JPH0581622B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0581622B2 JPH0581622B2 JP29617889A JP29617889A JPH0581622B2 JP H0581622 B2 JPH0581622 B2 JP H0581622B2 JP 29617889 A JP29617889 A JP 29617889A JP 29617889 A JP29617889 A JP 29617889A JP H0581622 B2 JPH0581622 B2 JP H0581622B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- epoxy resin
- mold release
- weight
- release agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 24
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 24
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 13
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 10
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 10
- 150000004671 saturated fatty acids Chemical class 0.000 claims description 7
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 6
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 4
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims description 3
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 27
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- UTOPWMOLSKOLTQ-UHFFFAOYSA-N octacosanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O UTOPWMOLSKOLTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 7
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 6
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 6
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 4
- ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N antimony trioxide Chemical compound O=[Sb]O[Sb]=O ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N hexadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- FTQWRYSLUYAIRQ-UHFFFAOYSA-N n-[(octadecanoylamino)methyl]octadecanamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)NCNC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCC FTQWRYSLUYAIRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- LVTYICIALWPMFW-UHFFFAOYSA-N diisopropanolamine Chemical compound CC(O)CNCC(C)O LVTYICIALWPMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940043276 diisopropanolamine Drugs 0.000 description 3
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 3
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 3
- 241000894007 species Species 0.000 description 3
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZNKLACXCGOFVBZ-UHFFFAOYSA-N 3-anilinobenzene-1,2-diol Chemical compound OC1=CC=CC(NC=2C=CC=CC=2)=C1O ZNKLACXCGOFVBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000021314 Palmitic acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 2
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 2
- UKMSUNONTOPOIO-UHFFFAOYSA-N docosanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O UKMSUNONTOPOIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 2
- -1 esterified products Chemical class 0.000 description 2
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 2
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 2
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 150000004668 long chain fatty acids Chemical class 0.000 description 2
- HQKMJHAJHXVSDF-UHFFFAOYSA-L magnesium stearate Chemical compound [Mg+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O HQKMJHAJHXVSDF-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N n-Pentadecanoic acid Natural products CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WTBAHSZERDXKKZ-UHFFFAOYSA-N octadecanoyl chloride Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(Cl)=O WTBAHSZERDXKKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 235000003441 saturated fatty acids Nutrition 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 2
- 235000021357 Behenic acid Nutrition 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylaniline Chemical compound CN(C)C1=CC=CC=C1 JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229940116226 behenic acid Drugs 0.000 description 1
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical class C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004841 bisphenol A epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004842 bisphenol F epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- CJZGTCYPCWQAJB-UHFFFAOYSA-L calcium stearate Chemical compound [Ca+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O CJZGTCYPCWQAJB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000008116 calcium stearate Substances 0.000 description 1
- 235000013539 calcium stearate Nutrition 0.000 description 1
- 239000004203 carnauba wax Substances 0.000 description 1
- 235000013869 carnauba wax Nutrition 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- CAYGQBVSOZLICD-UHFFFAOYSA-N hexabromobenzene Chemical compound BrC1=C(Br)C(Br)=C(Br)C(Br)=C1Br CAYGQBVSOZLICD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 125000003157 long chain fatty acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 235000019359 magnesium stearate Nutrition 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002903 organophosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- UHZYTMXLRWXGPK-UHFFFAOYSA-N phosphorus pentachloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)(Cl)Cl UHZYTMXLRWXGPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOOUIPVCVHRTMJ-UHFFFAOYSA-L zinc stearate Chemical compound [Zn+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O XOOUIPVCVHRTMJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
Landscapes
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は良好な離型性、金型汚れ性、捺印性を
有し、しかもシリコンチツプと樹脂界面およびリ
ードフレームと樹脂界面の密着の良い半導体封止
用のエポキシ樹脂組成物に関するものである。 〔従来の技術〕 半導体封止用エポキシ樹脂組成物は一般にトラ
ンスフアー成形法により成形される。 この成形法において、成形により封止された半
導体を金型から円滑に取り出すため、あらかじめ
成形材料に離型剤、即ちワツクスを添加している
が、このワツクスは下記の条件を満足するもので
あることが必要である。 良好な離型性を有すること。 成形シヨツト数を重ねても、金型表面への付
着物が少なく、クリーニング回数が少なくてす
むこと、即ち型汚れ性が良好であること。 捺印性が阻害されないこと。成形品表面に多
量にブリードしたり、又は空気中高温にさらさ
れることにより、容易に酸化して捺印性が低下
するワツクスは使用することが出来ない。 ポストキユアー後のシリコンチツプと封止樹
脂界面、リードフレームと封止樹脂界面が実用
上十分に密着・接着していること。これらの界
面の剥離により水分がパツケージ内に侵入し易
くなり、半導体デバイスの耐湿性が著しく低下
する可能性があるためである。 従来の離型剤としてはステアリン酸やモンタン
酸のような長鎖脂肪酸系ワツクス、ステアリン酸
亜鉛、ステアリン酸マグネシウム、ステアリン酸
カルシウムなどの長鎖脂肪酸の金属塩系のワツク
ス、カルナバワツクスやモンタン酸のエステル化
物で代表されるアミンを含有していない従来のエ
ステル系ワツクス、モンタン酸ビスアマイドで代
表されるビスアマイド系ワツクス等があるが、い
ずれも前述した条件を十分に満たしてはいなかつ
た。 例えば、脂肪酸系やその金属塩系ワツクスは離
型、型汚れ、捺印のいずれも満足するが、樹脂と
シリコンチツプそしてリードフレームとの密着が
低下して耐湿性が低下してしまう。 アミンを含有していない従来のエステル系ワツ
クスは離型、捺印、密着は良好であるが、型汚れ
特性の低いものがあり、金型クリーニング回数が
多くなる傾向にある。 また、アミンを含有していないエステル系のあ
る種のものは高温で酸化し易く、捺印性が低下す
る場合も多い。 ビスアマイド系ワツクス(例えば特開昭56−
52941号公報)は型汚れ性、捺印性、密着性は良
好であるが、かんじんの離型性が十分でない。 これは、ビスアマイド系ワツクスはエポキシ樹
脂とあまりに良く相溶しすぎるため、成形品表面
にワツクスがほとんどブリードしないことによる
と考えられる。 以上のワツクスを複合して用いることにより、
比較的良好な成形性を有する樹脂組成物が得られ
るものの、これらの欠点は完全にカバー出来なか
つた。 しかも近年、耐熱性向上の要求が強くなつてお
り、耐熱性エポキシ樹脂、耐熱性硬化剤を用いる
必要があるが、これらを用いた封止材は、従来の
封止材に比べて離型性、型汚れ性が悪く、従来の
ワツクス系ではすでに限界があり、ますます上記
特性に優れた離型剤が必要とされるようになつて
きている。 〔発明が解決しようとする課題〕 本発明は上記の事情に鑑みなされたもので、そ
の目的とするところは、金型からの離型性、
金型汚れ特性、成形品の捺印性、シリコンチ
ツプおよびリードフレームと樹脂の密着性の良好
な半導体封止用エポキシ樹脂の組成物を提供する
ことにある。 〔課題を解決するための手段〕 本発明者らは従来技術では克服できなかつたこ
れらの問題を解決するために、鋭意研究を進め、
特にワツクスとして、炭素数18以上35以下の長鎖
一価飽和脂肪酸と下記式()で示される化合物
のエステルを、総離型剤中の50〜100重量%含有
する離型剤
有し、しかもシリコンチツプと樹脂界面およびリ
ードフレームと樹脂界面の密着の良い半導体封止
用のエポキシ樹脂組成物に関するものである。 〔従来の技術〕 半導体封止用エポキシ樹脂組成物は一般にトラ
ンスフアー成形法により成形される。 この成形法において、成形により封止された半
導体を金型から円滑に取り出すため、あらかじめ
成形材料に離型剤、即ちワツクスを添加している
が、このワツクスは下記の条件を満足するもので
あることが必要である。 良好な離型性を有すること。 成形シヨツト数を重ねても、金型表面への付
着物が少なく、クリーニング回数が少なくてす
むこと、即ち型汚れ性が良好であること。 捺印性が阻害されないこと。成形品表面に多
量にブリードしたり、又は空気中高温にさらさ
れることにより、容易に酸化して捺印性が低下
するワツクスは使用することが出来ない。 ポストキユアー後のシリコンチツプと封止樹
脂界面、リードフレームと封止樹脂界面が実用
上十分に密着・接着していること。これらの界
面の剥離により水分がパツケージ内に侵入し易
くなり、半導体デバイスの耐湿性が著しく低下
する可能性があるためである。 従来の離型剤としてはステアリン酸やモンタン
酸のような長鎖脂肪酸系ワツクス、ステアリン酸
亜鉛、ステアリン酸マグネシウム、ステアリン酸
カルシウムなどの長鎖脂肪酸の金属塩系のワツク
ス、カルナバワツクスやモンタン酸のエステル化
物で代表されるアミンを含有していない従来のエ
ステル系ワツクス、モンタン酸ビスアマイドで代
表されるビスアマイド系ワツクス等があるが、い
ずれも前述した条件を十分に満たしてはいなかつ
た。 例えば、脂肪酸系やその金属塩系ワツクスは離
型、型汚れ、捺印のいずれも満足するが、樹脂と
シリコンチツプそしてリードフレームとの密着が
低下して耐湿性が低下してしまう。 アミンを含有していない従来のエステル系ワツ
クスは離型、捺印、密着は良好であるが、型汚れ
特性の低いものがあり、金型クリーニング回数が
多くなる傾向にある。 また、アミンを含有していないエステル系のあ
る種のものは高温で酸化し易く、捺印性が低下す
る場合も多い。 ビスアマイド系ワツクス(例えば特開昭56−
52941号公報)は型汚れ性、捺印性、密着性は良
好であるが、かんじんの離型性が十分でない。 これは、ビスアマイド系ワツクスはエポキシ樹
脂とあまりに良く相溶しすぎるため、成形品表面
にワツクスがほとんどブリードしないことによる
と考えられる。 以上のワツクスを複合して用いることにより、
比較的良好な成形性を有する樹脂組成物が得られ
るものの、これらの欠点は完全にカバー出来なか
つた。 しかも近年、耐熱性向上の要求が強くなつてお
り、耐熱性エポキシ樹脂、耐熱性硬化剤を用いる
必要があるが、これらを用いた封止材は、従来の
封止材に比べて離型性、型汚れ性が悪く、従来の
ワツクス系ではすでに限界があり、ますます上記
特性に優れた離型剤が必要とされるようになつて
きている。 〔発明が解決しようとする課題〕 本発明は上記の事情に鑑みなされたもので、そ
の目的とするところは、金型からの離型性、
金型汚れ特性、成形品の捺印性、シリコンチ
ツプおよびリードフレームと樹脂の密着性の良好
な半導体封止用エポキシ樹脂の組成物を提供する
ことにある。 〔課題を解決するための手段〕 本発明者らは従来技術では克服できなかつたこ
れらの問題を解決するために、鋭意研究を進め、
特にワツクスとして、炭素数18以上35以下の長鎖
一価飽和脂肪酸と下記式()で示される化合物
のエステルを、総離型剤中の50〜100重量%含有
する離型剤
本発明で用いる離型剤は、炭素数18以上35以下
の長鎖一価飽和脂肪酸と式()で示される化合
物とをエステル化させることにより合成される。 ここに用いられる長鎖一価飽和脂肪酸の代表例
を挙げるとステアリン酸(炭素数18)、ベヘン酸
(炭素数22)、モンタン酸(炭素数28〜32)などが
挙げられる。 本発明において長鎖一価飽和脂肪酸の炭素数を
限定している理由は、炭素数が18より少ないも
の、例えばパルミチン酸(炭素数16)などでは離
型性に優れたものを得る事が出来ないからであ
る。 又、炭素数が35より大きいものは合成反応にお
ける収率が低下し、しかもエポキシ樹脂との相溶
性も低いため型汚れ性が低下する。 離型剤を合成するもう一方の原料である式
()の化合物は、例えばジエタノールアミン、
ジイソプロパノールアミン、そしてジヒドロキシ
ジフエニルアミン等が挙げられる。 式()の化合物と長鎖一価飽和脂肪酸とは当
量で反応させることが望ましいが、合成等の都合
上、多少当量比をずらせて合成しても差し支えな
い。 一般に式()の化合物/長鎖一価飽和脂肪酸
は当量比で80/100〜100/80の範囲が望ましい。
この合成した離型剤は、他の通常用いられている
離型剤と併用して用いてもよいが、総離型剤量の
50〜100重量%の使用が望ましい。 50重量%未満であると、離型性、型汚れ性、捺
印性、密着性(耐湿性)のいずれかが低下し、バ
ランスのとれない離型剤系となる。 また、この合成離型剤の組成物への配合割合
は、エポキシ樹脂組成物全体量の0.1〜2.0重量
%、好ましくは0.3〜1.0重量%である。 配合割合を多くしすぎると型汚れ性が低下する
のみならず、硬化物のガラス転移点(Tg)、機械
的強度、耐湿性が低下する。 逆に配合割合を少なくすると、当然離型性が低
下し、著しく成形性が低下する。 なお、本発明のアミン基含有のエステル化合物
離型剤が金型汚れ性と離型作用に顕著な効果があ
る理由は不明であるが、以下の様に推測してい
る。 離型効果大である長鎖脂肪酸エステル構造を
有している。 エポキシ樹脂に相溶あるいは反応しやすいア
ミン構造を有しているために成形品表面へのブ
リード量が少なく、金型汚れが少なくてすむ。 本発明で用いるエポキシ樹脂は1分子中に2個
以上のエポキシ基を有するものであればいかなる
ものでも良く、例えばビスフエノールA型エポキ
シ樹脂、ビスフエノールF型エポキシ樹脂、フエ
ノールノボラツク型エポキシ樹脂、クレゾールノ
ボラツク型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、
さらにこれらのシリコーン変性樹脂及びその他変
性樹脂等が挙げられ、これらのエポキシ樹脂は1
種または2種以上混合して用いることも出来る。 これらのエポキシ樹脂の中ではエポキシ当量が
150〜250、軟化点が60〜130℃であり、且つNa+,
C-等のイオン性不純物が出来る限り少ないも
のが好ましい。 本発明で用いるフエノール樹脂は硬化剤として
の働きをするものである。 これらのフエノール樹脂としてはフエノールノ
ボラツク樹脂、クレゾールノボラツク樹脂、さら
に、これらのシリコーン変性樹脂およびその他の
変性樹脂等が挙げられ、これらは1種または2種
以上混合して用いることもできる。 用いられるフエノール樹脂は水酸基当量が80〜
150、軟化点が60〜120℃であり、Na+,C-等
のイオン性不純物が出来る限り少ないものが好ま
しい。 総エポキシ樹脂成分と総硬化剤(フエノール樹
脂)成分は当量比でエポキシ基/フエノール性水
酸基=70/100〜100/70の範囲が好適である。 当量比が70/100未満もしくは100/70より大き
いとTgの低下、熱時硬度の低下、耐湿性の低下
等が生じ、半導体封止用樹脂組成物として不適と
なつてしまう。 本発明で用いられる無機充填材としては結晶シ
リカ、溶融シリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、
タルク、マイカ、ガラス繊維等が挙げられる。 これらの1種又は2種以上混合して使用され
る。これらのうちで特に結晶シリカ又は溶融シリ
カが好適に用いられる。 本発明に使用される硬化促進剤としてはエポキ
シ基とフエノール性水酸基との反応を促進するも
のであればよく、一般に封止用材料に使用されて
いるものを広く使用することができ、例えば
BDMA等の第3級アミン類、イミダゾール類、
1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセ
ン−7(DBU)、トリフエニルホスフイン
(TPP)等の有機リン化合物等を単独もしくは2
種以上混合して用いても良い。 また、これら以外の成分として必要に応じてシ
ランカツプリング剤、臭素化エポキシ樹脂、三酸
化アンチモン、ヘキサブロムベンゼン等の難燃
剤、カーボンブラツク、ベンガラ等の着色剤及び
シリコーンオイル、ゴム等の低応力添加剤等の
種々の添加剤を適宜配合しても良い。 本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を成
形材料として製造するには、エポキシ樹脂、硬化
剤、無機充填剤、硬化促進剤、離型剤として特殊
な合成ワツクス及びその他の添加剤をミキサー等
によつて充分に均一に混合した後、さらに熱ロー
ル又はニーダー等で溶融混練し、冷却後粉砕する
ことによつて得ることができる。これらの成形材
料は電子部品あるいは電気部品の封止、被覆、絶
縁等に用いることができる。 〔実施例〕 次に実施例について比較例とあわせて説明す
る。なお、以下製造例、比較製造例、実施例およ
び比較例において「部」および「%」は重量部お
よび重量%を示す。 (ワツクスの合成) 製造例 1 ステアリン酸284g(1mol)と乾燥ベンゼン1
を入れ、攪拌しながら五塩化リン213g(1.02mol)
を30〜50gづつ加える。室温では塩素の発生は12
時間後に起きるので、その後2時間還流させる。
溶媒と塩化ホスホリルを除去した後、減圧蒸留し
ステアリン酸塩化物CH3(CH2)16−COCを得
る。(一段目収率65〜70%) 次にジエタノールアミン26.3g(0.25mol)と乾
燥ジメチルアニリン60.6g(0.5mol)を乾燥エーテ
ル100mlに溶かし、かきまぜながらステアリン酸
塩化物151.2g(0.5mol)を滴下する。 滴下後2時間還流し放冷する。 水を加えエーテルで抽出し、抽出溶液を10%硫
酸水溶液で数回洗い、脱溶媒して合成ワツクスA
を得る。(二段目収率90%) 製造例 2 製造例1のステアリン酸をモンタン酸466g
(1mol)に変更し、さらにジエタノールアミンを
ジイソプロパノールアミン33.3g(0.25mol)に変
更した以外は同様に製造し、合成ワツクスBを得
た。(一段目収率65〜70%、二段目収率90〜95%) 製造例 3 製造例2のジイソプロパノールアミンをジヒド
ロキシジフエニルアミン50.2g(0.25mol)に変更
した以外は同様にして製造し、合成ワツクスCを
得た。(一段目収率70〜75%、二段目収率95〜97
%) 比較製造例 1 製造例1のステアリン酸をパルミチン酸254g
(1mol)に変更する以外は同様にして製造し、合
成ワツクスDを得た。(一段目収率65〜70%、二
段目収率90%) 比較製造例 2 製造例1のステアリン酸を炭素数36〜40の脂肪
酸564g(1mol)に変更する以外は同様にして製造
し合成ワツクスEを得た。(一段目収率65〜70%、
二段目収率85〜90%) 実施例 1 下記組成物 o−クレゾールノボラツク型エポキシ樹脂(エ
ポキシ当量200、軟化点65℃) 95重量部 臭素化ビスフエノールA型エポキシ樹脂(エポ
キシ当量370、軟化点65℃、臭素含有率37%)
5重量部 フエノールノボラツク樹脂(OH当量105、軟
化点105℃) 50重量部 溶融シリカ 490重量部 トリフエニルホスフイン 2重量部 合成ワツクスA 4重量部 三酸化アンチモン 25重量部 シランカツプリング剤 2重量部 カーボンブラツク 3重量部 を常温で充分混合し、次いで95〜100℃で加熱ニ
ーダー等により混練し、冷却後粉砕してタブレツ
ト化して本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成
物を得た。 この材料をトランスフアー成形機(成形条件:
金型温度175℃、硬化時間2分)を用いて成形し、
成形時の離型性、型汚れ性を評価した。 さらに得られた成形品を175℃、8時間後硬化
し、捺印性試験と耐湿性試験を行つた。 評価結果を第1表に示す。 実施例 2 実施例1において合成ワツクスAの代りに合成
ワツクスCとし、o−クレゾールノボラツク型エ
ポキシ樹脂をシリコーン変性エポキシ樹脂(a)105
部とした以外は実施例1と同様にして半導体封止
用材料を得、同様にして評価した。 結果を第1表に示す。 実施例 3 実施例1と同様にして第1表に示す組成の半導
体封止用材料を得、実施例1と同様にして評価し
た。結果を第1表に示す。 比較例1〜5 実施例1と同様にして第1表に示す組成の半導
体封止用材料を得、実施例1と同様にして評価し
た。結果を第1表に示す。
の長鎖一価飽和脂肪酸と式()で示される化合
物とをエステル化させることにより合成される。 ここに用いられる長鎖一価飽和脂肪酸の代表例
を挙げるとステアリン酸(炭素数18)、ベヘン酸
(炭素数22)、モンタン酸(炭素数28〜32)などが
挙げられる。 本発明において長鎖一価飽和脂肪酸の炭素数を
限定している理由は、炭素数が18より少ないも
の、例えばパルミチン酸(炭素数16)などでは離
型性に優れたものを得る事が出来ないからであ
る。 又、炭素数が35より大きいものは合成反応にお
ける収率が低下し、しかもエポキシ樹脂との相溶
性も低いため型汚れ性が低下する。 離型剤を合成するもう一方の原料である式
()の化合物は、例えばジエタノールアミン、
ジイソプロパノールアミン、そしてジヒドロキシ
ジフエニルアミン等が挙げられる。 式()の化合物と長鎖一価飽和脂肪酸とは当
量で反応させることが望ましいが、合成等の都合
上、多少当量比をずらせて合成しても差し支えな
い。 一般に式()の化合物/長鎖一価飽和脂肪酸
は当量比で80/100〜100/80の範囲が望ましい。
この合成した離型剤は、他の通常用いられている
離型剤と併用して用いてもよいが、総離型剤量の
50〜100重量%の使用が望ましい。 50重量%未満であると、離型性、型汚れ性、捺
印性、密着性(耐湿性)のいずれかが低下し、バ
ランスのとれない離型剤系となる。 また、この合成離型剤の組成物への配合割合
は、エポキシ樹脂組成物全体量の0.1〜2.0重量
%、好ましくは0.3〜1.0重量%である。 配合割合を多くしすぎると型汚れ性が低下する
のみならず、硬化物のガラス転移点(Tg)、機械
的強度、耐湿性が低下する。 逆に配合割合を少なくすると、当然離型性が低
下し、著しく成形性が低下する。 なお、本発明のアミン基含有のエステル化合物
離型剤が金型汚れ性と離型作用に顕著な効果があ
る理由は不明であるが、以下の様に推測してい
る。 離型効果大である長鎖脂肪酸エステル構造を
有している。 エポキシ樹脂に相溶あるいは反応しやすいア
ミン構造を有しているために成形品表面へのブ
リード量が少なく、金型汚れが少なくてすむ。 本発明で用いるエポキシ樹脂は1分子中に2個
以上のエポキシ基を有するものであればいかなる
ものでも良く、例えばビスフエノールA型エポキ
シ樹脂、ビスフエノールF型エポキシ樹脂、フエ
ノールノボラツク型エポキシ樹脂、クレゾールノ
ボラツク型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、
さらにこれらのシリコーン変性樹脂及びその他変
性樹脂等が挙げられ、これらのエポキシ樹脂は1
種または2種以上混合して用いることも出来る。 これらのエポキシ樹脂の中ではエポキシ当量が
150〜250、軟化点が60〜130℃であり、且つNa+,
C-等のイオン性不純物が出来る限り少ないも
のが好ましい。 本発明で用いるフエノール樹脂は硬化剤として
の働きをするものである。 これらのフエノール樹脂としてはフエノールノ
ボラツク樹脂、クレゾールノボラツク樹脂、さら
に、これらのシリコーン変性樹脂およびその他の
変性樹脂等が挙げられ、これらは1種または2種
以上混合して用いることもできる。 用いられるフエノール樹脂は水酸基当量が80〜
150、軟化点が60〜120℃であり、Na+,C-等
のイオン性不純物が出来る限り少ないものが好ま
しい。 総エポキシ樹脂成分と総硬化剤(フエノール樹
脂)成分は当量比でエポキシ基/フエノール性水
酸基=70/100〜100/70の範囲が好適である。 当量比が70/100未満もしくは100/70より大き
いとTgの低下、熱時硬度の低下、耐湿性の低下
等が生じ、半導体封止用樹脂組成物として不適と
なつてしまう。 本発明で用いられる無機充填材としては結晶シ
リカ、溶融シリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、
タルク、マイカ、ガラス繊維等が挙げられる。 これらの1種又は2種以上混合して使用され
る。これらのうちで特に結晶シリカ又は溶融シリ
カが好適に用いられる。 本発明に使用される硬化促進剤としてはエポキ
シ基とフエノール性水酸基との反応を促進するも
のであればよく、一般に封止用材料に使用されて
いるものを広く使用することができ、例えば
BDMA等の第3級アミン類、イミダゾール類、
1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセ
ン−7(DBU)、トリフエニルホスフイン
(TPP)等の有機リン化合物等を単独もしくは2
種以上混合して用いても良い。 また、これら以外の成分として必要に応じてシ
ランカツプリング剤、臭素化エポキシ樹脂、三酸
化アンチモン、ヘキサブロムベンゼン等の難燃
剤、カーボンブラツク、ベンガラ等の着色剤及び
シリコーンオイル、ゴム等の低応力添加剤等の
種々の添加剤を適宜配合しても良い。 本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を成
形材料として製造するには、エポキシ樹脂、硬化
剤、無機充填剤、硬化促進剤、離型剤として特殊
な合成ワツクス及びその他の添加剤をミキサー等
によつて充分に均一に混合した後、さらに熱ロー
ル又はニーダー等で溶融混練し、冷却後粉砕する
ことによつて得ることができる。これらの成形材
料は電子部品あるいは電気部品の封止、被覆、絶
縁等に用いることができる。 〔実施例〕 次に実施例について比較例とあわせて説明す
る。なお、以下製造例、比較製造例、実施例およ
び比較例において「部」および「%」は重量部お
よび重量%を示す。 (ワツクスの合成) 製造例 1 ステアリン酸284g(1mol)と乾燥ベンゼン1
を入れ、攪拌しながら五塩化リン213g(1.02mol)
を30〜50gづつ加える。室温では塩素の発生は12
時間後に起きるので、その後2時間還流させる。
溶媒と塩化ホスホリルを除去した後、減圧蒸留し
ステアリン酸塩化物CH3(CH2)16−COCを得
る。(一段目収率65〜70%) 次にジエタノールアミン26.3g(0.25mol)と乾
燥ジメチルアニリン60.6g(0.5mol)を乾燥エーテ
ル100mlに溶かし、かきまぜながらステアリン酸
塩化物151.2g(0.5mol)を滴下する。 滴下後2時間還流し放冷する。 水を加えエーテルで抽出し、抽出溶液を10%硫
酸水溶液で数回洗い、脱溶媒して合成ワツクスA
を得る。(二段目収率90%) 製造例 2 製造例1のステアリン酸をモンタン酸466g
(1mol)に変更し、さらにジエタノールアミンを
ジイソプロパノールアミン33.3g(0.25mol)に変
更した以外は同様に製造し、合成ワツクスBを得
た。(一段目収率65〜70%、二段目収率90〜95%) 製造例 3 製造例2のジイソプロパノールアミンをジヒド
ロキシジフエニルアミン50.2g(0.25mol)に変更
した以外は同様にして製造し、合成ワツクスCを
得た。(一段目収率70〜75%、二段目収率95〜97
%) 比較製造例 1 製造例1のステアリン酸をパルミチン酸254g
(1mol)に変更する以外は同様にして製造し、合
成ワツクスDを得た。(一段目収率65〜70%、二
段目収率90%) 比較製造例 2 製造例1のステアリン酸を炭素数36〜40の脂肪
酸564g(1mol)に変更する以外は同様にして製造
し合成ワツクスEを得た。(一段目収率65〜70%、
二段目収率85〜90%) 実施例 1 下記組成物 o−クレゾールノボラツク型エポキシ樹脂(エ
ポキシ当量200、軟化点65℃) 95重量部 臭素化ビスフエノールA型エポキシ樹脂(エポ
キシ当量370、軟化点65℃、臭素含有率37%)
5重量部 フエノールノボラツク樹脂(OH当量105、軟
化点105℃) 50重量部 溶融シリカ 490重量部 トリフエニルホスフイン 2重量部 合成ワツクスA 4重量部 三酸化アンチモン 25重量部 シランカツプリング剤 2重量部 カーボンブラツク 3重量部 を常温で充分混合し、次いで95〜100℃で加熱ニ
ーダー等により混練し、冷却後粉砕してタブレツ
ト化して本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成
物を得た。 この材料をトランスフアー成形機(成形条件:
金型温度175℃、硬化時間2分)を用いて成形し、
成形時の離型性、型汚れ性を評価した。 さらに得られた成形品を175℃、8時間後硬化
し、捺印性試験と耐湿性試験を行つた。 評価結果を第1表に示す。 実施例 2 実施例1において合成ワツクスAの代りに合成
ワツクスCとし、o−クレゾールノボラツク型エ
ポキシ樹脂をシリコーン変性エポキシ樹脂(a)105
部とした以外は実施例1と同様にして半導体封止
用材料を得、同様にして評価した。 結果を第1表に示す。 実施例 3 実施例1と同様にして第1表に示す組成の半導
体封止用材料を得、実施例1と同様にして評価し
た。結果を第1表に示す。 比較例1〜5 実施例1と同様にして第1表に示す組成の半導
体封止用材料を得、実施例1と同様にして評価し
た。結果を第1表に示す。
【表】
本発明の合成ワツクスを用いてなるエポキシ樹
脂組成物は、離型性、金型汚れ性、捺印性が非常
に優れ、しかもシリコンチツプやリードフレーム
との密着も良いため、耐湿性に優れており、半導
体封止用樹脂組成物として非常に優れているもの
である。
脂組成物は、離型性、金型汚れ性、捺印性が非常
に優れ、しかもシリコンチツプやリードフレーム
との密着も良いため、耐湿性に優れており、半導
体封止用樹脂組成物として非常に優れているもの
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 (A) エポキシ樹脂 (B) 硬化剤 (C) 無機充填剤 (D) 硬化促進剤および (E) 炭素数18以上35以下の長鎖一価飽和脂肪酸と
下記式()で示される化合物とのエステル
を、総離型剤中の50〜100重量%含有する離型
剤 【化】 を必須成分とする半導体封止用の樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29617889A JPH03157449A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29617889A JPH03157449A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03157449A JPH03157449A (ja) | 1991-07-05 |
| JPH0581622B2 true JPH0581622B2 (ja) | 1993-11-15 |
Family
ID=17830175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29617889A Granted JPH03157449A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03157449A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002173578A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-21 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
| JP4777672B2 (ja) * | 2005-03-09 | 2011-09-21 | 株式会社カネカ | ポリエステル樹脂組成物およびそれから得られる成形体 |
| EP3632982A1 (en) * | 2017-05-24 | 2020-04-08 | Mitsubishi Chemical Corporation | Molding material and fiber-reinforced composite material |
-
1989
- 1989-11-16 JP JP29617889A patent/JPH03157449A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03157449A (ja) | 1991-07-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11140277A (ja) | エポキシ樹脂組成物及びこれを用いた半導体装置 | |
| TW201518392A (zh) | 環氧樹脂組成物、其用途及環氧樹脂組成物用塡充材 | |
| JPH0468345B2 (ja) | ||
| JPH0581607B2 (ja) | ||
| JPH03157449A (ja) | 樹脂組成物 | |
| JPH06287306A (ja) | エポキシ基含有オルガノポリシロキサン類の製造方法、樹脂添加剤および半導体封止用エポキシ樹脂組成物 | |
| JP2001064362A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
| JP2641183B2 (ja) | 封止用樹脂組成物 | |
| JPS6137789B2 (ja) | ||
| JPH0621152B2 (ja) | 封止用樹脂組成物 | |
| JP2744500B2 (ja) | 樹脂組成物 | |
| JP2823658B2 (ja) | 樹脂組成物 | |
| JP3627736B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物並びにこれを用いた半導体装置 | |
| JPH07173235A (ja) | アリルナフトール共縮合物およびエポキシ樹脂組成物 | |
| JPH0562612B2 (ja) | ||
| JP2001081287A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び樹脂封止型半導体装置 | |
| JPH06329765A (ja) | エポキシ樹脂組成物の製造方法と半導体封止装置 | |
| JP3468900B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP3965689B2 (ja) | 光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置 | |
| JPS63135416A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 | |
| JPH03100014A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 | |
| JPH03100015A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 | |
| JPH0617441B2 (ja) | 樹脂組成物 | |
| JPH04100820A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
| JPH11130837A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 14 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071115 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 15 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081115 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091115 Year of fee payment: 16 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |