JPH0589532A - デイスク原盤の製造方法 - Google Patents
デイスク原盤の製造方法Info
- Publication number
- JPH0589532A JPH0589532A JP3248821A JP24882191A JPH0589532A JP H0589532 A JPH0589532 A JP H0589532A JP 3248821 A JP3248821 A JP 3248821A JP 24882191 A JP24882191 A JP 24882191A JP H0589532 A JPH0589532 A JP H0589532A
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- Japan
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- disk
- hole
- copper plate
- positive resist
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ディスクに使用される原盤において、レジ
スト塗布における金属微粉の浮遊を防止して、従来以上
にピットの欠落が少ないディスク原盤の製造方法を提案
することを目的とする。 【構成】 中心に所定の深さの穴５を設けた円板１、金
属層２、３から成る銅盤４を用いることにより、その銅
盤４の表面にポジ型レジスト８を塗布する際、穴５の内
壁と位置決め部材７との機械的な接触により発生した金
属の微粉は、ポジ型レジスト８内に浮遊することがない
ので、ポジ型レジスト８の剥離、膜厚のばらつきをなく
し、ピットの欠落のない原盤を製造できる。
スト塗布における金属微粉の浮遊を防止して、従来以上
にピットの欠落が少ないディスク原盤の製造方法を提案
することを目的とする。 【構成】 中心に所定の深さの穴５を設けた円板１、金
属層２、３から成る銅盤４を用いることにより、その銅
盤４の表面にポジ型レジスト８を塗布する際、穴５の内
壁と位置決め部材７との機械的な接触により発生した金
属の微粉は、ポジ型レジスト８内に浮遊することがない
ので、ポジ型レジスト８の剥離、膜厚のばらつきをなく
し、ピットの欠落のない原盤を製造できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ディスク原盤の製造方
法に関するものである。
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、映像及び音声信号を再生し得るビ
デオディスクやコンパクトディスク等の光ディスクが普
及し、さらに長時間再生、小型化のための、高密度化の
方式が提案されている。例えば特公昭５７−１０５８２
８号公報「光ディスク記録再生方式」に示されている方
式は、銅盤にＶ形状の溝（以下Ｖ溝と略す）を加工し、
そのＶ溝斜面にピットを形成することにより、高密度化
を計るものである。この方式のディスク原盤の製造方法
を図２、３を用いて説明する。
デオディスクやコンパクトディスク等の光ディスクが普
及し、さらに長時間再生、小型化のための、高密度化の
方式が提案されている。例えば特公昭５７−１０５８２
８号公報「光ディスク記録再生方式」に示されている方
式は、銅盤にＶ形状の溝（以下Ｖ溝と略す）を加工し、
そのＶ溝斜面にピットを形成することにより、高密度化
を計るものである。この方式のディスク原盤の製造方法
を図２、３を用いて説明する。
【０００３】図２において、１はアルミの円板、２は亜
鉛・ニッケルの金属層、３は銅の金属層、４はＶ溝を加
工した銅盤、６は回転テーブル、７は位置決め部材、８
はポジ型レジスト、９はダイヤモンドバイト、１０は円
板の貫通穴である。図３において、１１はピットであ
る。
鉛・ニッケルの金属層、３は銅の金属層、４はＶ溝を加
工した銅盤、６は回転テーブル、７は位置決め部材、８
はポジ型レジスト、９はダイヤモンドバイト、１０は円
板の貫通穴である。図３において、１１はピットであ
る。
【０００４】中心に貫通穴１０を設けた円板１を心材と
して、その表面に金属層２、３を形成した円板を銅盤４
とし、その銅盤４の金属層３にダイヤモンドバイト９に
より螺旋状のＶ溝を形成する（図２（ａ））。次いで、
位置決め部材７が貫通穴１０に挿入されるように銅盤４
（断面図で示す）を回転テーブル６に配置して真空で吸
着固定する。一定回転数で銅盤４を回転させながらポジ
型レジスト８を銅盤４の表面に塗布し（図２（ｂ））、
Ｖ溝斜面に０．１μｍ程度の膜を形成する（図２
（ｃ））。
して、その表面に金属層２、３を形成した円板を銅盤４
とし、その銅盤４の金属層３にダイヤモンドバイト９に
より螺旋状のＶ溝を形成する（図２（ａ））。次いで、
位置決め部材７が貫通穴１０に挿入されるように銅盤４
（断面図で示す）を回転テーブル６に配置して真空で吸
着固定する。一定回転数で銅盤４を回転させながらポジ
型レジスト８を銅盤４の表面に塗布し（図２（ｂ））、
Ｖ溝斜面に０．１μｍ程度の膜を形成する（図２
（ｃ））。
【０００５】図では示さないが、映像及び音声信号に対
応してレーザー光線でポジ型レジスト８を露光し、その
露光部を現像液により除去した後、Ａｒイオンを銅盤表
面に照射して、Ｖ溝斜面にピットを形成し、最後にポジ
型レジスト８を除去する。図３に完成したディスク原盤
を示す。
応してレーザー光線でポジ型レジスト８を露光し、その
露光部を現像液により除去した後、Ａｒイオンを銅盤表
面に照射して、Ｖ溝斜面にピットを形成し、最後にポジ
型レジスト８を除去する。図３に完成したディスク原盤
を示す。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の方法では、銅盤４を回転テーブル６に固定すると
き、貫通穴１０の内壁と位置決め部材７が機械的に接触
するため、金属の微粉が発生する。その金属の微粉は、
ポジ型レジスト８を塗布する際に銅盤表面を汚染し、ポ
ジ型レジスト８の剥離や膜厚のばらつきをもたらし、ピ
ット１１の欠落を発生させるという大きな問題があっ
た。
来の方法では、銅盤４を回転テーブル６に固定すると
き、貫通穴１０の内壁と位置決め部材７が機械的に接触
するため、金属の微粉が発生する。その金属の微粉は、
ポジ型レジスト８を塗布する際に銅盤表面を汚染し、ポ
ジ型レジスト８の剥離や膜厚のばらつきをもたらし、ピ
ット１１の欠落を発生させるという大きな問題があっ
た。
【０００７】そこで本発明は、ポジ型レジスト８を塗布
する際に金属の微粉が、ポジ型レジスト８内に浮遊しな
いようにして、銅盤表面の汚染を防止するディスク原盤
の製造方法を提供することを目的とするものである。
する際に金属の微粉が、ポジ型レジスト８内に浮遊しな
いようにして、銅盤表面の汚染を防止するディスク原盤
の製造方法を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そして上記課題を解決す
るため請求項１記載の発明は、円板を心材とし、前記円
板に形成された金属層に螺旋状のＶ字状の溝を加工し、
その溝の斜面にピットを設けるディスク原盤であって、
中心に所定の深さの穴を設けた円板を心材として用いる
ことを特徴とするディスク原盤の製造方法である。
るため請求項１記載の発明は、円板を心材とし、前記円
板に形成された金属層に螺旋状のＶ字状の溝を加工し、
その溝の斜面にピットを設けるディスク原盤であって、
中心に所定の深さの穴を設けた円板を心材として用いる
ことを特徴とするディスク原盤の製造方法である。
【０００９】
【作用】請求項１記載の発明は上記したように、従来例
のように回転テーブルの位置決め部材を挿入する穴を、
銅盤の中心に貫通穴として設けるのではなく、銅盤の中
心に所定の深さの穴を設けて、その穴に位置決め部材を
挿入することにより、金属の微粉が発生してもポジ型レ
ジスト内に浮遊することがない。従って、金属の微粉に
よる銅盤表面の汚染を防止することが可能となる。
のように回転テーブルの位置決め部材を挿入する穴を、
銅盤の中心に貫通穴として設けるのではなく、銅盤の中
心に所定の深さの穴を設けて、その穴に位置決め部材を
挿入することにより、金属の微粉が発生してもポジ型レ
ジスト内に浮遊することがない。従って、金属の微粉に
よる銅盤表面の汚染を防止することが可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明について図面を参照して詳細に
説明する。図１（ａ）、（ｂ），（ｃ）は本発明の一実
施例によるディスク原盤の製造方法を工程順に示す概略
図を示している。
説明する。図１（ａ）、（ｂ），（ｃ）は本発明の一実
施例によるディスク原盤の製造方法を工程順に示す概略
図を示している。
【００１１】まず、円板１の中心に所定の深さの穴５を
設けた円板１の表面にメッキ法により亜鉛・ニッケルの
金属層２、銅の金属層３を形成する。金属層１、２を施
したものを銅盤４とし、その表面に機械的にダイヤモン
ドバイト９を用いて、螺旋状のＶ溝を加工する（図１
（ａ））。
設けた円板１の表面にメッキ法により亜鉛・ニッケルの
金属層２、銅の金属層３を形成する。金属層１、２を施
したものを銅盤４とし、その表面に機械的にダイヤモン
ドバイト９を用いて、螺旋状のＶ溝を加工する（図１
（ａ））。
【００１２】次いで、位置決め部材７が穴５に挿入され
るように銅盤４（断面図で示す）を回転テーブル６に配
置して真空で吸着固定する。一定回転数で銅盤４を回転
させながらポジ型レジスト８を銅盤４の表面に塗布して
（第１図（ｂ））、Ｖ溝斜面に０．１μｍ程度の膜を形
成する（図１（ｃ））。
るように銅盤４（断面図で示す）を回転テーブル６に配
置して真空で吸着固定する。一定回転数で銅盤４を回転
させながらポジ型レジスト８を銅盤４の表面に塗布して
（第１図（ｂ））、Ｖ溝斜面に０．１μｍ程度の膜を形
成する（図１（ｃ））。
【００１３】この際、回転テーブル６の中心に設けられ
た位置決め部材７と穴５の内壁との機械的な接触により
発生した金属の微粉は、穴５が貫通していないため、ポ
ジ型レジスト８内に浮遊することがなく、金属の微粉に
よる銅盤表面の汚染を防止することができる。また本発
明は、アルミの円板を心材としたが、銅、鉄等の金属類
やガラス、樹脂等にも適用できるものである。
た位置決め部材７と穴５の内壁との機械的な接触により
発生した金属の微粉は、穴５が貫通していないため、ポ
ジ型レジスト８内に浮遊することがなく、金属の微粉に
よる銅盤表面の汚染を防止することができる。また本発
明は、アルミの円板を心材としたが、銅、鉄等の金属類
やガラス、樹脂等にも適用できるものである。
【００１４】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のディスク原
盤の製造方法によれば、貫通穴を設けないことにより、
金属の微粉がフォトレジスト内に浮遊することがないの
で、剥離や膜厚のばらつきが少ない安定したレジスト膜
の成膜が可能であり、従来以上にピットの欠落のないデ
ィスク原盤を製造することができる。
盤の製造方法によれば、貫通穴を設けないことにより、
金属の微粉がフォトレジスト内に浮遊することがないの
で、剥離や膜厚のばらつきが少ない安定したレジスト膜
の成膜が可能であり、従来以上にピットの欠落のないデ
ィスク原盤を製造することができる。
【図１】本発明のディスク原盤の製造方法の一実施例の
工程図
工程図
【図２】従来のディスク原盤の製造方法の工程図
【図３】ディスク原盤の部分拡大外観図
１ 円板 ２ 亜鉛・ニッケルの金属層 ３ 銅の金属層 ４ 銅盤 ５ 穴 ６ 回転テーブル ７ 位置決め部材 ８ ポジ型レジスト ９ ダイヤモンドバイト １０ 貫通穴 １１ ピット
Claims (1)
- 【請求項１】円板を心材とし、前記円板に形成された金
属層に螺旋状のＶ字状の溝を加工し、その後、溝の斜面
に感光層をスピンコートし、前記感光層を露光してピッ
トを形成するディスク原盤の製造方法であって、前記円
盤の中心には、貫通しない深さの穴を形成し、前記スピ
ンコート時には、前記穴に挿入された軸を回転中心とし
て前記円盤が回転されるディスク原盤の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3248821A JPH0589532A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | デイスク原盤の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3248821A JPH0589532A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | デイスク原盤の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0589532A true JPH0589532A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17183918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3248821A Pending JPH0589532A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | デイスク原盤の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0589532A (ja) |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP3248821A patent/JPH0589532A/ja active Pending
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