JPH0585482B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0585482B2 JPH0585482B2 JP60098113A JP9811385A JPH0585482B2 JP H0585482 B2 JPH0585482 B2 JP H0585482B2 JP 60098113 A JP60098113 A JP 60098113A JP 9811385 A JP9811385 A JP 9811385A JP H0585482 B2 JPH0585482 B2 JP H0585482B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- purity
- particle size
- crude
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高純度で均一かつ微細な粒子径を有
する六方晶窒化硼素微粉末の製造方法に関する。 〔従来の技術〕 六方晶窒化硼素(以下、h−BNと記す)は耐
熱性、潤滑性、電気絶縁性、および熱伝導性など
に優れた特性を持つ高温材料である。それ故にh
−BNはこれらの諸特性を生かし、粉末では固体
潤滑材、離型剤などに用いられ、焼結体では溶解
用るつぼ、電気絶縁材料、電子材料など、多岐の
用途に供されている。 ところでh−BN粉末を工業的に製造する方法
としては、公知なものとして硼酸、硼砂などの硼
素化合物とメラミン、尿素、ジシアンジアミド等
の窒素を含む無機あるいは有機化合物との混合物
を、アンモニアガス気流中で800℃以上に加熱し
て還元窒化する方法が挙げられる。(特公昭38−
1610、同45−36213または特開昭47−27200) このようにして得られたh−BN粉末は純度が
70〜90重量%程度のいわゆる粗製の状態であり、
また粉末X線回折法により求めた結晶子の大きさ
(Lc)が100Å以下の乱層結晶構造を有する低結
晶性のものである。さらにこの粉末の粒子径は通
常、0.1μm以下の非常に微細なものである。しか
しながらこのような粗製h−BN粉末はそのまま
では本来の特性が得られないことから、その粗製
粉末を高純度化するための処理を行なう必要があ
る。 上述のように粗製h−BN粉末から純度98重量
%以上の高純度h−BN粉末を得るための従来の
方法としては、その粗製h−BN粉末を窒素、ア
ルゴンガス等の非酸化性ガス気流中において1700
〜2100℃で加熱処理することによつて、粗製h−
BN中に含有されていると考えられる酸化硼素を
主体とする不純物を揮発除去させる方法が一般に
採用されている。この際h−BN粉末の結晶化も
上記加熱処理によつて同時に進行し、結晶成長、
すなわち結晶子の大きさ(Lc)の増大を招き、
また粒子径も最大で3〜5μm程度に発達し、粒度
分布の巾も大きくなる。 第3図には、従来の方法によつて加熱処理した
場合のh−BN粉末の純度と粒子径との関係を示
す。第3図から明らかなように純度と粒子径の間
には、相関性が認められ、純度の向上に対応して
粒子径が増大し、さらに第3図中に破線で示した
ように、粒度分布の巾も拡大する。したがつて加
熱処理によつて高純度化を図ることは必然的に粒
成長につながることになる。このことは従来の方
法では、h−BNの高純度化と結晶化、さらに粒
成長が同時に並行して進むことを意味している。
そこで発明者らは先に特願昭59−117375号におい
て、粗製h−BN粉末に炭素質粉末を添加し、不
活性ガス気流中にて加熱処理することにより、
BN結晶子の発達を抑えることができ、高純度で
低結晶性のh−BN粉末を製造する方法を提案し
た。 この方法は結晶発達の抑制に効果があつたが、
粒子径を抑制することはできず、特にh−BN焼
結体原料粉末として用いられる場合などに必要な
条件である均一かつ微細な粒子を得ることはでき
なかつた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 以上のように従来の方法により得られるh−
BN粉末は高純度でしかも粒子径の大きい粉末
か、または低純度で粒子径の小さい粉末のいずれ
かであり、h−BN純度と粒子径を独立に制御す
ることが困難であつた。 本発明はBNの諸特性を活かすことのできる高
純度で、h−BN焼結体原料として特に有効であ
り均一かつ微細なh−BN微粉末の製造方法を提
供することを目的とする。本発明は、硼酸または
硼砂などの硼素化合物を原料として通常の製法に
より得られた粗製h−BN粉末について上記高純
度の均一でかつ微細なh−BN微粉末を製造する
方法を提供することを目的とする。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明者らの研究によれば、高純度h−BN粉
末を得るために粗製h−BN粉末を従来の方法に
よつて加熱処理すると、純度が98重量%以上の高
純度h−BN粉末が得られるが、粒子径は0.8〜
5μm程度に粒成長し、高純度で粒子径が0.5μm以
下のh−BN粉末の製造は事実上不可能であつ
た。また、先に発明者らが特願昭59−117375号
(特開昭60−260405号公報)において開示した方
法においても、h−BN粉末の結晶子の成長は抑
制できても、粒子の成長までは抑制することはで
きなかつた。そこで本発明者らは実験を重ね、結
晶子成長を抑えつつ、かつ窒化反応を促進し、高
純度微粒子化させるために、アンモニアガスを含
んだ雰囲気中で加熱する方法を見出した。つまり
粗製h−BN粉末に少量の炭素質粉末を添加混合
してアンモニアガス気流中もしくはアンモニアガ
スと窒素、アルゴンガスなどの非酸化性ガスとの
混合ガス気流中にて加熱処理することによつて高
純度で均一かつ粒子径が0.5μm以下のh−BN粉
末を得ることができる。 〔作用〕 以下にこの発明についてさらに具体的に説明す
る。 第2図は本発明の高純度で、かつ、粒子径が
0.5μm以下のh−BNの透過型電子顕微鏡写真で
ある。この微粉末は純度98重量%以上で粒子径が
0.5μm以下の比較的均一な粒子を形成し、h−
BN焼結体原料に適している。 従来法により得られた高純度で、しかも粒子径
が0.8〜5μm程度に粒成長したh−BN粉末を用い
て焼結体を製造する場合、h−BN粉末が熱的、
化学的に安定で難焼結性であることから、通常は
焼結温度1800〜2100℃という高温で成形圧力50〜
300Kg/cm2の範囲でホツトプレスする手法を採用
している。しかしながら上述のような高純度で粒
子径が大きいh−BN粉末を用いて焼結体を製造
すると、h−BN焼結体中の組織において粒子相
互間の接触が少ないために焼結性に乏しく、高密
度の焼結体が得難いと同時に十分な強度を付与す
ることができない。さらにh−BN焼結体中の組
織において粒子が板状に配列することから焼結体
自体に配向性が形成され、ホツトプレス時の加圧
方向とそれに対する直角方向の間に異方性が生
じ、焼結体の熱伝導性、耐食性、熱膨張および強
度などの諸性状が加圧方向とそれに対する直角方
向で著しく異なつてしまい、その結果、焼結母材
からの製品切り出しおよび使用上の制約を受け
る。 本発明の高純度で、均一かつ微細なh−BN粉
末を用いて焼結体を製造すると、熱伝導性、耐食
性および強度などの諸性状に優れ、かつ等方性組
織を有する高密度焼結体を得ることができる。 第1図に本発明の粉末と従来の粉末との特性を
比較して示した。
する六方晶窒化硼素微粉末の製造方法に関する。 〔従来の技術〕 六方晶窒化硼素(以下、h−BNと記す)は耐
熱性、潤滑性、電気絶縁性、および熱伝導性など
に優れた特性を持つ高温材料である。それ故にh
−BNはこれらの諸特性を生かし、粉末では固体
潤滑材、離型剤などに用いられ、焼結体では溶解
用るつぼ、電気絶縁材料、電子材料など、多岐の
用途に供されている。 ところでh−BN粉末を工業的に製造する方法
としては、公知なものとして硼酸、硼砂などの硼
素化合物とメラミン、尿素、ジシアンジアミド等
の窒素を含む無機あるいは有機化合物との混合物
を、アンモニアガス気流中で800℃以上に加熱し
て還元窒化する方法が挙げられる。(特公昭38−
1610、同45−36213または特開昭47−27200) このようにして得られたh−BN粉末は純度が
70〜90重量%程度のいわゆる粗製の状態であり、
また粉末X線回折法により求めた結晶子の大きさ
(Lc)が100Å以下の乱層結晶構造を有する低結
晶性のものである。さらにこの粉末の粒子径は通
常、0.1μm以下の非常に微細なものである。しか
しながらこのような粗製h−BN粉末はそのまま
では本来の特性が得られないことから、その粗製
粉末を高純度化するための処理を行なう必要があ
る。 上述のように粗製h−BN粉末から純度98重量
%以上の高純度h−BN粉末を得るための従来の
方法としては、その粗製h−BN粉末を窒素、ア
ルゴンガス等の非酸化性ガス気流中において1700
〜2100℃で加熱処理することによつて、粗製h−
BN中に含有されていると考えられる酸化硼素を
主体とする不純物を揮発除去させる方法が一般に
採用されている。この際h−BN粉末の結晶化も
上記加熱処理によつて同時に進行し、結晶成長、
すなわち結晶子の大きさ(Lc)の増大を招き、
また粒子径も最大で3〜5μm程度に発達し、粒度
分布の巾も大きくなる。 第3図には、従来の方法によつて加熱処理した
場合のh−BN粉末の純度と粒子径との関係を示
す。第3図から明らかなように純度と粒子径の間
には、相関性が認められ、純度の向上に対応して
粒子径が増大し、さらに第3図中に破線で示した
ように、粒度分布の巾も拡大する。したがつて加
熱処理によつて高純度化を図ることは必然的に粒
成長につながることになる。このことは従来の方
法では、h−BNの高純度化と結晶化、さらに粒
成長が同時に並行して進むことを意味している。
そこで発明者らは先に特願昭59−117375号におい
て、粗製h−BN粉末に炭素質粉末を添加し、不
活性ガス気流中にて加熱処理することにより、
BN結晶子の発達を抑えることができ、高純度で
低結晶性のh−BN粉末を製造する方法を提案し
た。 この方法は結晶発達の抑制に効果があつたが、
粒子径を抑制することはできず、特にh−BN焼
結体原料粉末として用いられる場合などに必要な
条件である均一かつ微細な粒子を得ることはでき
なかつた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 以上のように従来の方法により得られるh−
BN粉末は高純度でしかも粒子径の大きい粉末
か、または低純度で粒子径の小さい粉末のいずれ
かであり、h−BN純度と粒子径を独立に制御す
ることが困難であつた。 本発明はBNの諸特性を活かすことのできる高
純度で、h−BN焼結体原料として特に有効であ
り均一かつ微細なh−BN微粉末の製造方法を提
供することを目的とする。本発明は、硼酸または
硼砂などの硼素化合物を原料として通常の製法に
より得られた粗製h−BN粉末について上記高純
度の均一でかつ微細なh−BN微粉末を製造する
方法を提供することを目的とする。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明者らの研究によれば、高純度h−BN粉
末を得るために粗製h−BN粉末を従来の方法に
よつて加熱処理すると、純度が98重量%以上の高
純度h−BN粉末が得られるが、粒子径は0.8〜
5μm程度に粒成長し、高純度で粒子径が0.5μm以
下のh−BN粉末の製造は事実上不可能であつ
た。また、先に発明者らが特願昭59−117375号
(特開昭60−260405号公報)において開示した方
法においても、h−BN粉末の結晶子の成長は抑
制できても、粒子の成長までは抑制することはで
きなかつた。そこで本発明者らは実験を重ね、結
晶子成長を抑えつつ、かつ窒化反応を促進し、高
純度微粒子化させるために、アンモニアガスを含
んだ雰囲気中で加熱する方法を見出した。つまり
粗製h−BN粉末に少量の炭素質粉末を添加混合
してアンモニアガス気流中もしくはアンモニアガ
スと窒素、アルゴンガスなどの非酸化性ガスとの
混合ガス気流中にて加熱処理することによつて高
純度で均一かつ粒子径が0.5μm以下のh−BN粉
末を得ることができる。 〔作用〕 以下にこの発明についてさらに具体的に説明す
る。 第2図は本発明の高純度で、かつ、粒子径が
0.5μm以下のh−BNの透過型電子顕微鏡写真で
ある。この微粉末は純度98重量%以上で粒子径が
0.5μm以下の比較的均一な粒子を形成し、h−
BN焼結体原料に適している。 従来法により得られた高純度で、しかも粒子径
が0.8〜5μm程度に粒成長したh−BN粉末を用い
て焼結体を製造する場合、h−BN粉末が熱的、
化学的に安定で難焼結性であることから、通常は
焼結温度1800〜2100℃という高温で成形圧力50〜
300Kg/cm2の範囲でホツトプレスする手法を採用
している。しかしながら上述のような高純度で粒
子径が大きいh−BN粉末を用いて焼結体を製造
すると、h−BN焼結体中の組織において粒子相
互間の接触が少ないために焼結性に乏しく、高密
度の焼結体が得難いと同時に十分な強度を付与す
ることができない。さらにh−BN焼結体中の組
織において粒子が板状に配列することから焼結体
自体に配向性が形成され、ホツトプレス時の加圧
方向とそれに対する直角方向の間に異方性が生
じ、焼結体の熱伝導性、耐食性、熱膨張および強
度などの諸性状が加圧方向とそれに対する直角方
向で著しく異なつてしまい、その結果、焼結母材
からの製品切り出しおよび使用上の制約を受け
る。 本発明の高純度で、均一かつ微細なh−BN粉
末を用いて焼結体を製造すると、熱伝導性、耐食
性および強度などの諸性状に優れ、かつ等方性組
織を有する高密度焼結体を得ることができる。 第1図に本発明の粉末と従来の粉末との特性を
比較して示した。
以下本発明の実施例を従来法による比較例とと
もに記す。 実施例 1 硼酸とメラミンとを1:1の重量比率で混合
し、アンモニアガス気流中にて900℃、2時間の
条件で加熱処理して純度83%、粒子径0.01〜
0.04μm(Lc=48Å)の粗製h−BN粉末を製造し
た。この粉末に対して非晶質黒鉛粉末を1.5重量
%添加し、アルミナ製ボールミルを用いて乾式混
合した。その混合物を黒鉛製るつぼに自然充填
し、アンモニアガス気流中で高周波加熱炉により
1600℃、2時間の条件で加熱処理した。加熱処理
後のh−BN粉末の純度は99.4%、粒子径は0.1〜
0.4μm(Lc=213Å)であつた。 実施例 2 硼砂と尿素とを1:1.5の重量比率で混合し、
アンモニアガス気流中にて900℃、2時間の条件
で加熱処理した後、水洗し、Na分を除去して純
度89%、粒子径0.02〜0.03μm(Lc=84Å)の粗製
h−BN粉末を製造した。この粉末に対して非晶
質黒鉛粉末を1.0重量%添加し、乾式混合後、黒
鉛製るつぼに自然充填し、アンモニアガスと窒素
ガスの混合ガス(容量非1:1)気流中にて1800
℃、1時間の条件で加熱処理した。加熱処理後の
h−BN粉末の純度は99.9%、粒子径は0.2〜
0.5μm(Lc=272Å)であつた。 実施例 3 実施例1と同様の原料を用いてアンモニアガス
気流中にて800℃、1時間の条件で加熱処理して
純度71%、粒子径0.01〜0.02μm(Lc=19Å)の粗
製h−BN粉末を製造した。この粉末に対して非
晶質黒鉛粉末を2.6重量%添加し、乾式混合後、
10mmφ×10mmHのタブレツト状成形体を黒鉛製る
つぼに入れてアンモニアガス気流中にて1700℃、
2時間の条件で加熱処理した。加熱処理後のh−
BN粉末の純度は99.1%、粒子径0.1〜0.5μm(Lc
=236Å)であつた。 比較例 1 実施例1で用いた粗製h−BN粉末を黒鉛製る
つぼに自然充填し、窒素ガス気流中にて1800℃、
1時間の条件で加熱処理後のh−BN粉末の純度
99.7%、粒子径0.8〜5μm(Lc=786Å)であつた。 〔発明の効果〕 本発明の高純度六方晶窒化硼素粉末の製造方法
は以上のように構成されており、従来の方法では
製造が不可能であつた高純度で均一かつ微細な粒
子径を有する六方晶窒化硼素微粉末を簡単な工程
によつて安定的に極めて効率よく、製造すること
ができる。
もに記す。 実施例 1 硼酸とメラミンとを1:1の重量比率で混合
し、アンモニアガス気流中にて900℃、2時間の
条件で加熱処理して純度83%、粒子径0.01〜
0.04μm(Lc=48Å)の粗製h−BN粉末を製造し
た。この粉末に対して非晶質黒鉛粉末を1.5重量
%添加し、アルミナ製ボールミルを用いて乾式混
合した。その混合物を黒鉛製るつぼに自然充填
し、アンモニアガス気流中で高周波加熱炉により
1600℃、2時間の条件で加熱処理した。加熱処理
後のh−BN粉末の純度は99.4%、粒子径は0.1〜
0.4μm(Lc=213Å)であつた。 実施例 2 硼砂と尿素とを1:1.5の重量比率で混合し、
アンモニアガス気流中にて900℃、2時間の条件
で加熱処理した後、水洗し、Na分を除去して純
度89%、粒子径0.02〜0.03μm(Lc=84Å)の粗製
h−BN粉末を製造した。この粉末に対して非晶
質黒鉛粉末を1.0重量%添加し、乾式混合後、黒
鉛製るつぼに自然充填し、アンモニアガスと窒素
ガスの混合ガス(容量非1:1)気流中にて1800
℃、1時間の条件で加熱処理した。加熱処理後の
h−BN粉末の純度は99.9%、粒子径は0.2〜
0.5μm(Lc=272Å)であつた。 実施例 3 実施例1と同様の原料を用いてアンモニアガス
気流中にて800℃、1時間の条件で加熱処理して
純度71%、粒子径0.01〜0.02μm(Lc=19Å)の粗
製h−BN粉末を製造した。この粉末に対して非
晶質黒鉛粉末を2.6重量%添加し、乾式混合後、
10mmφ×10mmHのタブレツト状成形体を黒鉛製る
つぼに入れてアンモニアガス気流中にて1700℃、
2時間の条件で加熱処理した。加熱処理後のh−
BN粉末の純度は99.1%、粒子径0.1〜0.5μm(Lc
=236Å)であつた。 比較例 1 実施例1で用いた粗製h−BN粉末を黒鉛製る
つぼに自然充填し、窒素ガス気流中にて1800℃、
1時間の条件で加熱処理後のh−BN粉末の純度
99.7%、粒子径0.8〜5μm(Lc=786Å)であつた。 〔発明の効果〕 本発明の高純度六方晶窒化硼素粉末の製造方法
は以上のように構成されており、従来の方法では
製造が不可能であつた高純度で均一かつ微細な粒
子径を有する六方晶窒化硼素微粉末を簡単な工程
によつて安定的に極めて効率よく、製造すること
ができる。
第1図は本発明の製造方法における炭素質粉末
の添加量と得られたh−BN粉末の純度との関係
を示す相関図、第2図は本発明によつて得られた
h−BN粉末の粒子構造を示す透過型電子顕微鏡
写真、第3図は、従来法により得られたh−BN
粉末の純度と粒子径との関係を示す相関図であ
る。
の添加量と得られたh−BN粉末の純度との関係
を示す相関図、第2図は本発明によつて得られた
h−BN粉末の粒子構造を示す透過型電子顕微鏡
写真、第3図は、従来法により得られたh−BN
粉末の純度と粒子径との関係を示す相関図であ
る。
Claims (1)
- 1 粗製六方晶窒化硼素粉末に、その全不純物量
に対して5〜15重量%の炭素管粉末を添加混合
し、アンモニアガスもしくはアンモニアガスと非
酸化性ガスとの混合ガス気流中にて1500℃以上の
温度で加熱処理することを特徴とする高純度六法
晶窒化硼素微粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9811385A JPS61256905A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 高純度六方晶窒化硼素微粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9811385A JPS61256905A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 高純度六方晶窒化硼素微粉末の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61256905A JPS61256905A (ja) | 1986-11-14 |
| JPH0585482B2 true JPH0585482B2 (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=14211263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9811385A Granted JPS61256905A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 高純度六方晶窒化硼素微粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61256905A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018123788A1 (en) | 2016-12-28 | 2018-07-05 | Showa Denko K.K. | Hexagonal boron nitride powder, method for producing same, resin composition and resin sheet |
| WO2018124126A1 (ja) | 2016-12-28 | 2018-07-05 | 昭和電工株式会社 | 六方晶窒化ホウ素粉末、その製造方法、樹脂組成物及び樹脂シート |
| US10781352B2 (en) | 2015-09-03 | 2020-09-22 | Showa Denko K.K. | Powder of hexagonal boron nitride, process for producing same, resin composition, and resin sheet |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2655638A1 (fr) * | 1989-12-08 | 1991-06-14 | Rhone Poulenc Chimie | Nitrure de bore hexagonal monodisperse de haute purete vis-a-vis des metaux et de l'oxygene et son procede de preparation. |
| JP3175483B2 (ja) * | 1994-06-30 | 2001-06-11 | 日本鋼管株式会社 | 窒化ホウ素含有材料およびその製造方法 |
| JP2720381B2 (ja) * | 1995-10-03 | 1998-03-04 | アドバンス・セラミックス・インターナショナル コーポレーション | 任意の電気抵抗率を有する熱分解窒化ホウ素成形体の製造方法 |
| JP5598242B2 (ja) * | 2010-10-14 | 2014-10-01 | 株式会社リコー | 一成分現像用トナー、現像剤入り容器、画像形成方法、プロセスカートリッジ及び画像形成装置 |
| JP5987322B2 (ja) * | 2012-01-17 | 2016-09-07 | 国立大学法人 香川大学 | 金属酸化物含有窒化ホウ素の製造方法 |
| WO2016092952A1 (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-16 | 昭和電工株式会社 | 六方晶窒化ホウ素粉末、その製造方法、樹脂組成物及び樹脂シート |
| WO2016092951A1 (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-16 | 昭和電工株式会社 | 六方晶窒化ホウ素粉末、その製造方法、樹脂組成物及び樹脂シート |
| JP7069485B2 (ja) | 2017-12-27 | 2022-05-18 | 昭和電工株式会社 | 六方晶窒化ホウ素粉末及びその製造方法、並びにそれを用いた組成物及び放熱材 |
-
1985
- 1985-05-10 JP JP9811385A patent/JPS61256905A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10781352B2 (en) | 2015-09-03 | 2020-09-22 | Showa Denko K.K. | Powder of hexagonal boron nitride, process for producing same, resin composition, and resin sheet |
| WO2018123788A1 (en) | 2016-12-28 | 2018-07-05 | Showa Denko K.K. | Hexagonal boron nitride powder, method for producing same, resin composition and resin sheet |
| WO2018124126A1 (ja) | 2016-12-28 | 2018-07-05 | 昭和電工株式会社 | 六方晶窒化ホウ素粉末、その製造方法、樹脂組成物及び樹脂シート |
| KR20190082951A (ko) | 2016-12-28 | 2019-07-10 | 쇼와 덴코 가부시키가이샤 | 육방정 질화붕소 분말, 그 제조 방법, 수지 조성물 및 수지 시트 |
| US11305993B2 (en) | 2016-12-28 | 2022-04-19 | Showa Denko K.K. | Hexagonal boron nitride powder, method for producing same, resin composition and resin sheet |
| US11577957B2 (en) | 2016-12-28 | 2023-02-14 | Showa Denko K.K. | Hexagonal boron nitride powder, method for producing same, resin composition and resin sheet |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61256905A (ja) | 1986-11-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR890002543B1 (ko) | 고순도육방정질화붕소분말및제조방법 | |
| JPS5850929B2 (ja) | 炭化ケイ素粉末の製造方法 | |
| US4387079A (en) | Method of manufacturing high-purity silicon nitride powder | |
| US5246683A (en) | Process for producing small particles of aluminum nitride and particles so-produced | |
| JPH0585482B2 (ja) | ||
| US4224073A (en) | Active silicon carbide powder containing a boron component and process for producing the same | |
| KR102574046B1 (ko) | 보론 카바이드의 저온 제조 방법 | |
| JPH1059702A (ja) | 窒化ホウ素及びその製造方法 | |
| JPS5913442B2 (ja) | 高純度の型窒化珪素の製造法 | |
| JPH1072205A (ja) | 微細な盤状六方晶窒化ホウ素粉末及びその製造方法 | |
| JP3647079B2 (ja) | 六方晶窒化ほう素粉末の製造方法 | |
| JPS60260405A (ja) | 六方晶窒化硼素粉末およびその製造方法 | |
| KR20040075325A (ko) | 반도체 다이아몬드 합성용 흑연재 및 이를 사용하여제조되는 반도체 다이아몬드 | |
| JPS62100403A (ja) | 高純度六方晶窒化硼素微粉末の製造方法 | |
| JP3397503B2 (ja) | 低圧相窒化ほう素粉末の製造方法 | |
| JPH0735304B2 (ja) | 窒化ホウ素焼結体の製造法 | |
| JPH03115109A (ja) | 窒化硼素粉末 | |
| JPH01179763A (ja) | 窒化ホウ素と窒化ケイ素の複合焼結体の製造方法 | |
| JPH0610081B2 (ja) | 六方晶窒化硼素の製造方法 | |
| KR100341723B1 (ko) | 자전 고온반응 합성법을 이용한 육방정 질화붕소 분말의제조 방법 | |
| JP2767393B2 (ja) | 窒化ほう素焼結体の製造方法 | |
| JPS6172606A (ja) | 焼結特性の優れた六方晶窒化硼素の製造方法 | |
| JPH01103959A (ja) | 窒化ホウ素焼結体の製造方法 | |
| JP5033948B2 (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法ならびに窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPS60191013A (ja) | 球状炭化珪素粉末の製造方法 |