を完了する。

【００１０】実際に上記の方法で固定を行った場合と、
単に両面接着テープの上に粉末試料を載せただけの従来
例により固定を行った場合の比較を図２に示す。同図は
固定後の試料の状態を示す写真で、まず従来例により固
定した場合について説明すると、ほぼ中心の四角形のも
のが両面テープで、この両面テープの周囲に若干残って
いる白いものが粉末試料である。一方、本発明方法によ
り固定したものは、粉末試料（中央の白い部分）が紛失
することなく残っている（尚、メッシュ等がわかりやす
いように、マスクには３つの孔を設けてある）。このよ
うに、従来例で固定したものは、試料の大半が飛散、紛
失してしまったのに対し、本発明方法で固定したもの
は、飛散、紛失することなく、強固に固定されているこ
とが確認された。

【００１１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明固定方法に
よれば、接着部材に載せた粉末試料を押圧することで、
試料は強く固定され、試料の飛散、紛失を防止すること
ができる。粉末試料を接着部材に載せる場合、予めメッ
シュを接着部材に固定させておけば、粉末試料は押圧に
よりメッシュの網目内に入り込むため、より強固に固定
され、飛散、紛失を防止することができる。又、粉末試
料の飛散、紛失は、押圧された試料の周辺部から起こる
場合が多く、この周辺部をマスクで覆うことにより、試
料の飛散、紛失防止を完全ならしめることができる。

【００１２】さらに、メッシュを、例えば金属などの導
電性のものとすることで、粉末試料及びメッシュの全体
として導電性を持たせることができ、絶縁性の試料にお
いて、荷電粒子線を照射しても帯電防止を図ることがで
きる。特に、接着部材及びマスクも導電性のものとすれ
ば帯電防止効果を一層完全なものとすることができ、分
析評価、イオン照射などの処理を問題なく行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明方法の手順を示す説明図。

【図２】粉末試料を固定し、装置内に導入した後、取り
出したときの試料の状態を示すもので、（ａ）は従来法
によるもの、（ｂ）は本発明方法により固定を行った場
合を示す写真。

【符号の説明】

１ 試料台 ２ 両面接着テープ ３ メッシュ ４ 粉末試料 ５ 硫酸紙 ６ マスク

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料台上の接着部材に粉末試料を載せて
   これを押圧し、この押圧された粉末試料の周辺部をマス
   クで覆うことを特徴とする粉末試料固定方法。
2. 【請求項２】 接着部材の上に導電性メッシュを固定さ
   せ、この上から粉末試料を載せて、これを押圧すること
   を特徴とする請求項１記載の粉末試料固定方法。