JPH0585533U

JPH0585533U - 静圧継手を有するテーブル送り装置

Info

Publication number: JPH0585533U
Application number: JP3400992U
Authority: JP
Inventors: 俊哉前山
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 1992-04-22
Filing date: 1992-04-22
Publication date: 1993-11-19

Abstract

(57)【要約】【目的】高精度な部品を加工する精密工作機械やウエハ
搬送におけるボールねじで駆動するテーブルの送り装置
に関し、特に、ボールねじのナットの支持に静圧軸受を
用いたものに関する。ボールねじの回転軸芯と静圧継手
の支持面の直交度が少々狂っていても、振動が生じ難
く、送り精度が安定した静圧継手を有するテーブル送り
装置を提供することを目的とする。【構成】Ｈ型をした基台１と、基台１上に平行に設けた
一対のガイド２・２と、前記ガイド２・２間に設けた両
端支持される駆動用ボールねじ４と、ボールねじのナッ
ト６とテーブル３を非接触に連結する静圧継手８よりな
るテーブルの送り装置において、駆動力の作用方向にの
み剛性を持たせかつ、曲げ方向には柔軟になる様に、ボ
ールねじ軸のねじ部と支持軸受間に、複数の低剛性な切
り欠き９を設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本発明は、精密工作機械やウエハ搬送におけるボールねじで駆動するテーブルの送り装置に関し、特に、ボールねじのナットの支持に静圧軸受を用いたものに関する。

【０００２】

【従来の技術】

静圧軸受ガイドにより案内される、ラジアル静圧軸受で支持されるボールねじによって駆動するテーブルの送り精度や振動の影響を少なくし、高精度化を実現するため、ボールねじの傾斜や芯ずれ等の誤差を吸収し、真直性能を向上するものとして、基台と、基台上に平行に設けた一対のガイドと、このガイド間に、転がり軸受により支持された伝導軸とラジアル静圧軸受で支持されるボールねじとをフレキシブル・カップリングを介し連結したものがある（例えば、特開平１− １５９１５２号公報）。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、従来の技術は、フレキシブル・カップリングと伝導軸およびボールねじの３部材の軸芯を同芯に調整するのが面倒であり、また、伝導軸を支持するための転がり軸受を別途に設けなければならない。特に、静圧継手を有するテーブルの送り装置に適用する場合、各軸芯が完全に一致しかつ、ボールねじの軸芯と静圧継手の静圧支持面の直交度が十分にでていないと、静圧継手に偏芯荷重がかかり、振動が生じたり、送り精度が安定しないという問題がある。現実には、ボールねじの軸芯と静圧継手の静圧支持面の直交度をミクロン・オーダで調整するのは至難の技である。そこで、本考案は、ボールねじの回転軸芯と静圧継手の支持面の直交度が少々狂っていても、振動が生じ難く、送り精度が安定した静圧継手を有するテーブル送り装置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上記課題を解決するため、Ｈ型をした基台１と、基台１上に平行に設けた一対のガイド２・２と、前記ガイド２・２間に設けた両端支持される駆動用ボールねじ４と、ボールねじのナット６とテーブル３を非接触に連結する静圧継手８よりなるテーブルの送り装置において、ボールねじ軸のねじ部と支持軸受間に、複数の低剛性な切り欠き９を設ける。

【０００５】

【作用】

静圧継手の加圧流体による静圧力でボールねじを切り欠き部で強制変位させ、ナットとテーブルを連結する静圧継手の駆動側と受動側との静圧支持面間のギャップを平衡・維持する。

【０００６】

【実施例】

以下に本発明の具体的実施例を図１および図２に示して説明する。図１（ａ）はテーブルの送り装置の側断面図、図１（ｂ）は断面図である。図２はボールねじのナットとテーブルの取付け関係を示す、部分側断面図である。Ｈ型をした基台１の両側のフリンジ部には、静圧軸受、摺動、リニア・ボールベアリングや磁気軸受よりなるガイド２・２を形成してある。ガイド２・２には、チャンネル形状をしたテーブル３の両内側のリップ部を対向させ、テーブル３を移動自在に支持している。テーブル３の軸方向・大略中央部には、ボールねじ４が貫通する軸方向孔を有するスラスト板８１を固定してある。スラスト板８１の軸方向・両側面は、空隙を介し、静圧継手８のＵ型をした溝部・両側面と軸・直角方向に対面させてある。静圧継手８の軸方向・一端には、ボールねじ４が貫通する軸方向孔を有すホルダ７を介して、ボールねじ４に嵌合するのナット６を固定してある。ボールねじ４の回転により、テーブル３が基台１のＨ型溝内を移動するようにしてある。ボールねじ４のねじ部とペデスタル５間の軸部には、４ヵ所に低剛性な切欠き９を設けてある。組立時、静圧継手８の静圧支持面８２の駆動側と受動側のなすギャップに不平衡があると、静圧継手８の加圧流体による静圧力がギャップを平衡させるように作用する。この平衡させようとする力により、静圧継手８のナット６に、図２にＭで示すような、モーメントが働き、ボールねじ４を切り欠き９部で強制変位させ、ナット６とテーブル３を連結する静圧継手８の駆動側と受動側とのなす静圧支持面８２間のギャップを平衡・維持する。ボールねじ４の強制変位の様子を、模式的に、図３に示す。ボールねじ４は、ペデスタル５に内装した軸受により両端をピン・ジョイントで支持される。このピン・ジョイント間でボールねじ４は、ボールねじ４の軸芯と静圧継手８の静圧支持面の直交度に狂いのないときはＢであったものが、直交度に狂いが生じたときは静圧継手の静圧支持面８２で静圧が均一になるようにボールねじ４に曲げモーメントが働き、Ａのように４個所の切り欠き９部で、最も変位量の大きいところでも１０数ミクロン程度折れ曲がり、ボールねじ４の軸芯と静圧継手８の静圧支持面８２の直交度を平衡・維持する。

【０００７】

【考案の効果】

以上述べた様に、本考案によれば組立精度が少々悪く、ボールねじの回転軸芯と静圧継手の支持面の直交度が少々狂っていても、静圧継手の加圧流体による静圧力でボールねじを切り欠きで強制変位させ、ボールねじ４の軸芯と静圧継手の支持面の直交度を平衡・維持するので、テーブルの振動が生じ難く、送り精度が安定した静圧継手を有するテーブル送り装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本考案の実施例を示すテーブルの送り装
置の側断面図。（ｂ）本考案の実施例を示すテーブルの送り装置の断面
図。

【図２】本考案の実施例におけるボールねじのナットと
テーブルの取付け関係を示す、部分側断面図。

【図３】本考案の実施例におけるボールねじの強制変位
を示す模式図。

【符号の説明】

１基台２ガイド３テーブル４ボールねじ５ペデスタル６ナット７ホルダ８静圧継手８１スラスト板８２静圧支持面９切り欠き

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】Ｈ型をした基台１と、基台１上に平行に
設けた一対のガイド２・２と、前記ガイド２・２間に設
けた両端支持される駆動用ボールねじ４と、ボールねじ
４のナット６とテーブル３を非接触に連結する静圧継手
８よりなるテーブルの送り装置において、ボールねじ４
軸のねじ部とペデスタル５に内装した支持軸受間に、複
数の低剛性な切り欠き９を設けたことを特徴とする静圧
継手を有するテーブル送り装置。