JPH0588392B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0588392B2 JPH0588392B2 JP60060585A JP6058585A JPH0588392B2 JP H0588392 B2 JPH0588392 B2 JP H0588392B2 JP 60060585 A JP60060585 A JP 60060585A JP 6058585 A JP6058585 A JP 6058585A JP H0588392 B2 JPH0588392 B2 JP H0588392B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- rotors
- casing
- working chamber
- male
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
〔発明の利用分野〕
本発明はスクリユー式真空ポンプに係り、特に
大気圧から10-4Torrレベルの低・中真空領域に
好適な無潤滑式スクリユー真空ポンプに関する。 〔発明の背景〕 半導体を製造するには、真空状態にした容器内
にウエハーを収納して行なわれるが、容器内を真
空状態にするには、容器内にN2ガス等の不活性
ガスを供給しつつ真空ポンプで吸引し、容器内の
不純物（O2，CO2等）を除去し、数Torrから
10-4Torrレベルの真空状態とするようになつて
いる。 こういつた半導体製造工程において使用される
真空ポンプは、油回転ポンプ、ルーツ式のメカニ
カルブースタポンプなどが用いられている。 しかし、これらポンプには以下の欠点がある。
油回転ポンプでは、使用している潤滑油が、半導
体製造過程で用いる各種ガス（例えば、ヒ素，ガ
リウム，塩等，Poly−Si等）と接触して、潤滑
油としての寿命が非常に短かくなるという欠点が
あつた。また、油分子が半導体製造容器内に逆拡
散して半導体製造工程上好ましくないという問題
があつた。 また、これらポンプでは、適正排気速度を得る
ための使用圧力範囲が狭いため、所定圧力に到達
するまでに数種のポンプを切換えして使用しなけ
ればならないという欠点があつた。 さらに、大気圧から10-4Torrレベルまで一台
の真空ポンプで排気することができず、従来よ
り、無潤滑式で、上記圧力範囲を一台でカバーで
きる真空ポンプの開発が要求されていた。 本発明に関連するものとしては、特公昭56−
17559号公報がある。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、前期問題点に鑑み、10-4
Torrレベルの中真空を、１段でしかも無潤滑の
ポンプで達成できる真空ポンプを提供することに
ある。 〔発明の概要〕 第１図，第２図において、符号２，４はケーシ
ング１内において噛み合うように配置された一対
の雌雄ロータで、それぞれのロータ２，４の軸部
はラジアル軸受５やスラスト軸受６、６Ａ，６Ｂ
で支承されている。両ロータ２，４の軸部には同
期歯車９，１０が設けられ、両ロータ２，４が同
期して回転するようになつており、ケーシング１
の上端部に形成された吸込ポート１１から気体が
両ロータ２，４に圧縮されてケーシング１下端部
に形成された吐出ポート１２へ吐き出され、吸込
ポート１１と連通されている真空容器（図示せ
ず）内を真空状態とするようになつている。ラジ
アル軸受５、スラスト軸受６、同期歯車９，１０
には潤滑油が供給されており、これらの潤滑油が
両ロータ２，４の収納されているケーシング内に
侵入しないようにロータの軸支部にはカーボンリ
ングシール１４、ネジ・シール１５からなる軸封
装置１６，１７が設けられている。 しかし、軸封装置１７の潤滑油はロータ軸端部
にて大気に臨んでいるため大気圧に等しいが、吸
込ポート１１側の軸支部では大気圧によりかなり
低く、ロータ軸支部の潤滑油に差圧が生じ、軸封
装置１７だけでは潤滑油がケーシング内に侵入す
ることを確実に防止することはできない。そのた
め油分子が逆拡散して真空容器内に侵入したり、
あるいは、軸封部から大気が侵入したりして効率
を低下させる等、従来技術の問題点を十分に解決
するまでに至つていない。 第３図は、スクリユー流体機械で雄ロータ２
０、雌ロータ２１が噛み合つている状態をロータ
の周方向に展開して示したモデルである。本図
は、雄ロータの歯数５、雌ロータの歯数６につい
て示しているが、雄ロータの歯数２枚以上で、雌
ロータの歯数が常に１枚多い場合の歯数組合せに
ついても有効である。 ロータを覆うケーシング２２は、その軸方向の
一端が気体の吸入ポート２３として大きく開口し
ており、反対側には吐出ポート２４が設けられて
いる。この両ポート以外ではケーシング２２は微
少な隙間をもつて、ロータ２０，２１を覆い、ロ
ータとケーシングによりＶ字形の作動室を形成す
る。 ロータが回転すると両ロータの噛み合い部は、
吸入ポート２３から吐出ポート２４へ向かつて移
動するが、この際作動室２５，２６はその容積が
最大となつており、２５については、容積減少、
つまり圧縮開始直前である。作動室２６は容積
を、作動室２５の位置まで移動する間圧縮作用は
なく、移送するのみである。 なお、図中、吸入ポート２３と連通している各
作動室は、ロータの回転とともにその容積を増大
させ気体の吸入作用をなす。 第３図で、作動室２７は吐出ポート２４を通し
て気体を吐出中であり、ここの圧力は吐出圧力に
等しく、各作動室の中で最も圧力が高くなつてい
る。作動室２７からの気体の洩れはロータ外周部
およびロータ端面とケーシングの間の隙間を通つ
て隣りの作動室２８へ洩れるものと、両ロータの
噛み合い部Ｋを通つて、雌ロータの作動室の２
６、雄ロータの作動室２５へ洩れるものがある。 スクリユー圧縮機の場合、雄ロータの巻き角
は、通常、360°以下であるので、作動室２５と２
６は直接吸入ポートに連通しており、ロータの噛
み合い部のシール効果の良し悪しが圧縮機の性能
を大きく左右する。ロータ外周部については、吐
出ポートと吸入ポートの間には幾つかのスクリユ
ー山部によるシール効果が期待できるので、ここ
からの気体の洩れは比較的小さい。 そこで、作動室２９，３０が直接吸入ポートへ
洩れないようにするには、第３図で、実線Ｌの部
分までローラを長くすればよい。 これを第５図を用いて再度説明をする。第５図
は、雄ロータ、雌ロータのそれぞれの噛み合い部
とケーシングとロータヘリツクス部とでできるシ
ーリングループの図である。ここに、a11−a1は、
先行ローブチツプのヘリツクス、a6−a7の後続ロ
ーブチツプのシールライン、以下それぞれの記号
は次の表１，表２に示す通りである。
大気圧から10-4Torrレベルの低・中真空領域に
好適な無潤滑式スクリユー真空ポンプに関する。 〔発明の背景〕 半導体を製造するには、真空状態にした容器内
にウエハーを収納して行なわれるが、容器内を真
空状態にするには、容器内にN2ガス等の不活性
ガスを供給しつつ真空ポンプで吸引し、容器内の
不純物（O2，CO2等）を除去し、数Torrから
10-4Torrレベルの真空状態とするようになつて
いる。 こういつた半導体製造工程において使用される
真空ポンプは、油回転ポンプ、ルーツ式のメカニ
カルブースタポンプなどが用いられている。 しかし、これらポンプには以下の欠点がある。
油回転ポンプでは、使用している潤滑油が、半導
体製造過程で用いる各種ガス（例えば、ヒ素，ガ
リウム，塩等，Poly−Si等）と接触して、潤滑
油としての寿命が非常に短かくなるという欠点が
あつた。また、油分子が半導体製造容器内に逆拡
散して半導体製造工程上好ましくないという問題
があつた。 また、これらポンプでは、適正排気速度を得る
ための使用圧力範囲が狭いため、所定圧力に到達
するまでに数種のポンプを切換えして使用しなけ
ればならないという欠点があつた。 さらに、大気圧から10-4Torrレベルまで一台
の真空ポンプで排気することができず、従来よ
り、無潤滑式で、上記圧力範囲を一台でカバーで
きる真空ポンプの開発が要求されていた。 本発明に関連するものとしては、特公昭56−
17559号公報がある。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、前期問題点に鑑み、10-4
Torrレベルの中真空を、１段でしかも無潤滑の
ポンプで達成できる真空ポンプを提供することに
ある。 〔発明の概要〕 第１図，第２図において、符号２，４はケーシ
ング１内において噛み合うように配置された一対
の雌雄ロータで、それぞれのロータ２，４の軸部
はラジアル軸受５やスラスト軸受６、６Ａ，６Ｂ
で支承されている。両ロータ２，４の軸部には同
期歯車９，１０が設けられ、両ロータ２，４が同
期して回転するようになつており、ケーシング１
の上端部に形成された吸込ポート１１から気体が
両ロータ２，４に圧縮されてケーシング１下端部
に形成された吐出ポート１２へ吐き出され、吸込
ポート１１と連通されている真空容器（図示せ
ず）内を真空状態とするようになつている。ラジ
アル軸受５、スラスト軸受６、同期歯車９，１０
には潤滑油が供給されており、これらの潤滑油が
両ロータ２，４の収納されているケーシング内に
侵入しないようにロータの軸支部にはカーボンリ
ングシール１４、ネジ・シール１５からなる軸封
装置１６，１７が設けられている。 しかし、軸封装置１７の潤滑油はロータ軸端部
にて大気に臨んでいるため大気圧に等しいが、吸
込ポート１１側の軸支部では大気圧によりかなり
低く、ロータ軸支部の潤滑油に差圧が生じ、軸封
装置１７だけでは潤滑油がケーシング内に侵入す
ることを確実に防止することはできない。そのた
め油分子が逆拡散して真空容器内に侵入したり、
あるいは、軸封部から大気が侵入したりして効率
を低下させる等、従来技術の問題点を十分に解決
するまでに至つていない。 第３図は、スクリユー流体機械で雄ロータ２
０、雌ロータ２１が噛み合つている状態をロータ
の周方向に展開して示したモデルである。本図
は、雄ロータの歯数５、雌ロータの歯数６につい
て示しているが、雄ロータの歯数２枚以上で、雌
ロータの歯数が常に１枚多い場合の歯数組合せに
ついても有効である。 ロータを覆うケーシング２２は、その軸方向の
一端が気体の吸入ポート２３として大きく開口し
ており、反対側には吐出ポート２４が設けられて
いる。この両ポート以外ではケーシング２２は微
少な隙間をもつて、ロータ２０，２１を覆い、ロ
ータとケーシングによりＶ字形の作動室を形成す
る。 ロータが回転すると両ロータの噛み合い部は、
吸入ポート２３から吐出ポート２４へ向かつて移
動するが、この際作動室２５，２６はその容積が
最大となつており、２５については、容積減少、
つまり圧縮開始直前である。作動室２６は容積
を、作動室２５の位置まで移動する間圧縮作用は
なく、移送するのみである。 なお、図中、吸入ポート２３と連通している各
作動室は、ロータの回転とともにその容積を増大
させ気体の吸入作用をなす。 第３図で、作動室２７は吐出ポート２４を通し
て気体を吐出中であり、ここの圧力は吐出圧力に
等しく、各作動室の中で最も圧力が高くなつてい
る。作動室２７からの気体の洩れはロータ外周部
およびロータ端面とケーシングの間の隙間を通つ
て隣りの作動室２８へ洩れるものと、両ロータの
噛み合い部Ｋを通つて、雌ロータの作動室の２
６、雄ロータの作動室２５へ洩れるものがある。 スクリユー圧縮機の場合、雄ロータの巻き角
は、通常、360°以下であるので、作動室２５と２
６は直接吸入ポートに連通しており、ロータの噛
み合い部のシール効果の良し悪しが圧縮機の性能
を大きく左右する。ロータ外周部については、吐
出ポートと吸入ポートの間には幾つかのスクリユ
ー山部によるシール効果が期待できるので、ここ
からの気体の洩れは比較的小さい。 そこで、作動室２９，３０が直接吸入ポートへ
洩れないようにするには、第３図で、実線Ｌの部
分までローラを長くすればよい。 これを第５図を用いて再度説明をする。第５図
は、雄ロータ、雌ロータのそれぞれの噛み合い部
とケーシングとロータヘリツクス部とでできるシ
ーリングループの図である。ここに、a11−a1は、
先行ローブチツプのヘリツクス、a6−a7の後続ロ
ーブチツプのシールライン、以下それぞれの記号
は次の表１，表２に示す通りである。
【表】
【表】
以下、本発明の一実施例を第９図，第１０図に
より説明する。 雄ロータ３９と雌ロータ４０は主ケーシング４
１と吸入ケーシング４２内の軸受４５，４６，４
７，４８により回転自在に支えられている。ロー
タの軸端にはタイミングギヤ４９，５０を取り付
け、雄・雌ロータが互いに接触しないよう両ロー
タ間の隙間を調整する。軸受４５，４６の潤滑は
飛まつ給油により行ない、吸入カバ４３内に溜つ
た潤滑油５６をタイミングギヤによつて跳ねかけ
る。一方軸受４７，４８の潤滑のため雄ロータ軸
には円板５１を取りつけ、吐出カバ４４内の潤滑
油５７を円板５１により跳ねかける。シヤフトシ
ール５２，５３，５４，５５は軸受やタイミング
ギヤの潤滑油が作動室内へ侵入するのを防いでい
る。ロータの吐出側作動室６６と吐出カバ４４内
はほぼ大気圧になるので吐出側のシヤフトシール
５４，５５に作用する差圧は比較的小さいが、吸
入側作動室６５は10-4Torrレベルの圧力となる
ため吸入カバ４３内を大気に開放すると吸入側シ
ヤフトシール５２，５３に作用する差圧が大きく
なりシールが難かしくなる。そこで吸入カバ４３
内を排圧管５９，６０によつて低圧の差動室６７
と連通させ、吸入カバ４３内の圧力を下げてシヤ
フトシール５２，５３に作用する差圧を小さくし
てシール効果を高めている。吸入カバ４３内は油
の飛沫が充満しているので、この油が排圧管５
９，６０を通つて作動室へ入るのを防ぐため吸入
カバには飛沫分離室５８が設けられ、また排圧管
にはオイルトラツプ６１が取付けられている。ま
た万一排圧管を通つて油が作動室へ入つた場合で
も、この油が吸入ポート６３側へ逆流しないよう
にするため、主ケーシング４１の排圧口６２はロ
ータの作動室６７が吸入ポート６３から完全に閉
じられた後の位置に開口されている。雄ロータ３
９の作動室６７は、この作動室が吸入ポート６３
を通過後吐出ポート６４と連通するまでの間に雌
ロータ４０と２ケ所の噛み合い部６８，６９を有
し、同様に雌ロータの作動室７０は雄ロータと２
ケ所の噛み合い部７１，６９を有する。 ロータの回転に伴い気体は吸入ポート６３から
ロータ歯溝とケーシングによつて形成される作動
室に吸い込まれ、吐出ポート６４から吐出され
る。作動室６７，７０はロータの回転に伴い容積
一定のまま気体を移動するが、さらにロータが回
転した位置にある作動室７２，７３はロータの回
転に伴いその容積を減少させ気体を内部圧縮す
る。このため吐出側では気体の温度が上昇するの
で、主ケーシング４１の吐出側には冷却ジヤケツ
ト７４ａ〜７４ｅを設け、このジヤケツト内に冷
却水を通しケーシングや圧縮気体を冷却する。 〔発明の効果〕 以上詳細に述べたように本発明によれば、大気
圧から10-4Torr程度レベルの中真空を１段のポ
ンプで達成できる真空ポンプを提供することがで
きる。
より説明する。 雄ロータ３９と雌ロータ４０は主ケーシング４
１と吸入ケーシング４２内の軸受４５，４６，４
７，４８により回転自在に支えられている。ロー
タの軸端にはタイミングギヤ４９，５０を取り付
け、雄・雌ロータが互いに接触しないよう両ロー
タ間の隙間を調整する。軸受４５，４６の潤滑は
飛まつ給油により行ない、吸入カバ４３内に溜つ
た潤滑油５６をタイミングギヤによつて跳ねかけ
る。一方軸受４７，４８の潤滑のため雄ロータ軸
には円板５１を取りつけ、吐出カバ４４内の潤滑
油５７を円板５１により跳ねかける。シヤフトシ
ール５２，５３，５４，５５は軸受やタイミング
ギヤの潤滑油が作動室内へ侵入するのを防いでい
る。ロータの吐出側作動室６６と吐出カバ４４内
はほぼ大気圧になるので吐出側のシヤフトシール
５４，５５に作用する差圧は比較的小さいが、吸
入側作動室６５は10-4Torrレベルの圧力となる
ため吸入カバ４３内を大気に開放すると吸入側シ
ヤフトシール５２，５３に作用する差圧が大きく
なりシールが難かしくなる。そこで吸入カバ４３
内を排圧管５９，６０によつて低圧の差動室６７
と連通させ、吸入カバ４３内の圧力を下げてシヤ
フトシール５２，５３に作用する差圧を小さくし
てシール効果を高めている。吸入カバ４３内は油
の飛沫が充満しているので、この油が排圧管５
９，６０を通つて作動室へ入るのを防ぐため吸入
カバには飛沫分離室５８が設けられ、また排圧管
にはオイルトラツプ６１が取付けられている。ま
た万一排圧管を通つて油が作動室へ入つた場合で
も、この油が吸入ポート６３側へ逆流しないよう
にするため、主ケーシング４１の排圧口６２はロ
ータの作動室６７が吸入ポート６３から完全に閉
じられた後の位置に開口されている。雄ロータ３
９の作動室６７は、この作動室が吸入ポート６３
を通過後吐出ポート６４と連通するまでの間に雌
ロータ４０と２ケ所の噛み合い部６８，６９を有
し、同様に雌ロータの作動室７０は雄ロータと２
ケ所の噛み合い部７１，６９を有する。 ロータの回転に伴い気体は吸入ポート６３から
ロータ歯溝とケーシングによつて形成される作動
室に吸い込まれ、吐出ポート６４から吐出され
る。作動室６７，７０はロータの回転に伴い容積
一定のまま気体を移動するが、さらにロータが回
転した位置にある作動室７２，７３はロータの回
転に伴いその容積を減少させ気体を内部圧縮す
る。このため吐出側では気体の温度が上昇するの
で、主ケーシング４１の吐出側には冷却ジヤケツ
ト７４ａ〜７４ｅを設け、このジヤケツト内に冷
却水を通しケーシングや圧縮気体を冷却する。 〔発明の効果〕 以上詳細に述べたように本発明によれば、大気
圧から10-4Torr程度レベルの中真空を１段のポ
ンプで達成できる真空ポンプを提供することがで
きる。
第１図は無潤滑式スクリユー形圧縮機を真空ポ
ンプに適した場合の縦断平面図、第２図はその縦
断面図である。第３図〜第８図は本発明の概要の
説明図、第９図，第１０図は本発明の一実施例の
説明用図であつて第９図は第１０図のＢ−Ｂ断面
図、第１０図は第９図のＡ−Ａ断面である。 ２０……雄ロータのモデル、２１……雌ロータ
のモデル、２２……ケーシングのモデル、３９…
…雄ロータ、４０……雌ロータ、４１……主ケー
シング、４２……吸入ケーシング、４５，４６…
…深みぞ玉軸受、４７，４８……円筒コロ軸受、
４９，５０……タイミングギヤ、５２，５３，５
４，５５……シヤフトシール、６３……吸入ポー
ト、６４……吐出ポート。
ンプに適した場合の縦断平面図、第２図はその縦
断面図である。第３図〜第８図は本発明の概要の
説明図、第９図，第１０図は本発明の一実施例の
説明用図であつて第９図は第１０図のＢ−Ｂ断面
図、第１０図は第９図のＡ−Ａ断面である。 ２０……雄ロータのモデル、２１……雌ロータ
のモデル、２２……ケーシングのモデル、３９…
…雄ロータ、４０……雌ロータ、４１……主ケー
シング、４２……吸入ケーシング、４５，４６…
…深みぞ玉軸受、４７，４８……円筒コロ軸受、
４９，５０……タイミングギヤ、５２，５３，５
４，５５……シヤフトシール、６３……吸入ポー
ト、６４……吐出ポート。
Claims (1)
- １ 吸入ポート、および、吐出ポートが形成され
ているポンプケーシングと、両端部が軸支され同
期して回転するように前期ポンプケーシング内に
配置された互いに噛み合う一対のロータと、それ
ぞれのロータ軸支部に設けられた軸封装置とを備
えてなり、前記の一対ロータの歯数が、雄ロータ
のそれが、雌ロータのそれよりも１枚少くなつて
いるもので、ロータ長さが雄ロータ全巻き角でそ
の範囲を、（雄ロータ歯数Zn＋１）÷Zn×360°を
中心に、（Zn＋１）÷Zn×360°−αと、（Zn＋１）
÷Zn×360°＋360°＋γの間とし、αは圧縮比によ
り、γはローブチツプのヘリツクスの一部の長さ
により決まることを特徴とするオイルフリースク
リユー真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6058585A JPS61223295A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | オイルフリ−スクリユ−真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6058585A JPS61223295A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | オイルフリ−スクリユ−真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61223295A JPS61223295A (ja) | 1986-10-03 |
| JPH0588392B2 true JPH0588392B2 (ja) | 1993-12-22 |
Family
ID=13146463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6058585A Granted JPS61223295A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | オイルフリ−スクリユ−真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61223295A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0518382A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Ebara Corp | スクリユー形真空ポンプ |
| JP2537712B2 (ja) * | 1991-07-10 | 1996-09-25 | 株式会社荏原製作所 | スクリュ―形真空ポンプ |
| JP2006342754A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | オイルフリースクリュー圧縮機 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5936116B2 (ja) * | 1976-08-07 | 1984-09-01 | 株式会社荏原製作所 | 流体機械 |
| JPS55153881A (en) * | 1979-04-24 | 1980-12-01 | Anretsuto:Kk | Helical type double-axle rotary fluid pump |
| JPS5929794A (ja) * | 1982-08-13 | 1984-02-17 | Hitachi Ltd | スクリュー機械のロータ |
| JPS59176489A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-05 | Hitachi Ltd | スクリユ流体機械 |
-
1985
- 1985-03-27 JP JP6058585A patent/JPS61223295A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61223295A (ja) | 1986-10-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101480464B1 (ko) | 스크롤 압축기 및 이를 적용한 냉동기기 | |
| KR880000934B1 (ko) | 스크롤(scroll) 유체기계의 급유장치 | |
| US4714418A (en) | Screw type vacuum pump | |
| JPS62243982A (ja) | ２段型真空ポンプ装置およびその運転方法 | |
| JPH066950B2 (ja) | 多段式ルーツ型真空ポンプ | |
| JPH079239B2 (ja) | スクリュー真空ポンプ | |
| JP3085561B2 (ja) | スクリュー真空ポンプ | |
| JPS61152990A (ja) | スクリユ−真空ポンプ | |
| KR100951551B1 (ko) | 스크롤 압축기 | |
| JP3661885B2 (ja) | スクリュー真空ポンプ及びねじ歯車 | |
| JPS6217389A (ja) | 機械ポンプ | |
| CN218266344U (zh) | 一种无油螺杆鼓风机的组合式密封装置 | |
| JPH06288369A (ja) | スクリュー圧縮機の吸入ポート | |
| JPH08543Y2 (ja) | 油冷式スクリュ圧縮機 | |
| JPS63285279A (ja) | 真空ポンプの軸封装置 | |
| JPS61223295A (ja) | オイルフリ−スクリユ−真空ポンプ | |
| JPH03242489A (ja) | 無給油式スクリュー流体機械 | |
| JP2001065474A (ja) | 無給油式スクロール圧縮機における軸受給油装置 | |
| JPH11270482A (ja) | 真空ポンプ | |
| JPS6123392B2 (ja) | ||
| JPS6124555B2 (ja) | ||
| JP2000291579A (ja) | 水冷式ガス供給装置 | |
| JP3881930B2 (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JPS62197685A (ja) | スクリユ−真空ポンプの軸封装置 | |
| JPS61152992A (ja) | スクリユ−流体機械 |