JPH04145699A - Ｉｃデバイス収納用マガジンの回収機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野１ 本発明は、ＩＣデバイス（集積回路素子）の電気的特性
等の試験・測定を行う装置において、ＩＣデバイスを収
納するマガジンからＩＣデバイスを払い出した後に、こ
のマガジンを回収するためのＩＣデバイス収納用マガジ
ンの回収機構に関するものである。

［従来の技術Ｉ ＩＣデバイスの試験・測定装置は、周知の如く、デバイ
スの試験・測定を行うＩＣテスタと、該ＩＣテスタにデ
バイスを供給するローダ部と、該ローダ部から供給され
たデバイスをＩＣテスタのテストヘッドに装架するデバ
イスコンタクト機構及びテスト終了後のデバイスをテス
ト結果に基づいて分類分けするためのアンローダ部とを
備えたＩＣハンドラとから構成される。ここで、通常は
、デバイスはマガジンに１列に並べて収納しておき、こ
のマガジンをローダ部に装架し、このマガジンからデバ
イスを払い出して、デバイスコンタクト機構に供給し、
またアンローダ部においては、デバイスをマガジン内に
収納させて回収するようにしている。

ここで、ＩＣハンドラにおいて、ローダ部からデバイス
コンタクト機構に、またデバイスコンタクト機構からア
ンローダ部にデバイスを搬送する方式としては、構成の
簡略化等の要請から、自重滑降方式が用いられている。

このために、ローダ部を高所に設け、該ローダ部におい
てマガジンを傾斜させて、その内部に収納されているデ
バイスを自重で滑降させて、このマガジンのデバイス取
り出し口に接続される傾斜シュートに送り込み、該傾斜
シュートに沿って自重滑降させるようにしている。デバ
イスコンタクト機構はこの傾斜シュートの途中、または
傾斜シュートから方向転換させた垂直シュートに、デバ
イスクランプ手段と、このデバイスクランプ手段にクラ
ンプさせたデバイスをテストヘッドに接離させるコンタ
クト手段とを設けることにより構成される。さらに、ア
ンローダ部は、傾斜シュートに接続して設けた分類分は
機構と、分類数に応じた数のマガジンを設置するデバイ
ス回収部とからなる。

ローダ部には試験・測定が行われるデバイスを収納した
実マガジンが、またアンローダ部には空のマガジンが装
架されるが、このマガジン装架作業の頻度を少な（する
ために、これらローダ部及びアンローダ部には多数のマ
ガジンをセットするマガジンストック部を設け、このマ
ガジンストック部からマガジンを１本ずつ取り出して、
所要の部位に送り込むようにしている。

而して、ローダ部においては、マガジンを傾斜させて、
内部に収納したデバイスを払い出すようにした場合にお
いては、マガジン内にデバイスが詰まって、その排出が
できない場合がある。従来は、このような場合であって
も、該マガジンからデバイスを強制的に排出することは
せず、そのままマガジンをローダ部から回収し、回収後
に作業者がマガジンを揃える作業を行う際に、そのマガ
ジン内にデバイスが残留していないかどうかを確認する
ようにしていた。

（発明が解決しようとする課題１ ところで、前述の如く、ローダ部からマガジンを回収し
た後に、マガジン内のデバイス残留の有無を確認する作
業は著しく面倒であるだけでなく、必ずしもこの確認作
業の完全性を期待することはできない。ここで、近年に
おいては、ローダ部で回収したマガジンをアンローダ部
にセットして、テスト終了後のデバイスを収納させるた
めに用いられるようになってきており、このアンローダ
部において、良品のデバイスを収納させるためにセット
したマガジン内にローダ部において払い出されずに残存
しているデバイスがあると、その品質管理上極めて重大
な問題となる。

本発明は取上の点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、ローダ部において、ＩＣデバイス
が払い出された後に、デバイスが残留しているマガジン
を自動的に検出して、ＩＣデバイスが残留しているマガ
ジンを完全に空になっているマガジンと別々に回収する
ことができるようにしたＩＣデバイス収納用マガジンの
回収機構を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 前述した目的を達成するために、本発明は、ＩＣデバイ
スの払出後のマガジンから完全にＩＣデバイスが排出さ
れているか、またはＩＣデバイスが残留するかを検出す
るマガジン内残留デバイス検出手段と、空になったマガ
ジンが収容されるマガジン収容部と、デバイスが残留し
ているマガジンを収容する排出不良マガジン収容部と、
前記マガジン内残留デバイス検出手段の検出結果に基づ
いて、マガジンを前記空マガジン収容部とに前記排出不
良マガジン収容部に振り分けて収容させるためのマガジ
ン振分手段とから構成したことをその特徴とするもので
ある。

［作用　１ ０一ド部において、マガジンを傾斜させる等によって、
内部に収納されているＩＣデバイスを払い出す。そして
、このＩＣデバイスの払い出しが終了すると、マガジン
内残留デバイス検出手段によってこのマガジン内にデバ
イスが残存しているっか否かの検出を行う。

ここで、ＩＣデバイスの払い出しの完了の検出は、例え
ば、マガジンの出口部分にデバイスの通過を検出するセ
ンサを設けることにより構成し、該センサによって最後
のマガジンが通過した後、所定時間経過してもデバイス
の通過が検出されないときに、該マガジン内のデバイス
の払い出しが終了したしたと判断する方式等によって達
成することができる。

而して、前述したマガジン内残留デバイス検出手段によ
ってマガジンが空になっていることが確認されると、こ
のマガジンは゛空マガジン収容部に送り込まれる。また
、マガジン内にデバイスが残留していることが検出され
ると、マガジン振分手段が作動して、このマガジンは排
出不良マガジン収容部に収容される。

そこで、空マガジン収容部に回収されたマガジンはその
ままアンローダ部にセットし、また排出不良マガジン収
容部のマガジンは残留しているデバイスを強制的に排出
して空にした後に、これをアンローダ部にセットすれば
よい。なお、このように強制的に排出したデバイスは他
のマガジンに再度収納させて、ローダ部にセットする。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

まず、第３図にＩＣデバイスの試験・測定装置の全体構
成を示す。

図中において、１はローダ部、２はアンローダ部をそれ
ぞれ示し、ローダ部１にはローダ側傾斜シュート３が接
続されており、またこのローダ側傾斜シュート３の端部
には方向転換部材４が設けられている。この方向転換部
材４によって、傾斜シュート３に沿って滑降するＩＣデ
バイスＤは搬送方向を垂直方向に向けることになる。

デバイスコンタクト機構５はＩＣデバイスＤの垂直方向
への滑降路に、デバイスＤを位置決め停止させるストッ
パ５ａと、該デバイスＤをクランプするクランプ部材５
ｂを有し、このクランプ部材５ｂによりクランプしたデ
バイスＤを、この垂直滑降路と直交する方向に変位させ
る駆動手段（図示せず）とから構成され、該クランプ部
材５ｂにクランプされたデバイスＤに対面するように配
設した工Ｃテスタ６のテストヘッド６ａに接離させるこ
とができるようになっている。

さらに、アンローダ部２は、デバイスコンタクト機構５
を構成する垂直滑降路から方向転換部材７によって方向
転換せしめられるようになっており、この方向転換後の
デバイスＤはアンローダ側シュート８を介して、該アン
ローダ側シュート８に接続した分類分は部９を有し、こ
の分類分は部９によってテスト終了後のデバイスＤは品
質毎に分類分けして収納されるようになっている。

ＩＣデバイスＤは、第４図に示したように、マガジンＩ
Ｏ内に１列に整列した状態にして収納されている。ここ
で、ＩＣデバイスＤとして、例えばＤ　Ｉ　Ｐ　（Ｄｕ
ａｌ　Ｉｎ１ｉｎｅ　Ｐａｃｋａｇｅ）型のものにあっ
ては、マガジン１０の底壁部を上方に突出させることに
よって、鞍部１０ａを設け、この鞍部１０ａ上にデバイ
スＤのパッケージ部Ｐを当接させ、該パッケージ部Ｐの
両側に設けたリードビンＬを該鞍部１０ａの両側に形成
される隙間内を下方に延在させるようにして収納されて
いる。また、このマガジン１０の一側端部は開口したデ
バイス出入口１０ｂとなっており、他側端部は閉鎖され
ている。

試験・測定が行われるデバイスＤを収納したマガジン１
０はマガジンストック部１１に多数セットしておき、適
宜の搬送手段によって１本ずつ分離して取り出して、第
１図に示したように、矩形運動するピッチ送り手段１２
によってマガジン傾動手段１３に送・り込まれる。マガ
ジン傾動手段１３は、第２図に示したように、マガジン
１０の出入口１０ｂを上下からクランプするマガジンク
ランプ部１４と、該マガジンｌＯの他端部と係合してこ
の他端部を持ち上げる断面コ字状に形成した傾動部１５
とから構成される。傾動部１５は図示しない駆動手段に
よって、第２図に矢印で示したように、水平状態から所
定角度分上方に回動せしめられるようになっている。

マガジンクランプ部１４は、台板１６と、クランプ板１
７とからなり、該クランプ板１７には一対の連結杆１８
が立設されている。該連結杆１８は支持ブラケット１９
に挿通されており、この連結杆１８におけるクランプ板
１７と支持ブラケット１９との間の部位にはばね２０が
弾装されている。さらに、この支持ブラケット１９は回
動軸受２１に装着されており、マガジンｌＯが傾動せし
められたときには、クランプ板１７がこれに追従して傾
斜するようになる。なお、台板１６及びクランプ板１７
には、マガジン１０をその間に円滑に導き入れるための
呼び込み部１６ａ。

１７ａが形成されている。

従って、ピッチ送り手段１２によってマガジン１０が１
本ずつマガジン傾動手段１３に送り込まれる。

即ち、該マガジン１０の出入口部１０ｂは合板１６とク
ランプ板１７との間に挾持されると共に、他端部は傾動
部１５に係合する。そこで、傾動部１５を上方に回動さ
せると、マガジン１０が傾斜せしめられて、その鞍部１
０ａがローダ側傾斜シュート３に接続されて、該マガジ
ン１０からデバイスＤが払い出される。このデバイスＤ
の払い出しは、マガジン１０とローダ側傾斜シュート３
との間に設けたセンサ２２によって監視される。このセ
ンサ２２によって最後にデバイスが通過したことを検出
した後に所定の時間経過しても次のデバイスが通過しな
いときには、このマガジン１０から全てのデバイスＤが
払い出されたと判断されて、マガジンｌＯは水平状態に
復帰せしめられる。

この位置には、マガジン１０内にデバイスが残存してる
か否かの検出を行うマガジン内残留デバイス検出手段２
３が設けられている。このマガジ内残留デバイス検出手
段２３は、発光素子２３ａと受光素子２３ｂとからなり
、該発光素子２３ａから受光素子２３ｂに至る光路はマ
ガジン１０の鞍部１０ｂより僅かに高い位置において、
傾動部１５に設けた透孔１５ａを通過して、該マガジン
ｌＯの軸線方向に向けられるようになっている。従って
、マガジン１０を傾斜させることによって自重滑降によ
ってデバイスの払い出しが行われるものであるから、該
マガジン１０内から確実にデバイスＤを全て排出するこ
とができないことがある。このために、マガジンｌＯが
水平状態に復帰した後に、このマガジン内残留デバイス
検出手段２３によってマガジン１０内にデバイスが残存
しているか否かの検出が行われる。

このようにしてマガジン１０のデバイス払い出しが終了
し、該マガジン１０内にデバイスが残存するか否かの検
出が行われた後において、マガジン１０は振り分は回収
されようになってい名。而して、デバイス払い出し後の
マガジンはピッチ送り手段１２が次のマガジンをマガジ
ン傾動手段１３に送り込む際に、該ピッチ送り手段１２
の端壁によって押し出されて、下方に落下せしめられて
回収されるが、この回収部は、デバイスＤが完全に払い
出された空マガジンを収容する空マガジン収容部２４と
、内部にデバイスが残留した状態となっている排出不良
マガジンを収容する排出不良マガジン収容部２５とから
構成される。

空マガジン収容部２４はマガジン傾動手段１３から排出
されたマガジン１０が自重で落下した下方位置に設けら
れている。これに対して、排出不良マガジン収容部２５
は、マガジン１０の落下領域より前方の位置に設けられ
ている。そして、マガジン１０をこれら空マガジン収容
部２４と排出不良マガジン収容部２５とに振り分けて収
容させるために、振分シャッタ２６が設けられている。

この振分シャッタ２６はシリンダ２７によって軸２８を
中心としてスイング動作せしめられるようになっており
、常時においては、第１図に実線で示した鉛直状態とな
し、このときには、マガジンｌＯの落下時に干渉しない
位置に保持され、これによって空マガジン収容部２４に
落し込まれるようになる。一方、シリンダ２７を作動さ
せて、振分シャック２６を同図に仮想線で示したように
傾斜した状態に変位させると、マガジン傾動手段１３か
ら落下するマガジンＩＯは該振分シャッタ２６にガイド
されて、排出不良マガジン収容部２５内に送り込まれる
ようになっている。

以上のように構成することによって、マガジン傾動手段
１３によってマガジン１０を傾動させて、内部に収納さ
れているデバイスＤを払い出した後において、マガジン
内残留デバイス検出手段２３によってこの払い出し完了
後のマガジン１０内にデバイスＤが残留されているか否
かの確認が行われ、この検出手段２３によって空マガジ
ンであると判断されたときには、シリンダ２７は鉛直状
態に保たれて、マガジン傾動手段１３から落下するマガ
ジン１０は空マガジン収容部２４内に収容せしめられる
。

これに対して、マガジン内残留デバイス検出手段２３に
よってデバイスＤが残留していることが検出されると、
シリンダ２７が作動せしめられて、振分シャッタ２６が
傾斜状態に変位して、マガジン傾動手段１３から落下す
るマガジンｌＯは排出不良マガジン収容部２５内に収容
されることになる。

このように、デバイスＤを払い出した後のマガジン１０
を、実際にデバイスＤが完全に払い出されているか否か
の検出を行って、空マガジンとデバイスの排出不良マガ
ジンとを振り分けて収容させるようにすることによって
、空マガジン収容部２４で回収されたマガジン１０はそ
のままアンロード部２にセットすることができ、また排
出不良マガジン収容部２５に収容されているマガジン１
０は残存しているデバイスＤを除去した後に、これをア
ンロード部２にセットするか、またはそのまま回収する
ようにすればよい。従って、作業者が回収マガジンを全
数チエツクして、残存デバイスがないか否かの作業を行
う必要がな（なる。

そこで、空マガジン収容部２４において、所定の治具に
整列した状態にマガジンを収容させるようになし、この
治具を該空マガジン収容部２４から自動的に取り出して
、アンローダ部２にセットすることができるように構成
すれば、ローダ部１においてマデバイスＤを払い出した
後、空になったガジンをアンローダ部２に還流してセッ
ト作業を自動化することができ、ＩＣハンドラによるマ
ガジンＩＯの取り扱いの自動化が図られる。

［発明の効果１ 以上説明したように、本発明は、マガジンからデバイス
が払い出された後に、このマガジンにＩＣデバイスが残
存しているか否かの検出を行った上で、空マガジンとデ
バイスの排出不良マガジンとを分けて収容させるように
しているので、人手作業によって回収したマガジン内に
デバイスが残存しているか否かの確認をする必要がなく
なり、空マガジン収容部に収容されているマガジンをそ
のままアンロード部に供給しても、未検査のデバイスが
良品として流されるおそれはない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すものであって、第１図は
マガジンの回収機構の構成説明図、第２図はマガジ傾動
手段の側面図、第３図はＩＣハンドラの概略構成図、第
４図はＩＣデバイスと共に示すマガジンの外観図である
。 １：ローダ部、２：アンローダ部、５：デバイスコンタ
クト機構、６：ＩＣテスタ、６ａ：テストヘッド、１２
：ピッチ送り手段、１３：マガジン傾動手段、２２：セ
ンサ、２３：マガジン内残留デバイス検出手段、２３ａ
：発光素子、２３ｂ：受光素子、２４：空マガジン収容
部、２５：排出不良マガジン収容部、２６：振分シャッ
タ、２７：シリンダ、２８：軸。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ＩＣデバイスを収納したマガジンからＩＣデバイスを
   払い出した後に、このマガジンを回収するためのものに
   おいて、ＩＣデバイスの払出後のマガジンから完全にＩ
   Ｃデバイスが排出されているか、またはＩＣデバイスが
   残留するかを検出するマガジン内残留デバイス検出手段
   と、空になったマガジンが収容されるマガジン収容部と
   、デバイスが残留しているマガジンを収容する排出不良
   マガジン収容部と、前記マガジン内残留デバイス検出手
   段の検出結果に基づいて、マガジンを前記空マガジン収
   容部とに前記排出不良マガジン収容部に振り分けて収容
   させるためのマガジン振分手段とから構成したことを特
   徴とするＩＣデバイス収納用マガジンの回収機構。