JPH0740178A - テーブル駆動装置 - Google Patents
テーブル駆動装置Info
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- JPH0740178A JPH0740178A JP5190576A JP19057693A JPH0740178A JP H0740178 A JPH0740178 A JP H0740178A JP 5190576 A JP5190576 A JP 5190576A JP 19057693 A JP19057693 A JP 19057693A JP H0740178 A JPH0740178 A JP H0740178A
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- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 17
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 14
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract description 5
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 abstract 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 9
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
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- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H2025/2445—Supports or other means for compensating misalignment or offset between screw and nut
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置を大型化することなく、送りねじの回転
に伴うナットのふれ成分に影響されずに精度良くテーブ
ルを移動させる。 【構成】 テーブル駆動装置は、テーブル１０の一部が
移動可能に係合するガイド部１１ａと、テーブル１０の
移動方向に平行に配置されたボールねじ１４と、ボール
ねじ１４を回転する駆動モータ１５と、ボールねじ１４
に螺合するナット１６と、ナット１６に結合されたナッ
ト結合部１７ａおよびガイド部１１ａに移動可能に係合
した係合部１７ｂを有し、ボールねじ１４の回転に応じ
てナット１６と共にボールねじ１４およびガイド部１１
ａに沿って移動するナットホルダ１７と、ナットホルダ
１７の係合部１７ｂとテーブル１０の係合部とを、テー
ブル１０の移動方向に直交する面内で転動可能なボール
を介して連結する結合機構２０とを備えている。
に伴うナットのふれ成分に影響されずに精度良くテーブ
ルを移動させる。 【構成】 テーブル駆動装置は、テーブル１０の一部が
移動可能に係合するガイド部１１ａと、テーブル１０の
移動方向に平行に配置されたボールねじ１４と、ボール
ねじ１４を回転する駆動モータ１５と、ボールねじ１４
に螺合するナット１６と、ナット１６に結合されたナッ
ト結合部１７ａおよびガイド部１１ａに移動可能に係合
した係合部１７ｂを有し、ボールねじ１４の回転に応じ
てナット１６と共にボールねじ１４およびガイド部１１
ａに沿って移動するナットホルダ１７と、ナットホルダ
１７の係合部１７ｂとテーブル１０の係合部とを、テー
ブル１０の移動方向に直交する面内で転動可能なボール
を介して連結する結合機構２０とを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、研削盤等の工作機械に
用いられる移動テーブルを駆動するテーブル駆動装置に
関する。
用いられる移動テーブルを駆動するテーブル駆動装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、上述のような移動テーブルを移動
させる場合には、ボールねじのような送りねじを用いた
機構が多く用いられている。ところが、送りねじに螺合
したナットをテーブルに直接接合すると、送りねじの回
転に伴うナットのふれや、ねじりモーメントや、振動等
（以下、これらをナットのふれ成分という。）が全てテ
ーブルに伝わるため、テーブルを精度良く移動させるこ
とが困難になる。
させる場合には、ボールねじのような送りねじを用いた
機構が多く用いられている。ところが、送りねじに螺合
したナットをテーブルに直接接合すると、送りねじの回
転に伴うナットのふれや、ねじりモーメントや、振動等
（以下、これらをナットのふれ成分という。）が全てテ
ーブルに伝わるため、テーブルを精度良く移動させるこ
とが困難になる。
【０００３】そこで、例えば特開昭６３−１８５５５０
号公報には、テーブルをメインテーブルとサブテーブル
とに分割し、この両テーブルを連結する結合機構を備え
た移動テーブルが示されている。この結合機構は、送り
ねじの軸線に直交しかつ背中合わせに対向させた一対の
案内面を有する案内継手と、一方の案内面に対向させた
ボール保持面、および他方の案内面に対向させたボール
押圧面を有する予圧付加手段を備えた押え継手と、押え
継手のボール保持面と案内継手の一方の案内面との間お
よびボール押圧面と案内継手の他方の案内面との間にそ
れぞれ介在された一対のボールとを備えている。この移
動テーブルによれば、ボールが転動することにより、送
りねじの回転に伴うナットのふれ成分を吸収することが
可能となる。
号公報には、テーブルをメインテーブルとサブテーブル
とに分割し、この両テーブルを連結する結合機構を備え
た移動テーブルが示されている。この結合機構は、送り
ねじの軸線に直交しかつ背中合わせに対向させた一対の
案内面を有する案内継手と、一方の案内面に対向させた
ボール保持面、および他方の案内面に対向させたボール
押圧面を有する予圧付加手段を備えた押え継手と、押え
継手のボール保持面と案内継手の一方の案内面との間お
よびボール押圧面と案内継手の他方の案内面との間にそ
れぞれ介在された一対のボールとを備えている。この移
動テーブルによれば、ボールが転動することにより、送
りねじの回転に伴うナットのふれ成分を吸収することが
可能となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この移
動テーブルでは、テーブルを大きく２つに分割している
ため装置が大きくなるという問題点がある。また、テー
ブルを案内する案内面と、サブテーブルからメインテー
ブルへの力の伝達が行われる結合機構とがオフセットし
ているため、特にピッチング（テーブルの移動方向に対
して左右方向を向く軸線周りの振動）を生じさせるよう
な力がメインテーブルに加わり、テーブルの移動の精度
が劣るという問題点がある。
動テーブルでは、テーブルを大きく２つに分割している
ため装置が大きくなるという問題点がある。また、テー
ブルを案内する案内面と、サブテーブルからメインテー
ブルへの力の伝達が行われる結合機構とがオフセットし
ているため、特にピッチング（テーブルの移動方向に対
して左右方向を向く軸線周りの振動）を生じさせるよう
な力がメインテーブルに加わり、テーブルの移動の精度
が劣るという問題点がある。
【０００５】さらに、ボールが転動する範囲に均等な予
圧を与えることが困難であるという問題点がある。ま
た、一対のボール間の一点で推力を与えるため、大型の
テーブルに使用することができないという問題点があ
る。そこで本発明の第１の目的は、装置を大型化するこ
となく、送りねじの回転に伴うナットのふれ成分に影響
されずに精度良くテーブルを移動させることのできるテ
ーブル駆動装置を提供することにある。
圧を与えることが困難であるという問題点がある。ま
た、一対のボール間の一点で推力を与えるため、大型の
テーブルに使用することができないという問題点があ
る。そこで本発明の第１の目的は、装置を大型化するこ
となく、送りねじの回転に伴うナットのふれ成分に影響
されずに精度良くテーブルを移動させることのできるテ
ーブル駆動装置を提供することにある。
【０００６】また、本発明の第２の目的は、上記第１の
目的に加え、送りねじの回転に伴うナットのふれ成分を
吸収するボールに対して略均等な予圧を与えることがで
き、また、大型のテーブルにも使用することのできるテ
ーブル駆動装置を提供することにある。
目的に加え、送りねじの回転に伴うナットのふれ成分を
吸収するボールに対して略均等な予圧を与えることがで
き、また、大型のテーブルにも使用することのできるテ
ーブル駆動装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明のテ
ーブル駆動装置は、テーブルの一部が移動可能に係合し
てテーブルを案内するためのガイド部と、テーブルの移
動方向に対して平行に配置された送りねじと、この送り
ねじを回転する駆動手段と、送りねじに螺合するナット
と、このナットに結合されたナット結合部およびガイド
部に対して移動可能に係合した係合部を有し、送りねじ
の回転に応じてナットと共に送りねじおよびガイド部に
沿って移動するナットホルダと、このナットホルダの係
合部とテーブルのガイド部に係合する部分とを、テーブ
ルの移動方向に直交する面内で転動可能なボールを介し
て連結する連結部とを備えたものである。
ーブル駆動装置は、テーブルの一部が移動可能に係合し
てテーブルを案内するためのガイド部と、テーブルの移
動方向に対して平行に配置された送りねじと、この送り
ねじを回転する駆動手段と、送りねじに螺合するナット
と、このナットに結合されたナット結合部およびガイド
部に対して移動可能に係合した係合部を有し、送りねじ
の回転に応じてナットと共に送りねじおよびガイド部に
沿って移動するナットホルダと、このナットホルダの係
合部とテーブルのガイド部に係合する部分とを、テーブ
ルの移動方向に直交する面内で転動可能なボールを介し
て連結する連結部とを備えたものである。
【０００８】請求項２記載の発明のテーブル駆動装置
は、請求項１記載の発明において、連結部のボールが円
周上に複数個配置され、連結部がこの複数のボールに対
して予圧を付加する予圧付加手段を有するものである。
は、請求項１記載の発明において、連結部のボールが円
周上に複数個配置され、連結部がこの複数のボールに対
して予圧を付加する予圧付加手段を有するものである。
【０００９】
【作用】請求項１記載の発明のテーブル駆動装置では、
テーブルは、その一部がガイド部に係合し、このガイド
部によって案内される。駆動手段によって送りねじを回
転させると、この送りねじに螺合したナットはナットホ
ルダによって回り止めがされているため、送りねじに沿
って移動し、このナットに連結されたナットホルダは送
りねじおよびガイド部に沿って移動する。そして、ナッ
トホルダの移動によって、このナットホルダに対して連
結部を介して連結されたテーブルがガイド部に沿って移
動する。ここで、連結部はナットホルダの係合部とテー
ブルのガイド部に係合する部分とを、テーブルの移動方
向に直交する面内で転動可能なボールを介して連結して
いるため、このボールが転動することによって、送りね
じの回転に伴うナットのふれ成分がテーブルに伝わるこ
とが防止される。また、ナットホルダの係合部とテーブ
ルのガイド部に係合する部分とがガイド部に係合した状
態で連結部によって連結されており、ナットホルダから
テーブルへの力の伝達がガイド部内で行われるため、ピ
ッチングを生じさせるような力がテーブルに加わること
がない。
テーブルは、その一部がガイド部に係合し、このガイド
部によって案内される。駆動手段によって送りねじを回
転させると、この送りねじに螺合したナットはナットホ
ルダによって回り止めがされているため、送りねじに沿
って移動し、このナットに連結されたナットホルダは送
りねじおよびガイド部に沿って移動する。そして、ナッ
トホルダの移動によって、このナットホルダに対して連
結部を介して連結されたテーブルがガイド部に沿って移
動する。ここで、連結部はナットホルダの係合部とテー
ブルのガイド部に係合する部分とを、テーブルの移動方
向に直交する面内で転動可能なボールを介して連結して
いるため、このボールが転動することによって、送りね
じの回転に伴うナットのふれ成分がテーブルに伝わるこ
とが防止される。また、ナットホルダの係合部とテーブ
ルのガイド部に係合する部分とがガイド部に係合した状
態で連結部によって連結されており、ナットホルダから
テーブルへの力の伝達がガイド部内で行われるため、ピ
ッチングを生じさせるような力がテーブルに加わること
がない。
【００１０】請求項２記載の発明のテーブル駆動装置で
は、連結部において、円周上に配置された複数個のボー
ルに対して、予圧付加手段によって予圧が付加される。
複数のボールが円周上に配置されていることから、ボー
ルに対して略均等な予圧を与えることができ、また、複
数のボールによって力を伝達するため大型のテーブルに
も使用することが可能となる。
は、連結部において、円周上に配置された複数個のボー
ルに対して、予圧付加手段によって予圧が付加される。
複数のボールが円周上に配置されていることから、ボー
ルに対して略均等な予圧を与えることができ、また、複
数のボールによって力を伝達するため大型のテーブルに
も使用することが可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明のテーブル駆動装置における一
実施例について図面を参照して詳細に説明する。図１は
本実施例のテーブル駆動装置の一部を切り欠いて示す斜
視図、図２は図１における結合機構部分のテーブル移動
方向に対して垂直な断面を示す断面図、図３は図２のＡ
−Ａ′線断面、図４は図２におけるショルダボルト部分
およびボール２６の指示部分を拡大して示す断面図であ
る。
実施例について図面を参照して詳細に説明する。図１は
本実施例のテーブル駆動装置の一部を切り欠いて示す斜
視図、図２は図１における結合機構部分のテーブル移動
方向に対して垂直な断面を示す断面図、図３は図２のＡ
−Ａ′線断面、図４は図２におけるショルダボルト部分
およびボール２６の指示部分を拡大して示す断面図であ
る。
【００１２】図１に示すように、このテーブル駆動装置
は、ベース１１と、このベース１１上に設けられた２つ
のガイド１２、１２を備え、これらによって、テーブル
１０を移動可能に支持し、かつ案内するようになってい
る。図２に示すように、ベース１１は、その上面に、テ
ーブル１０の移動方向に沿った断面矩形の溝部よりなる
ガイド部１１ａを有している。図１に示すように、テー
ブル１０は、ベース１１上に載置されていると共に、図
３に示すように、ガイド部１１ａに係合する係合部１０
ａを有している。また、テーブル１０はベース１１上に
載置される部分の両側部にフランジ部１０ｂ、１０ｂを
有し、ガイド１２、１２は、このフランジ部１０ｂ、１
０ｂを上から押さえるようになっている。そして、図２
に示すように、テーブル１０のフランジ部１０ｂの上端
面に接するガイド１２の端面１２ｃ、テーブル１０の下
端面が接するベース１１の上端面１１ｂおよびガイド部
１１ａの両側面１１ｃ、１１ｃが、油膜を介してテーブ
ル１０を案内する静圧案内面になっている。
は、ベース１１と、このベース１１上に設けられた２つ
のガイド１２、１２を備え、これらによって、テーブル
１０を移動可能に支持し、かつ案内するようになってい
る。図２に示すように、ベース１１は、その上面に、テ
ーブル１０の移動方向に沿った断面矩形の溝部よりなる
ガイド部１１ａを有している。図１に示すように、テー
ブル１０は、ベース１１上に載置されていると共に、図
３に示すように、ガイド部１１ａに係合する係合部１０
ａを有している。また、テーブル１０はベース１１上に
載置される部分の両側部にフランジ部１０ｂ、１０ｂを
有し、ガイド１２、１２は、このフランジ部１０ｂ、１
０ｂを上から押さえるようになっている。そして、図２
に示すように、テーブル１０のフランジ部１０ｂの上端
面に接するガイド１２の端面１２ｃ、テーブル１０の下
端面が接するベース１１の上端面１１ｂおよびガイド部
１１ａの両側面１１ｃ、１１ｃが、油膜を介してテーブ
ル１０を案内する静圧案内面になっている。
【００１３】図１に示すように、テーブル駆動装置は、
さらに、軸受ブラケット１３、１３によって回転自在に
支持された送りねじとしてのボールねじ１４を備えてい
る。このボールねじ１４は、テーブル１０に形成された
孔１０ｃを貫通して、テーブル１０の移動方向に平行に
配置されている。このボールねじ１４の端部には、この
ボールねじ１４を回転させる駆動モータ１５が接続され
ている。また、ボールねじ１４にはナット１６が螺合さ
れており、このナット１６にはナットホルダ１７が結合
されている。このナットホルダ１７は、ナット１６に結
合されたナット結合部１７ａと、ベース１１のガイド部
１１ａに対して移動可能に係合した係合部１７ｂとを有
している。従って、このナットホルダ１７は、係合部１
７ｂがベース１１のガイド部１１ａに係合することによ
ってナット１６の回り止めとして作用し、ボールねじ１
４の回転に応じてナット１６と共に、ボールねじ１４お
よびベース１１のガイド部１１ａに沿って移動するよう
になっている。
さらに、軸受ブラケット１３、１３によって回転自在に
支持された送りねじとしてのボールねじ１４を備えてい
る。このボールねじ１４は、テーブル１０に形成された
孔１０ｃを貫通して、テーブル１０の移動方向に平行に
配置されている。このボールねじ１４の端部には、この
ボールねじ１４を回転させる駆動モータ１５が接続され
ている。また、ボールねじ１４にはナット１６が螺合さ
れており、このナット１６にはナットホルダ１７が結合
されている。このナットホルダ１７は、ナット１６に結
合されたナット結合部１７ａと、ベース１１のガイド部
１１ａに対して移動可能に係合した係合部１７ｂとを有
している。従って、このナットホルダ１７は、係合部１
７ｂがベース１１のガイド部１１ａに係合することによ
ってナット１６の回り止めとして作用し、ボールねじ１
４の回転に応じてナット１６と共に、ボールねじ１４お
よびベース１１のガイド部１１ａに沿って移動するよう
になっている。
【００１４】また、ナットホルダ１７の係合部１７ｂと
テーブル１０の係合部１０ａとは、連結部としての結合
機構２０によって連結されている。この結合機構２０
は、ねじ２１によってテーブル１０の係合部１０ａのナ
ットホルダ１７側の端部に固定された軸部材２２と、こ
の軸部材２２のナットホルダ１７側の端部に固定された
厚肉円板状のスペーサ２３と、このスペーサ２３を収納
する円柱状の空間を有し４本のショルダボルト２８によ
ってナットホルダ１７の係合部１７ｂに結合された中間
部材２４と、スペーサ２３の一端面と中間部材２４の内
側の端面との間に配置された複数のボール２５と、スペ
ーサ２３の他端面とナットホルダ１７の係合部１７ｂの
端面との間に配置された複数のボール２６とを備えてい
る。
テーブル１０の係合部１０ａとは、連結部としての結合
機構２０によって連結されている。この結合機構２０
は、ねじ２１によってテーブル１０の係合部１０ａのナ
ットホルダ１７側の端部に固定された軸部材２２と、こ
の軸部材２２のナットホルダ１７側の端部に固定された
厚肉円板状のスペーサ２３と、このスペーサ２３を収納
する円柱状の空間を有し４本のショルダボルト２８によ
ってナットホルダ１７の係合部１７ｂに結合された中間
部材２４と、スペーサ２３の一端面と中間部材２４の内
側の端面との間に配置された複数のボール２５と、スペ
ーサ２３の他端面とナットホルダ１７の係合部１７ｂの
端面との間に配置された複数のボール２６とを備えてい
る。
【００１５】スペーサ２３の両端面にはボール２５、２
６が配置されるリング状の溝２９が設けられている。ボ
ール２５、２６が接触する溝２９の底面には、図４
（ａ）に示すように、焼き入れされたカラー３０が取付
けられている。また、ボール２５、２６が接する中間部
材２４の内側端面と、ナットホルダ１７の係合部１７ｂ
の端面にも、同様にカラー３０が取付けられている。
６が配置されるリング状の溝２９が設けられている。ボ
ール２５、２６が接触する溝２９の底面には、図４
（ａ）に示すように、焼き入れされたカラー３０が取付
けられている。また、ボール２５、２６が接する中間部
材２４の内側端面と、ナットホルダ１７の係合部１７ｂ
の端面にも、同様にカラー３０が取付けられている。
【００１６】スペーサ２３の溝２９には、図４（ｂ）に
示すように、薄いリング上の板にボール２５、２６より
も僅かに大きな孔３１をボールの数だけ空けて形成し
た、ボール支持部材としてのリテーナ３２が配置され、
ボール２５、２６を支持している。これら２組のボール
２５、２６は、図２に示すように、それぞれ円周上に沿
って等間隔に複数個例えば１０個ずつ設けられている。
示すように、薄いリング上の板にボール２５、２６より
も僅かに大きな孔３１をボールの数だけ空けて形成し
た、ボール支持部材としてのリテーナ３２が配置され、
ボール２５、２６を支持している。これら２組のボール
２５、２６は、図２に示すように、それぞれ円周上に沿
って等間隔に複数個例えば１０個ずつ設けられている。
【００１７】ここで、２組のボール２５、２６に対して
予圧を付加する手段について説明する。図４（ａ）に示
すように、中間部材２４内にスペーサ２３およびボール
２５、２６を収納した状態で、中間部材２４とナットホ
ルダ１７の係合部１７ｂとの間には若干の隙間ｄが形成
されている。また、ナットホルダ１７の係合部１７ｂに
は、ショルダボルト２８が挿通される孔１７ｃが形成さ
れている。この孔１７ｃは、中間部材２４側の端部部分
を除き、その径がショルダボルト２８の頭部の径よりも
若干大きく形成されている。孔１７ｃの中間部材２４側
の端部部分の径は、ショルダボルト２８の頭部の径より
も小さく、かつ軸部の径よりも若干大きく形成され、こ
の部分が後述するばねを係止する係止部１７ｄになって
いる。そして、ショルダボルト２８は、孔１７ｃに挿通
されてねじ部が中間部材２４に螺着されている。
予圧を付加する手段について説明する。図４（ａ）に示
すように、中間部材２４内にスペーサ２３およびボール
２５、２６を収納した状態で、中間部材２４とナットホ
ルダ１７の係合部１７ｂとの間には若干の隙間ｄが形成
されている。また、ナットホルダ１７の係合部１７ｂに
は、ショルダボルト２８が挿通される孔１７ｃが形成さ
れている。この孔１７ｃは、中間部材２４側の端部部分
を除き、その径がショルダボルト２８の頭部の径よりも
若干大きく形成されている。孔１７ｃの中間部材２４側
の端部部分の径は、ショルダボルト２８の頭部の径より
も小さく、かつ軸部の径よりも若干大きく形成され、こ
の部分が後述するばねを係止する係止部１７ｄになって
いる。そして、ショルダボルト２８は、孔１７ｃに挿通
されてねじ部が中間部材２４に螺着されている。
【００１８】ショルダボルト２８の頭部と係止部１７ｄ
との間には、角ばねよりなる圧縮ばね２７が介装されて
いる。この圧縮ばね２７により、中間部材２４とナット
ホルダ１７の係合部１７ｂとの間の隙間ｄが縮まる方向
に、中間部材２４とナットホルダ１７の係合部１７ｂと
が互いに引っ張られ、この両者に挟まれたボール２５、
２６に予圧が与えられている。
との間には、角ばねよりなる圧縮ばね２７が介装されて
いる。この圧縮ばね２７により、中間部材２４とナット
ホルダ１７の係合部１７ｂとの間の隙間ｄが縮まる方向
に、中間部材２４とナットホルダ１７の係合部１７ｂと
が互いに引っ張られ、この両者に挟まれたボール２５、
２６に予圧が与えられている。
【００１９】本実施例において予圧を与える目的は、ボ
ール２５、２６等よりなる軸受の剛性を高めること、テ
ーブル１０の軸方向の振動・バックラッシュを抑えるこ
と、および軌道輪に対して転動体（ボール）を正しい位
置に保つ、の３点である。なお、ボール２５、２６の保
持部分はボールの大きさより大きく、そのため、ボール
２５、２６は、それぞれテーブル１０の移動方向に直交
する面内で転動可能となっている。
ール２５、２６等よりなる軸受の剛性を高めること、テ
ーブル１０の軸方向の振動・バックラッシュを抑えるこ
と、および軌道輪に対して転動体（ボール）を正しい位
置に保つ、の３点である。なお、ボール２５、２６の保
持部分はボールの大きさより大きく、そのため、ボール
２５、２６は、それぞれテーブル１０の移動方向に直交
する面内で転動可能となっている。
【００２０】次に、本実施例の作用について説明する。
駆動モータ１５によってボールねじ１４を回転させる
と、ナット１６がボールねじ１４に沿って移動し、これ
に伴いナットホルダ１７がベース１１のガイド部１１ａ
に沿って移動する。そして、このナットホルダ１７の移
動に伴い、ナットホルダ１７の係合部１７ｂに結合機構
２０を介して連結されたテーブル１０が、ベース１１お
よびガイド１２の静圧案内面によって案内されて移動す
る。
駆動モータ１５によってボールねじ１４を回転させる
と、ナット１６がボールねじ１４に沿って移動し、これ
に伴いナットホルダ１７がベース１１のガイド部１１ａ
に沿って移動する。そして、このナットホルダ１７の移
動に伴い、ナットホルダ１７の係合部１７ｂに結合機構
２０を介して連結されたテーブル１０が、ベース１１お
よびガイド１２の静圧案内面によって案内されて移動す
る。
【００２１】ここで、ボールねじ１４の回転に伴い、ナ
ット１６およびナットホルダ１７にふれ成分が発生する
が、結合機構２０内のボール２５、２６がテーブルの移
動方向に直交する面内で転動することによって、ボール
ねじ１４の回転に伴うナット１６およびナットホルダ１
７のふれ成分がテーブル１０に伝わることが防止され
る。
ット１６およびナットホルダ１７にふれ成分が発生する
が、結合機構２０内のボール２５、２６がテーブルの移
動方向に直交する面内で転動することによって、ボール
ねじ１４の回転に伴うナット１６およびナットホルダ１
７のふれ成分がテーブル１０に伝わることが防止され
る。
【００２２】なお、ナットホルダ１７がテーブル１０を
押す場合は、ナットホルダ１７の押す力が、ボール２
６、スペーサ２３および軸部材２２を介してテーブル１
０に伝達される。この場合、ボール２５、２６には圧縮
ばね２７の力とナットホルダ１７が押す力とを加えた力
が与えられる。
押す場合は、ナットホルダ１７の押す力が、ボール２
６、スペーサ２３および軸部材２２を介してテーブル１
０に伝達される。この場合、ボール２５、２６には圧縮
ばね２７の力とナットホルダ１７が押す力とを加えた力
が与えられる。
【００２３】一方、ナットホルダ１７がテーブル１０を
引く場合は、ナットホルダ１７の引く力が、ボール２
５、スペーサ２３および軸部材２２を介してテーブル１
０に伝達される。この場合、ボール２５、２６には圧縮
ばね２７の力からナットホルダ１７が引く力を引いた力
が与えられる。
引く場合は、ナットホルダ１７の引く力が、ボール２
５、スペーサ２３および軸部材２２を介してテーブル１
０に伝達される。この場合、ボール２５、２６には圧縮
ばね２７の力からナットホルダ１７が引く力を引いた力
が与えられる。
【００２４】本実施例では、ナットホルダ１７の係合部
１７ｂとテーブル１０の係合部１０ａとがガイド部１１
ａに係合した状態で、両者が結合機構２０によって連結
されており、ナットホルダ１７からテーブル１０への力
の伝達がガイド部１１ａ内で行われるため、ピッチング
を生じさせるような力がテーブル１０に加わることがな
い。
１７ｂとテーブル１０の係合部１０ａとがガイド部１１
ａに係合した状態で、両者が結合機構２０によって連結
されており、ナットホルダ１７からテーブル１０への力
の伝達がガイド部１１ａ内で行われるため、ピッチング
を生じさせるような力がテーブル１０に加わることがな
い。
【００２５】さらに、本実施例では、結合機構２０にお
いて、円周上に配置された複数個のボール２５、２６に
対して、中間部材２４によって予圧が付加されているの
で、各ボール２５、２６に対して略均等な予圧を与える
ことができ、また、複数のボールによって力を伝達する
ため大型のテーブルにも使用することが可能となる。
いて、円周上に配置された複数個のボール２５、２６に
対して、中間部材２４によって予圧が付加されているの
で、各ボール２５、２６に対して略均等な予圧を与える
ことができ、また、複数のボールによって力を伝達する
ため大型のテーブルにも使用することが可能となる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
によれば、ガイド部に係合するナットホルダを設け、こ
のナットホルダの係合部とテーブルのガイド部に係合す
る部分とを、両者がガイド部に係合した状態で連結部に
よって連結してナットの移動をテーブルに伝達するよう
にしたので、装置を大型化することなく、送りねじの回
転に伴うナットのふれ成分に影響されずにテーブルを移
動させることができ、しかも、ナットホルダからテーブ
ルへの力の伝達がガイド部内で行われるため、ピッチン
グを生じさせるような力がテーブルに加わることがなく
精度良くテーブルを移動させることができるという効果
がある。
によれば、ガイド部に係合するナットホルダを設け、こ
のナットホルダの係合部とテーブルのガイド部に係合す
る部分とを、両者がガイド部に係合した状態で連結部に
よって連結してナットの移動をテーブルに伝達するよう
にしたので、装置を大型化することなく、送りねじの回
転に伴うナットのふれ成分に影響されずにテーブルを移
動させることができ、しかも、ナットホルダからテーブ
ルへの力の伝達がガイド部内で行われるため、ピッチン
グを生じさせるような力がテーブルに加わることがなく
精度良くテーブルを移動させることができるという効果
がある。
【００２７】また、請求項２記載の発明によれば、連結
部において、ボールを円周上に複数個配置し、この複数
のボールに対して予圧付加手段によって予圧を付加する
ようにしたので、請求項１記載の発明の効果に加え、ボ
ールに対して略均等な予圧を与えることができ、また、
複数のボールによって力を伝達するため大型のテーブル
にも使用することが可能になるという効果がある。
部において、ボールを円周上に複数個配置し、この複数
のボールに対して予圧付加手段によって予圧を付加する
ようにしたので、請求項１記載の発明の効果に加え、ボ
ールに対して略均等な予圧を与えることができ、また、
複数のボールによって力を伝達するため大型のテーブル
にも使用することが可能になるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例のテーブル駆動装置の一部を
切り欠いて示す斜視図である。
切り欠いて示す斜視図である。
【図２】図１における結合機構部分のテーブル移動方向
に対して垂直な断面を示す断面図である。
に対して垂直な断面を示す断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ′線断面である。
【図４】図２におけるショルダボルト部分を拡大して示
す断面図である。
す断面図である。
１０ テーブル １０ａ 係合部 １１ ベース １１ａ ガイド部 １２ ガイド １４ ボールねじ １５ 駆動モータ １６ ナット １７ ナットホルダ １７ａ ナット結合部 １７ｂ 係合部 ２０ 結合機構 ２４ 中間部材 ２５、２６ ボール ２７ 圧縮ねじ ２８ ショルダボルト
Claims (2)
- 【請求項１】 テーブルの一部が移動可能に係合してテ
ーブルを案内するためのガイド部と、 前記テーブルの移動方向に対して平行に配置された送り
ねじと、 この送りねじを回転する駆動手段と、 前記送りねじに螺合するナットと、 このナットに結合されたナット結合部および前記ガイド
部に対して移動可能に係合した係合部を有し、送りねじ
の回転に応じてナットと共に送りねじおよびガイド部に
沿って移動するナットホルダと、 このナットホルダの係合部とテーブルのガイド部に係合
する部分とを、テーブルの移動方向に直交する面内で転
動可能なボールを介して連結する連結部とを具備するこ
とを特徴とするテーブル駆動装置。 - 【請求項２】 前記連結部のボールは円周上に複数個配
置され、連結部はこの複数のボールに対して予圧を付加
する予圧付加手段を有することを特徴とする請求項１記
載のテーブル駆動装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19057693A JP3390215B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | テーブル駆動装置及び研削盤 |
| US08/282,077 US5586468A (en) | 1993-07-30 | 1994-07-28 | Table driving device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19057693A JP3390215B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | テーブル駆動装置及び研削盤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0740178A true JPH0740178A (ja) | 1995-02-10 |
| JP3390215B2 JP3390215B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=16260363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19057693A Expired - Fee Related JP3390215B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | テーブル駆動装置及び研削盤 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5586468A (ja) |
| JP (1) | JP3390215B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5900853A (en) * | 1996-03-22 | 1999-05-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Signal line driving circuit |
| JP2003005086A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-08 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡装置 |
| JP2009216725A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-24 | Chinontec Kk | ブレ補正装置および光学機器 |
| US20230063228A1 (en) * | 2021-09-02 | 2023-03-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Positioning apparatus, lithography apparatus, and article manufacturing method |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4875287B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2012-02-15 | セイコーインスツル株式会社 | アクチュエータ及びテーブル装置 |
| US7481126B2 (en) * | 2005-01-05 | 2009-01-27 | Jose Maria Las Navas Garcia | Precision table |
| JP5043565B2 (ja) * | 2007-08-30 | 2012-10-10 | 富士通株式会社 | 可動テーブル |
| CN104325404B (zh) * | 2014-10-08 | 2017-02-15 | 桂林桂北机器有限责任公司 | 一种数控强力成形磨床滚珠丝杆副浮动式传动机构 |
| JP6584990B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2019-10-02 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
| US10507923B1 (en) * | 2018-08-20 | 2019-12-17 | Rockwell Collins, Inc. | Automatic ejection device and system |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3665782A (en) * | 1970-09-04 | 1972-05-30 | Superior Electric Co | Nut support to accomodate misalignment |
| US4372223A (en) * | 1979-12-20 | 1983-02-08 | Nippon Seiko Kabushiki Kaisha | Moving table assembly |
| JPS6093905U (ja) * | 1983-12-05 | 1985-06-26 | 株式会社ミツトヨ | 測定機の駆動連結構造 |
-
1993
- 1993-07-30 JP JP19057693A patent/JP3390215B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-07-28 US US08/282,077 patent/US5586468A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5900853A (en) * | 1996-03-22 | 1999-05-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Signal line driving circuit |
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| US20230063228A1 (en) * | 2021-09-02 | 2023-03-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Positioning apparatus, lithography apparatus, and article manufacturing method |
| US11835872B2 (en) * | 2021-09-02 | 2023-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Positioning apparatus, lithography apparatus, and article manufacturing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5586468A (en) | 1996-12-24 |
| JP3390215B2 (ja) | 2003-03-24 |
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Legal Events
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