JPH0583374B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は液体噴射記録ヘツドに関し、更に詳し
くは、階調性のある記録を行なうことのできる液
体噴射記録ヘツドに関する。 ノンインパクト記録法は、記録時における騒音
の発生が無視し得る程度に極めて小さいという点
において、最近関心を集めている。その中で、高
速記録が可能であり、而も普通紙に定着という特
別な処理を必要とせずに記録の行える、所謂、イ
ンクジエツト記録法（液体噴射記録法）は、極め
て有力な記録法であつて、これ迄にも様々な方式
の提案とそれを具現化する装置が考案され、改良
が加えられて商品化されたものもあれば、現在も
尚実用化への努力が続けられているものもある。 その中で、例えば特開昭54−51837号公報、ド
イツ公開（DOLS）第2843064号公報に記載され
てある液体噴射記録法は、液体形成エネルギーで
ある熱エネルギーを液体に作用させて、液滴吐出
の為の原動力を得るという点において、他の液体
噴射記録法とは、異なる特徴を有している。 即ち、上記の公報に開示されてある記録法で
は、熱エネルギーの作用を受けた液体が急唆な体
積の増大を伴う状態変化を起し、該状態変化に基
づく作用力によつて、記録ヘツド部先端に設けて
あるオリフイスより液滴が吐出、飛翔して被記録
部材に付着し記録が行なわれる。 殊に、DOLS2843064に開示されている液体噴
射記録法は、所謂drop−on demand記録法に極
めて有効に適用されるばかりでなく、記録ヘツド
部をfull line幅に高密度マルチオリフイス化して
容易に実現できるので、高解像度、高品質の画像
を高速で得られるという利点を有している。 この様に、上記の液体噴射記録法は、種々の利
点を有するものではあるが、更に高解像度、高品
質の画像を記録しようとする場合には記録画素に
階調性を持たせ、中間調（ハーフトーン）の情報
を含む画像記録を行なう必要がある。 従来、この様な、階調制御性を画像記録方法
は、先ず第１の方法として一画素を像形成素体の
１つのみによつてだけ占領され得る複数のセルに
マトリクス状に細分化し、そのマトリクス状にさ
れたセルを構成するセルの中を像形成素体によつ
て占領されているセルの個数とセルを占領してい
る像形成素体の配列状態に応じて所望のレベルの
階調性がデジタル的に表現される記録方法があ
る。次に、第２の方法として、一画素を像形成素
体の１つのみによつて構成し、像形成素体の光学
的濃度を変えることによつて所望の階調性表現を
アナログ的に表現する記録方法がある。 しかし、熱エネルギーによつて液体を吐出させ
て記録を行うインクジエツト記録ヘツドにおいて
は、第１の階調制御方法によると、一画素自体の
面積が大きくなり、鮮明度等の低下を招きやす
い。又、デジタル制御であるところから階調のス
テツプが粗くなり、画像品位が木目細かさに欠け
るという問題があつた。第２の階調制御方法は、
一般に吐出される液滴の大きさを加える電気エネ
ルギーを変化させることによつて一画素、詰り像
形成素体の大きさを変化させる方法である。しか
し、この方法では階調性の制御範囲が狭く充分な
階調制御範囲が得られず、又、記録ヘツドの吐出
不良、信頼性等の低下を招くという問題があつ
た。 本発明は、上記の諸点に鑑み成されたもので、
本発明は高い光学濃度から低い光学濃度までの広
い濃度範囲にわたつて木目細かな階調表現ができ
る液体噴射記録装置を提供することを目的とす
る。又、本発明は、電気熱変化体及び記録ヘツド
の信頼性、液滴吐出安定性を向上させた液体噴射
記録装置を提供することも目的とする。更には、
製造上のバラツキによる吐出特性のバラツキを簡
単に無くし、歩留りを向上させた液体噴射記録装
置を提供することも目的とする。 上述の目的を達成するための本発明の液体噴射
記録ヘツドは、液体を吐出するオリフイスと、該
オリフイスに連通する液流路と、該液流路に備え
られ、前記オリフイスから液体を吐出する圧力を
生じるためのエネルギーを発生するエネルギー発
生体と、前記液流路外の領域に設けられ、一方は
前記液流路に連通し他方は大気に連通し、前記エ
ネルギー発生体が前記エネルギーを発生し始める
ときに気泡を存在させることによつて、液体を吐
出するための前記圧力を増加するように間接的に
前記液体の吐出に関与する気泡発生手段が備えら
れた気泡発生部と、を具備することを特徴とす
る。 本発明によれば階調制御性に優れ、且つ従来の
欠点が解消された液体噴射記録ヘツドが提供され
る。 以下、本発明を図面に従つて、更に具体的に説
明する。 第１図ａは、本発明が適用される液体噴射記録
ヘツドのオリフイス面に平行な面で切断した正面
切断部分図（第１図ｂ及び第１図ｃに示される一
点鎖線AA′で切断した図）、第１図ｂは、第１図
ａに一点鎖線BB′で示す部分で切断した場合の切
断面部分図である。 第１図ｃは、第１図ａに一点鎖線CC′で示す部
分で切断した場合の切断面部分図である。 図に示される記録ヘツド１０１は、その表面に
電気熱変換体１１１が設けられている基板１０３
の表面に、所定の線密度で所定の巾と深さの溝が
所定数設けられている溝付板１０４，１１６で覆
う様に接合することによつて、オリフイス１０５
と液吐出部１０６が形成された構造を有してい
る。液吐出部１０６は、その終端に液滴を吐出さ
せる為のオリフイス１０５と、電気熱変換体１１
１より発生される熱エネルギーが液体に作用して
気泡を発生し、その体積の膨張と収縮に依る急激
な状態変化を引起す処である熱作用部１０７とを
有する。 熱作用部１０７は、電気熱変換体１１１の熱発
生部１０８の上部に位置し、熱発生部１０８の液
体と接触する熱作用面１０９をその底面としてい
る。 熱発生部１０８は、基板１０３上に設けられた
下部層１１０、該下部層１１０上に設けられた電
気熱変換体１１１、該電気熱変換体１１１上に設
けられた上部層１１２とで構成される。電気熱変
換体１１１には、熱を発生させる為に該電気熱変
換体１１１に通電する為の電極１１３，１１４が
その表面に設けられてある。電極１１３は、各液
吐出部の熱発生部に共通の電極であり、電極１１
４は、各液吐出部の熱発生部を選択して発熱させ
る為の選択電極であつて、液吐出部の流路に沿つ
て設けられてある。 上部層１１２は、電気熱変換体１１１を、使用
する液体から化学的・物理的に保護する為に電気
熱変換体１１１と液吐出部１０６にある液体とを
隔絶すると共に、液体を通じて電極１１３，１１
４間が短絡するのを防止する電気熱変換体１１１
の保護的機能を有している。 上部層１１２は、上記の様な機能を有するもの
であるが、電気熱変換体１１１が、耐液性があ
り、且つ液体を通じて電極１１３，１１４間が電
気的に短絡する心配が全くない場合には、必ずし
も設ける必要はなく、電気熱変換体１１１の表面
に直ちに液体が接触する構造の電気熱変換体とし
て設計しても良い。 下部層１１０は、主の熱流量制御機能を有す
る。即ち、液滴吐出の際には、電気熱変換体１１
１で発生する熱が基板１０３側の方に伝導するよ
りも、熱作用部１０７側の方に伝導する割合が出
来る限り多くなり、液滴吐出後、詰り電気熱変換
体１１１への通電がOFFされた後には、熱作用
部１０７及び熱発生部１０８にある熱が速かに基
板１０３側に放出されて熱作用部１０７にある液
体及び発生した気泡が急冷される為に設けられ
る。 以上のような液滴噴射記録ヘツドにおいて、電
気信号をON−OFF動作で発熱抵抗層１１１に入
力することにより、熱作用面１０９上では液体が
気化して有効な気泡が発生すると、同時に液吐出
部１０６内の圧力Ｐが気泡の体積増加と共に高ま
り、オリフイスより液滴が飛翔する。 ここで、記録紙への記録の階調制御を行なう為
に飛翔液滴のサイズＤを変化させるには、熱作用
部１０９上に発生する気泡の体積Ｖを調節し、吐
出エネルギーを制御する方法がある。しかし、吐
出エネルギーがある値以下（装置等の条件によつ
て決まる）になると、不要な気泡が液吐出部１０
６や液流路内に滞留し、液吐出不安定を引き起こ
す。更に強いては吐出が止まつてしまう。 そこで、流路外の領域に設けられ、前記液流路
１２６に連通した中継流路１２９と、この中継流
路１２９に連通し、気泡発生手段である電気熱変
換体１１５を有し端部が大気に開放（連通）した
細流路１２７とを有する気泡発生部１１７が記録
ヘツド部に設けられている。熱作用面１２４上に
発生する気泡によつて、前記流路１２９、細流路
１２７、該流路１２７の終端に設けられた小開口
に圧力がかかると電気熱変換体１１１によつて発
生する気泡によつてオリフイス１０５から液滴を
吐出させる吐出エネルギーが制御され、階調制御
が行される。 前記気泡発生部は第１図ｃで示せば基板１０３
上に設けられた下部層１１０、該下部層１１０上
に設けられた上部層１１２と溝付板１１４，１１
６とで構成される。電気熱変換体１１５には、熱
を発生させる為に核発熱抵抗層１１５に通電する
電極１１３，１２１がその表面に設けられてい
る。気泡発生部１１７では、電気熱変換体１１５
の熱発生部１２３の上部に位置し、熱発生部１２
３の液体と接触する熱作用面１２４で液体に熱が
伝達され気泡が発生する。 以上の様な構造の液体噴射記録装置において、
電気信号をON−OFF動作で電気熱変換体１１５
に入力することで熱作用面１２４上では液体が気
化し、気泡が発生する。該気泡が存在する時刻t₀
〜ｔの間に、液滴吐出の為の電気信号を電気熱変
換体１１１に入力すれば時刻t₀〜ｔの時間に対応
して液滴の吐出エネルギーが調整され所定の階調
制御がなされる画像が記録される。 第２図ａは本発明実施態様例１を説明する為の
記録ヘツド１０１の模式的斜視図である。図に於
いて１１８は液供給室、１１９は液供給管（不図
示）を連結するための貫通孔であり、１２６は液
流路である。 図に示される様に、本実施態様例は液供給室１
１８に連通する液流路１２６の終端にオリフイス
１０５が設けられており、液流路１２６の液供給
室１１８とオリフイス１０５の途中に液流路に連
通する中継流路１２９と、気泡発生手段１２０
と、終端に小開口１２８を持つ細流路１２７とを
有する気泡発生部１１７が設けられている。 気泡発生体１０２は液滴吐出用のもので、液流
路１２６内に設けられており、気泡発生体（気泡
発生手段）１２０は吐出エネルギー調整用のもの
で気泡発生部に設けられている。 第２図ｂは実施態様例２の模式的斜視図であ
る。図中の番号の示すものは第２図ａのものと同
じである。本実施態様例は、液供給室１１８に連
通する液流路１２６の途中に気泡発生体１０２及
びオリフイス１０５が設けられており、液流路１
２６の液供給室側と逆側の終端部分には液流路１
２６と連通する流路１２９と、気泡発生手段１２
０と、終端に小開口１２８が配された細流路１２
７とを有する気泡発生部１１７が設けられてい
る。 第２図ｃは実施態様例３の模式的斜視図であ
る。図中の番号の示すものは第２図ａ及び第２図
ｃのものと同じでものを指す。本実施例は、第１
図ｂのものと基本的な構成を同じとするが、気泡
発生部１１７及び小開口１２８が夫々複数個設け
られているのが違つている。即ち、第２図ｃは第
２図ｂの構成で、流路１２９が液流路１２６に連
通し、それぞれ気泡発生部１１７、細流路１２
７、小開口１２８が夫々複数個設けられている。 基本的な液吐出の制御のされ方は実施態様例１
乃至３のどれも同じで、液供給室１１８から供給
された液は気泡発生体１０２によつて気泡を発生
して圧力を生じせしめ、オリフイス１０５より液
滴を吐出させる。或は、先ず、気泡発生部１１７
の気泡発生体１２０に通電し気泡発生部１１７で
気泡を発生させ、その後、気泡発生体１０２に通
電し、気泡を液流路１２６内で発生させ、気泡発
生部１１７の気泡によつて液滴を吐出する圧力
（吐出圧力）を制御してオリフイス１０５より液
滴が吐出される。吐出される液滴の大きさは吐出
圧力によつて変化させることが出来る為、広範な
濃度制御を行なうことが出来る。 尚、実施態様例１の様に液滴の吐出方向が液供
給方向と同じ場合であつても吐出エネルギーを制
御する気泡発生部１１７の設置個数を多数設ける
ことが出来る。更に実施態様例３の様に１つのオ
リフイス１０５に対して３つの気泡発生部を設け
るという限定はされないし、１つ気泡発生体１０
２に対して３つの気泡発生部という様な限定もさ
れるものではない。 液流路１２６と気泡発生部１１７とを連通する
流路１２９の断面積及び長さ、又、気泡発生部１
１７に連通する細流路１２７と細流路１２７の終
端部にある小開口１２８の断面積及び長さ、気泡
発生部１１７の容積は吐出させる液体の種類、気
泡発生体１２０及び１０２の発熱量、記録濃度の
制御量、気泡発生部の設置数、その他多くの条件
に鑑みて最良の記録画像が得られる様な値に決定
される。しかし、少なくとも気泡発生部１１７で
発生した気泡の圧力によつて、オリフイス１０５
から或は小開口１２８から液体が吐出されない様
な寸法にされる。 小開口１２８とオリフイス１０５は同一の面側
に設けても良いし、それぞれ異なつた面に設けら
れても良い。又、小開口１２８はオリフイス１０
５と同様に液供給方向に対して垂直な方向に開け
られていても気泡発生部１１７内で発生した気泡
の圧力を制御出来るのであればかまわない。 以下、実施態様例１と同様の構造の液体噴射記
録装置を以下の様に作製して実際に画像を形成し
記録画像を評価した。 先ず、シリコン基板上にSiO₂（下部層）がスパ
ツタリングにより3μm厚に形成され、続いて電気
熱変換体としてHfB₂が1000Å厚、アルミニムが
電極として3000Å厚に積層された後、選択エツチ
ングによつて発熱抵抗体パターンが形成された。
次にSiO₂層がスパツタリングにより0.5μm厚に保
護層（上部層）として積層され基板上に電気熱変
換体が形成された後、感光性樹脂が基板にラミネ
ートされ、所定のパターンによつて感光性樹脂が
露光現像され、液流路、液供給室、吐出エネルギ
ー調整が形成され、更にその上部に直径１mmの穴
が開けられたガラス板が接合された。引続いて発
熱抵抗体の先端とオリフイスの距離が300μmにな
るようオリフイス端面を研磨して記録ヘツドを作
成した。この記録ヘツドに黒色染料とエタノール
を主成分とするインクを0.01気圧の背圧で熱作用
部に供給しながら、矩形電圧パルス印字信号を電
気熱変換体に印加して画像を記録し評価した。 以下、実施態様例１を例にとつて階調制御方法
の具体例を説明する。 第３図ａは電気熱変換体への信号入力と、それ
によつて生ずる気泡の体積変化を示すタイミング
チヤートである。 第３図ａに示すように時刻t₀に電気パルスE₁を
気泡発生体１２０へ与えると、時刻t₁に熱作用部
上に気泡が発生し始め、時刻t₂に於いて気泡体積
V₁は最大となる。これにより、流路１２９及び
細流路１２７では発生した気泡の為に液体抵抗が
増大する。該気泡V₁が流路１２９内に存在する
時刻t₃において電気パルスE₂を気泡発生体１２０
へ与えると熱作用部上に気泡が発生し始め、液吐
出部内の圧力が上昇し始める。該圧力のほとんど
は、オリフイス１０５および小開口１２８へ伝達
されるが、流路１２９、細流路１２７に気泡V₁
が存在するため液体抵抗が大きく、気泡V₂によ
るエネルギーはオリフイス１０５へ伝達される割
合が増加し、よつて液滴の吐出エネルギーは増大
する。つまり、気泡発生部１１７に気泡が存在し
ない場合に、液吐出部１０６に配されている気泡
発生体１０２によつて発泡が成されても、この発
泡による圧力（エネルギー）は、オリフイス１０
５に伝わると同時に、小開口１２８によつて大気
に開放している気泡発生部１１７、細流路１２７
にも伝わるため、オリフイス１０５に伝わる圧力
（インクの吐出に利用されるエネルギー）は、低
いエネルギーとなつている。これに対し流路１２
９、細流路１２７の気泡発生部１１７に気泡があ
る場合には、気泡による流体抵抗の増大によつ
て、気泡発生部１１７、細流路１２７側へのエネ
ルギーの伝搬が少なくなり、これによつて結果的
にオリフイス１０５に伝搬するエネルギーが前述
の場合に比べて大きくなるのである。更に、時刻
t₄において電気パルスE₂をOFFすると、気泡体積
V₂は減少し始め時刻t₅において消滅する。その
後、時刻t₆において電気パルスE₁をOFFすると、
気泡体積V₁が減少し始めて時刻t₇において消滅す
る。前記気泡体積V₁は電気パルスE₁を変化させ
ることにより調節することが可能であり、このこ
とは吐出のエネルギーが調整出来ることになる。
従つて、気泡発生体１２０に与える電気エネルギ
ーを調整することにより階調制御を行なうことが
出来た。 このような駆動方法が適用出来る本発明の液体
噴射記録装置において、前記電気パルスE₂の電
圧を30V、パルス幅10μSとし、さらに、電気パル
スE₁のパルス幅を50μSとし、電気パルスE₁と電
気パルスE₂の印加される時間差を20μsとした場
合の電気パルスE₁の電圧と吐出液滴が被記録媒
体に付着した際のドツト径との相関を第４図に示
す。図中の斜線で示された幅はドツトサイズのバ
ラツキを表わす。 電気パルスE₁の印加電圧が12Vを越えると、熱
作用部に気泡が発生し始め、図４に示された如く
付着したドツトサイズ（ドツト径）は増加し始め
た（以後この様な現象が現われる電気パルスE₁
の印加電圧をV_thと称す）。気泡発生体１２０に与
えたV_th以上の電圧Ｖが増加するとともにドツト
サイズは増加する。ドツトサイズの最大と最小の
差△Ｄは150μmにも達した。この△Ｄは染料含有
量3wt.％（weight％）ドツト密度5pelで印画した
場合の光学的平均反射濃度値0.6〜1.4の変調幅に
対応していた。 この様な駆動方法に於いて、電気パルスE₁の
OFFされる時刻t₆と次の電気パルスE₁がONされ
る時刻t₀を同時刻とし、常に電気熱変換体１１５
に電圧が印加されていても上記と同様な効果が認
められた。 また、電気パルスE₁の形状は矩形でなくなめ
らかに変化するものであつても良く、時刻t₀から
t₆の間に於いて電圧を変化させても良い。 本発明は第２図ｂに示される実施態様例２の様
に液供給方向に対して直角の方向に吐出方向が設
けられた、所謂Ｌ型吐出記録装置に於いても同様
な効果が認められた。 更に、本発明は、第２図ｃに示される実施態様
例３の様に気泡発生部１１７が多数、液流路１２
６に連通した記録ヘツドによつて更に一層木目細
かい階調制御が行なえる液体噴射記録装置を得る
ことが出来た。 第１表は、吐出エネルギーを調整する流路気泡
発生部、細流路、小開口と気泡発生体から成る吐
出エネルギー調整室を３箇所，２箇所，１箇所設
けたものと従来の全く設けないものについて、染
料含有量3wt.％weight％），1.5wt.％，0.5wt.％
とされた液（インク）を用いた場合の記録画像の
光学的平均反射濃度の最大値と最小値を表わした
ものである。尚、調整室のない従来のものは濃度
変化を電気熱変換体にかける電圧を変化させるこ
とによつて行なつた。又、調整室が設けられてい
るものは、前述した電気パルスE₁を変化させて
濃度調整を行なつた。

【表】 第１表からわかる様に、本発明によつて、記録
画像の濃度制御性は著しく向上した。特に、調整
室を多数設けることによつて一層本発明の効果が
あつた。濃度調整範囲は従来のものと比較して約
２倍も拡がつた。 第３図ｂの電気熱変換体へ通電するタイミング
と発生する気泡の体積変化をとつたタイミングチ
ヤートの様に電気パルスE₁により発生した気泡
V₁によつて、液流路内が加圧もしくは減圧され
る時に電気パルスE₂によつて気泡V₂を成長させ
ても吐出エネルギーを調整することが可能であつ
た。又、この駆動方法に於いても広範囲の濃度制
御を行なうことができた。 以上、説明した様に、本発明によれば、吐出エ
ネルギー調整用の気泡を発生させて、吐出される
液滴の大きさ、詰りドツトサイズを変化させて、
画像階調を幅広く制御することが出来る。その結
果、高解像度、高鮮明度は画像を形成することが
出来る。更に、光学的濃度の低い領域での液滴の
吐出の安定性を向上させることも出来る。加え
て、本発明によれば、装置製造上のバラツキによ
るドツトサイズの不揃いを液吐出エネルギー調整
用の気泡により調整し光学的濃度の不均一を無く
すことも出来る。 詰り、本発明によれば従来にない画像階調性の
制御が良好な優れた液体噴射記録装置が提供され
る。 尚、吐出エネルギー調整室の容積、細流路、小
開口、流路の断面積、長さ及び諸寸法、電気熱変
換体の容量等は記録に用いられる液体（インク）
やその他多くの条件に鑑みて最も良好な値に決定
される。 流路の断面積が大きすぎると吐出エネルギー調
整室側から圧力が液流路に伝わり、オリフイスか
ら液滴を飛翔させてしまう恐れがある。又、細流
路及び該細流路に連通する小開口の断面積が大き
すぎると小開口から圧力が逃げ、その時調整室内
の液も外に押し出してしまう恐れがある。 従つて、最大に必要な圧力でもオリフイスから
液滴を吐出せず、又、小開口からも余計な液が出
ない（小開口での液体の表面張力が気泡の圧力に
打ち勝てる）様に適当な断面積に設定される。
又、液流路へ最適な圧力がかかる様に設定される
のが望ましい。 更に、流路、細流路、小開口の断面積が大きす
ぎる場合は、液流路で発生した液滴吐出のための
エネルギーが吐出エネルギー調整室からに逃げて
しまい、場合によつては小開口から液滴が吐出さ
れてしまう。従つて、この様なことも考慮に入れ
て諸寸法の決定はなされなければならない。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ乃至第１図ｃは本発明の記録ヘツド部
分の構成を説明する為のものであつて、第１図ａ
は正面切断部分図、第１図ｂ及び第１図ｃは横切
断部分図である。第２図ａ乃至第２図ｃは本記録
ヘツド部分の模式的斜視図である。第３図ａ及び
第３図ｂは本発明を説明する為の説明図である。
第４図は本発明の効果を説明する為の説明図であ
る。 １０１……記録ヘツド、１０２，１２０……気
泡発生体、１０３……基板、１０４……板部材、
１０５……オリフイス、１０６……液吐出部、１
０７，１２３……熱作用部、１０８……熱発生
部、１０９，１２４……熱作用面、１１０……下
部層、１１１，１１５……電気熱変換体、１１２
……上部層、１１３，１１４，１２１……電極
層、１１７……気泡発生部、１１８……液供給
室、１１９……貫通孔、１２５……吐出エネルギ
ー調整室、１２６……液流路、１２７……細流
路、１２８……小開口、１２９……流路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 液体を吐出するオリフイスと、 該オリフイスに連通する液流路と、 該液流路に備えられ、前記オリフイスから液体
   を吐出する圧力を生じるためのエネルギーを発生
   するエネルギー発生体と、 前記液流路外の領域に設けられ、一方は前記液
   流路に連通し他方は大気に連通し、前記エネルギ
   ー発生体が前記エネルギーを発生し始めるときに
   気泡を存在させることによつて、液体を吐出する
   ための前記圧力を増加するように間接的に前記液
   体の吐出に関与する気泡発生手段が備えられた気
   泡発生部と、 を具備することを特徴とする液体噴射記録ヘツ
   ド。 ２ 前記エネルギー発生体は前記エネルギーとし
   て熱エネルギーを発生する電気熱交換体である特
   許請求の範囲第１項に記載の液体噴射記録ヘツ
   ド。 ３ 前記オリフイスから液体が吐出する方向と前
   記液流路内の前記エネルギー発生体が備えられた
   位置へ液体が供給される方向とがほぼ同じである
   特許請求の範囲第１項に記載の液体噴射記録ヘツ
   ド。 ４ 前記オリフイスから液体が吐出する方向と前
   記液流路内の前記エネルギー発生体が備えられた
   位置へ液体が供給される方向とがほぼ直角である
   特許請求の範囲第１項に記載の液体噴射記録ヘツ
   ド。 ５ 前記気泡発生手段は電気熱交換体である特許
   請求の範囲第１項に記載の液体噴射記録ヘツド。 ６ 前記気泡発生部は一つの前記エネルギー発生
   体に対し複数設けられている特許請求の範囲第１
   項または第５項に記載の液体噴射記録ヘツド。