JPH0530629B2 - - Google Patents
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- JPH0530629B2 JPH0530629B2 JP58013545A JP1354583A JPH0530629B2 JP H0530629 B2 JPH0530629 B2 JP H0530629B2 JP 58013545 A JP58013545 A JP 58013545A JP 1354583 A JP1354583 A JP 1354583A JP H0530629 B2 JPH0530629 B2 JP H0530629B2
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/1433—Structure of nozzle plates
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- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
-
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2002/14387—Front shooter
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
本発明は液体噴射記録ヘツドに関し、更に詳し
くは、連続記録にも好適な安定した液滴吐出を行
なえる液体噴射記録ヘツドに関する。 ノンインパクト記録法は、記録時に於ける騒音
の発生が無視し得る程度に極めて小さいという点
に於いて、最近関心を集めている。その中で、高
速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定着とい
う特別な処理を必要とせずに記録の行える所謂イ
ンクジエツト記録法（液体噴射記録法）は、極め
て有力な記録法であつて、これ迄にも様々な方式
が考案され、改良が加えられて商品化されたもの
もあれば、現在も尚実用化への努力が続けられて
いるものもある。 この様な液体噴射記録法は、所謂インクと称さ
れる記録液体の液滴（droplet）を飛翔させ、被
記録部材に付着させて記録を行うものであつて、
この記録液体の液滴の発生法及び発生される液滴
の飛翔方向を制御する為の制御方法によつて幾つ
かの方式に大別される。 中でも記録信号に応じて、吐出オリフイスより
液滴を吐出飛翔させ、、該液滴を被記録部材表面
に付着させて記録を行う、所謂drop−on−
demand記録法は、記録に必要な液滴のみしか吐
出しないので、記録に不要である吐出液体の回収
又は処理の為の特別な手段を設ける必要がなく、
装置自体を簡素化、小型化し得る事、吐出オリフ
イスより吐出される液滴の飛翔方向を制御する必
要がない事、多色記録が容易に行える事等の為に
昨今、殊に注目を集めている。 又、近年に於いては、上記のdrop−on−
demand記録法を用いたfull lineタイプで高密度
マルチオリフイス化した記録ヘツド（液体噴射記
録ヘツド）の開発も著しく、より高解像度、高品
質の画像を高速で得ることの出来る液体噴射記録
装置の開発も数多く成されている。 drop−on−demand記録法を用いた液体噴射記
録装置ではエネルギー作用部にある液体に、圧力
エネルギー又は熱エネルギーを作用させて、液滴
吐出の為の原動力を得ている。従つて、これ等の
エネルギーが、液滴吐出の為に効率良く消費され
る様に液体に作用することが必要である。 又、連続的に記録を実行する場合には、記録信
号に確実に応答して、前記エネルギーの発生が繰
返し起る必要がある。殊に高速記録の場合には、
この繰返しがエネルギー作用部に与えられる記録
信号に忠実に行われる必要がある。 或いは、又、記録画像の品質を上げ、高速記録
が行える様にするには、液滴の吐出方向の安定
化、及びサテライトの発生防止がなされること、
安定して、長時間、連続的に繰返し液滴吐出が実
行されること、液滴形成周波数（単位時間当りに
形成される液滴の個数）の向上が計られる必要が
ある。 液滴を吐出オリフイスから吐出させるにあたつ
て、電気熱変換体である発熱抵抗体等を用いて熱
エネルギーを液体に付与し、エネルギーを付与さ
れた液体が急峻な体積の増大を伴う状態変化を生
じせしめ、その状態変化に基づく作用力によつて
液体を吐出させるものがある。この場合、液滴吐
出は液体が熱エネルギーによつて気泡化した際の
気泡の体積変化量に依存している。気泡の体積変
化量は発熱抵抗体等のエネルギー作用部の面積に
よつて決定される。しかし、安定した液滴の吐出
特性を得る為には吐出オリフイスの最小断面積S0
に対して適切な気泡の体積変化量が必要である。
何故なら、体積変化量が大きすぎれば、スプラツ
シユや外気の取り込みなどの現象を起こし、、液
滴の吐出が不安定になるか若しくは吐出が停止し
てしまうからであり、逆に体積変化量が小さすぎ
れば吐出オリフイスの囲りが液体で濡れてしま
い、吐出が停止したり、吐出が不安定になつたり
するからである。又、更に体積変化量が小さい場
合は、気泡の発生がなく従つて気泡の体積変化が
生じない為、液滴が全く吐出されない場合もあ
る。 そして、これらの発泡現象と吐出体積の問題に
関与する液路の高さと、エネルギー発生部の面積
と、吐出オリフイスの面積との関係は、電気熱変
換体のエネルギー作用部が配された面と添う方向
に吐出オリフイスが配されるタイプの記録ヘツド
に比べて、吐出オリフイスが配された面とエネル
ギー作用部が配された面とが対向するタイプの記
録ヘツドにおいて、エネルギー作用部に吐出オリ
フイスの面が対向するというその構造上、特に重
要であることがわかつた。したがつて、本発明
は、吐出オリフイスが配された面とエネルギー作
用部が配された面とが対向するタイプの記録ヘツ
ドにおいて見いだされた、これらの関係によつて
成されたものであつて、安定した液滴の連続吐出
記録が可能な液体噴射記録ヘツドを提供すること
を目的とする。 そして本発明の液体噴射記録ヘツドは、液体を
吐出する吐出オリフイスと、該吐出オリフイスに
連通した液路と、該液路に配され、前記吐出オリ
フイスから液体を吐出するために利用される熱エ
ネルギーを発生するエネルギー作用部を有する電
気熱変換体とを有し、該液路の前記電気熱変換体
が配されている面と前記吐出口が配されている面
とが対向する液体噴射記録ヘツドであつて、 前記液路の高さが150μm以下であると共に、前
記吐出オリフイスの最小断面積をS0（μm2）、前記
電気熱変換体の前記エネルギー作用部の面積をSH
（μm2）とするとき、 0.1・SH≦S0 3/2≦100・SH なる関係を満足していることを特徴とする。 本発明をより効果的に行なうために、使用する
液体（インク）として表面張力が好ましくは25〜
65dyne／cm、より好ましくは30〜60dyne／cm、
粘度が好ましくは１〜20cp、より好ましくは１
〜10cpとなる範囲のものを使用する事はより望
ましい。 このように、液路高さとエネルギー作用部の面
積と吐出オリフイスの最小断面積とで規定される
吐出体積の平均値とが好ましい関係となるように
規定することで、吐出の安定性を向上させること
ができる。 尚、上記で電気熱変換体のエネルギー作用部
（以下ヒーターと称す）とは、発熱抵抗層の電極
間ギヤツプのことを指す。従つて、発熱抵抗層上
に保護層等が存在してもヒーターは電極間ギヤツ
プをいう。 以下、本発明を好適な実施態様例を用いて説明
する。 第１図乃至第３図は、本発明の実施態様例を説
明する為の図で、夫々第１図は模式的斜視組立
図、第２図は模式的平面図、第３図は第２図に示
される一点鎖線Ｘ−X′で切断した場合の模式的
切断面図である。各図に於いて、１０１は吐出オ
リフイス、１０２は液供給孔、１０３は側壁、１
０４は液滴吐出口を有する吐出口板、１０５は第
２の共通液室、１０６は保護層、１０７は電極
層、１０８は発熱抵抗層、１０９は基板、１１０
は共通外部配線である。 図に示される様に、本発明の実施態様例は、第
２の共通液室１０５に供給された液体が液供給孔
１０２より共通液室内に供給され、その液体は側
壁１０３で区切られた液流路から発熱抵抗層１０
８によつて熱エネルギーを付与され、吐出オリフ
イスより液滴となつて飛翔させられる構成の液体
噴射記録装置が用いられた。 図に示される様な液体噴射記録装置の簡単な作
製手順を第１の実施態様例を用いて説明する。 本実施態様例に於いては基板１０９としてSiを
用い、先ず該基板１０９の表面を熱酸化して
SiO2層を3μm厚に形成した。次に発熱抵抗層１
０８としてTa層を2000Å厚、電極層１０７とし
てAlを1μm厚積層した後、フオトリソ工程によ
り形状30μm×100μmの熱発生部（ヒーター）ア
レーを125μmピツチで形成した。又、Ta層の酸
化防止及びインク液の浸透防止、液体が熱エネル
ギーを受けた際発生されるバブルによる耐機械衝
撃用の膜としてSiO2層0.5μm厚、SiC層1μm厚を
順次スパツタにより積層して保護層１０６を形成
した。 次に液流路及び共通液室を形成する部材を形成
した。液滴吐出口１０１は熱作用部が配された面
と対向する面、ここでは真上に配置され、吐出オ
リフイス１０１は30μ厚のNiCr板をエツチングす
ることによつて形成した。更に、基板１０９に液
供給孔１０２を開け、第２の共通液室を形成する
部材、吐出板１０４等を組んで液体噴射記録装置
の記録ヘツド部分は作製された。 第１の実施態様例は、第１図乃至第３図に示さ
れる様な記録ヘツドで、液流路の幅40μm、高さ
を60μmとして形成された。吐出オリフイスは吐
出オリフイスの最小断面積の平均直径（以下直径
と称す）を30μm（S0＝706.5μm2）とし30μm厚の
NiCr板をエツチングすることにより形成し、ヒ
ーターの真上に配置した。 第４図ａ乃至第４図ｂは、夫々吐出オリフイス
の形状を模式的に示す模式的切断面図である。こ
こで、第４図ａは吐出オリフイスの直径が一定の
もの、第４図ｂは吐出オリフイスの直径が熱作用
部側になるに従つて大きくなつている。即ち、テ
ーパー状になつているもの、第４図ｃは吐出オリ
フイスの直径が熱作用部側になるに従つて小さく
なつている、即ち、逆テーパー状になつているも
のが示されている。 尚、第４図ａ乃至第４図ｃに示される様な吐出
オリフイス形状を夫々順に，，という様に
呼べば、第１の実施態様例に於ける吐出オリフイ
スの形状はとされた。 第１の実施態様例の液体噴射記録装置に水溶性
黒色染料、水、ジエチレングリコール、１，３−
ジメチル−２−イミダゾリジノンを主体とするイ
ンクを用い、発熱抵抗層に5μsecの矩形電圧1KHz
の周波数で与えて装置を駆動したところ、入力信
号（液滴の吐出信号）に応じて忠実且つ安定して
液滴が吐出した。又、１×109個の液滴が吐出す
るまで連続駆動を行なつたところ最後まで液滴吐
出は停止することなく安定した吐出特性を示し
た。 第１の実施態様例においては、液流路の高さが
60μmであり、S0＝706.5μm2であるのでS0 3/2＝
18778.8（μm3）となる。又、本実施態様例ではSH
＝3000（μm2）であるから、S0 3/2は0.1・SH＝300
（μm3）から100・SH＝30000（μm3）の間にある。
詰り、本願発明者等が見い出した関係を満足して
いた。 次に、第１の実施態様例と同じ構成を持つ記録
ヘツドで、各部の寸法を変化させた変形例を10種
類作製した。これ等変形例を順に第２の実施態様
例、第３の実施……，……，第11の実施態様例と
称する。第２の実施態様例乃至第11の実施態様例
の各部の寸法を第１表に示す。 尚、これら変形例は全て液流路の高さが150μm
以下で、0.1・SH≦S0 3/2≦100・SHの範疇に入つて
いる。
くは、連続記録にも好適な安定した液滴吐出を行
なえる液体噴射記録ヘツドに関する。 ノンインパクト記録法は、記録時に於ける騒音
の発生が無視し得る程度に極めて小さいという点
に於いて、最近関心を集めている。その中で、高
速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定着とい
う特別な処理を必要とせずに記録の行える所謂イ
ンクジエツト記録法（液体噴射記録法）は、極め
て有力な記録法であつて、これ迄にも様々な方式
が考案され、改良が加えられて商品化されたもの
もあれば、現在も尚実用化への努力が続けられて
いるものもある。 この様な液体噴射記録法は、所謂インクと称さ
れる記録液体の液滴（droplet）を飛翔させ、被
記録部材に付着させて記録を行うものであつて、
この記録液体の液滴の発生法及び発生される液滴
の飛翔方向を制御する為の制御方法によつて幾つ
かの方式に大別される。 中でも記録信号に応じて、吐出オリフイスより
液滴を吐出飛翔させ、、該液滴を被記録部材表面
に付着させて記録を行う、所謂drop−on−
demand記録法は、記録に必要な液滴のみしか吐
出しないので、記録に不要である吐出液体の回収
又は処理の為の特別な手段を設ける必要がなく、
装置自体を簡素化、小型化し得る事、吐出オリフ
イスより吐出される液滴の飛翔方向を制御する必
要がない事、多色記録が容易に行える事等の為に
昨今、殊に注目を集めている。 又、近年に於いては、上記のdrop−on−
demand記録法を用いたfull lineタイプで高密度
マルチオリフイス化した記録ヘツド（液体噴射記
録ヘツド）の開発も著しく、より高解像度、高品
質の画像を高速で得ることの出来る液体噴射記録
装置の開発も数多く成されている。 drop−on−demand記録法を用いた液体噴射記
録装置ではエネルギー作用部にある液体に、圧力
エネルギー又は熱エネルギーを作用させて、液滴
吐出の為の原動力を得ている。従つて、これ等の
エネルギーが、液滴吐出の為に効率良く消費され
る様に液体に作用することが必要である。 又、連続的に記録を実行する場合には、記録信
号に確実に応答して、前記エネルギーの発生が繰
返し起る必要がある。殊に高速記録の場合には、
この繰返しがエネルギー作用部に与えられる記録
信号に忠実に行われる必要がある。 或いは、又、記録画像の品質を上げ、高速記録
が行える様にするには、液滴の吐出方向の安定
化、及びサテライトの発生防止がなされること、
安定して、長時間、連続的に繰返し液滴吐出が実
行されること、液滴形成周波数（単位時間当りに
形成される液滴の個数）の向上が計られる必要が
ある。 液滴を吐出オリフイスから吐出させるにあたつ
て、電気熱変換体である発熱抵抗体等を用いて熱
エネルギーを液体に付与し、エネルギーを付与さ
れた液体が急峻な体積の増大を伴う状態変化を生
じせしめ、その状態変化に基づく作用力によつて
液体を吐出させるものがある。この場合、液滴吐
出は液体が熱エネルギーによつて気泡化した際の
気泡の体積変化量に依存している。気泡の体積変
化量は発熱抵抗体等のエネルギー作用部の面積に
よつて決定される。しかし、安定した液滴の吐出
特性を得る為には吐出オリフイスの最小断面積S0
に対して適切な気泡の体積変化量が必要である。
何故なら、体積変化量が大きすぎれば、スプラツ
シユや外気の取り込みなどの現象を起こし、、液
滴の吐出が不安定になるか若しくは吐出が停止し
てしまうからであり、逆に体積変化量が小さすぎ
れば吐出オリフイスの囲りが液体で濡れてしま
い、吐出が停止したり、吐出が不安定になつたり
するからである。又、更に体積変化量が小さい場
合は、気泡の発生がなく従つて気泡の体積変化が
生じない為、液滴が全く吐出されない場合もあ
る。 そして、これらの発泡現象と吐出体積の問題に
関与する液路の高さと、エネルギー発生部の面積
と、吐出オリフイスの面積との関係は、電気熱変
換体のエネルギー作用部が配された面と添う方向
に吐出オリフイスが配されるタイプの記録ヘツド
に比べて、吐出オリフイスが配された面とエネル
ギー作用部が配された面とが対向するタイプの記
録ヘツドにおいて、エネルギー作用部に吐出オリ
フイスの面が対向するというその構造上、特に重
要であることがわかつた。したがつて、本発明
は、吐出オリフイスが配された面とエネルギー作
用部が配された面とが対向するタイプの記録ヘツ
ドにおいて見いだされた、これらの関係によつて
成されたものであつて、安定した液滴の連続吐出
記録が可能な液体噴射記録ヘツドを提供すること
を目的とする。 そして本発明の液体噴射記録ヘツドは、液体を
吐出する吐出オリフイスと、該吐出オリフイスに
連通した液路と、該液路に配され、前記吐出オリ
フイスから液体を吐出するために利用される熱エ
ネルギーを発生するエネルギー作用部を有する電
気熱変換体とを有し、該液路の前記電気熱変換体
が配されている面と前記吐出口が配されている面
とが対向する液体噴射記録ヘツドであつて、 前記液路の高さが150μm以下であると共に、前
記吐出オリフイスの最小断面積をS0（μm2）、前記
電気熱変換体の前記エネルギー作用部の面積をSH
（μm2）とするとき、 0.1・SH≦S0 3/2≦100・SH なる関係を満足していることを特徴とする。 本発明をより効果的に行なうために、使用する
液体（インク）として表面張力が好ましくは25〜
65dyne／cm、より好ましくは30〜60dyne／cm、
粘度が好ましくは１〜20cp、より好ましくは１
〜10cpとなる範囲のものを使用する事はより望
ましい。 このように、液路高さとエネルギー作用部の面
積と吐出オリフイスの最小断面積とで規定される
吐出体積の平均値とが好ましい関係となるように
規定することで、吐出の安定性を向上させること
ができる。 尚、上記で電気熱変換体のエネルギー作用部
（以下ヒーターと称す）とは、発熱抵抗層の電極
間ギヤツプのことを指す。従つて、発熱抵抗層上
に保護層等が存在してもヒーターは電極間ギヤツ
プをいう。 以下、本発明を好適な実施態様例を用いて説明
する。 第１図乃至第３図は、本発明の実施態様例を説
明する為の図で、夫々第１図は模式的斜視組立
図、第２図は模式的平面図、第３図は第２図に示
される一点鎖線Ｘ−X′で切断した場合の模式的
切断面図である。各図に於いて、１０１は吐出オ
リフイス、１０２は液供給孔、１０３は側壁、１
０４は液滴吐出口を有する吐出口板、１０５は第
２の共通液室、１０６は保護層、１０７は電極
層、１０８は発熱抵抗層、１０９は基板、１１０
は共通外部配線である。 図に示される様に、本発明の実施態様例は、第
２の共通液室１０５に供給された液体が液供給孔
１０２より共通液室内に供給され、その液体は側
壁１０３で区切られた液流路から発熱抵抗層１０
８によつて熱エネルギーを付与され、吐出オリフ
イスより液滴となつて飛翔させられる構成の液体
噴射記録装置が用いられた。 図に示される様な液体噴射記録装置の簡単な作
製手順を第１の実施態様例を用いて説明する。 本実施態様例に於いては基板１０９としてSiを
用い、先ず該基板１０９の表面を熱酸化して
SiO2層を3μm厚に形成した。次に発熱抵抗層１
０８としてTa層を2000Å厚、電極層１０７とし
てAlを1μm厚積層した後、フオトリソ工程によ
り形状30μm×100μmの熱発生部（ヒーター）ア
レーを125μmピツチで形成した。又、Ta層の酸
化防止及びインク液の浸透防止、液体が熱エネル
ギーを受けた際発生されるバブルによる耐機械衝
撃用の膜としてSiO2層0.5μm厚、SiC層1μm厚を
順次スパツタにより積層して保護層１０６を形成
した。 次に液流路及び共通液室を形成する部材を形成
した。液滴吐出口１０１は熱作用部が配された面
と対向する面、ここでは真上に配置され、吐出オ
リフイス１０１は30μ厚のNiCr板をエツチングす
ることによつて形成した。更に、基板１０９に液
供給孔１０２を開け、第２の共通液室を形成する
部材、吐出板１０４等を組んで液体噴射記録装置
の記録ヘツド部分は作製された。 第１の実施態様例は、第１図乃至第３図に示さ
れる様な記録ヘツドで、液流路の幅40μm、高さ
を60μmとして形成された。吐出オリフイスは吐
出オリフイスの最小断面積の平均直径（以下直径
と称す）を30μm（S0＝706.5μm2）とし30μm厚の
NiCr板をエツチングすることにより形成し、ヒ
ーターの真上に配置した。 第４図ａ乃至第４図ｂは、夫々吐出オリフイス
の形状を模式的に示す模式的切断面図である。こ
こで、第４図ａは吐出オリフイスの直径が一定の
もの、第４図ｂは吐出オリフイスの直径が熱作用
部側になるに従つて大きくなつている。即ち、テ
ーパー状になつているもの、第４図ｃは吐出オリ
フイスの直径が熱作用部側になるに従つて小さく
なつている、即ち、逆テーパー状になつているも
のが示されている。 尚、第４図ａ乃至第４図ｃに示される様な吐出
オリフイス形状を夫々順に，，という様に
呼べば、第１の実施態様例に於ける吐出オリフイ
スの形状はとされた。 第１の実施態様例の液体噴射記録装置に水溶性
黒色染料、水、ジエチレングリコール、１，３−
ジメチル−２−イミダゾリジノンを主体とするイ
ンクを用い、発熱抵抗層に5μsecの矩形電圧1KHz
の周波数で与えて装置を駆動したところ、入力信
号（液滴の吐出信号）に応じて忠実且つ安定して
液滴が吐出した。又、１×109個の液滴が吐出す
るまで連続駆動を行なつたところ最後まで液滴吐
出は停止することなく安定した吐出特性を示し
た。 第１の実施態様例においては、液流路の高さが
60μmであり、S0＝706.5μm2であるのでS0 3/2＝
18778.8（μm3）となる。又、本実施態様例ではSH
＝3000（μm2）であるから、S0 3/2は0.1・SH＝300
（μm3）から100・SH＝30000（μm3）の間にある。
詰り、本願発明者等が見い出した関係を満足して
いた。 次に、第１の実施態様例と同じ構成を持つ記録
ヘツドで、各部の寸法を変化させた変形例を10種
類作製した。これ等変形例を順に第２の実施態様
例、第３の実施……，……，第11の実施態様例と
称する。第２の実施態様例乃至第11の実施態様例
の各部の寸法を第１表に示す。 尚、これら変形例は全て液流路の高さが150μm
以下で、0.1・SH≦S0 3/2≦100・SHの範疇に入つて
いる。
【表】
上記した10種類の実施態様例を夫々第１の実施
態様例と同様なインクを用い、同じく、発熱抵抗
層に5μsecの矩形電圧を加えて1KHzの周波数で駆
動したところ、10種、全ての実施態様例に於いて
安定した液滴の吐出が行なわれた。又、第１の実
施態様例と同様に夫々の実施態様例を１×109個
の液滴が吐出されるまで連続して装置を作動させ
たが、この場合もどの実施態様例に於いても最後
まで入力信号に応じた安定した液滴の吐出が行な
われた。 次に、第12の実施態様例として第１の実施態様
例と同様な構成から成り、ヒーターサイズを40
（μm）×150（μm）、液流路の幅を80μm、高さを
150μm、吐出オリフイスの直径100μm（S0＝7850μ
m2）、厚み80μm、形状とする記録ヘツドを作製
した。 第１の実施態様例と同様に本実施態様例を駆動
したところ、吐出オリフイスの周辺が液体で濡れ
てしまい、液滴は吐出されなかつた。 更に、第13の実施態様例として、上記した他の
実施態様例と同様な構成で成り、ヒーターサイズ
80（μm）×160（μm）、液流路の幅100μm、高さを
120μm、吐出オリフイスの直径12μm（S0＝113μ
m2）、最大直径160μm（面積20100μm2）、厚み
15μm、形状とする記録ヘツドを作製した。 本実施態様例を第１の実施態様例と同様な条件
で駆動したところ、本実施態様例はスプラツシユ
が激しく、液滴の吐出は直ちに停止してしまつ
た。 以上説明したとおり、本発明によれば、吐出オ
リフイスが配された面とエネルギー作用部が配さ
れた面とが対向するタイプの記録ヘツドにおい
て、安定した液滴の吐出を連続して行うことが可
能な液体噴射記録ヘツドが提供される。このこと
によつて、より優れた品質の画像記録を連続して
いることができる。
態様例と同様なインクを用い、同じく、発熱抵抗
層に5μsecの矩形電圧を加えて1KHzの周波数で駆
動したところ、10種、全ての実施態様例に於いて
安定した液滴の吐出が行なわれた。又、第１の実
施態様例と同様に夫々の実施態様例を１×109個
の液滴が吐出されるまで連続して装置を作動させ
たが、この場合もどの実施態様例に於いても最後
まで入力信号に応じた安定した液滴の吐出が行な
われた。 次に、第12の実施態様例として第１の実施態様
例と同様な構成から成り、ヒーターサイズを40
（μm）×150（μm）、液流路の幅を80μm、高さを
150μm、吐出オリフイスの直径100μm（S0＝7850μ
m2）、厚み80μm、形状とする記録ヘツドを作製
した。 第１の実施態様例と同様に本実施態様例を駆動
したところ、吐出オリフイスの周辺が液体で濡れ
てしまい、液滴は吐出されなかつた。 更に、第13の実施態様例として、上記した他の
実施態様例と同様な構成で成り、ヒーターサイズ
80（μm）×160（μm）、液流路の幅100μm、高さを
120μm、吐出オリフイスの直径12μm（S0＝113μ
m2）、最大直径160μm（面積20100μm2）、厚み
15μm、形状とする記録ヘツドを作製した。 本実施態様例を第１の実施態様例と同様な条件
で駆動したところ、本実施態様例はスプラツシユ
が激しく、液滴の吐出は直ちに停止してしまつ
た。 以上説明したとおり、本発明によれば、吐出オ
リフイスが配された面とエネルギー作用部が配さ
れた面とが対向するタイプの記録ヘツドにおい
て、安定した液滴の吐出を連続して行うことが可
能な液体噴射記録ヘツドが提供される。このこと
によつて、より優れた品質の画像記録を連続して
いることができる。
第１図乃至第４図ｃは本発明の実施態様例を説
明する為の図で、第１図は模式的斜視組立図、第
２図は模式的平面図、第３図は第２図に示される
一点鎖線Ｘ−X′で切断した場合の模式的切断面
図、第４図ａ乃至第４図ｃは夫々吐出オリフイス
の形状を示す模式的切断面図部分図である。 １０１……吐出オリフイス、１０２……液供給
孔、１０３……側壁、１０４……オリフイス板、
１０５……第２の共通液室、１０６……保護層、
１０７……電極層、１０８……発熱抵抗層、１０
９……基板、１１０……共通外部配線。
明する為の図で、第１図は模式的斜視組立図、第
２図は模式的平面図、第３図は第２図に示される
一点鎖線Ｘ−X′で切断した場合の模式的切断面
図、第４図ａ乃至第４図ｃは夫々吐出オリフイス
の形状を示す模式的切断面図部分図である。 １０１……吐出オリフイス、１０２……液供給
孔、１０３……側壁、１０４……オリフイス板、
１０５……第２の共通液室、１０６……保護層、
１０７……電極層、１０８……発熱抵抗層、１０
９……基板、１１０……共通外部配線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 液体を吐出する吐出オリフイスと、該吐出オ
リフイスに連通した液路と、該液路に配され、前
記吐出オリフイスから液体を吐出するために利用
される熱エネルギーを発生するエネルギー作用部
を有する電気熱変換体とを有し、該液路の前記電
気熱変換体が配されている面と前記吐出口が配さ
れている面とが対向する液体噴射記録ヘツドであ
つて、 前記液路の高さが150μm以下であると共に、前
記吐出オリフイスの最小断面積をS0（μm2）、前記
電気熱変換体の前記エネルギー作用部の面積をSH
（μm2）とするとき、 0.1・SH≦S0 3/2≦100・SH なる関係を満足していることを特徴とする液体噴
射記録ヘツド。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1354583A JPS59138469A (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 液体噴射記録ヘッド |
| DE3402683A DE3402683C2 (de) | 1983-01-28 | 1984-01-26 | Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf |
| FR848401260A FR2547534B1 (fr) | 1983-01-28 | 1984-01-27 | Appareil d'enregistrement par ejection de liquide |
| GB08402368A GB2134853B (en) | 1983-01-28 | 1984-01-30 | Liquid jet recording apparatus |
| FR848412138A FR2548961B1 (fr) | 1983-01-28 | 1984-07-31 | Procede d'enregistrement par ejection de liquide |
| GB08518482A GB2161426B (en) | 1983-01-28 | 1985-07-22 | Liquid jet recording apparatus |
| US06/807,116 US4675693A (en) | 1983-01-28 | 1985-12-10 | Liquid injection recording method in which the liquid droplet volume has a predetermined relationship to the area of the liquid discharge port |
| HK721/91A HK72191A (en) | 1983-01-28 | 1991-09-05 | Liquid injection recording apparatus |
| HK722/91A HK72291A (en) | 1983-01-28 | 1991-09-05 | Liquid injection recording method and apparatus |
| FR9212341A FR2681815A1 (fr) | 1983-01-28 | 1992-10-15 | Procede et appareil d'enregistrement par ejection d'encre. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1354583A JPS59138469A (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 液体噴射記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59138469A JPS59138469A (ja) | 1984-08-08 |
| JPH0530629B2 true JPH0530629B2 (ja) | 1993-05-10 |
Family
ID=11836123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1354583A Granted JPS59138469A (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 液体噴射記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59138469A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0653415B2 (ja) * | 1989-04-19 | 1994-07-20 | 株式会社リコー | 液体噴射記録方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5559975A (en) * | 1978-10-31 | 1980-05-06 | Canon Inc | Liquid jet recorder |
| JPS55128465A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-04 | Canon Inc | Recording head |
| JPS5642684A (en) * | 1979-09-14 | 1981-04-20 | Canon Inc | Liquid composition and recording method utilizing the same |
| JPS588661A (ja) * | 1981-07-09 | 1983-01-18 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS5995154A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-06-01 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | 熱インク・ジエツトプリンタ |
-
1983
- 1983-01-28 JP JP1354583A patent/JPS59138469A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59138469A (ja) | 1984-08-08 |
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