JPH0584871B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0584871B2 JPH0584871B2 JP62240797A JP24079787A JPH0584871B2 JP H0584871 B2 JPH0584871 B2 JP H0584871B2 JP 62240797 A JP62240797 A JP 62240797A JP 24079787 A JP24079787 A JP 24079787A JP H0584871 B2 JPH0584871 B2 JP H0584871B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration sensor
- synthetic resin
- piezoelectric element
- inorganic piezoelectric
- columnar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、加速度センサーに関し、詳しくは、
物体に加えられた衝撃や振動の大きさを計測する
ことができる加速度センサーに関し、さらに詳し
くは、物体に加えられた衝撃や振動の大きさを精
度よく計測することができる小型の加速度センサ
ーに関する。
物体に加えられた衝撃や振動の大きさを計測する
ことができる加速度センサーに関し、さらに詳し
くは、物体に加えられた衝撃や振動の大きさを精
度よく計測することができる小型の加速度センサ
ーに関する。
本発明の加速度センサーは、衝撃試験機のセン
サーとして利用することができるだけでなく、さ
らに精密器械などの製品の輸送、保管中に受けた
振動や衝撃を検出、記録する衝撃記録計に利用す
ることができる。
サーとして利用することができるだけでなく、さ
らに精密器械などの製品の輸送、保管中に受けた
振動や衝撃を検出、記録する衝撃記録計に利用す
ることができる。
衝撃試験機のハンマーの衝撃刃(ウエイト)の
背面に圧電性高分子フイルムを取り付け、この圧
電性高分子フイルムの上に慣性重量体(錘り)を
取り付けて、圧電センサーを構成し、材料の試験
の際に、衝撃刃(ウエイト)の受ける衝撃を、慣
性重量体によつて、圧電性高分子フイルムに作用
し、圧電性高分子フイルムに生じた(+)および
(−)の電荷を電位差により計測し、これをコン
ピユーターによつて衝撃の大きさとして検出する
ことが試みられている(特開昭60−97237号公報、
特開昭60−93942号公報)。
背面に圧電性高分子フイルムを取り付け、この圧
電性高分子フイルムの上に慣性重量体(錘り)を
取り付けて、圧電センサーを構成し、材料の試験
の際に、衝撃刃(ウエイト)の受ける衝撃を、慣
性重量体によつて、圧電性高分子フイルムに作用
し、圧電性高分子フイルムに生じた(+)および
(−)の電荷を電位差により計測し、これをコン
ピユーターによつて衝撃の大きさとして検出する
ことが試みられている(特開昭60−97237号公報、
特開昭60−93942号公報)。
一方において、本発明者の一人は、衝撃検出セ
ンサー、衝撃センサーのアナログ信号のアナログ
−デジタル変換器、集積回路およびデイスプレー
からなる衝撃記録計を提案した(特願昭61−
236169号)。
ンサー、衝撃センサーのアナログ信号のアナログ
−デジタル変換器、集積回路およびデイスプレー
からなる衝撃記録計を提案した(特願昭61−
236169号)。
さらに、ベース1に圧電性セラミツクス2を載
置し、その上に質量体(慣性重量体)3を載置
し、これらをボルト4または接着によつてベース
1に固定し、圧電性セラミツクスに生じた(+)
および(−)の電荷を電極23および24により
取り出す加速度センサー(第3図)も広く知られ
ている。
置し、その上に質量体(慣性重量体)3を載置
し、これらをボルト4または接着によつてベース
1に固定し、圧電性セラミツクスに生じた(+)
および(−)の電荷を電極23および24により
取り出す加速度センサー(第3図)も広く知られ
ている。
他方において、分極処理を施したPZTの薄板
を切断加工し、これを有機高分子と複合化した1
−3結合構造の複合圧電材料が提案され(特開昭
58−21883号公報)、さらに、1〜50Kg・f/mm2の
弾性率を有する合成樹脂マトリツクスに6000Kg・
f/mm2以上の弾性率を有する無機圧電体を配列す
る複合圧電材料が本発明者の一人によつて提案さ
れている(特願昭62−97号)。
を切断加工し、これを有機高分子と複合化した1
−3結合構造の複合圧電材料が提案され(特開昭
58−21883号公報)、さらに、1〜50Kg・f/mm2の
弾性率を有する合成樹脂マトリツクスに6000Kg・
f/mm2以上の弾性率を有する無機圧電体を配列す
る複合圧電材料が本発明者の一人によつて提案さ
れている(特願昭62−97号)。
本発明者らは、セラミツクスの製造、利用につ
いて永年研究を続けているが、その研究におい
て、第3図に示すとおりの基本的構造の上部に錘
体(慣性重量体)3を載置した円板状の無機圧電
体2をベース1に固定した加速度センサーにおい
て、円板状の無機圧電体として、特定の弾性率を
持つ合成樹脂マトリツクスに特定の弾性率を持つ
柱状のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を配列し
た複合圧電材料を使用したものは、円板状の無機
圧電体として、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)
を使用したものに比べて同一の加振加速度におい
て2倍以上の出力電圧が得られることを見出し、
この知見に基づいて本発明に到達した。
いて永年研究を続けているが、その研究におい
て、第3図に示すとおりの基本的構造の上部に錘
体(慣性重量体)3を載置した円板状の無機圧電
体2をベース1に固定した加速度センサーにおい
て、円板状の無機圧電体として、特定の弾性率を
持つ合成樹脂マトリツクスに特定の弾性率を持つ
柱状のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を配列し
た複合圧電材料を使用したものは、円板状の無機
圧電体として、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)
を使用したものに比べて同一の加振加速度におい
て2倍以上の出力電圧が得られることを見出し、
この知見に基づいて本発明に到達した。
本発明の目的は、検出感度の高い加速度センサ
ーを提供することにあり、詳しくは検出感度が高
い小型の加速度センサーを提供することにある。
ーを提供することにあり、詳しくは検出感度が高
い小型の加速度センサーを提供することにある。
本発明は、錘体を載置した圧電素子を台座に固
定した加速度センサーにおいて、圧電素子が、合
成樹脂マトリツクスに、長さ方向に分極した柱状
の無機圧電体を配列して、一体化し、柱状の無機
圧電体の長さ方向の両端面に電極を取り付けた複
合圧電素子であつて、前記合成樹脂マトリツクス
における合成樹脂が1〜50Kg・f/mm2の弾性率を
有するものであり、前記柱状の無機圧電体が6000
Kg・f/mm2以上の弾性率を有するものであること
を特徴とする加速度センサーである。
定した加速度センサーにおいて、圧電素子が、合
成樹脂マトリツクスに、長さ方向に分極した柱状
の無機圧電体を配列して、一体化し、柱状の無機
圧電体の長さ方向の両端面に電極を取り付けた複
合圧電素子であつて、前記合成樹脂マトリツクス
における合成樹脂が1〜50Kg・f/mm2の弾性率を
有するものであり、前記柱状の無機圧電体が6000
Kg・f/mm2以上の弾性率を有するものであること
を特徴とする加速度センサーである。
本発明の加速度センサーにおいて、柱状の無機
圧電体は、2以上の長サ/幅(辺)の比を有する
形状のものを使用することができ、また合成樹脂
マトリツクスにおける合成樹脂は、シリコンゴ
ム、ウレタンゴム、ブタジエンゴム、ニトリルゴ
ム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴ
ム、フツ素ゴム、エチレンアクリルゴム、ポリエ
ステルエラストマー、エピクロルヒドリンゴム、
アクリルゴムまたは塩素化ポリエチレンゴムなど
を使用することができ、さらに柱状の無機圧電体
における無機圧電体は、チタン酸バリウム、チタ
ン酸鉛またはチタン酸ジルコン酸鉛を使用するこ
とができる。
圧電体は、2以上の長サ/幅(辺)の比を有する
形状のものを使用することができ、また合成樹脂
マトリツクスにおける合成樹脂は、シリコンゴ
ム、ウレタンゴム、ブタジエンゴム、ニトリルゴ
ム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴ
ム、フツ素ゴム、エチレンアクリルゴム、ポリエ
ステルエラストマー、エピクロルヒドリンゴム、
アクリルゴムまたは塩素化ポリエチレンゴムなど
を使用することができ、さらに柱状の無機圧電体
における無機圧電体は、チタン酸バリウム、チタ
ン酸鉛またはチタン酸ジルコン酸鉛を使用するこ
とができる。
第1図は本発明の加速度センサーの内部断面を
示す側面図である。
示す側面図である。
1は台座、2は複合圧電素子、3は錘体、4は
ネジであつて、錘体3を上面に載置した複合圧電
素子2は、ネジ4により台座に固定される。5は
加速度センサーのケースの側壁、6はケースの
蓋、7はラグ端子であり、23および24は複合
圧電素子2の一対の電極、そして8はリード線で
ある。ケースの側壁5は台座1に固定され、その
上面にケースの蓋6をはめ込み、その内部空間に
錘体3を載置し、台座1に固定された複合圧電素
子2を収容する。ケースの蓋6に、ラグ端子7,
7が取り付けられ、ラグ端子7,7はリード線8
により複合圧電素子2の電極23および24に結
線され、複合圧電素子2に発生した電気信号はラ
グ端子7,7を通じてその外部端から加速度セン
サーの外部に取り出される。9はスタツドのネジ
穴であつて、台座1の底部の裏面(外側)に穿孔
されていて、スタツドのネジ穴9に被験物体(図
示なし)に取り付けたボルト(図示なし)をネジ
込むことによつて本発明の加速度センサーを被験
物体に取り付ける。
ネジであつて、錘体3を上面に載置した複合圧電
素子2は、ネジ4により台座に固定される。5は
加速度センサーのケースの側壁、6はケースの
蓋、7はラグ端子であり、23および24は複合
圧電素子2の一対の電極、そして8はリード線で
ある。ケースの側壁5は台座1に固定され、その
上面にケースの蓋6をはめ込み、その内部空間に
錘体3を載置し、台座1に固定された複合圧電素
子2を収容する。ケースの蓋6に、ラグ端子7,
7が取り付けられ、ラグ端子7,7はリード線8
により複合圧電素子2の電極23および24に結
線され、複合圧電素子2に発生した電気信号はラ
グ端子7,7を通じてその外部端から加速度セン
サーの外部に取り出される。9はスタツドのネジ
穴であつて、台座1の底部の裏面(外側)に穿孔
されていて、スタツドのネジ穴9に被験物体(図
示なし)に取り付けたボルト(図示なし)をネジ
込むことによつて本発明の加速度センサーを被験
物体に取り付ける。
第2図は複合圧電素子2の電極23の一部を切
欠いた斜視図である。21はその長さ方向に分極
した柱状の無機圧電体、22は合成樹脂マトリツ
クス、23および24は電極であつて、多数の柱
状の無機圧電体21が合成樹脂マトリツクス22
に規則正しく配列して、一体化し、複合圧電素子
2の本体を形成する。複合圧電素子2の本体の柱
状の無機圧電体21の長さ方向の両端面に電極2
3および24を取り付けて複合圧電素子2を形成
する。
欠いた斜視図である。21はその長さ方向に分極
した柱状の無機圧電体、22は合成樹脂マトリツ
クス、23および24は電極であつて、多数の柱
状の無機圧電体21が合成樹脂マトリツクス22
に規則正しく配列して、一体化し、複合圧電素子
2の本体を形成する。複合圧電素子2の本体の柱
状の無機圧電体21の長さ方向の両端面に電極2
3および24を取り付けて複合圧電素子2を形成
する。
柱状の無機圧電体21は、その長さ方向に分極
されていて、その長さ方向に圧縮されるとその長
さ方向の両端に(+)および(−)の電荷を生じ
るが、その電荷は複合圧電素子2の電極23およ
び24の間の電位差として計測することができ
る。複合圧電素子2の電極23および24の両端
面を圧縮する力を加えると、その力の大きさは複
合圧電素子2の電極23および24の間の電位差
の計測により計測することができる。
されていて、その長さ方向に圧縮されるとその長
さ方向の両端に(+)および(−)の電荷を生じ
るが、その電荷は複合圧電素子2の電極23およ
び24の間の電位差として計測することができ
る。複合圧電素子2の電極23および24の両端
面を圧縮する力を加えると、その力の大きさは複
合圧電素子2の電極23および24の間の電位差
の計測により計測することができる。
本発明の加速度センサーは、第1図に示すとお
り、上面に錘体3を載置した複合圧電素子2がネ
ジ4によつて台座1に固定されているので静止し
ている台座1が急上昇する瞬間、または下降する
台座1が急停止する瞬間に、複合圧電素子2はそ
の上面に載置する錘体3の慣性の力によつて、そ
の電極23および24の両端面に圧縮する力を受
け、それによつてその電極23および24に
(+)および(−)の電荷を生じ、それは電極2
3および24の両端面の電位差により計測するこ
とができる。本発明の加速度センサーは、台座1
をスタツドのネジ穴9により、被験物体(図示な
し)に固定することによつて被験物体に加えられ
た衝撃の大きさを複合圧電素子2の電極23およ
び24の間の電位差の計測によつて計測すること
ができる。
り、上面に錘体3を載置した複合圧電素子2がネ
ジ4によつて台座1に固定されているので静止し
ている台座1が急上昇する瞬間、または下降する
台座1が急停止する瞬間に、複合圧電素子2はそ
の上面に載置する錘体3の慣性の力によつて、そ
の電極23および24の両端面に圧縮する力を受
け、それによつてその電極23および24に
(+)および(−)の電荷を生じ、それは電極2
3および24の両端面の電位差により計測するこ
とができる。本発明の加速度センサーは、台座1
をスタツドのネジ穴9により、被験物体(図示な
し)に固定することによつて被験物体に加えられ
た衝撃の大きさを複合圧電素子2の電極23およ
び24の間の電位差の計測によつて計測すること
ができる。
無機圧電体21の長さ方向の圧縮により生じる
その長さ方向の両端面の電位差〔すなわち、圧縮
により生じる(+)および(−)の電荷の量〕は
無機圧電体21の材質および形状によつて変動す
る固有のものであるから、個々の加速度センサー
について加速度センサーの台座1が受けた衝撃の
大きさと複合圧電素子2の電極23および24の
間の電位差の関係を予備実験において求めておけ
ば、加速度センサー1の台座1が受けた衝撃の大
きさを複合圧電素子2の電極23および24の間
の電位差の計測によつて計測することができる。
その長さ方向の両端面の電位差〔すなわち、圧縮
により生じる(+)および(−)の電荷の量〕は
無機圧電体21の材質および形状によつて変動す
る固有のものであるから、個々の加速度センサー
について加速度センサーの台座1が受けた衝撃の
大きさと複合圧電素子2の電極23および24の
間の電位差の関係を予備実験において求めておけ
ば、加速度センサー1の台座1が受けた衝撃の大
きさを複合圧電素子2の電極23および24の間
の電位差の計測によつて計測することができる。
本発明の加速度センサーの複合圧電素子2にお
ける柱状の無機圧電体21は、圧電特性を有する
ものであれば、これを使用することができるが、
チタン酸バリウム焼結体、チタン酸鉛焼結体また
はチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)焼結体を使用
するのが好ましい。その形状は長サ/幅(辺)の
比が2以上(より好ましくは2〜6)のものを使
用するのが好ましい。さらに柱状の無機圧電体は
6000Kg・f/mm2以上の弾性率を有するものが好ま
しい。柱状の無機圧電体21がこれらの材質、形
状および特性のものであることによつて、台座1
(すなわちこれを固定した被験物体)に加えられ
た衝撃の検出感度を高くすることができる。
ける柱状の無機圧電体21は、圧電特性を有する
ものであれば、これを使用することができるが、
チタン酸バリウム焼結体、チタン酸鉛焼結体また
はチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)焼結体を使用
するのが好ましい。その形状は長サ/幅(辺)の
比が2以上(より好ましくは2〜6)のものを使
用するのが好ましい。さらに柱状の無機圧電体は
6000Kg・f/mm2以上の弾性率を有するものが好ま
しい。柱状の無機圧電体21がこれらの材質、形
状および特性のものであることによつて、台座1
(すなわちこれを固定した被験物体)に加えられ
た衝撃の検出感度を高くすることができる。
本発明の加速度センサーの複合圧電素子2にお
ける合成樹脂マトリツクスの合成樹脂は、無機圧
電体21と結合して一体化しうるものであれば、
これを使用することができ、例えば、シリコンゴ
ム、ウレタンゴム、ブタジエンゴム、ニトリルゴ
ム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴ
ム、フツ素ゴム、エチレンアクリルゴム、ポリエ
ステルエラストマー、エピクロルヒドリンゴム、
アクリルゴムまたは塩素化ポリエチレンゴムなど
を使用するが、シリコンゴム、ウレタンゴムまた
はブタジエンゴムを使用するのが好ましく、また
1〜50Kg・f/mm2の弾性率を有するものを使用す
るのがさらに好ましい。合成樹脂マトリツクス2
2における合成樹脂が、これらの材質および特性
を有することによつて台座1(すなわちこれを固
定した被験物体)に加えられた衝撃の検出感度を
高くすることができる。
ける合成樹脂マトリツクスの合成樹脂は、無機圧
電体21と結合して一体化しうるものであれば、
これを使用することができ、例えば、シリコンゴ
ム、ウレタンゴム、ブタジエンゴム、ニトリルゴ
ム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴ
ム、フツ素ゴム、エチレンアクリルゴム、ポリエ
ステルエラストマー、エピクロルヒドリンゴム、
アクリルゴムまたは塩素化ポリエチレンゴムなど
を使用するが、シリコンゴム、ウレタンゴムまた
はブタジエンゴムを使用するのが好ましく、また
1〜50Kg・f/mm2の弾性率を有するものを使用す
るのがさらに好ましい。合成樹脂マトリツクス2
2における合成樹脂が、これらの材質および特性
を有することによつて台座1(すなわちこれを固
定した被験物体)に加えられた衝撃の検出感度を
高くすることができる。
本発明の加速度センサーの複合圧電素子2にお
ける (無機圧電体)/(合成樹脂マトリツクス) の容積比が8/92〜40/60のものを使用するのが
好ましい。
ける (無機圧電体)/(合成樹脂マトリツクス) の容積比が8/92〜40/60のものを使用するのが
好ましい。
複合圧電素子の圧電特性が高いことによつて、
加速度センサーの圧電素子部品の厚みを薄くする
ことができ、それによつて全体を小型化すること
ができる。
加速度センサーの圧電素子部品の厚みを薄くする
ことができ、それによつて全体を小型化すること
ができる。
複合圧電素子の電気機械結合係数が高いことに
よつて、加速度センサーの錘りを小さくすること
ができ、それによつて全体を小型化することがで
きる。
よつて、加速度センサーの錘りを小さくすること
ができ、それによつて全体を小型化することがで
きる。
特に、本発明の加速度センサーにあつては、圧
電素子を1〜50Kg・f/mm2の弾性率を有する合成
樹脂製のマトリツクス中に、6000Kg・f/mm2以上
の弾性率を有する柱状の無機圧電体を一体化して
構成したことにより、圧電素子に対して適度の剛
性と柔軟性を与えることが可能となり、圧電素子
に斜め方向の加速度が加わつた場合にあつても圧
電素子全体の座屈による破壊あるいは誤計測を阻
止することができる。さらに、合成樹脂マトリツ
クスが適度のダンパー機能として作用することか
ら隣接する柱状無機圧電体同志の緩衝を阻止する
ことが可能となるり、信頼性の高い加速度の測定
が可能となる。
電素子を1〜50Kg・f/mm2の弾性率を有する合成
樹脂製のマトリツクス中に、6000Kg・f/mm2以上
の弾性率を有する柱状の無機圧電体を一体化して
構成したことにより、圧電素子に対して適度の剛
性と柔軟性を与えることが可能となり、圧電素子
に斜め方向の加速度が加わつた場合にあつても圧
電素子全体の座屈による破壊あるいは誤計測を阻
止することができる。さらに、合成樹脂マトリツ
クスが適度のダンパー機能として作用することか
ら隣接する柱状無機圧電体同志の緩衝を阻止する
ことが可能となるり、信頼性の高い加速度の測定
が可能となる。
第1図は本発明の加速度センサーの内部断面を
示す側面図、第2図は本発明の加速度センサーに
おける複合圧電素子の斜視図であり、第3図は公
知の加速度センサーの断面を示す側面図、第4図
は公知の加速度センサーにおける圧電素子の斜視
図である。 図面符号、1……台座、2……複合圧電素子、
3……錘体、4……ネジ、5……ケースの側壁、
6……ケースの蓋、7……ラグ端子、8……リー
ド線、9……スタツドのネジ穴、21……柱状の
無機圧電体、22……合成樹脂マトリツクス、2
3,24……電極。
示す側面図、第2図は本発明の加速度センサーに
おける複合圧電素子の斜視図であり、第3図は公
知の加速度センサーの断面を示す側面図、第4図
は公知の加速度センサーにおける圧電素子の斜視
図である。 図面符号、1……台座、2……複合圧電素子、
3……錘体、4……ネジ、5……ケースの側壁、
6……ケースの蓋、7……ラグ端子、8……リー
ド線、9……スタツドのネジ穴、21……柱状の
無機圧電体、22……合成樹脂マトリツクス、2
3,24……電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 錘体を載置した圧電素子を台座に固定した加
速度センサーにおいて、圧電素子が、合成樹脂マ
トリツクスに、長さ方向に分極した柱状の無機圧
電体を配列して、一体化し、柱状の無機圧電体の
長さ方向の両端面に電極を取り付けた複合圧電素
子であつて、前記合成樹脂マトリツクスにおける
合成樹脂が1〜50Kg・f/mm2の弾性率を有するも
のであり、前記柱状の無機圧電体が6000Kg・f/
mm2以上の弾性率を有するものであることを特徴と
する加速度センサー。 2 柱状の無機圧電体が、2以上の長さ/幅
(辺)の比を有するものであることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の加速度センサー。 3 合成樹脂マトリツクスにおける合成樹脂が、
シリコンゴム、ウレタンゴムおよびブタジエンゴ
ムからなる群より選択されたものであることを特
徴とする特許請求の範囲第1項または第2項に記
載の加速度センサー。 4 柱状の無機圧電体における無機圧電体が、チ
タン酸バリウム、チタン酸鉛およびチタン酸ジル
コン酸鉛からなる群より選択されたものであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第3
項のいずれかに記載の加速度センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24079787A JPS6484152A (en) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | Acceleration sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24079787A JPS6484152A (en) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | Acceleration sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6484152A JPS6484152A (en) | 1989-03-29 |
| JPH0584871B2 true JPH0584871B2 (ja) | 1993-12-03 |
Family
ID=17064831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24079787A Granted JPS6484152A (en) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | Acceleration sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6484152A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4332835A1 (en) | 2022-08-29 | 2024-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing device, image processing method, and storage medium using an attention map for partial images |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821883A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-08 | Hitachi Medical Corp | 複合圧電材料の製造方法 |
| JPS62153767A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-08 | Nippon Denki Sanei Kk | 積層型圧電セラミツク素子 |
-
1987
- 1987-09-28 JP JP24079787A patent/JPS6484152A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4332835A1 (en) | 2022-08-29 | 2024-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing device, image processing method, and storage medium using an attention map for partial images |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6484152A (en) | 1989-03-29 |
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