JPH058679Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、ワイヤボンデイング装置においてボ
ンデイングツールの先端に付着物が生ずる時にも
滑らかなワイヤフイードが行えるようにする改良
に関する。

（考案の背景） ワイヤボンデイングにおいては、キヤピラリあ
るいはウエツジ（両者を総称してボンデイングツ
ールと言う）がワイヤを所定の位置へ導くことと
第１および第２の各ボンデイング点でのボンデイ
ングとを行う。

ボンデイングツールは、第１ボンドを終了後、
その先端からワイヤを繰り出しながら第１ボンデ
イング点から第２ボンデイング点へ移動してこの
間にワイヤループを形成する。また第２ボンドを
終了後、ボンデイングツールがキヤピラリの場合
は上昇しながらその先端からボールの形成に必要
な長さのワイヤを繰り出し、ウエツジの場合はあ
る高さまで上昇した後その先端に所定の長さのワ
イヤテールを繰り出す。

上述したようなボンデイングツール先端からの
ワイヤの繰り出し（以下、ワイヤフイードと言
う）が滑らかに行われないと、所定のワイヤルー
プ、所定のボールあるいは所定のワイヤテールが
形成されなくなることがあり、このため不良品が
発生したりワイヤ切れによるボンデイング動作の
中断が生じたりする。このようなことを防ぐため
に、従来のワイヤボンデイング装置は、ボンデイ
ングツールにたとえばセラミツクやタングステン
カーバイドなどを用いてワイヤが硬い面を滑らか
に滑れるようにしたり、あるいはボンデイングツ
ールの先端形状に丸味をつけてワイヤがこの先端
で引つ掛かるのを防いだりしている。

近年、半導体製品のコストダウンのためにリー
ドの第２ボンドの行われる部分のメツキ材を安価
なものにしたりメツキ厚さを薄くしたりすること
が行われるようになり、このような部分へのワイ
ヤの付き具合が悪くならないように加圧力や超音
波のパワーを強くしなければならなくなつてい
る。

（考案が解決しようとする課題） しかるに上述した従来のワイヤボンデイング装
置には次のような問題点がある。

すなわち、第２ボンドの加圧力や超音波のパワ
ーを従来よりも強くするようになつたためにボン
デイングツールの先端部分にリードの第２ボンド
が行われる部分の素材が付着し易くなり、これが
ボンデイングツールのワイヤの通る穴に入つたり
甚だしい時には穴詰まりを引き起こす場合も生じ
ている。ところが従来のワイヤボンデイング装置
は該付着物の穴への侵入やそのための穴詰まりの
発生を防ぐことができないので、どうしてもワイ
ヤフイードが滑らかでなくなり甚だしい場合には
ワイヤフイードが止まつてしまう。

このために所定のワイヤループ、所定のボール
あるいは所定のワイヤテールが安定して形成され
ないので、不良品の発生やボンデイング動作の中
断が多くなるという問題が発生するようになつて
来ている。

本考案の目的は、ワイヤフイードが行われる間
にボンデイングツールを超音波加振し、この超音
波振動で付着物をボンデイングツールの先端部分
から振り落とすことにより穴の内におけるワイヤ
フイードの障害を少なくすることによつて、ボン
デイングツールの先端部分に付着物ができるよう
なボンデイングを行つても、ワイヤフイードを滑
らかに行うことができ、所定のワイヤループ、所
定のボールあるいは所定のワイヤテールを安定し
て形成でき、したがつて不良品の発生やボンデイ
ング動作の中断を少なくできるワイヤボンデイン
グ装置を提供することである。

（課題を解決するための手段） 本考案のワイヤボンデイング装置は上記の目的
を達成するために次の手段構成を有する。

すなわち本考案のワイヤボンデイング装置は、
ワイヤを所定の位置へ導くこととボンデイングと
を行うボンデイングツールと； ボンデイングツ
ールの位置を検出して位置信号を出力する位置検
出手段と； ボンデイングツールが第１ボンデイ
ング点から第２ボンデイング点へ向かう途中の所
定の区間にあることを示す位置信号を受けた時お
よびボンデイングツールは第２ボンデイング点か
ら次の第１ボンデイング点へ向かう途中の所定の
位置からボンデイングツールの先端に所定の長さ
のワイヤや繰り出される位置までの間にあること
を示す位置信号を受けた時に超音波加振指令信号
を出力する超音波加振制御手段と； 超音波加振
指令信号を受け、これに基づいてボンデイングツ
ールを超音波加振する超音波加振手段と； を具
備することを特徴とするものである。

（作用） 以下、上記の手段構成を有する本考案のワイヤ
ボンデイング装置の作用を説明する。

ボンデイングツールはワイヤを所定の位置へ導
くことと第１および第２の各ボンデイング点での
ボンデイングとを行う。位置検出手段はボンデイ
ングツールの位置を検出して位置信号を出力す
る。

超音波加振制御手段は位置信号を受け、ボンデ
イングツールが第１ボンデイング点から第２ボン
デイング点へ向かう途中の所定の区間にあること
を該位置信号が示す時およびボンデイングツール
が第２ボンデイング点から次の第１ボンデイング
点へ向かう途中の所定の位置からボンデイングツ
ールの先端に所定の長さのワイヤが繰り出される
位置までの間にあることを前記の位置信号が示す
時に超音波加振指令信号を出力する。超音波加振
手段は超音波加振指令信号を受け、これに基づい
てボンデイングツールを超音波加振するので、ボ
ンデイングツールは第１ボンドと第２ボンドとの
間のワイヤフイード時と第２ボンド後のボールま
たはワイヤテール形成のためのワイヤフイード時
に超音波加振される。このため、第２ボンド時に
ボンデイングツールの先端部分に付着物が生じて
もこの付着物はボンデイングツールの超音波振動
で振り落とされるので穴の内におけるワイヤフイ
ードの障害が少なくなり、さらに、ボンデイング
ツールが超音波振動をしていることによつてワイ
ヤと穴の内壁との接触が減るのでこれらの間の摩
擦が少なくなる。

以上説明したように、本考案のワイヤボンデイ
ング装置は、ワイヤフイードが行われる間にボン
デイングツールを超音波加振するようしたことに
よつて、この超音波振動が付着物をボンデイング
ツールの先端部分から振り落とすことにより穴の
内におけるワイヤフイードの障害が少なくなり、
同時にワイヤと穴の内壁との摩擦もこの超音波振
動で少なくなるので、ボンデイングツールの先端
部分に付着物ができるようなボンデイングを行う
場合もワイヤフイードを滑らかに行うことができ
るようになり、所定のワイヤループ、所定のボー
ルあるいは所定のワイヤテールを安定して形成で
きるために不良品の発生やボンデイング動作の中
断が少なくなる。

（実施例） 以下、本考案のワイヤボンデイング装置の実施
例を図面に基づいて説明する。

第１図は本考案のワイヤボンデイング装置の実
施例の構成図である。同図において、キヤピラリ
１はワイヤ１０を所定の位置へ導く。ワイヤ１０
はボンデイング対象物８の第１ボンデイング点お
よび第２ボンデイング点でキヤピラリ１によりボ
ンデイングされる。ボンデイングアーム２はボン
デイングアーム支持部４の支軸４ａに回動可能に
支持され、その一端にキヤピラリ１を拘持し、他
端を上下駆動部３によつて上下に動かされる。

ボンデイングアーム支持部４は、これをその下
から支持しているＸテーブル５とＸテーブル５を
その下から支持しているＹテーブル６がそれぞれ
所定の方向に直線移動することにより、ボンデイ
ング面と平行な面内での２次元移動が可能になつ
ている。ボンデイングアーム２には超音波振動子
１７が取り付けられていて、超音波発振器１６が
超音波振動子１７を励振することによりキヤピラ
リ１がボンデイングアーム２を介して超音波加振
される。

位置検出部１１はＸテーブル５およびＹテーブ
ル６の各位置と上下駆動部３のたとえば上下スラ
イドの位置からキヤピラリ１の位置を検出し、キ
ヤピラリ位置信号１２を出力する。超音波発振器
制御部１４は位置信号１２を受け、キヤピラリ１
が第１ボンデイング点から第２ボンデイング点へ
向かう途中の所定の区間にあることを位置信号１
２が示す場合およびキヤピラリ１が第２ボンデイ
ング点から次の第１ボンデイング点へ向かう途中
の所定の位置からボンデイングツールの先端に所
定の長さのワイヤが繰り出される位置までの間に
あることを位置信号１２が示す場合に超音波の発
振を指令する超音波発振タイミング信号１５を超
音波発振器１６へ送出する。超音波発振器１６は
上記の超音波発振タイミング信号１５に基づいて
超音波振動子１７を励振するので、キヤピラリ１
は第１ボンドと第２ボンドとの間のワイヤフイー
ド時と第２ボンド後のボール形成のためのワイヤ
フイード時に超音波加振される。このため、第２
ボンド時にキヤピラリ１の先端部分に付着物が生
じてもこの付着物はキヤピラリ１の超音波振動で
振り落とされるのでキヤピラリ１のワイヤ１０の
通る穴の内におけるワイヤフイードの障害が少な
くなり、さらに、キヤピラリ１が超音波振動をし
ていることによつてワイヤ１０と穴の内壁との接
触が減るのでこれらの間の摩擦が少なくなる。

本実施例はボンデイングツールにキヤピラリ１
を用いているが、ウエツジを用いても本実施例と
同じ作用効果を得ることができる。

（考案の効果） 以上説明したように、本考案のワイヤボンデイ
ング装置は、ワイヤフイードが行われる間にボン
デイングツールを超音波加振するようにしたこと
によつて、この超音波振動が付着物をボンデイン
グツールの先端部分から振り落とすことにより穴
の内におけるワイヤフイードの障害が少なくな
り、同時にワイヤと穴の内壁との摩擦もこの超音
波振動で少なくなるので、ボンデイングツールの
先端部分に付着物ができるようなボンデイングを
行う場合もワイヤフイードを滑らかに行うことが
できるようになり、所定のワイヤループ、所定の
ボールあるいは所定のワイヤテールを安定して形
成できるために不良品の発生やボンデイング動作
の中断が少なくなるという利点を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のワイヤボンデイング装置の実
施例の構成図である。 １……キヤピラリ、２……ボンデイングアー
ム、３……上下駆動部、４……ボンデイングアー
ム支持部、４ａ……支軸、５……Ｘテーブル、６
……Ｙテーブル，７……ワイヤクランプ、８……
ボンデイング対象物、１１……位置検出部、１２
……キヤピラリ位置信号、１４……超音波発振器
制御部、１５……超音波発振タイミング信号、１
６……超音波発振器、１７……超音波振動子。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ワイヤを所定の位置へ導くこととボンデイング
   とを行うボンデイングツールと； ボンデイング
   ツールの位置を検出して位置信号を出力する位置
   検出手段と； ボンデイングツールが第１ボンデ
   イング点から第２ボンデイング点へ向かう途中の
   所定の区間にあることを示す位置信号を受けた時
   およびボンデイングツールが第２ボンデイング点
   から次の第１ボンデイング点へ向かう途中の所定
   の位置からボンデイングツールの先端に所定の長
   さのワイヤが繰り出される位置までの間にあるこ
   とを示す位置信号を受けた時に超音波加振指令信
   号を出力する超音波加振制御手段と； 超音波加
   振指令信号を受け、これに基づいてボンデイング
   ツールを超音波加振する超音波加振手段と； を
   具備することを特徴とするワイヤボンデイング装
   置。