JPH0580143B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はダイボンダ、テープボンダ等における
ダイ修正装置に関する。

［従来の技術］ 例えばダイボンダにおいては、ウエフア上の半
導体ペレツト（以下ダイという）又はトレーに収
納されたダイを１個づつ吸着コレツトで吸着して
ダイ位置修正部に移送し、ダイ位置修正装置の４
個の位置決め爪によつてダイを４方向より挟持し
て位置を修正し、再び吸着コレツトで吸着してリ
ードフレーム上に移送し、その後リードフレーム
にボンデイングする方法が採られている。

従来の前記したダイ位置修正装置として、例え
ば特公昭61−42420号公報に示すものが知られて
いる。この構造を第１０図及び第１１図に示す。
第１０図は平面図、第１１図は第１０図の上面直
下の断面をとつた平面断面図である。第１０図に
示すように、ダイを置く試料載置部１０の周りに
は互いに直交して放射状に設けられた４個のスラ
イダ１１がスライダ案内台１２に摺動自在に設け
られており、それぞれのスライダ１１には試料載
置部１０に向つて突出する位置決め爪１３が固定
されている。またスライダ１１の下部にはそれぞ
れカムフオロア１４が設けられている。第１１図
に示すように、スライダ案内台１２の下方外周に
は図示しない駆動手段で回転させられるカム１５
が回転自在に設けられており、このカム１５の周
上には前記カムフオロア１４にそれぞれ対応して
凹部が形成されている。そして、カムフオロア１
４は、スライダ１１にそれぞれ対応して設けられ
たバネ部材１６によつて付勢されてカム１５に圧
接するように構成されている。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来のダイ位置修正装置では、カム１５の
回転に伴いカムフオロア１４がカム１５の凹部に
落ることで、４個のスライダ１１がそれぞれ中心
に向つて摺動し、位置決め爪１３が互いに接近し
バネ部材１６の付勢力によつて試料載置部１０に
置かれたダイを挟持してダイの位置を修正位置決
めする。この時、ダイはバネ部材１６の付勢力に
よつて挟持されているため、その挟持力のばらつ
きがなくダイの形状寸法がばらついてもダイを破
損させることがなく都合がよい。

しかし、ダイの種類が変り、例えば外形寸法が
大きくなつたり、或いは小さくなつたりすると、
位置決め爪１３の接近離間のストロークが不足し
てダイを挟持することが不可能になることがあつ
た。そこで、従来のダイ位置修正装置では、こう
した場合、位置決め爪１３をダイの外形寸法に応
じて交換するか、又はスライダ１１のストローク
を十分大きくとる凹部形状をカム１５に与えてダ
イの種類に応じてスライダ１１のストローク範囲
を機械的なストツパ手段によつて変える等の方法
がとられてきた。ところが、こうした方法では、
前者の場合は交換作業が面倒であり、また後者の
場合はストツパ手段への衝突による衝撃がダイの
破損につながる等の問題点があつた。

本発明の目的は、位置決め爪を交換したり、ス
トツパ手段に拠つたりすることなくダイの種類に
応じて容易に位置決め爪のストローク範囲を変え
ることが可能なダイ位置修正装置を提供すること
にある。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するための本発明の構成は、互
いに直交する２方向に沿つて設けられた案内路
と、この案内路の交点部に設けられた試料載置部
と、前記案内路にそれぞれ摺動自在に用けられ、
試料載置部を中心として放射状に配置された４個
のスライダと、それぞれスライダに固定され、試
料載置部の直上に突出する４個の位置決め爪と、
対向する２個のスライダを組として協動して互い
に接近又は離間せしめ、２組のスライダをそれぞ
れ独立して位置決め動作せしめる２組の機械的係
動手段と、動力駆動され回転するカムと、カムフ
オロアを備え揺動可能に設けられたカムレバー
と、カムフオロアを前記カムの外周に圧接させる
付勢手段と、前記カムレバーと共に回動可能でか
つ該カムレバーに回転自在に取付けられた２組の
調整部材と、この２組の調整部材をそれぞれ独立
して回動せしめる２組の調整手段と、前記調整部
材の一端と前記機械的係動手段とを連結し前記カ
ムレバーの揺動を進退動として前記機械的係動手
段に伝える連結部材とを有し、前記機械的係動手
段は、前記連結部材によつて伝えられる進退動を
スライダの位置決め動作に変えると共に、前記調
整手段によつて前記調整部材を回動させることに
より、前記機械的係動手段を介して組のスライダ
を接近又は離間せしめることを特徴とする。

［作用］ 調整手段によつて調整部材を回動させると、機
械的係動手段を介して組のスライダが接近又は離
間する。これにより全ストローク量そのものは変
えることなく２組のスライダのストローク領域を
別個に変えることが可能で、しかも組となる対向
したスライダは互いに協動しているので、スライ
ダに固定された対向する位置決め爪は同時に接近
離間の動作の領域を変えることが可能である。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図は本発明によるダイ位置修正装置の一実施
例を示す平面図で、ベース部材２０の左端部にダ
イの位置修正を行うテーブル（試料載置部）２１
があつて、図示しない吸着コレツトによりダイが
テーブル２１上に載置される。このテーブル２１
の中心に向つて後に説明する位置決め爪２２〜２
５が放射状に、それぞれ隣り合う位置決め爪同志
が直交するように用けられており、位置決め爪２
２〜２５の上部にはこれらの駆動機構部を覆うカ
バー２６が設けられている。

第２図は第１図のダイ位置修正装置の前記カバ
ー２６と位置決め爪２２〜２５を取り外した状態
を示す平面図、第３図は第２図の正面図、第４図
は第３図の背面図、第５図は左側面図、第６図は
第２図の６−６線断面図、第７図は第２図の７−
７線断面図である。

第７図に示すように、テーブル２１は、ベース
部材２０に固定されたサポータ２７に嵌挿され、
コイルバネ２８によつてフローテイングし、図示
しない吸着コレツトによりダイがテーブル２１上
に置かれる時の高さ合せができるようになつてい
る。このテーブル２１の中心を交点として互いに
直交する２方向に沿つてテーブル２１の周りには
放射状にクロスローラガイドを用いた４つの案内
路２９〜３２が設けられている。そして、これら
案内路２９〜３２には、それぞれ摺動自在な４個
のスライダ３３〜３６が設けられ、これらスライ
ダ３３〜３６の上面部に設けた案内溝３３ａ〜３
６ａに、第１図に示すように位置決め爪２２〜２
５がテーブル２１の直上に突出するように固定さ
れている。

ベース部材２０の中央部には、第３図の部分断
面図に明示された第１支持軸３７と第６図に明示
された第２支持軸３８が固定されている。第１支
持軸３７には軸受３９を介して第１リンクレバー
４０が揺動自在に支持され、第２支持軸３８にも
同様の軸受４１を介して第２リンクレバー４２が
揺動自在に支持されている。そして、第１リンク
レバー４０及び第２リンクレバー４２の１端部上
面には、後に説明する第１連結レバー（第１連結
部材）４３及び第２連結レバー（第２連結部材）
４４がそれぞれ回動自在にピン結合されている。

前記第２リンクレバー４２の下端には、第２支
持軸３８を中心にして両側（第２図では上下方
向）に伸びる腕部４２ａ，４２ｂがあつて、腕部
４２ａはスライダ３３と回動自在にピン結合され
たリンク棒４５によつて連結され、腕部４２ｂは
スライダ３４と同様にそれぞれ回動自在にピン結
合されたリンク棒４６によつて連結されている。
そして、これによつて第２連結レバー４４が押さ
れて第リンクレバー４２が第２図で反時計方向に
揺動すると、前記したリンク機構によつてスライ
ダ３３及びスライダ３４はそれぞれテーブル２１
に向つて互いに接近する方向に移動する。従つ
て、本実施例においては、部材４２，４５，４６
が対向する組のスライダ３４，３４を接近離間せ
しめ、位置決め動作せしめる１組の機械的係動手
段に相当する。この時、リンク機構に生じる機械
的ガタを殺すため、スライダ３３とスライダ３４
には引つ張りコイルバネ４７が掛け合わされてい
る。

一方、サポータ２７の外周には軸受４８を介し
て揺動自在に対向する２つのアーム４９ａ，４９
ｂを備えたアーム部材４９が設けられている。そ
して、アーム４９ａ，４９ｂにはそれぞれ回動自
在にローラ５０ａ，５０ｂが支持されている。ス
ライダ３５は、側面に押し棒５１が固定され、押
し棒５１の先端はローラ５０ａにスライダ３５と
ベース部材２０との間に掛け合わされた引つ張り
コイルバネ５２の付勢力によつて圧接している。
同様に、スライダ３５は、スライダ３６の側面に
押し棒５３が固定され、スライダ３６とベース部
材２０との間に掛け合わされた引つ張りコイルバ
ネ５４の付勢力によつてその先端がローラ５０ｂ
に圧接している。またアーム部材４９には、アー
ム５５が設けられ、アーム５５の先端部と第１リ
ンクレバー４０の他端はそれぞれ回動自在にピン
結合されたリンク棒５６によつて連結されてお
り、これによつて第１連結レバー４３が押される
と第１リンクレバー４０が第２図で反時計方向に
回転し、アーム５５、即ちアーム部材４９が時計
方向に揺動回転する。そして、この結果、アーム
４９ａ，４９ｂも同時に時計方向に揺動するた
め、これに圧接しているスライダ３５及びスライ
ダ３６はそれぞれテーブル２１に向つて互いに接
近する方向に移動する。従つて、本実施例におい
ては、部材４０，４９，５０ａ，５０ｂ，５１，
５３，５５が対向する組のスライダ３５，３６を
接近離間せしめ、位置決め動作せしめる１組の機
械的係動手段に相当する。

第８図は前記第１連結レバー４３と第２連結レ
バー４４の駆動機構を示す平面図で、第９図は第
８図の正面図である。前に説明したダイ位置調整
のための機構部は、ここでは簡単のため図示を省
略してあるが、前記ベース部材２０は第８図に示
すように本体５７に取付けられている。

本体５７の前面壁の左方部にはカム軸５８が回
転可能に支持されている。カム軸５８には前端部
にカム５９が固定される一方、これに隣接してタ
イミングプーリ６０が固定されており、本体５７
に支持された図示しないモータの出力軸に固定さ
れたタイミングプーリ６１との間にタイミングベ
ルト６２が掛け合わされていて、前記モータによ
り動力駆動されて回転する。また本体５７には揺
動自在にカムレバー６３が支持され、カムレバー
６３の一端にはカムフオロア６４が設けられ、本
体５７とカムレバー６３の一端に掛け合わされた
引つ張りコイルバネ（付勢手段）６５に付勢され
てカム５９の外周に圧接している。カムレバー６
３の他端にはピン６６が設けられており、ピン６
６に揺動自在に支持されて調整レバー（調整部
材）６７，６８があり、それぞれその下端部で第
１連結レバー４３と第２連結レバー４４にピン結
合されている。また調整レバー６７，６８の上端
側には、カムレバー６３に支持された調整ねじ
（調整手段）６９，７０があつて、調整レバー６
７，６８のそれぞれの下方側とカムレバー６３と
の間に掛け合わさえた引つ張りコイルバネ７１，
７２の付勢力により、調整レバー６７，６８の上
端部はそれぞれ調整ねじ６９，７０の先端に圧接
されている。

次に作用について説明する。カム５９が回転
し、その形状に従つてカムレバー６３が引つ張り
コイルバネ６５の付勢力によつて第９図で時計方
向に揺動すると、第１及び第２連結レバー４３，
４４は第１及び第２リンクレバー４０，４２を第
２図で反時計方向に揺動せしめ、前述したように
スライダ３３〜３６を互いに接近させる方向に移
動せしめ、結果としてテーブル２１上に載置され
たダイを位置決め爪２２〜２５によつて４方より
挟持してその位置を修正する。この時、ダイ位置
決め爪２２〜２５にわずかな隙間（10〜20μｍ）
を明けて位置決めするようにする。

さて、ダイの種類が変更され、その外形寸法が
大きくなつた場合、調整ねじ６９，７０を回転さ
せ、調整ねじ６９，７０の先端を更に突出させる
と、調整レバー６７，６８は第９図で反時計方向
にそれぞれ揺動し、第１、第２連結レバー４３，
４４を引き込む方向に移動させることができる。
この動きによつて第１及び第２リンクレバー４
０，４２は時計方向に揺動し、前の説明による動
作方向とは逆にスライダ３３〜３６、即ち位置決
め爪２２〜２５がテーブル２１から遠ざかる方向
に互いに離反動作を行い、大きなダイをテーブル
２１上に載置する場合にそれが干渉しないように
調整することができる。この調整は互いに対向す
るスライダ３３，３４、即ち位置決め爪２２，２
３の１組を第２リンクレバー４２につながる調整
ねじ６９で、またスライダ３５，３６、即ち位置
決め爪２４，２５の１組を第１リンクレバー４０
につながる調整ねじ６９でそれぞれ独立に行うこ
とが可能であるため、ダイの形状により位置修正
を正しく行うために縦横の方向を独立して調整が
でき、しかも同一方向の位置決め爪、即ち対向す
る一対の位置決め爪の調整を同時に行うことがで
きる。

ダイの外形寸法が小さくなつた場合は、上の説
明と全く逆の動作を行わせればよい。

そして、このように位置決め爪２２〜２５の位
置修正を行つてもカムレバー６３の移動量は何ら
変化すことがないため、位置決め爪２２〜２５の
接近離反の全ストロークに変化はなく、またスト
ローク両端にもストツパ等が用いられておらず、
衝撃の発生もなく、ダイを破損させる等の事故を
招くことがない。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、位置決め爪を交換したり、ストツパ手段に拠
つたりすることなくダイの種類に応じて容易に位
置決め爪のストローク範囲を変更することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるダイ位置修正装置の一実
施例を示す平面図、第２図は第１図の上部カバー
を外した平面図、第３図は第２図の正面図、第４
図は第３図の背面図、第５図は左側面図、第６図
は第２図の６−６線断面図、第７図は第２図の７
−７線断面図、第８図は連結部材の駆動機構を示
す平面図、第９図は第８図の正面図、第１０図は
従来のダイ位置修正装置の平面図、第１１図は第
１０図の上面直下の断面をとつた平面断面図であ
る。 ２０：ベース部材、２１：テーブル、２２〜２
５：位置決め爪、２９〜３２：案内路、３３〜３
６：スライダ、４０：第１リンクレバー、４２：
第２リンクレバー、４３：第１連結レバー、４
４：第２連結レバー、５７：本体、５９：カム、
６３：カムレバー、６５：引つ張りコイルバネ、
６７，６８：調整レバー、６９，７０：調整ね
じ、７１，７２：引つ張りコイルバネ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 互いに直交する２方向に沿つて設けられた案
   内路と、この案内路の交点部に設けられた試料載
   置部と、前記案内路にそれぞれ摺動自在に設けら
   れ、試料載置部を中心として放射状に配置された
   ４個のスライダと、それぞれスライダに固定さ
   れ、試料載置部の直上に突出する４個の位置決め
   爪と、対向する２個のスライダを組として協動し
   て互いに接近又は離間せしめ、２組のスライダを
   それぞれ独立して位置決め動作せしめる２組の機
   械的係動手段と、動力駆動され回転するカムと、
   カムフオロアを備え揺動可能に設けられたカムレ
   バーと、カムフオロアを前記カムの外周に圧接さ
   せる付勢手段と、前記カムレバーと共に回動可能
   でかつ該カムレバーに回転自在に取付けられた２
   組の調整部材と、この２組の調整部材をそれぞれ
   独立して回動せしめる２組の調整手段と、前記調
   整部材の一端と前記機械的係動手段とを連結し前
   記カムレバーの揺動を進退動として前記機械的係
   動手段に伝える連結部材とを有し、前記機械的係
   動手段は、前記連結部材によつて伝えられる進退
   動をスライダの位置決め動作に変えると共に、前
   記調整手段によつて前記調整部材を回動させるこ
   とにより、前記機械的係動手段を介して組のスラ
   イダを接近又は離間せしめることを特徴とするダ
   イ位置修正装置。