JPH058681Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔概要〕 本考案はプローブカードにおいて、探針を実質
上円錐形状の探針支持体の頂部側に取付け、この
探針支持体をプローブカード基板に固着してなる
構成とすることにより、電気的特性を向上させる
とともに組立及び保守が容易にできるようにした
ものである。

〔産業上の利用分野〕 本考案はプローブカード、特にLSIの製造途中
におけるウエハプロービング試験に使用するプロ
ーブカードに関する。

ウエハ状態のLSIチツプの電気的特性を測定す
るウエハプロービング試験は、探針が固定してあ
るプローブカードを使用し、これをテスタヘツド
に取り付け、探針をLSIチツプの各ボンデイング
パツドに機械的に接触させて行なわれる。

このプローブカードとしては、測定結果に悪影
響が及ばないように、電気的特性が良好であるこ
と、及び組立及び保守がし易いことが必要とされ
る。

〔従来の技術〕

従来のプローブカード１を第９図及び第１０図
に示す。図中、２は円環状のプローブカード基板
であり、複数のチヤネルパターン３が形成してあ
る。４はリングであり、プローブカード基板２の
中央に固定してある。

５は複数の探針であり、夫々基部側をチヤネル
パターン３に半田６により半田付けされ、先端近
傍をリング４により支持され、これを覆う樹脂体
７により固定されて、プローブカード基板２に放
射状に取り付けてある。

このプローブカード１は、各チヤネルパターン
３をテスタヘツド（図示せず）のピン（図示せ
ず）と電気的に接続されて、テスタヘツドに取り
付けられる。探針５の先端がLSIチツプ８の対応
するボンデイングパツド９に接触することによ
り、LSIチツプ８の電気的特性が測定される。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ここで、探針５の長さは、以下に述べるよう
に、プローブカード１自体の電気的特性及び組立
易さと関係する。

探針５が殆ど露出している構成上、長さl₁が長
いとノイズがのり易い。

また探針５が長いと、第１１図に示すように、
導電路の基準位置Ａより探針先端Ｂまでの長さＬ
のうち探針５が占める部分が多くなり、それだけ
インピーダンス整合がとりにくい。

一方、第９図中必要な半田面積を得て半田付け
をし易くするためには、隣り合う半田６の間の間
隔p₁をある程度とる必要がある。このためには半
田付けの個所をプローブカード基板２の外周側に
近づける必要があるが、このようにするとその分
長さの長い探針が必要となつてしまい、上記の不
都合が生じてしまう。

そこで、従来はこれらを勘案して探針の長さ及
び半田付けの個所を定めているが、実際には探針
５は相当長くなり、電気的特性も十分でなく、ま
た半田付面積も十分にとり得ず組立もしにくかつ
た。

また探針５の破損時の修理に当つても、探針５
がプローブカード基板２に直接固定してあること
及び探針５が相当長いことにより、作業がしにく
いという問題点があつた。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点は、以下に示すプローブカードによ
り解決される。

すなわち、チヤネルパターン１２，３４を有す
るプローブカード基板１１と、プローブカード基
板１１に固定され、絶縁体よりなる探針支持体１
３，３１と、探針支持体１３，３１に放射状に形
成された複数の溝１６と、複数の溝１６内に形成
された配線パターン１７，３３と、配線パターン
１７，３３の上端に固定された探針１８とを有
し、チヤネルパターン１２，３４と探針１８と
は、配線パターン１７，３３を介して電気的に接
続されていることを特徴とするプローブカードで
ある。

〔作用〕

探針支持体を設けたことにより、探針の長さが
従来に比べて格段に短くて足りる。

これにより、探針にノイズがのりにくくなると
共に、インピーダンス整合がよくなつて電気的特
性が改善される。

〔実施例〕

第１図及び第２図は本考案の一実施例によるプ
ローブカード１０を示す。第３図及び第４図は
夫々第１図中−線及び−線に沿つて拡大
して示す断面図である。

各図中、１１は円環状のプローブカード基板で
あり、上面のうち周囲近傍に複数のチヤネルパタ
ーン１２が形成してある。

１３は本考案の要部をなす探針支持体である。

この探針支持体１３は、絶縁体製であり、中央
孔１４を有する円錐形状を有する。この探針支持
体１３の斜面１５上にはその全幅に亘つて複数の
溝１６が放射状に形成してある。

各溝１６内にはその全長に亘つて金メツキ層よ
りなる配線パターン１７が形成してある。

１８は探針であり、特に第３図及び第４図に示
すように、先端を溝１６の上端より所定寸法突出
させ、基部側を溝１６内に嵌合されて、配線パタ
ーン１７と導通接続されて放射状に固定されてい
る。

探針支持体１３はプローブカード基板１１上に
位置決めされて取り付けてある。各配線パターン
１７の下端とチヤネルパターン１２とが半田２０
により接続されている。

探針支持体１３の上記溝１６は、被測定LSIチ
ツプ８のボンデイングパツド９の配置に対応して
形成してあり、単に溝１６に嵌合させることによ
り探針１８は、その先端が所定のボンデイングパ
ツド９に対向するように位置決めされる。

チヤネルパターン１２は、上記溝１６、即ち配
線パターン１７と対応するように配設してある。
このため、探針支持体１３がプローブカード基板
１１に取り付けられると、各配線パターン１７と
チヤネルパターン１２とが一致し、半田２０によ
る半田付けはし易い。

このプローブカード１０は、前記のプローブカ
ード１と同様にテスタヘツドに取り付けられ、探
針１８の先端をLSIチツプ８のボンデイングパツ
ド９に接触させて、LSIチツプ８の電気的特性が
測定される。

次に、上記構成のプローブカード１０の特長に
ついて説明する。

チヤネルパターン１２の基部Ａより探針１８の
先端Ｂに到る導電路は、第５図に示すようにチヤ
ネルパターン１にと、配線パターン１７と、探針
１８とよりなる。

配線パターン１７の存在により、各探針１８の
長さl₂は従来のプローブカード１の探針５に比べ
て格段に短い。

探針の長さが短くなつた分、ノイズが探針１８
にのりにくくなる。これにより、LSIチツプ８の
電気的特性の測定結果への影響も少なく、測定結
果は高精度となる。

またチヤネルパターン１２及び配線パターン１
７の部分については、即ち、第５図中、Ａ〜Ｃの
区間については、設計の段階でインピーダンス整
合がとられており、インピーダンス整合を乱す部
分（探針１８）は短い。このため、プローブカー
ド１０は交流特性も従来に比べて改善され、この
ことによつても、上記測定結果は高精度となる。

更には、探針支持体１３の径D₂は、第９図及
び第１０図中探針５の基部を通る円の径D₁より
大きく定めてある。このため、周方向上隣り合う
半田付けをすべき部分の間隔p₂は、上記チヤネル
パターン１２への接続位置が従来の場合よりプロ
ーブカード基板１１の外周側となり、上記接続位
置の周方向上の間隔p₂は従来の間隔p₁より広くな
り、半田付スペースが広くなり、半田２０を形成
する半田付けは容易となる。

また探針１８は短く、取り扱い易い。

これにより、プローブカード１０は作業性良く
製造できる。

また更には、探針１８が破損したときの修理、
交換等は、探針支持体１３をプローブカード基板
１１より取り外して取り扱い易い状態として行な
うことが出来、作業性が良くなり、保守費用が低
減する。

第６図及び第７図は本考案の別の実施例による
プローブカード３０を示す。各図中、第１図及び
第２図に示す構成部分と対応する部分には同一符
号を付す。

プローブカード３０において、上記のプローブ
カード１０と実質上異なるのは探針支持体３１で
ある。

探針支持体３１は、円錐の周囲部分を切除して
周壁面３２とした形状である。

この形状の探針支持体３１を使用すれば、探針
支持体３１上の配線パターン３３とプローブカー
ド基板１１上のチヤネルパターン３４との接続位
置を上記のプローブカード１０に比べてプローブ
カード基板１１の中心側となる。これにより、第
８図に併せて示すように、全体の長さＬのうちチ
ヤネルパターン３４が占める部分が多くなる。従
つてチヤネルパターン３４のインピーダンス整合
を長くすることが出来、交流特性が上記のプロー
ブカード１０に比べて更に改善される。

なお、プローブカード３０は探針１８の数が少
ない場合に適用して効果的である。

本考案によれば、探針を探針支持体の放射状溝
内の配線パターンの上端と電気的に接続させてな
る構成であるため、探針の長さを従来に比べて格
段に短くすることが出来、これにより、探針にノ
イズを乗りにくくし得ると共にインピーダンス整
合をとり易くし得る。これにより、電気的特性が
向上し、LSIチツプの電気的特性を信頼性良く且
つ精度良く測定することが出来る。

探針支持体の斜面には溝があり、探針はこの溝
に嵌合して取り付けてあり、探針の取りつけはし
易い。

探針の修理、交換等は、探針支持体を必要に応
じてプローブカードより取り外して取り扱い易い
状態で行なうことが出来、保守費用を低減出来
る。

また電気的特性を損なわずに、探針支持体の径
を大とすることが出来る。これにより、配線パタ
ーンとチヤネルパターンとの接続部分の周方向上
の間隔が従来に比べて広くなり、広い半田付スペ
ースを確保出来、組立作業がし易い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のプローブカードの一実施例の
斜視図、第２図は第１図のプローブカードの断面
図、第３図は第１図中−線に沿う拡大断面矢
視図、第４図は第１図中−線に沿う拡大断面
矢視図、第５図は第１図中一の導電路の構成を示
す図、第６図は本考案のプローブカードの別の実
施例の斜視図、第７図は第６図のプローブカード
の断面図、第８図は第６図中一の導電路の構成を
示す図、第９図は従来のプローブカードの１例の
斜視図、第１０図は第９図のプローブカードの断
面図、第１１図は第８図中一の導電路の構成図で
ある。 図において、１０，３０はプローブカード、１
１はプローブカード基板、１２，３４はチヤネル
パターン、１３，３１は探針支持体、１５は斜
面、１６は溝、１７，３３は配線パターン、１８
は探針、２０は半田である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 チヤネル１２，３４を有するプローブカード基
   板１１と、 該プローブカード基板１１に固定され、絶縁体
   よりなる探針支持体１３，３１と、 該探針支持体１３，３１に放射状に形成された
   複数の溝１６と、 該複数の溝１６内に形成された配線パターン１
   ７，３３と、 該配線パターン１７，３３の上端に固定された
   探針１８とを有し、 前記チヤネルパターン１２，３４と前記探針１
   ８とは、前記配線パターン１７，３３を介して電
   気的に接続されている構成としたことを特徴とす
   るプローブカード。