JPH0582970B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本発明は半導体製造装置に係り、特にダイボン
デイング時およびワイヤボンデイング時等のリー
ドフレームの移送、位置決めを行うリードフレー
ムの搬送装置に関する。

(ロ) 従来の技術 従来リードフレームの搬送は、リードフレーム
に設けてあるパイロツト穴等に送り爪を挿入し、
カム等で送り爪を駆動し、リードフレームの搬送
を行なつていた。この方式では送りずれが生じな
い利点がある反面パイロツト穴の径、穴の位置が
変わるたびに爪の交換及び爪の位置の変更等の作
業が必要となり、その間装置を停止せざるを得な
くなり、生産性の低下を招くという問題点が存在
する。そこで、特開昭59−161809号公報では、固
定シユートに載置されたリードフレームの幅方向
端部を上面は固定爪で、下面は下方から移動して
くる可動爪で挟持させて、該シユート面より上昇
させて下流側へ搬送している。

しかし、搬送後この挟持を解除して固定シユー
トに載置する際、上面を支持している爪が固定爪
のためリードフレームは搬送レベルとシユート面
との間の空間分可動爪だけで支持されて下降する
こととなり、不安定である。また、固定シユート
に載置される際衝撃や振動を与える可能性があ
り、これにより、リードフレームの位置ずれが発
生する危険性がある。

(ハ) 発明が解決しようとする課題 従つて、本発明はリードフレームを固定シユー
ト上に再載置する際に、衝撃や振動を起こさせな
いで、確実な移載が行えるようにすることを目的
とする。

(ニ) 課題を解決するための手段 そこで、本発明はリードフレームを固定シユー
ト側に押圧する上爪部と、該上爪部により前記固
定シユートに押圧されたリードフレームを該シユ
ートの上方に押し上げて上爪部とで該フレームを
挟持する下爪部と、前記リードフレームを挟持し
た状態で前記上爪部と下爪部を該フレームの長手
方向に搬送させる搬送手段と、該搬送手段により
所定位置へ搬送された該フレームを前記シユート
上に載置させた後前記上爪部及び下爪部によるリ
ードフレームの挟持を解除する解除手段とを設け
たものである。

(ホ) 作用 以上の構成から、固定シユート上に載置されて
いるリードフレームに上爪部が下降してきて該フ
レームを固定シユートに押圧する。この上爪部に
より固定シユートに押圧されたリードフレームを
下爪部が上昇してきて上爪部とで挟持した状態で
シユートの上方に押し上げて、搬送手段により該
フレームの長手方向に搬送する。搬送後リードフ
レームが前記シユート上に載置されると、解除手
段は上爪部及び下爪部による前記フレームの挟持
を解除する。

(ヘ) 実施例 本発明のリードフレーム搬送装置を図面に従つ
て説明すると、第１図は本発明のリードフレーム
搬送装置の搬送方向からの図、第２図は本発明の
リードフレーム搬送装置の遊嵌部としての上下ホ
ルダー及び前記上下ホルダーを昇降させるカム機
構を示す図、第３図は、第１図の図面左側からの
側面図であるが第２図に示す上下ホルダーが本来
摺動支点に遊嵌しているが省略してある。第４図
イロは共に本発明リードフレーム搬送装置の上方
からの図で、ロは上爪部を省略した図、第５図は
本発明装置の原点状態を示す概略図、第６図は上
爪部がリードフレームに圧接した状態を示す図、
第７図はリードフレームの搬送状態を示す図、第
８図はリードフレーム搬送時における遊嵌部及び
レバーの位置を説明する概略図である。

第１図から第８図について、図番及び構成を説
明すると１はリードフレーム、２は上爪、３は下
爪、４は前記上爪を取付けている直線上下スライ
ドガイド、５は前記下爪を取付けている直線上下
スライドガイド、６は前記上爪と下爪の直線上下
スライドガイドを取付ける取付け板、７は前記上
爪の直線上下スライドガイドに取付けられた第１
の部材、８は前記第１の部材に取付けられ、前記
上爪の下降時に前記取付け板の上面に当接可能な
ストツパーボルト、９は前記リードフレームを載
置する固定シユート、１０は各々ガイド軸、１１
は各々前記ガイド軸を貫入し、前記取付け板を取
付けた搬送方向スライドガイド、１２は前記上爪
の直線上下スライドガイドに取付けられた第２の
部材、１３は前記第２の部材に取付けられた第１
のボルト、１４は前記搬送方向スライドガイドに
取付けられた第２のボルト、１５は前記第１のボ
ルト、第２のボルトに各々端部を係止し、前記第
２の部材、前記上爪の直線上下スライドガイドを
介して前記上爪を下方に付勢する第１の引張バ
ネ、１６は前記第２の部材に取付けられた第３の
部材、１７は搬送用送りネジ軸、１８は前記搬送
用送りネジ軸を螺入する送りネジ軸用ナツト、１
９は前記搬送方向スライドガイドと送りネジ軸用
ナツトを連結する連結板、２０は前記連結板に取
付けられた第４の部材、２１は固定支点としての
前記第４の部材に設けられた第１の支点、２２は
前記第１の支点を中心に回動自在に前記第４の部
材に軸支された揺動レバー、２３は前記揺動レバ
ー端部に取付けられた第３の部材に圧接可能な第
１のローラ、２４は前記揺動レバーに設けられた
第２の支点、２５は一端を前記揺動レバーの前記
第１の支点を中心にした回動に伴ない第２の支点
を中心に回動するよう軸支され他端を前記下爪の
直線上下スライドガイドに取付けられた直線上下
動するロツド、２６は前記レバーに取付けられた
摺動支点としての第２のローラ、２７は前記第２
のローラを搬送方向に摺動自在に遊嵌する遊嵌部
としての上下ホルダー、２８はカムフオロアー、
２９ａ，２９ｂは前記カムフオロアーを取付けか
つ前記上下ホルダーを取付けた上下スライド部、
３０は前記上下スライド部のガイド、３１は前記
カムフオロアー、前記上下スライド、上下ホルダ
ーを介して前記レバーに前記第１の支点を中心に
した前記レバーの回動力を伝達するカム（ただし
図ではカムの最大半径を示す）、３２は前記レバ
ーに取付けられた第３のボルト、３３は前記連結
板に取付けられた第４のボルト、３４は前記第３
のボルト、第４のボルトに各々端部を係止し、前
記第２のローラの前記上下ホルダー内でのバツク
ラシユを防ぐため、前記レバーを反時計方向に付
勢し、前記第２のローラを前記上下ホルダー内下
面に圧接させる第２の引張バネ、３５はヒータブ
ロツクである。

次に本発明のリードフレーム搬送装置の動作を
説明すると第５図は本発明装置の上爪部及び下爪
部の原点状態を示し、Ａ面は固定シユート９のリ
ードフレーム載置面、ｔはリードフレーム１の厚
さ、下爪３のストロークをαとし、上爪２のスト
ロークをβとする。第８図に示すレバー２２の第
１の支点２１から第２の支点２４および第１のロ
ーラまでの距離を各々₁，₂とすればβ＝（
_２／₁）α、ここでβ＞αとなるように₁，₂
を設定する。

第５図の状態は、前記上爪２が上限、前記下爪
３が下限の位置にありリードフレーム１を完全に
リリースした状態である。前記下爪３の上限レベ
ルはＡ面よりγ上方とし、ロツド２５で調整する
前記上限レベルでリードフレーム１を搬送する。
これはリードフレーム１の下面がＡ面と接触し、
抵抗を発生しないようにするためである。なお第
５図に示す第１の引張バネ１５は本来はより下方
にある。

ここで、固定シユート９の可動シユート側が開
いた後、第６図に示すように上下ホルダー２７の
上昇により第１の支点２１を中心にレバー２２は
回転し前記下爪３が前記下限レベルよりα₁上昇す
れば、前記上爪２は第１の引張バネ１５の付勢力
によりβ₁＝（₂／₁）α₁下降する。この時前記
上爪２の下降を停止するようにストツパーボルト
８を調整し、取付け板６に当接させる。第７図に
示すように、前記上下ホルダー２７の上昇により
前記第１の支点２１を中心に前記レバー２２は時
計方向に回転し前記下爪３は残りのストローク
（α−α₁）さらに上昇するが前記上爪２は前記ス
トツパーボルト８により下降を停止している。前
記リードフレーム１がＡ面よりγだけ上昇して前
記上爪２と前記下爪３により挟持された状態で、
搬送用送りネジ軸１７がリードフレームを長手方
向に駆動させる駆動手段としてのパルスモータあ
るいはサーボモーター（図示せず）の駆動により
回転を開始し送りネジ用ナツト１８は搬送方向へ
所定のストローク移動し、それに伴ない前記リー
ドフレーム１を挟持したまま前記上爪２、前記下
爪３も移動し、前記リードフレーム１を所定ピツ
チ搬送して、該フレーム１のアイランド位置がダ
イボンデイングあるいはワイヤボンデイングされ
る位置まで移動させる。なおα−α₁−γ＞ο，ο
＜γ＜ｔとする。

第８図には、第７図の状態の搬送時のレバー２
２の位置を示しβ₂は前記下爪３の上限時のストロ
ークαに対応するβ＝（₂／₁）αからβ₁を差
し引いたものである。つまり前記上爪２の実質の
ストロークはβ₁となる。なお前記リードフレーム
１の搬送時第２のローラ２６は前記上下ホルダー
２７内を摺動するため固定位置にある前記上下ホ
ルダー２７内の遊嵌部は搬送ストロークより大き
くしなければならない。

前記上爪２、前記下爪３が搬送完了位置まで到
達したなら、前記上下ホルダー２７は下降し、前
記レバー２２は反時計方向に回動し、前記下爪３
をＡ面まで下降させて、固定シユート９を閉じて
リードフレーム１を固定シユート９に載置させ
る。そして、ヒータブロツク３５を上昇させてリ
ードフレーム１を裏面から支持すると共に上面か
らフレーム押さえが下降して来ることにより、リ
ードフレーム１のクランプが完了する。このと
き、前記下爪３がＡ面まで下降しても、第３の部
材１６と第１のローラ２３には間隙が存在するた
め前記上爪２は上昇しない。前記下爪３が第６図
に示す位置まで下降したなら第１のローラ２３は
第３の部材１６に当接し前記上爪２は上昇を開始
し、第５図に示す前記リードフレーム１を完全に
リリースした状態まで上昇する。同時に前記搬送
用送りネジ１７は逆方向に回転し、前述のピツチ
送りさせた分送りネジ用ナツト１８を逆戻りさ
せ、それに伴ない前記上爪２、前記下爪３も原点
位置に戻る。

なお前記上下ホルダー２７の昇降はカム３１を
駆動させる駆動手段としてのモータ（図示せず）
により行う。以上が本発明のリードフレーム搬送
装置の搬送の１サイクルである。

(ト) 発明の効果 以上、本発明によればリードフレームをその搬
送開始から完了まで常に挟持した状態に保つた
め、即ち搬送開始前の挟持動作時は、上爪部をリ
ードフレーム上に下降させて固定シユートに押圧
した状態で下爪部を上昇させて挟持させ、搬送完
了後の挟持解除時はリードフレームを上爪部と下
爪部とで挟持した状態で下降させて、該フレーム
を前記シユート上に載置した後、上爪部及び下爪
部による該フレームの挟持を解除させているた
め、固定シユートへの載置時の衝撃や振動等によ
るリードフレームの位置ずれが防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の搬送方向からの図面、第
２図は本発明装置の上下ホルダ及びカム機構を示
す図、第３図は本発明装置の第１図の左側面図、
第４図は本発明装置の上面図、第５図は本発明装
置の原点状態を示す図面、第６図第７図は本発明
装置のある動作時を示す図面、第８図は上下ホル
ダー及びレバーの位置を示す図面である。 １……リードフレーム、２……上爪、３……下
爪、９……固定シユート、２１……第１の支点、
２２……レバー、２３……第１のローラ、２６…
…第２のローラ、２７……上下ホルダー、３１…
…カム。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ リードフレームを固定シユート側に押圧する
   上爪部と、該上爪部により前記固定シユートに押
   圧されたリードフレームを該シユートの上方に押
   し上げて上爪部とで該フレームを挟持する下爪部
   と、前記リードフレームを挟持した状態で前記上
   爪部と下爪部を該フレームの長手方向に搬送させ
   る搬送手段と、該搬送手段により所定位置へ搬送
   された該フレームを前記シユート上に載置させた
   後前記上爪部及び下爪部によるリードフレームの
   挟持を解除する解除手段とから成るリードフレー
   ム搬送装置。