JPH0590069A - 積層磁器素子の製造方法 - Google Patents
積層磁器素子の製造方法Info
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- JPH0590069A JPH0590069A JP27679391A JP27679391A JPH0590069A JP H0590069 A JPH0590069 A JP H0590069A JP 27679391 A JP27679391 A JP 27679391A JP 27679391 A JP27679391 A JP 27679391A JP H0590069 A JPH0590069 A JP H0590069A
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Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 積層磁器コンデンサの積層精度の変動幅を少
なくし、製造歩留りを高める。 【構成】 エチルセルロースとロジンとから成る有機バ
インダーを用意する。この有機バインダーと金属粉末を
混合して導電性ペーストを作り、グリーンシート1上に
印刷して内部電極塗布層2を形成する。内部電極塗布層
2を有するグリーンシート1を積層して熱圧着し、しか
る後焼成する。内部電極塗布層2にロジンが含まれてい
るので、この内部電極塗布層2は積層時にこれに対向す
るグリーンシートに良好に接着する。
なくし、製造歩留りを高める。 【構成】 エチルセルロースとロジンとから成る有機バ
インダーを用意する。この有機バインダーと金属粉末を
混合して導電性ペーストを作り、グリーンシート1上に
印刷して内部電極塗布層2を形成する。内部電極塗布層
2を有するグリーンシート1を積層して熱圧着し、しか
る後焼成する。内部電極塗布層2にロジンが含まれてい
るので、この内部電極塗布層2は積層時にこれに対向す
るグリーンシートに良好に接着する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は積層磁器コンデンサ等の
積層磁器素子の製造方法に関する。
積層磁器素子の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】積層磁器コンデンサを製作する際には、
誘電体磁器生シート即ちグリーンシートを用意し、この
グリーンシート上に導電性ペーストを塗布して内部電極
層を形成し、次に、内部電極層を有するグリーンシート
を複数枚積層し、しかる後焼成する。
誘電体磁器生シート即ちグリーンシートを用意し、この
グリーンシート上に導電性ペーストを塗布して内部電極
層を形成し、次に、内部電極層を有するグリーンシート
を複数枚積層し、しかる後焼成する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】所望精度の積層磁器コ
ンデンサを高い歩留りで形成するためには、内部電極層
を高精度に形成することが必要になる。内部電極層を精
度良く形成するためには、導電性ペーストの印刷の精度
を高めると共に、導電性ペーストの塗布層を有するグリ
ーンシートの積層の精度を高めることが必要になる。積
層の精度を高めるためには、積層の機械的精度を高める
と共に、グリーンシート相互間の密着性を高めることが
必要になる。グリーンシート相互間の密着性が悪いと、
積層体を治具から取り外す時に静電気や空気の巻き込み
現象によってグリーンシートの一部又は全部が剥れて位
置ずれが発生し、内部電極層の精度の低下が生じる。
ンデンサを高い歩留りで形成するためには、内部電極層
を高精度に形成することが必要になる。内部電極層を精
度良く形成するためには、導電性ペーストの印刷の精度
を高めると共に、導電性ペーストの塗布層を有するグリ
ーンシートの積層の精度を高めることが必要になる。積
層の精度を高めるためには、積層の機械的精度を高める
と共に、グリーンシート相互間の密着性を高めることが
必要になる。グリーンシート相互間の密着性が悪いと、
積層体を治具から取り外す時に静電気や空気の巻き込み
現象によってグリーンシートの一部又は全部が剥れて位
置ずれが発生し、内部電極層の精度の低下が生じる。
【0004】グリーンシートの密着性を向上させるため
に、グリーンシート中の有機バインダーを増量させるこ
と、又は可塑剤を増量させることが考えられる。しか
し、前者の方法を採用すると、グリーンシート中の有機
バインダーの割合が多くなり過ぎるために、熱分解によ
ってこれを除去すること即ち脱バインダーを良好に行う
ことが困難になり、焼結状態が悪くなる。また、後者の
方法を採用すると、グリーンシートの室温での変形が大
きくなり、グリーンシートの精度の高い積層が困難にな
る。
に、グリーンシート中の有機バインダーを増量させるこ
と、又は可塑剤を増量させることが考えられる。しか
し、前者の方法を採用すると、グリーンシート中の有機
バインダーの割合が多くなり過ぎるために、熱分解によ
ってこれを除去すること即ち脱バインダーを良好に行う
ことが困難になり、焼結状態が悪くなる。また、後者の
方法を採用すると、グリーンシートの室温での変形が大
きくなり、グリーンシートの精度の高い積層が困難にな
る。
【0005】ところで、グリーンシート相互間の密着性
は、導電性ペーストの塗布層の接着性を向上させること
によっても改善される。そこで、本発明は、導電性ペー
ストの塗布層の接着性を向上させて精度の高い積層磁器
素子を得ることを目的とする。
は、導電性ペーストの塗布層の接着性を向上させること
によっても改善される。そこで、本発明は、導電性ペー
ストの塗布層の接着性を向上させて精度の高い積層磁器
素子を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、磁器生シート表面上に、金属粉末とロジン
を含有した有機バインダーとを含む導電性ペーストを塗
布して導電性塗布層を形成する工程と、前記導電性塗布
層を有する磁器生シートを複数枚積層し、圧着すること
によって積層体を形成する工程と、前記積層体を焼成す
る工程とを有することを特徴とする積層磁器素子の製造
方法に係わるものである。なお、有機バインダーは、5
0〜90重量%の合成樹脂と、10〜50重量%のロジ
ンとから成ることが望ましい。また、合成樹脂はエチル
セルロースであることが望ましい。
の本発明は、磁器生シート表面上に、金属粉末とロジン
を含有した有機バインダーとを含む導電性ペーストを塗
布して導電性塗布層を形成する工程と、前記導電性塗布
層を有する磁器生シートを複数枚積層し、圧着すること
によって積層体を形成する工程と、前記積層体を焼成す
る工程とを有することを特徴とする積層磁器素子の製造
方法に係わるものである。なお、有機バインダーは、5
0〜90重量%の合成樹脂と、10〜50重量%のロジ
ンとから成ることが望ましい。また、合成樹脂はエチル
セルロースであることが望ましい。
【0007】
【作用】本発明のロジンを含む導電性塗布層は接着力を
有し、積層時にこれに対向する磁器生シート(グリーン
シート)に対して接着する。従って、積層時及びその後
におけるグリーンシートの剥れ及びずれが生じ難い。有
機バインダーを50〜90重量%の合成樹脂と、10〜
50重量%のロジンの混合物とすれば、適当な接着力が
得られる。請求項3に示すように有機バインダーをエチ
ルセルロースとロジンとの組み合せとした場合には、エ
チルセルロースの接着力不足をロジンが補う。即ち、金
属粉末とエチルセルロースから成る導電性ペーストをグ
リーンシートに印刷して乾燥させた膜は接着性を実質的
に具備せず、積層体はグリーンシート領域のみで接着さ
れた状態にあり、グリーンシート相互間の接着力が低
い。これに対し、ロジンが混入されると、導電性塗布層
の接着力が大きくなり、グリーンシート相互間の全領域
が接着領域として機能する。ロジンは、エチルセルロ−
スや有機バインダ−として用いられるその他の合成樹脂
と同様に200℃付近から熱分解するので、脱バインダ
ーが良好に進行し、焼結性を低下させない。
有し、積層時にこれに対向する磁器生シート(グリーン
シート)に対して接着する。従って、積層時及びその後
におけるグリーンシートの剥れ及びずれが生じ難い。有
機バインダーを50〜90重量%の合成樹脂と、10〜
50重量%のロジンの混合物とすれば、適当な接着力が
得られる。請求項3に示すように有機バインダーをエチ
ルセルロースとロジンとの組み合せとした場合には、エ
チルセルロースの接着力不足をロジンが補う。即ち、金
属粉末とエチルセルロースから成る導電性ペーストをグ
リーンシートに印刷して乾燥させた膜は接着性を実質的
に具備せず、積層体はグリーンシート領域のみで接着さ
れた状態にあり、グリーンシート相互間の接着力が低
い。これに対し、ロジンが混入されると、導電性塗布層
の接着力が大きくなり、グリーンシート相互間の全領域
が接着領域として機能する。ロジンは、エチルセルロ−
スや有機バインダ−として用いられるその他の合成樹脂
と同様に200℃付近から熱分解するので、脱バインダ
ーが良好に進行し、焼結性を低下させない。
【0008】
【実施例】次に、図1〜図3を参照して本発明の実施例
に係わる積層磁器コンデンサの製造方法を説明する。
に係わる積層磁器コンデンサの製造方法を説明する。
【0009】まず、78モル%のBaTiO3 と22モ
ル%のBaZrO3 とから成る主成分にNd2 O3 とM
nOとを微量加えた誘電体磁器材料粉末と、有機バイン
ダーとから成るスラリーを形成し、ドクターブレード法
によって厚さ約10〜11μmの長尺の磁器生シ−ト即
ちグリ−ンシ−トをベ−スフィルム上に形成し、その後
切断して、縦幅約100mm、横幅約70mmのグリーンシ
ートを複数枚形成した。
ル%のBaZrO3 とから成る主成分にNd2 O3 とM
nOとを微量加えた誘電体磁器材料粉末と、有機バイン
ダーとから成るスラリーを形成し、ドクターブレード法
によって厚さ約10〜11μmの長尺の磁器生シ−ト即
ちグリ−ンシ−トをベ−スフィルム上に形成し、その後
切断して、縦幅約100mm、横幅約70mmのグリーンシ
ートを複数枚形成した。
【0010】また、100重量部のパラジウム(Pd)
から成る粒径0.1〜1.0μmの金属粉末と、15重
量部の有機バインダーと、75重量部の溶剤とから成る
導電性ペーストを用意した。なお、有機バインダーは、
50重量%のエチルセルロースと50重量%のロジンと
の混合物から成る第1の有機バインダーである。溶剤に
はα−テルピネオールを使用した。
から成る粒径0.1〜1.0μmの金属粉末と、15重
量部の有機バインダーと、75重量部の溶剤とから成る
導電性ペーストを用意した。なお、有機バインダーは、
50重量%のエチルセルロースと50重量%のロジンと
の混合物から成る第1の有機バインダーである。溶剤に
はα−テルピネオールを使用した。
【0011】上記組成の導電性ペーストを作製する際に
は、まず、エチルセルロース及びロジンをテルピネオー
ルに溶解させて水飴状の有機バインダー液を得た。次
に、この有機バインダー液の半分に、パラジウム金属粉
末を加えて撹拌し、しかる後、残りの半分を加えて撹拌
して導電性ペーストを得た。なお、この導電性ペースト
の粘度及びチクソ比は従来のペーストとほとんど同じで
あった。
は、まず、エチルセルロース及びロジンをテルピネオー
ルに溶解させて水飴状の有機バインダー液を得た。次
に、この有機バインダー液の半分に、パラジウム金属粉
末を加えて撹拌し、しかる後、残りの半分を加えて撹拌
して導電性ペーストを得た。なお、この導電性ペースト
の粘度及びチクソ比は従来のペーストとほとんど同じで
あった。
【0012】このようにして作製した導電性ペースト
を、図1に示すように誘電体グリーンシート1上にメッ
シュ#400のスクリーンを使用して周知のスクリーン
印刷法で塗布し、55℃、30分間乾燥して電極塗布層
2を形成した。なお、電極塗布層2の相互間に約0.6
5mmの非塗布領域を設けた。
を、図1に示すように誘電体グリーンシート1上にメッ
シュ#400のスクリーンを使用して周知のスクリーン
印刷法で塗布し、55℃、30分間乾燥して電極塗布層
2を形成した。なお、電極塗布層2の相互間に約0.6
5mmの非塗布領域を設けた。
【0013】次に、図1の電極塗布層2を有するグリー
ンシート1を周知の方法で電極塗布層2の長手方向に交
互にずらして複数枚積層し、且つこれ等の上下に電極塗
布層2を持たないグリーンシートを配置し、しかる後、
これ等を熱圧着することによって積層体を形成し、この
積層体を図中の点線に沿って切断した後、これを130
0℃で焼成した。これにより、図2に示すように誘電体
磁器1aと内部電極層2aとから成る焼結後の積層体が
複数得られた。次に、積層体の左右の面に1つ置きにに
露出した内部電極層2aに接続されるように一対の外部
電極3、4を設けて積層磁器コンデンサを完成させた。
ンシート1を周知の方法で電極塗布層2の長手方向に交
互にずらして複数枚積層し、且つこれ等の上下に電極塗
布層2を持たないグリーンシートを配置し、しかる後、
これ等を熱圧着することによって積層体を形成し、この
積層体を図中の点線に沿って切断した後、これを130
0℃で焼成した。これにより、図2に示すように誘電体
磁器1aと内部電極層2aとから成る焼結後の積層体が
複数得られた。次に、積層体の左右の面に1つ置きにに
露出した内部電極層2aに接続されるように一対の外部
電極3、4を設けて積層磁器コンデンサを完成させた。
【0014】本実施例により、目標とする範囲の静電容
量を有する積層磁器コンデンサを高い歩留りで得ること
ができた。即ちロジンを含まない従来の有機バインダー
を使用した場合の積層磁器コンデンサの製造歩留りより
も高い歩留りを得ることができた。このように歩留りが
高くなるのは、ロジンを含めることによって乾燥後の電
極塗布層2と積層時にこれに対向するグリーンシートと
の間の接着力が強くなり、積層時におけるグリーンシー
トの位置ずれが少なくなるためである。
量を有する積層磁器コンデンサを高い歩留りで得ること
ができた。即ちロジンを含まない従来の有機バインダー
を使用した場合の積層磁器コンデンサの製造歩留りより
も高い歩留りを得ることができた。このように歩留りが
高くなるのは、ロジンを含めることによって乾燥後の電
極塗布層2と積層時にこれに対向するグリーンシートと
の間の接着力が強くなり、積層時におけるグリーンシー
トの位置ずれが少なくなるためである。
【0015】ロジンとエチルセルロースとの混合物が有
機バインダーとして適していることを調べるために、図
1に示す電極塗布層2を有するグリーンシート1の上
に、電極塗布層を有さない他は図1のグリーンシートと
同一のグリーンシート即ちカバーシート10を図3に示
すように重ね、圧力350kg/cm2 、70℃の条件で熱
圧着し、グリーンシート1の下面を両面接着テープ11
で平坦な台12に貼り付け、カバーシート10の端面に
ロードセル13を取り付け、これを一定の速度で引き上
げ、剥れ始めた時の荷重を検出したところ、50グラム
重であった。
機バインダーとして適していることを調べるために、図
1に示す電極塗布層2を有するグリーンシート1の上
に、電極塗布層を有さない他は図1のグリーンシートと
同一のグリーンシート即ちカバーシート10を図3に示
すように重ね、圧力350kg/cm2 、70℃の条件で熱
圧着し、グリーンシート1の下面を両面接着テープ11
で平坦な台12に貼り付け、カバーシート10の端面に
ロードセル13を取り付け、これを一定の速度で引き上
げ、剥れ始めた時の荷重を検出したところ、50グラム
重であった。
【0016】比較のために、15重量部の有機バインダ
ーの全部をエチルセルロースとした他は実施例と同様に
作製した導電性ペーストを使用して図3と同一の方法で
グリーンシート1に対するカバーシート10の接着力を
測定したところ、18グラム重であった。比較例と実施
例との対比から明らかなように本実施例のロジンを含む
有機バインダーを使用することによってグリーンシート
相互間の接着力を大幅に向上させることができる。
ーの全部をエチルセルロースとした他は実施例と同様に
作製した導電性ペーストを使用して図3と同一の方法で
グリーンシート1に対するカバーシート10の接着力を
測定したところ、18グラム重であった。比較例と実施
例との対比から明らかなように本実施例のロジンを含む
有機バインダーを使用することによってグリーンシート
相互間の接着力を大幅に向上させることができる。
【0017】有機バインダーにおけるエチルセルロース
とロジンとの割合を変えることができることを確かめる
ために、エチルセルロース70重量%とロジン30重量
%とから成る第2の有機バインダーと、エチルセルロー
ス90重量%とロジン10重量%とから成る第3の有機
バインダーと、エチルセルロース30重量%とロジン7
0重量%とから成る第4の有機バインダーとを作った。
次に、第2及び第3の有機バインダーを使用して図1と
同様にグリーンシートに電極塗布層を作り、図3と同一
の方法で接着力を測定したところ、35グラム重及び2
5グラム重であり、比較例よりも大きな接着力が得られ
た。なお、第4の有機バインダーを含む導電性ペースト
はグリーンシート上に印刷した時に縁近傍にかすれが認
められたので、第4の有機バインダーに基づく接着力の
測定は行わなかった。
とロジンとの割合を変えることができることを確かめる
ために、エチルセルロース70重量%とロジン30重量
%とから成る第2の有機バインダーと、エチルセルロー
ス90重量%とロジン10重量%とから成る第3の有機
バインダーと、エチルセルロース30重量%とロジン7
0重量%とから成る第4の有機バインダーとを作った。
次に、第2及び第3の有機バインダーを使用して図1と
同様にグリーンシートに電極塗布層を作り、図3と同一
の方法で接着力を測定したところ、35グラム重及び2
5グラム重であり、比較例よりも大きな接着力が得られ
た。なお、第4の有機バインダーを含む導電性ペースト
はグリーンシート上に印刷した時に縁近傍にかすれが認
められたので、第4の有機バインダーに基づく接着力の
測定は行わなかった。
【0018】図3に示すグリーンシート1とカバーシー
ト10との熱圧着の温度を55℃に変えた他は、図3と
同一の方法で第1、第2及び第3の有機バインダーを使
用した時の接着力を測定したところ、22グラム重、1
8グラム重、及び15グラム重であった。またロジンを
含まない比較例の有機バインダーを使用し、55℃で熱
圧着した場合には、接着力が11グラム重であった。
ト10との熱圧着の温度を55℃に変えた他は、図3と
同一の方法で第1、第2及び第3の有機バインダーを使
用した時の接着力を測定したところ、22グラム重、1
8グラム重、及び15グラム重であった。またロジンを
含まない比較例の有機バインダーを使用し、55℃で熱
圧着した場合には、接着力が11グラム重であった。
【0019】
【変形例】本発明は上述の実施例に限定されるものでは
なく、例えば次の変形が可能なものである。 (1) 金属粉末を、銀、銀−パラジウム、ニッケル、
銅等の粉末にすることができる。 (2) 積層磁器コンデンサに限らず、多層回路基板等
の積層磁器素子にも本発明を適用することができる。 (3) 有機バインダーに対する溶剤の量を例えば65
〜85重量部、積層体の焼成温度を例えば900℃〜1
400℃のように変えることができる。 (4) 有機バインダーにポリエチレンオキサイド等の
接着性を有するものを付加することができる。
なく、例えば次の変形が可能なものである。 (1) 金属粉末を、銀、銀−パラジウム、ニッケル、
銅等の粉末にすることができる。 (2) 積層磁器コンデンサに限らず、多層回路基板等
の積層磁器素子にも本発明を適用することができる。 (3) 有機バインダーに対する溶剤の量を例えば65
〜85重量部、積層体の焼成温度を例えば900℃〜1
400℃のように変えることができる。 (4) 有機バインダーにポリエチレンオキサイド等の
接着性を有するものを付加することができる。
【0020】
【発明の効果】上述から明らかなように本発明によれ
ば、導電性塗布層を有するグリーンシートの積層体にお
ける層間の接着力を高めることによって積層磁器素子の
製造歩留りを向上させることができる。また、請求項3
に示すようにエチルセルロースとロジンの組み合せにす
れば、良好な導電性ペーストが得られる。
ば、導電性塗布層を有するグリーンシートの積層体にお
ける層間の接着力を高めることによって積層磁器素子の
製造歩留りを向上させることができる。また、請求項3
に示すようにエチルセルロースとロジンの組み合せにす
れば、良好な導電性ペーストが得られる。
【図1】本発明の実施例に係わる導電性塗布層を有する
グリーンシートを示す平面図である。
グリーンシートを示す平面図である。
【図2】本発明の実施例に係わる積層磁器コンデンサの
一部を示す断面図である。
一部を示す断面図である。
【図3】グリーンシートの積層体の接着力の測定方法を
説明するための断面図である。
説明するための断面図である。
1 グリーンシート 2 導電性塗布層
Claims (3)
- 【請求項1】 磁器生シート表面上に、金属粉末とロジ
ンを含有した有機バインダーとを含む導電性ペーストを
塗布して導電性塗布層を形成する工程と、 前記導電性塗布層を有する磁器生シートを複数枚積層
し、圧着することによって積層体を形成する工程と、 前記積層体を焼成する工程とを有することを特徴とする
積層磁器素子の製造方法。 - 【請求項2】 前記ロジンを含有した有機バインダーに
は、50〜90重量%の合成樹脂と10〜50重量%の
ロジンとから成ることを特徴とする請求項1記載の積層
磁器素子の製造方法。 - 【請求項3】 前記合成樹脂はエチルセルロースである
請求項2記載の積層磁器素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27679391A JPH0590069A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 積層磁器素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27679391A JPH0590069A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 積層磁器素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0590069A true JPH0590069A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17574458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27679391A Pending JPH0590069A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 積層磁器素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0590069A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6487774B1 (en) | 1998-01-22 | 2002-12-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of forming an electronic component using ink |
| JP2008277766A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-11-13 | Tdk Corp | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP2008277765A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-11-13 | Tdk Corp | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP2010067721A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Tdk Corp | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP2010067719A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Tdk Corp | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55113317A (en) * | 1979-02-23 | 1980-09-01 | Shoei Chemical Ind Co | Conductive composition for laminated capacitor internal electrode |
| JPS58112319A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-04 | 昭栄化学工業株式会社 | 積層コンデンサ内部電極用高温焼成型導電性塗料 |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP27679391A patent/JPH0590069A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55113317A (en) * | 1979-02-23 | 1980-09-01 | Shoei Chemical Ind Co | Conductive composition for laminated capacitor internal electrode |
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6487774B1 (en) | 1998-01-22 | 2002-12-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of forming an electronic component using ink |
| US6979416B2 (en) | 1998-01-22 | 2005-12-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of forming an electronic component using ink |
| JP2008277766A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-11-13 | Tdk Corp | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP2008277765A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-11-13 | Tdk Corp | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP2010067721A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Tdk Corp | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP2010067719A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Tdk Corp | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19951121 |