JPH0585827A

JPH0585827A - 窒化ケイ素−混合酸化物系焼結体およびその製造方法

Info

Publication number: JPH0585827A
Application number: JP3273604A
Authority: JP
Inventors: Mamoru Omori; 守大森; Toshio Hirai; 敏雄平井
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1991-09-26
Filing date: 1991-09-26
Publication date: 1993-04-06
Anticipated expiration: 2015-02-07
Also published as: JP3007732B2

Abstract

(57)【要約】【目的】ボイドやポアなどの欠陥のない、高強度、高
靱性で信頼性の高いSi₃N₄系酸化物焼結体とその製造方
法を提供する。【構成】希土類酸化物−アルミナ系酸化物にシリカを
添加した混合酸化物とSi₃N₄を焼成することにより、該
焼結体の結晶粒径を30μｍ以下に制御して、異常粒成長
およびポアの発生を抑制し、もって酸化物焼結体の優れ
た靱性と Si₃N₄の高温強度に優れた特性を共に有する，
実用に適する組織的に均一な Si₃N₄−混合酸化物系焼結
体を容易に製造することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、強度や信頼性低下の原
因となるセラミックス中のポアやマイクロクラックをな
くすことによって、高い強度と信頼性をもつ窒化ケイ素
（ Si₃N₄）系酸化物セラミックスの焼結体に関し、特
に、組織的に均一な Si₃N₄−（Ln-Al-Si）酸化物系焼結
体（ただし、Lnは希土類元素およびそれらの化合物）と
これを製造する方法について提案する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、セラミックス材料は、高温での
強度が大きく、耐熱性, 耐酸化性および耐食性に優れて
いることから、構造材料として有望である。特に、金属
の使用限界を超えた温度域で使用される構造材料に対
し、かかるセラミックスの応用に多大の関心が寄せられ
ている。こうしたセラミックスの中でも、 Si₃N₄は、耐
熱性や耐酸化性に優れているので、高温下で使用できる
構造材料の１つとして、極めて有望なものの１つであ
る。

【０００３】しかしながら、この Si₃N₄は、焼結しにく
いため、助剤の添加なしで緻密な焼結体を得ることが極
めて困難な材料である。このことから、従来、 Si₃N₄粉
は焼結助剤としてY₂O₃, CeO₂, AL₂O₃, AlN, MgO などを
添加して焼成されていた。ところが、これらの酸化物の
単独あるいは組み合わせたものを焼結助剤として得られ
る Si₃N₄焼結体は、緻密で強度が大きいものの、ジルコ
ニアセラミックスに比べて靱性が低い。その結果、高温
における強度が大きく、しかも耐酸化性に優れている等
の特徴を有する Si₃N₄焼結体を、構造材料として使用す
るには、靱性がまだ低いために、信頼性の乏しい材料と
いえるものであった。

【０００４】これに対して、 Si₃N₄焼結体の靱性を大き
くする工夫として、 Si₃N₄結晶を異方的に成長させるこ
とにより、 Si₃N₄焼結体の強度および靱性値を向上させ
信頼性を改善する技術が、川島ら（川島健，岡本寛己，
山本秀治，北村昭、窒化珪素セラミックス２、内田老鶴
圃、ｐ135 〜146 ）によって提案されている。すなわ
ち、生成形体をカプセル内に入れてガス圧をかけながら
焼結し、 Si₃N₄結晶を異方的に成長させることにより、
Y₂O₃とAL₂O₃を焼結助剤とする Si₃N₄−希土類酸化物−
アルミナ系複合焼結体の靱性を向上させる方法が提案さ
れている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この方法
は、カプセルを使ってガス圧をかけながら焼結する方法
であるため、カプセル材として適当なものが少なく、し
かも、カプセル内に生成形体を入れることから、複雑形
状のものを焼結することができず、製造コストが高くな
る。また、この方法で合成される Si₃N₄焼結体は、その
結晶が異方的に大きく成長しているため、焼結体内部に
大きな欠陥が存在することになり、それを起点に破壊が
おこるために、材料としての信頼性に欠け、実用上は問
題点を抱えていた。

【０００６】この Si₃N₄−希土類酸化物−アルミナ系焼
結体の生成機構は次のように考えられる。まず、無加圧
下で焼結する第１段階で、希土類酸化物とアルミナから
酸化物固溶体、あるいは酸化物の化合物を生成する。次
いで、第２段階では、上記 Si₃N₄が前記酸化物中に固
溶, 拡散して Si₃N₄粒の粒成長が図られ収縮して緻密な
焼結体が生成する。

【０００７】しかしながら、前記第２段階では、 Si₃N₄
粉は酸化物に固溶すると同時に化学反応が起こり、 Si₃
N₄がアルミナと反応して分解しＣＯおよびＮＯなどのガ
スを発生する。その結果、焼結体中にボイドやポアなど
の欠陥が生じ、 Si₃N₄と酸化物との界面の強度が低下す
るという欠点を招くのである。

【０００８】本発明の目的は、 Si₃N₄と希土類酸化物−
アルミナ系酸化物を焼成してなる Si₃N₄−希土類酸化物
−アルミナ系焼結体について、さらに、上述したような
ボイドやポアなどの欠陥がなく、高強度で、高い靭性を
もつ信頼性の高い焼結体を提供すると共に、その有利な
製造方法についての新規な技術を提案することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上掲の目的を実現するた
めに鋭意研究した結果、本発明者らは、希土類酸化物−
アルミナ系酸化物に、さらに、シリカを混合することに
より、希土類酸化物−アルミナ−シリカ系粉体と Si₃N₄
との混合物焼成を行うこととした。このような混合物焼
成では、 Si₃N₄とアルミナとの反応が抑制されるので、
ポアの生成が減少し、かつ Si₃N₄と酸化物との焼結も穏
やかに進行するため、緻密な焼結体が得られやすいこと
が判った。

【００１０】すなわち、本発明は、希土類酸化物95〜５
wt％，アルミナ4.9 〜94.9wt％およびシリカ0.1 〜10wt
％からなる混合酸化物５〜95wt％と；粉もしくはウイス
カー，またはこれらの混合物にかかるSi₃N₄95〜５wt％
と；の混合物を成形し、その後、この成形体を非酸化性
雰囲気中において、５〜2000℃／分の昇温速度にて加熱
し、1500〜1900℃の温度域で0.1 〜600 分間保持して焼
成を行うことを特徴とする Si₃N₄−（Ln-Al-Si）酸化物
焼結体の製造方法と、これによって合成されるSi₃N₄−
（Ln-Al-Si）酸化物焼結体、ならびに、Ln₄Al₂O₉もしく
はLnAlO₃（ただし、Lnは希土類元素およびそれらの化合
物）99.9〜90wt％とシリカ0.1 〜10wt％との混合物５〜
95wt％と；粉もしくはウイスカー，またはこれらの混合
物にかかるSi₃N₄95〜５wt％と；の混合物を成形し、そ
の後、この成形体を非酸化性雰囲気中において、５〜20
00℃／分の昇温速度にて加熱し、1500〜1900℃の温度域
で0.1 〜600 分間保持して焼成を行うことを特徴とする
Si₃N₄−（Ln-Al-Si）酸化物焼結体の製造方法と、これ
によって合成される Si₃N₄−（Ln-Al-Si）酸化物焼結体
である。

【００１１】

【作用】一般に、他の酸化物セラミックス中に添加する
シリカは、融点が1550℃と低く、ガラス状態となって粒
界に析出し、高温強度を低下させると考えられている。
そのために、むしろこのシリカは添加したくない化合物
の１つであった。

【００１２】これに対し、本発明では、このシリカに着
目し、 Si₃N₄と（希土類酸化物−アルミナ−シリカ系粉
体）との混合物にすると焼結が可能となり、しかも、こ
のシリカは粒界に析出してガラスとなることもなく、さ
らには希土類酸化物−アルミナ系に固溶するか、固溶量
以上に存在する場合は、希土類酸化物あるいはアルミナ
と反応してシリケイト化合物を作るので、高温強度を低
下させるような問題が生じないことが判った。

【００１３】本発明者らが知見したところによれば、こ
のシリカを他の化合物中に添加することにより、むしろ
緻密な焼結体を得るのに有効に作用し、焼結体の酸化物
部分の強度と靱性を向上させるのに有効である。

【００１４】なお、酸化処理していない Si₃N₄の表面に
存在する微少量のシリカは、これのみでは、酸化物の強
度と靱性とを上げるのに不十分である。

【００１５】次に、本発明の Si₃N₄−（Ln-Al-Si）酸化
物は、希土類酸化物粉 5〜95wt％，アルミナ粉94.9〜4.
9 wt％およびシリカ0.1 〜10wt％からなる混合酸化物５
〜95wt％と； Si₃N₄粉，あるいは Si₃N₄ウイスカー，も
しくはこれらの混合物95〜５wt％とを混合し焼成して得
られるものである。

【００１６】ここで、希土類酸化物粉が５wt％未満で
は、混合酸化物の特性がアルミナ単独の特性に片寄った
ものとなり、Si₃N₄ との焼結性が悪くなる。また、アル
ミナが4.9 wt％未満では、混合酸化物の特性がほとんど
希土類酸化物単独の特性に片寄ったものとなり、Si₃N₄
との焼結性は悪くなる。

【００１７】一方、希土類酸化物が95wt％超では、酸化
物の性質が希土類酸化物と変わりなくなり、アルミナが
94.9wt％超では、酸化物の性質がアルミナと変わらなく
なる。従って、この希土類酸化物粉とアルミナは、上記
範囲に限定されるのである。

【００１８】また、シリカの添加量が、0.1 wt％未満で
は、焼結体の結晶粒の異常成長を抑制できないため、焼
結体の酸化物部分の強度と靱性が小さく、緻密な焼結体
を得ることができない。一方、このシリカの添加量が、
10wt％超では、添加効果は変わらないが、固溶量より多
いシリカが希土類酸化物あるいはアルミナと反応してシ
リケイト化合物を形成するため、却って好ましくない。
従って、シリカの添加量は、上記の範囲0.1 〜10wt％に
限定されるのである。

【００１９】さらに、前記混合酸化物の量が、５wt％未
満では、 Si₃N₄との焼結性は悪くなり緻密な焼結体を得
ることができない。一方、 Si₃N₄の量が、５wt％未満，
すなわち混合酸化物の量が95wt％超では、 Si₃N₄の添加
効果である硬度と高温強度の優れた焼結体は得られな
い。従って、混合酸化物と Si₃N₄の配合割合は、このよ
うに限定したのである。

【００２０】なお、希土類酸化物（Ln₂O₃）としては、
Sc₂O₃,Y₂O₃, La₂O₃, CeO₂, Pr₂O₃,Nd₂O₃, Sm₂O₃,Eu₂O₃,
Gd₂O₃, Tb₂O₃, Dy₂O₃, Ho₂O₃, Er₂O₃, Tm₂O₃, Yb₂O₃,
Lu₂O₃が好適に用いられる。

【００２１】また、前記混合酸化物と Si₃N₄粉あるいは
Si₃N₄ウイスカーとの混合に当っては、粉体の混合ある
いは混練に用いられる通常の機械を使用することができ
る。この混合は、乾式，湿式のどちらでもよく、特に湿
式の場合はエチルアミン，魚油等の表面活性剤を使用す
ると効果的に混合できる。

【００２２】次に、上述のようにして得られた混合原料
は、一旦乾燥し、引続き所定形状の生成形体を成形す
る。この成形工程では、成形助剤として有機高分子( ポ
リエチレングリコール, ポリビニルアルコール等) を上
記混合原料に添加し、常法の既知成形技術を適用して成
形することができる。

【００２３】次に、本発明製造方法について説明する。
本発明方法は、まず、上述のような混合割合で Si₃N₄と
（Ln-Al-Si）混合酸化物との混合物を成形する。次い
で、その生成形体は、５〜2000℃／分の昇温速度にて加
熱し、1500〜1900℃の温度に、0.1 〜600 分間保持する
焼成処理を行い焼結体とする。

【００２４】上記昇温速度は、５℃／分より遅いと緻密
な焼結体が得られず、2000℃／分より速く昇温すること
は実情不可能であるので、５〜2000℃／分の範囲に限定
される。

【００２５】また、この焼成温度が、1500℃より低い
と、焼結が不十分なために緻密な焼結体を得ることがで
きず、一方、1900℃より高いと、 Si₃N₄とアルミナとの
反応により、 Si₃N₄が分解してポアを形成し、緻密化さ
れなくなる。このことから、適性焼成温度の範囲は、15
00〜1900℃の範囲に限定される。

【００２６】次に、焼成時間は、前記焼成温度に関連
し、焼成温度が低い時には長く、また高い時には短くす
ることが好ましいが、0.1 分より短いと焼結が不十分な
ために緻密な焼結体を得ることができず、一方 600分超
では焼結効果がほとんど変わらなくなるか、あるいは S
i₃N₄とアルミナとが反応して、却ってポアを形成するよ
うになるので、0.1 〜600 分の範囲に限定される。

【００２７】なお、焼成時の雰囲気としては、酸化雰囲
気中では Si₃N₄が酸化されるため、非酸化雰囲気（例え
ば、窒素ガスやアルゴンガス，ヘリウムガス等の不活性
ガス）が好ましい。なかでも、窒素ガス雰囲気が良く、
窒素高圧ガス雰囲気では、Si₃N₄ の分解を抑制できるた
め、高温で緻密な焼結体を合成するのに有効である。

【００２８】このようにして得られた本発明の Si₃N₄−
（Ln,Al,Si）酸化物系焼結体は、Si₃N₄ と酸化物が良く
焼結し、かつ酸化物の靱性と強度が、従来のシリカを含
まないものに比べ著しく改善された。

【００２９】次に、シリカを含む酸化物と Si₃N₄を焼成
して強度と靱性に優れる高温でも使用可能な酸化物焼結
体を製造する上述のような技術は、焼成時にマルテンサ
イト変態を生じるLn₄Al₂O₉あるいはLnAlO₃なる化合物を
主成分とする希土類酸化物−アルミナ−シリカ系焼結体
のときに特に有効である。すなわち、組成がLn₄Al₂O₉あ
るいはLnAlO₃である希土類酸化物とアルミナの混合粉9
9.9〜90wt％と、シリカ粉0.1 〜10wt％からなる混合酸
化物５〜95wt％と；Si₃N₄ ，あるいは Si₃N₄ウイスカ
ー，もしくはこれらの混合物95〜５wt％とを混合して、
上述した方法によって合成される Si₃N₄−Ln₄Al₂O₉焼結
体あるいはSiＣ−LnAlO₃焼結体は、結晶粒径が30μｍ以
下に制御されているため、マルテンサイト変態によって
双晶を生成せず、強度および靱性に優れたものであっ
た。

【００３０】その理由は、前記焼結体中の構成粒子に双
晶が生成せず、クラックの進展に伴って初めて少ない数
の双晶が生成するが、この双晶は、クラックの歪みのエ
ネルギーを吸収し、かつ、この双晶面の動きによって
も、この歪みのエネルギーを吸収できるため、前記焼結
体の強度と靱性とを大きくすると考えられる。これは、
従来知られていない強靱化の機構で、発明者らの新規の
発見である。

【００３１】

【実施例】

（実施例１） 130mlのエチルアルコール中に、 Si₃N₄粉
60ｇ，Ｙ₂O₃ 粉71.2ｇ, Al₂O₃粉16.1ｇおよびSiO₂粉
2.7ｇの混合粉体を入れ、さらに２mlのジエチルアミン
を添加し、ボールミルを用いて72時間湿式混合した。混
合終了後、60℃に加熱して、アルコールを蒸発させ、５
％のポリエチレングリコール水溶液に入れて攪拌混合
し、これを乾燥した。その後、45×20×５mm³の大きさ
の生成形体に成形した。次に、この生成形体を、空気中
で２℃／分の昇温速度で500℃まで昇温し、500 ℃で１
時間保持して仮焼した。次いで、この仮焼試料を、窒素
ガス9.8kgf/cm²の圧力下において50℃／分の昇温速度で
1650℃まで昇温し、1650℃に20分間保持して焼結体を得
た。

【００３２】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は1100MPa であり、破壊靱性値Ｋ_IC＝16MP・
m^1/2であった。

【００３３】（実施例２） 90ml のエチルアルコール中
に、 Si₃N₄粉80ｇ，Gd₂O₃ 粉 17.01ｇ，Al₂O₃粉2.39ｇ
およびSiO₂粉 0.6ｇの混合粉体を入れ、1.5ml のジエチ
ルアミンを添加し、ボールミルを用いて72時間湿式混合
した。混合終了後、60℃に加熱して、アルコールを蒸発
させ、次いで、５％のポリエチレングリコール水溶液に
入れて攪拌混合し、これを乾燥した。その後、45×20×
５mm³の大きさの生成形体に成形した。次に、この生成
形体を空気中において２℃／分の昇温速度で500 ℃まで
昇温し、500 ℃で２時間保持して仮焼した。次いで、こ
の仮焼試料を窒素ガス9.8kgf/cm²の圧力下において80℃
／分の昇温速度で1750℃まで昇温し、1750℃に５分間保
持して焼結体を得た。

【００３４】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は1200MPa であり、破壊靱性値Ｋ_IC＝14MP・
m^1/2であった。

【００３５】（実施例３） 90ml のエチルアルコール中
に、 Si₃N₄粉67.9ｇ，Nd₂O₃ 粉 22.33ｇ，Al₂O₃粉6.77
ｇおよびSiO₂粉 3.0ｇの混合粉体を入れ、さらに 1.5ml
のジエチルアミンを添加し、ボールミルを用いて72時間
湿式混合した。混合終了後、60℃に加熱して、アルコー
ルを蒸発させ、次いで、５％のポリエチレングリコール
水溶液に入れて攪拌混合し、これを乾燥した。その後、
45×20×５mm³の大きさの生成形体に成形した。次に、
この生成形体を、空気中において２℃／分の昇温速度で
500 ℃まで昇温し、500 ℃で２時間保持して仮焼した。
この仮焼試料を、窒素ガス５kgf/cm²の圧力下において
50℃／分の昇温速度で1800℃まで昇温し、1800℃に２分
間保持して焼結体を得た。

【００３６】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は 1050MPaであり、破壊靱性値Ｋ_IC＝13MP・
m^1/2であった。

【００３７】（実施例４） 90ml のエチルアルコール中
に、Si₃N₄ 粉90ｇ，Ｙ₂O₃ 粉 7.0ｇ，Al₂O₃粉 2.0ｇお
よびSiO₂粉 3.0ｇの混合粉体を入れ、さらに1.5ml のジ
エチルアミンを添加し、ボールミルを用いて72時間湿式
混合した。混合終了後、60℃に加熱して、アルコールを
蒸発させ、次いで、５％のポリエチレングリコール水溶
液に入れて攪拌混合し、これを乾燥した。その後、45×
20×５mm³の大きさの生成形体に成形した。次に、この
生成形体を、空気中において２℃／分の昇温速度で500
℃まで昇温し、500 ℃で２時間保持して仮焼した。この
仮焼試料を、窒素ガス30kgf/cm²の圧力下において500
℃／分の昇温速度で1800℃まで昇温し、1800℃で10分間
保持して焼結体を得た。

【００３８】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は1100MPa であり、破壊靱性値Ｋ_IC＝13MP・
m^1/2であった。

【００３９】（実施例５） 90ml のエチルアルコール中
に、Si₃N₄ 粉10ｇ，Ho₂O₃ 粉78.9ｇ，Al₂O₃粉10.65 ｇ
およびSiO₂粉0.45ｇの混合粉体を入れ、さらに1.5ml の
ジエチルアミンを添加し、ボールミルを用いて72時間湿
式混合した。混合終了後、60℃に加熱して、アルコール
を蒸発させ、次いで、５％のポリエチレングリコール水
溶液に入れて攪拌混合し、これを乾燥した。その後、45
×20×５mm³の大きさの生成形体を成形した。次に、こ
の生成形体を、空気中において２℃／分の昇温速度で50
0 ℃まで昇温し、500 ℃で２時間保持して仮焼した。次
いで、この仮焼試料を、窒素ガス中において50℃／分の
昇温速度で1680℃まで昇温し、1680℃に20分間保持して
焼結体を得た。

【００４０】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は1050MPa であり、破壊靱性値Ｋ_IC＝14MP・
m^1/2であった。

【００４１】（実施例６）90mlのエチルアルコール中
に、 Si₃N₄粉50ｇ，Er₂O₃ 粉 42.36ｇ，Al₂O₃粉5.64ｇ
およびSiO₂粉 2.0ｇの混合粉体を入れ、さらに1.5ml の
ジエチルアミンを添加し、ボールミルを用いて72時間湿
式混合した。混合終了後、60℃に加熱して、アルコール
を蒸発させ、次いで、５％のポリエチレングリコール水
溶液に入れて攪拌混合し、これを乾燥した。その後、45
×20×５mm³の大きさの生成形体に成形した。次に、こ
の生成形体を、空気中において２℃／分の昇温速度で50
0 ℃まで昇温し、500 ℃で２時間保持して仮焼した。次
いで、この仮焼試料を、空気中で80℃／分の昇温速度で
1800℃まで昇温し、1800℃に10分間保持して焼結体を得
た。

【００４２】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は 1100MPaであり、破壊靱性値Ｋ_IC＝15MP・
m^1/2であった。

【００４３】このように本発明の方法で得られた Si₃N₄
−（Ln,Al,Si）酸化物系焼結体は、緻密でポアがなく、
平均結晶粒径30μｍ以下の粒子で構成されている。しか
も、本発明の焼結体は、実用に供されるに充分な強度な
らびに破壊靱性値を有する。特に破壊靱性値に関して
は、従来の Si₃N₄焼結体あるいはそれの複合材料の約３
倍の値を有し、強度に関しても、50％以上大きい値を有
する。

【００４４】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、希土
類酸化物−アルミナ−シリカ系の混合酸化物と Si₃N₄を
焼成して、焼結体の結晶粒径を30μｍ以下に制御し、ポ
アの形成を阻止することにより、酸化物焼結体の優れた
靱性と Si₃N₄の高温強度に優れた特性を共に有する，緻
密で高い強度と靱性を有する組織的に均一な Si₃N₄−
（Ln,Al,Si）酸化物系焼結体を容易に得ることができ
る。

【００４５】従って、本発明によれば、エンジン部品，
ガスタービン翼，ガスタービン用部品，耐腐食性装置部
品，坩堝，ボールミル用部品，高温炉用熱交換器，耐熱
材，高空飛翔体用耐熱材，燃焼管，ダイカスト用部品，
絶縁材料，核融合炉材料，原子炉用材料，太陽炉材料，
工具，熱遮蔽材料，電子回路用基体，シール材，継手や
バルブ用部品，人工骨や人工歯根等の生体材料，誘電材
料，刃物やカッター刃，スポーツ用品，ポンプ，ノズ
ル，磁気ヘッド，ローラー，ガイド，軸受，フェルー
ル，その他の広い分野で有効に用いられるものを提供で
きる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】窒化ケイ素95〜５wt％と、希土類酸化物
95〜５wt％，アルミナ4.9 〜94.9wt％およびシリカ0.1
〜10wt％からなる混合酸化物５〜95wt％との焼結体から
なる窒化ケイ素−混合酸化物系焼結体。
【請求項２】上記混合酸化物が、Ln₄Al₂O₉もしくはLn
AlO₃（ただし、Lnは希土類元素およびそれらの化合物）
99.9〜90wt％とシリカ0.1 〜10wt％からなる請求項１に
記載の焼結体。
【請求項３】窒化ケイ素95〜５wt％と、希土類酸化物
95〜５wt％，アルミナ4.9 〜94.9wt％およびシリカ0.1
〜10wt％からなる混合酸化物５〜95wt％との混合物を成
形し、その後、得られた成形体を非酸化性雰囲気中にお
いて、５〜2000℃／分の昇温速度にて加熱し、1500〜19
00℃の温度域で0.1 〜600 分間保持して焼成を行うこと
を特徴とする窒化ケイ素−混合酸化物系焼結体の製造方
法。
【請求項４】上記混合酸化物が、Ln₄Al₂O₉もしくはLn
AlO₃（ただし、Lnは希土類元素およびそれらの化合物）
99.9〜90wt％とシリカ0.1 〜10wt％からなる請求項３に
記載の製造方法。