JPS61287640A - リ−ドフレ−ム用搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、主に半導体の集積回路等の製造に用いられる
ダイボンダ装置に設けられるリードフレーム用搬送装置
に関するものである。

従来の技術 従来、リードフレーム搬送のための技術としては、第９
図に示されるようなものがあった。すなわち、７０は第
１０図に示されるようなリードフレーム１の移送用穴１
ｂに挿入される送りビン、７１は送りビン７０が固定さ
れる棒部材、７２は棒部材７１に固定され、ローラ７７
をガイドするガイド部材である。７３は駆動手段（図示
せず〉に連結され、ベルト７４を介してカム７５を回転
させるローラ、７６はローラ７３に固定され、ローラ７
７を回転自在に支持するクランク棒である。カム７５は
棒部材７１に当接しており、棒部材７１を上下に移動さ
せる。７８はリードフレーム１を適度に押圧するばねで
ある。

このように構成されたリードフレーム用搬送装置におい
て、まず、ローラ７３が回転してガイド手段７２及び棒
部材７１を介して送りビン７０を矢印六方向へ移動させ
、ローラ７３に従ってカム７５が回転して棒部材７１を
押し上げる。すると、送りビン７０は矢印Ｂ方向へ移動
し、リードフレーム１の移送用穴１ｂに貫通する。更に
ローラ７３が回転すると、ガイド手段７２は右方向へ移
動し、それに伴ってビン７０は移送用穴に貫通した状態
で矢印Ｃの方向へ移動し、リードフレーム１を搬送する
。リードフレーム１が所定の位置まで移動すると、カム
７５は棒部材７１を下降させ、ビン７０はリードフレー
ム１から外れる。ビン７０はローラ７３の回転により矢
印Ａ方向に移動され、再び元の位置に戻される。ばね７
８はリードフレーム１を適度に押圧し、振動等によって
リードフレーム１が動くのを防いでいる。

発明が解決しようとする問題点 しかし、以上のような構成では、ビン７０がリードフレ
ームの移送用穴１ｂに正確に貫通する必要があり、リー
ドフレームの種類を変更する際は、ビン７０の位置を細
かく調整する必要があり、多くの手間と時間を要してい
た。

本発明は以上の問題点に鑑みてなされたものであり、多
種類のリードフレームに容易に対応する事が可能なリー
ドフレーム用搬送装置を実現する事を目的とする。

問題点を解決するための手段 リードフレームを保持する２本のガイドレールを、その
間隔が調整可能となるよう支持し、一方のガイドレール
にこのガイドレールに沿って滑動可能なように支持され
るリードフレーム用把持装置と、この把持装置を移動さ
せる駆動手段を設け、この把持装置にリードフレーム把
持用の爪部材を設けた。

作　　用 前記構成により、幅が異なるリードフレームに対しては
、２本のガイドレールの幅を変更するだけで容易に対応
出来る。この場合、把持装置はガイドレールの一方に固
定されているため、把持装置とリードフレームの位置関
係は変化しない。

実施例 以下本発明の詳細な説明する。第８図は本発明における
リードフレーム用搬送装置を用いたダイボンディング装
置であり、１はリードフレームで、ダイボンディング装
置上の正面より見て左側に積み重ねてセットされる。２
は吸着ヘッド３によりリードフレーム１を吸着し、１枚
ずつリードフレーム搬送用ガイドレール４，５上に載せ
るためのリードフレーム供給装置である。ガイドレール
４には、第１図に示されるようにリードフレーム１を搬
送する搬送装置が設けられている。６は第１０図に示さ
れるリードフレーム１のダイ取付部１ａにダイ接着用接
着剤を塗布する接着剤供給装置である。７はガイドレー
ル４，５上の所定の位置に位置決めされたリードフレー
ム１上に、ダイを取り付けるためのボンディング装置で
ある。

８はボンディングが完了したリードフレーム１を積層し
て収納するマガジンである。９はシリコンウェハー１０
が載置されるウェハー用パレットで、左側に積み重ねら
れている。シリコンウェハー１０はウェハー用パレット
９に載せられた状態で、自動ウェハー供給装置により所
定の位置にセットされダイに分割される。また、ボンデ
ィングを終えた後のウェハー用パレット９は、残った不
良ダイを載せたまま正面より見て右側の空パレツト収納
装置１１に収納される。

次に第１図に基づいて本実施例におけるリードフレーム
用搬送装置について説明する。

１２はガイドレール４の外側部にビス１３，１４により
取り付けられ、把持装置１５が固定される移動軸１６を
滑動可能なように支持する支持部材である。支持部材１
２は第１図に示されるものの他に、移動軸１６を確実に
支持するため、ガイドレール４のリードフレーム搬送方
向側にも設けられる。把持装置１５には、軸１７により
回動自在に支持されるリードフレーム把持用爪部材１８
、また軸１９により回動自在に支持されるリードフレー
ム把持用爪部材２０がそれぞれ設けられており、これら
はエアーシリンダ２１により駆動されるよう構成されて
いる。

第２図は把持装置１５の分解図である。２２は各部を支
持する支持体であり、支持体２２の前面には爪部材１８
及び２０を支持するガイド部２３及び２４が、また下部
には移動軸１６を挟む挟持部２５．２６がそれぞれ設け
られている。２７は、移動軸１６を挟むためのビス２８
が挿入されるねじ穴である。２９及び３０は、ガイド部
２３及び２４の上部に設けられ、軸１７が嵌る軸穴であ
る。一方、３１及び３２は、ガイド部２３及び２４の下
部に設けられ、軸１９が嵌る軸穴である。

３３は爪部材１８に設けられ、軸１７が嵌るための軸穴
である。３．４は爪部材２０に設けられ、軸１９が嵌る
ための軸穴である。爪部材２０の根元には突出部３５が
設けられ、突出部３５の裏側には、スプリング３６の一
端が嵌る凹部３７が設けられる。爪部材１８及び２０の
先端部には超鋼１８ａ及び２０ａが接合され、爪部材１
８例のリードフレームを押さえる部分の両端部には突起
１８ｂ、１８Ｃが設けられる。

軸１７の一端部にはギヤ３７が固定され、一方、軸１９
の一端部にはギヤ３７と噛み合うギア３８が固定される
。

爪部材２０は、これをガイド部材２３と２４の間に軸穴
３４が軸穴３１及び３２と一致するように挿入し、軸１
９をそれぞれの軸穴に貫通する事により保持される。そ
して爪部材２３に設けられたねじ穴３９にビス４０を嵌
め込んで締めつける事により、軸１９と爪部材２０は固
定される。スプリング３６は第３図に示されるように突
出部３５の凹部３７と支持体２２に設けられた凹部４１
の間に嵌め込まれる。

一方、爪部材１８は、これをガイド部材２３と２４の間
に同様に挿入し、軸１７を貫通する事により保持される
。そしてねじ穴４２にビス４３を嵌め込んで締めつける
事により、軸１７と爪部材１８は固定される。このよう
に爪部材１８及び２０を取り付けると、第３図に示され
るようにギア３７とギア３８が噛み合い、軸１７と軸１
９は互いに相反する方向に回転する事となる。

挟持部２５．２６は円柱状の移動軸１６を挟持し、ビス
２８を締め付ける事により把持装置１５を移動１６に固
定する。このためビス２８を緩めて把持装置１５を第４
図に示す矢印Ｈ方向に回動させることにより、把持装置
１５がリードフレーム１を把持する高さを調節する事が
出来る。本実施例では、第５図に示されるように、リー
ドフレームを把持した時にリードフレームの把持された
部分がガイドレール４の突出部４ａ及び突出部４ｂに当
たらないように把持装置１５の位置を調節する。

４４は支持体２２の中央部に設けられたねじ穴で、第４
図に示すよう内部にエアーシリンダ２１を収容し固定す
る。

エアーシリンダ２４のロッド４５の先端は爪部材２０の
突出部３５の上側に位置しており、エアーシリンダ２４
に空気圧が加えられると、ロット４５は突出して突出部
３５を上部より押圧し、爪部材２０は軸１９を支点とし
て第４図における矢印Ｅの方向にわずかに回転する。軸
１９の回転に伴ってギヤ３８．３７の作用により軸１７
が軸１つと逆方向に回転し、軸１７に固定された爪部材
１８は矢印Ｆ方向にわずかに回転する。すなわち、爪部
材１８．２０は互いに逆方向に回転し、その先端部は互
いに当たり合うように接近する。

エアーシリンダ内の空気圧が下げられると、ロット４５
は後退し、スプリング３６の反発力により爪部材２０及
び１８が逆方向へ回転する。

以上のように構成された把持装置は、図には一つしか示
されていないが、本実施例ではガイドレール４に沿って
合わせて三つ設けられており、それぞれ一本の移動軸１
６に固定される。

ガイドレール４のリードフレームが載せられる突出部４
ａの爪部材１８及び２０が移動する範囲には、爪部材の
それぞれの先端部を避けるよう欠除部４ｃが設けられて
いる。またガイドレール４．５には搬送中のリードフレ
ーム１が外れてしまうのを防止するための突出部４ｂが
設けられている。４６は一方が移動軸１６に固定され、
他方がタイミングベルト４７を挟持し、タイミングベル
ト４７の移動に伴って把持装置１５を移動させるための
挟持部材である。

次に把持装置１５をガイドレール４に沿って矢印Ｇ方向
に移動させるための駆動装置について説明する。４８は
ガイドレール４の外債部にビス４９及び５０により取り
付けられるモータ取付板である。モータ５１はビス５２
によりモータ取付板４８の前面部に取り付けられ、その
駆動軸は裏面側へ突出している。モータ５１の駆動軸に
はタイミングベルト用プーリ５３が取り付けられ、タイ
ミングベルト５４を介して裏面ａｔ二二回目自在取り付
けられたプーリ５５に回転を伝える。プーリ５５には同
軸にブーＩＪ５６が固定されており、このプーリ５６に
前記タイミングベルト４７が掛けられる。なお、タイミ
ングベルト４７の他方はガイドレール４に固定して設け
られたプーリ５７に掛けられている。５８はプーリ５５
及びプーリ５６を支持する軸のモータ取付板４８に取り
付けられる根元部である。なお、モータ５１の動作はダ
イボンダ装置内に設けられたコンピュータにより数値制
御されている。

５つは下部が基台に固定され、ガイドレール４及び５を
支持するための支持部材である。６０はガイドレール４
の外側部裏側にビスにより取り付けられたガイドブロッ
ク、６１はガイドレール５の外側部裏側にビスにより取
り付けられたガイドプロッタであって、これらは前記支
持部材５９の最上部に固定された案内棒６２に滑動可能
なよう支持される。６３は支持部材５９に設けられ、ベ
アリング６４により回転自在に支持されるスクリューシ
ャフトであって、両端部はそれぞれガイドブロック４３
．４４に設けられた穴に貫通する。スクリューシャフト
６３について、一端部に刻まれたねじに対して他端部に
刻まれたねじは逆ピッチとなっている。６５はガイドブ
ロック６１に取り付は固定され、スクリューシャフト６
３の一端部が嵌るねじ穴を有するめねじ部材である。

ガイドブロック６０（ＩＩＩには、図には示されていな
いが、めねじ部材６５と逆ピッチのねじ穴を有するめね
じ部材が取り付けられており、このめねじ部材にスクリ
ューシャフト６３の他端部が嵌っている。６６はスクリ
ューシャフト６３の端部に設けられるスクリューシャフ
ト回転用のハンドルである。

以上に説明した支持部材５９、ガイドブロック６０．６
１、案内棒６２、スクリューシャフト６３、ベアリング
６４、めねじ部材６５、ハンドル６６を備えたガイドレ
ール４．５の間隔調整用装置は、図では１ケ所のみ示し
ているが、ガイドレール４及び５の長さ方向に沿って２
ケ所に設けられ、ガイドレール４，５を保持している。

以上のように構成されたリードフレーム用搬送装置につ
いて以下に動作を説明する。まず装置の起動時には、リ
ードフレーム供給装置によってガイドレール上に載せら
れるリードフレーム１と把持用爪部材１８とが交錯しな
いよう、リードフレーム用把持装置１５を第１図示され
る位置より右側に退避させておく必要がある。支持部材
１２には把持装置１５の初期位置を検出するためのフォ
トインクラブタロ７が、一方移動軸１６の左側端部には
フォトインタラプタ６７の光を遮断する遮断片６８がそ
れぞれ設けられ、装置の起動時には把持装置１５が、フ
ォトインタラプタの光が遮断片６８により遮断される位
置に来るようプログラムされている。

次にボンディング時の動作について説明する。

リードフレーム１は、第８図に示されるリードフレーム
供給装置２によりガイドレール４，５上に載せられる。

把持装置１５は、把持用爪部材１８．２０が開いた状態
で左側に移動し、把持用爪先端部がリードフレーム１（
図示せず）の所定の位置に到着した時点で停止する。次
に、エアーシリンダ２１に空気圧が加えられ、第５図及
び第６図に示されるように爪部材１８．２０がリードフ
レーム１を挟持する。この時リードフレーム１の把持さ
れた部分は、ガイドレール４のリードフレーム１が当接
する突出部４ａより離れる。

次に把持装置１５は、左側に移動しリードフレーム１を
所定の位置まで搬送する。リードフレーム１のグイ取付
部１ａが所定の位置に到達すると、把持装置１５は停止
し、エアーシリンダ２１の空気圧は下がり、はね３６に
よって爪部材２１及び２２が開く。その後ボンディング
装置７によって取付部１ａにダイが接着される。把持袋
Ｍ１５はもとの位置に戻り、再びリードフレーム１を把
持して、リードフレーム１の次のグイ取付部が所定の位
置に達するよう搬送する。

本実施例では以上のような動作を繰り返して行い、グイ
かリードフレーム上に次々にボンディングされる。把持
装置１５の移動及びエアシリンダへの空気圧の制御は、
すべてコンピュータにあらかじめ記憶されているプログ
ラムに従って行われる。

以上のようなリードフレーム搬送装置において、把持用
爪部材１８．２０はリードフレーム１のどの位置におい
てもリードフレーム１を把持することが出来るため、多
種類のリードフレームに容易に対応することが出来る。

また、異なった幅のリードフレームに対応させるために
は、第１図に示されるハンドル６６を回す。これにより
スクリューシャフト６３が回転し、ガイドブロック６０
．６１が相反する方向に移動し、ガイドレール４．５の
間隔を変化させる事が出来る。ただし、リードフレーム
用把持装！１５及びその駆動装置は、ガイドレール４に
固定されているため、異なった幅のリードフレームを用
いても、リードフレーム上の把持用爪部材１８．２０が
把持する位置が変わる事はない。

またリードフレームの種類によっては、把持用爪部材１
８．２０はリードフレーム端部において隣り合うリード
フレームの端部を共に把持する場合がある。もし、リー
ドフレームの端部が第７図に示されるように変形してい
る場合、把持用爪部材１８及び２０の先端面がフラット
であると、両方のリードフレームを確実に把持する事が
困難となる。本実施例ではこの問題点を考慮し、爪部材
１８側に突起１８ｂ及び１８ｃを設けた。これにより、
リードフレームの端部が少々変形していても、その変形
分を突起１８ｂ、　１８ｃ間の空間が吸収し、双方のリ
ードフレームを確実に把持することが出来る。

また、リードフレーム１を把持した時は、第５図に示さ
れるように、リードフレーム１の把持される部分はガド
レール４から浮いているため、搬送時にリードフレーム
１が損傷を受けるという問題点も解消する事が出来る。

発明の効果 本発明は、リードフレームを保持するガイドレールの一
方に、このガイドレールに沿って移動可能なリードフレ
ーム用把持装置と、この把持装置を移動させる駆動手段
を設けた事により、幅が異なる多種類のリードフレーム
を用いても、把持装置はガイドレールに固定されている
ため、リードフレームとの位置関係を細かく調整する事
なく常にリードフレームの側辺部を確実に把持すること
が出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例におけるリードフレーム用搬送
装置の要部斜視図、第２図は同搬送装置におけるリード
フレーム用把持装置の分解図、第３図は同把持装置の側
面図、第４図は同把持装置の移動軸に固定した状態の断
面図、第５図は同把持装置のリードフレームを把持した
状態の要部断面図、第６図は同把持装置のリードフレー
ムを把持した状態の要部斜視図、第７図は同把持装置の
リードフレームの端部を把持した状態の正面図、−ムの
平面図である。 ４．５・・・・ガイドレール　　　１２・・・・支持部
材１５・・・・リードフレーム用把持装置１６・・・・
移動軸　　　　　　　　１８・・・・爪部材２０・・・
・爪部材　　　　２１・・・・エアーシリンダ２２・・
・・支持体　　　４７・・・・タイミングベルト４８・
・・・モータ取付板　　　　　５１・・・・モータ５９
・・・・支持部材 ６０．６１・・・・ガイドブロック　６２・・・・案内
棒６３・・・・スクリューシャフト ６５・・・・めねじ部材 代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　ほか１名第２（２１ 第４図 第６図 第７図 Ｒ ＃！９図 ７δ 第１０図　　　　　　　　　　　　　　／−−−リード
フレームｌニー１号送用べ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. リードフレームの一方の側辺を保持する第１のガイドレ
   ールと、リードフレームの他方の側辺を保持する第２の
   ガイドレールと、第１のガイドレール及び第２のガイド
   レールを双方の間隔が変化可能なよう支持する支持手段
   を有し、第１のガイドレールに、このガイドレールに沿
   って滑動可能に支持されるリードフレーム用把持装置と
   、上記把持装置をガイドレールに沿って移動させる駆動
   手段を取り付け、上記把持装置に少なくとも一方が回動
   自在であって先端部がリードフレームの側辺部を上下よ
   り挟む一対の爪部材を第１のガイドレールを取り巻くよ
   うに設けた事を特徴とするリードフレーム用搬送装置。