JPH0589720A - 導電性ペ−スト及びそれを用いた積層磁器素子の製造方法 - Google Patents
導電性ペ−スト及びそれを用いた積層磁器素子の製造方法Info
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- JPH0589720A JPH0589720A JP27679491A JP27679491A JPH0589720A JP H0589720 A JPH0589720 A JP H0589720A JP 27679491 A JP27679491 A JP 27679491A JP 27679491 A JP27679491 A JP 27679491A JP H0589720 A JPH0589720 A JP H0589720A
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Landscapes
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- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
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- Conductive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 積層磁器コンデンサの積層精度の変動幅を少
なくし、製造歩留りを高める。 【構成】 エチルセルロースとポリエチレンオキサイド
とから成る有機バインダーを用意する。この有機バイン
ダーと金属粉末を混合して導電性ペーストを作り、グリ
ーンシート１上に印刷して内部電極塗布層２を形成す
る。内部電極塗布層２を有するグリーンシート１を積層
して熱圧着し、しかる後焼成する。内部電極塗布層２に
ポリエチレンオキサイドが含まれているので、この内部
電極塗布層２は積層時にこれに対向するグリーンシート
に良好に接着する。
なくし、製造歩留りを高める。 【構成】 エチルセルロースとポリエチレンオキサイド
とから成る有機バインダーを用意する。この有機バイン
ダーと金属粉末を混合して導電性ペーストを作り、グリ
ーンシート１上に印刷して内部電極塗布層２を形成す
る。内部電極塗布層２を有するグリーンシート１を積層
して熱圧着し、しかる後焼成する。内部電極塗布層２に
ポリエチレンオキサイドが含まれているので、この内部
電極塗布層２は積層時にこれに対向するグリーンシート
に良好に接着する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は導電性ペ−スト及びこれ
を用いた積層磁器コンデンサ等の積層磁器素子の製造方
法に関する。
を用いた積層磁器コンデンサ等の積層磁器素子の製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】積層磁器コンデンサを製作する際には、
誘電体磁器生シート即ちグリーンシートを用意し、この
グリーンシート上に導電性ペーストを塗布して内部電極
層を形成し、次に、内部電極層を有するグリーンシート
を複数枚積層し、しかる後焼成する。
誘電体磁器生シート即ちグリーンシートを用意し、この
グリーンシート上に導電性ペーストを塗布して内部電極
層を形成し、次に、内部電極層を有するグリーンシート
を複数枚積層し、しかる後焼成する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】所望精度の積層磁器コ
ンデンサを高い歩留りで形成するためには、内部電極層
を高精度に形成することが必要になる。内部電極層を精
度良く形成するためには、導電性ペーストの印刷の精度
を高めると共に、導電性ペーストの塗布層を有するグリ
ーンシートの積層の精度を高めることが必要になる。積
層の精度を高めるためには、積層の機械的精度を高める
と共に、グリーンシート相互間の密着性を高めることが
必要になる。グリーンシート相互間の密着性が悪いと、
積層体を治具から取り外す時に静電気や空気の巻き込み
現象によってグリーンシートの一部又は全部が剥れて位
置ずれが発生し、内部電極層の精度の低下が生じる。
ンデンサを高い歩留りで形成するためには、内部電極層
を高精度に形成することが必要になる。内部電極層を精
度良く形成するためには、導電性ペーストの印刷の精度
を高めると共に、導電性ペーストの塗布層を有するグリ
ーンシートの積層の精度を高めることが必要になる。積
層の精度を高めるためには、積層の機械的精度を高める
と共に、グリーンシート相互間の密着性を高めることが
必要になる。グリーンシート相互間の密着性が悪いと、
積層体を治具から取り外す時に静電気や空気の巻き込み
現象によってグリーンシートの一部又は全部が剥れて位
置ずれが発生し、内部電極層の精度の低下が生じる。
【０００４】グリーンシートの密着性を向上させるため
に、グリーンシート中の有機バインダーを増量させるこ
と、又は可塑剤を増量させることが考えられる。しか
し、前者の方法を採用すると、グリーンシート中の有機
バインダーの割合が多くなり過ぎるために、熱分解によ
ってこれを除去すること即ち脱バインダーを良好に行う
ことが困難になり、焼結状態が悪くなる。また、後者の
方法を採用すると、グリーンシートの室温での変形が大
きくなり、グリーンシートの精度の高い積層が困難にな
る。
に、グリーンシート中の有機バインダーを増量させるこ
と、又は可塑剤を増量させることが考えられる。しか
し、前者の方法を採用すると、グリーンシート中の有機
バインダーの割合が多くなり過ぎるために、熱分解によ
ってこれを除去すること即ち脱バインダーを良好に行う
ことが困難になり、焼結状態が悪くなる。また、後者の
方法を採用すると、グリーンシートの室温での変形が大
きくなり、グリーンシートの精度の高い積層が困難にな
る。
【０００５】ところで、グリーンシート相互間の密着性
は、導電性ペーストの塗布層の接着性を向上させること
によっても改善される。そこで、本発明の目的は、接着
力の強い導電性ペ−ストを提供することにある。本発明
の別の目的は、導電性ペーストの塗布層の接着性を向上
させて精度の高い積層磁器素子を提供することにある。
は、導電性ペーストの塗布層の接着性を向上させること
によっても改善される。そこで、本発明の目的は、接着
力の強い導電性ペ−ストを提供することにある。本発明
の別の目的は、導電性ペーストの塗布層の接着性を向上
させて精度の高い積層磁器素子を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、金属粉末と有機バインダーと溶剤とから成
る導電性ペ−ストにおいて、前記有機バインダ−が１０
〜５０重量％のポリエチレンオキサイド（ＰＥＯ）と、
５０〜９０重量％の前記ポリエチレンオキサイド以外の
樹脂とから成ることを特徴とする導電性ペ−スト係わる
ものである。また、第２の目的を達成するための発明
は、磁器生シ−ト表面上に、金属粉末とポリエチレンオ
キサイドを含有した有機バインダ−とを含む導電性ペ−
ストを塗布して導電性塗布層を形成する工程と、前記導
電性塗布層を有する磁器生シ−トを複数枚積層し、圧着
することによって積層体を形成する工程と、前記積層体
を焼成する工程とを有することを特徴とする積層磁器素
子の製造方法に係わるものである。
の本発明は、金属粉末と有機バインダーと溶剤とから成
る導電性ペ−ストにおいて、前記有機バインダ−が１０
〜５０重量％のポリエチレンオキサイド（ＰＥＯ）と、
５０〜９０重量％の前記ポリエチレンオキサイド以外の
樹脂とから成ることを特徴とする導電性ペ−スト係わる
ものである。また、第２の目的を達成するための発明
は、磁器生シ−ト表面上に、金属粉末とポリエチレンオ
キサイドを含有した有機バインダ−とを含む導電性ペ−
ストを塗布して導電性塗布層を形成する工程と、前記導
電性塗布層を有する磁器生シ−トを複数枚積層し、圧着
することによって積層体を形成する工程と、前記積層体
を焼成する工程とを有することを特徴とする積層磁器素
子の製造方法に係わるものである。
【０００７】
【作用】本発明の導電性ペ−ストはポリエチレンオキサ
イドを含むので比較的大きな接着力を有する。請求項２
に従ってポエチレンオキサイドを含む導電性ペ−ストで
磁器生シート（グリーンシート）に導電性塗布層を形成
し、積層すると、導電性塗布層の接着力が大きいので積
層時及びその後におけるグリーンシートの剥れ及びずれ
が生じ難い。有機バインダ−のポリエチレンオキサイド
以外の成分がエチルセルロ−スのように乾燥膜状態で接
着性を実質的に具備しない場合には、ポエチレンオキサ
イド以外の有機バインダ−成分は金属粉末のバインダ−
として機能し、ポリエチレンオキサイドは金属粉末のバ
インダ−として機能を有すると共にグリ−ンシ−ト相互
間の接着剤として機能する。実施例に示すように有機バ
インダーをエチルセルロースとポエチレンオキサイドと
の組み合せとした場合には、エチルセルロースの接着力
不足をポリエチレンオキサイドが補う。即ち、金属粉末
とエチルセルロースから成る導電性ペーストをグリーン
シートに印刷して乾燥させた膜は接着性を実質的に具備
せず、積層体はグリーンシート領域のみで接着された状
態にあり、グリーンシート相互間の接着力が低い。これ
に対し、ポリエチレンオキサイドが混入されると、導電
性塗布層の接着力が大きくなり、グリーンシート相互間
の全領域が接着領域として機能する。ポリエチレンオキ
サイドは、エチルセルロ−スや他の有機バインダ−物質
と同様に２００℃付近から熱分解するので、脱バインダ
ーが良好に進行し、焼結性を低下させない。
イドを含むので比較的大きな接着力を有する。請求項２
に従ってポエチレンオキサイドを含む導電性ペ−ストで
磁器生シート（グリーンシート）に導電性塗布層を形成
し、積層すると、導電性塗布層の接着力が大きいので積
層時及びその後におけるグリーンシートの剥れ及びずれ
が生じ難い。有機バインダ−のポリエチレンオキサイド
以外の成分がエチルセルロ−スのように乾燥膜状態で接
着性を実質的に具備しない場合には、ポエチレンオキサ
イド以外の有機バインダ−成分は金属粉末のバインダ−
として機能し、ポリエチレンオキサイドは金属粉末のバ
インダ−として機能を有すると共にグリ−ンシ−ト相互
間の接着剤として機能する。実施例に示すように有機バ
インダーをエチルセルロースとポエチレンオキサイドと
の組み合せとした場合には、エチルセルロースの接着力
不足をポリエチレンオキサイドが補う。即ち、金属粉末
とエチルセルロースから成る導電性ペーストをグリーン
シートに印刷して乾燥させた膜は接着性を実質的に具備
せず、積層体はグリーンシート領域のみで接着された状
態にあり、グリーンシート相互間の接着力が低い。これ
に対し、ポリエチレンオキサイドが混入されると、導電
性塗布層の接着力が大きくなり、グリーンシート相互間
の全領域が接着領域として機能する。ポリエチレンオキ
サイドは、エチルセルロ−スや他の有機バインダ−物質
と同様に２００℃付近から熱分解するので、脱バインダ
ーが良好に進行し、焼結性を低下させない。
【０００８】
【実施例】次に、図１〜図３を参照して本発明の実施例
に係わる積層磁器コンデンサの製造方法を説明する。
に係わる積層磁器コンデンサの製造方法を説明する。
【０００９】まず、７８モル％のＢａＴｉＯ3 と２２モ
ル％のＢａＺｒＯ3 とから成る主成分にＮｄ2 Ｏ3 とＭ
ｎＯとを微量加えた誘電体磁器材料粉末と、有機バイン
ダーとから成るスラリーを形成し、ドクターブレード法
によって厚さ約２０μｍの長尺の磁器はシ−ト即ちグリ
−ンシ−トをベ−スフィルム上に形成し、その後、切断
して縦幅約１００mm、横幅約１００mmのグリーンシート
を複数枚形成した。
ル％のＢａＺｒＯ3 とから成る主成分にＮｄ2 Ｏ3 とＭ
ｎＯとを微量加えた誘電体磁器材料粉末と、有機バイン
ダーとから成るスラリーを形成し、ドクターブレード法
によって厚さ約２０μｍの長尺の磁器はシ−ト即ちグリ
−ンシ−トをベ−スフィルム上に形成し、その後、切断
して縦幅約１００mm、横幅約１００mmのグリーンシート
を複数枚形成した。
【００１０】また、１００重量部のパラジウム（Ｐｄ）
から成る粒径０．１〜１．０μｍの金属粉末と、１５重
量部の有機バインダーと、７５重量部の溶剤とから成る
導電性ペーストを用意した。なお、有機バインダーは、
５０重量％のエチルセルロースと５０重量％のポリエチ
レンオキサイド（ＰＥＯ）との混合物から成る第１の有
機バインダーである。溶剤にはα−テルピネオールを使
用した。またポリエチレンオキサイドには分子量１００
万付近、融点６５〜６８℃のものを使用した。
から成る粒径０．１〜１．０μｍの金属粉末と、１５重
量部の有機バインダーと、７５重量部の溶剤とから成る
導電性ペーストを用意した。なお、有機バインダーは、
５０重量％のエチルセルロースと５０重量％のポリエチ
レンオキサイド（ＰＥＯ）との混合物から成る第１の有
機バインダーである。溶剤にはα−テルピネオールを使
用した。またポリエチレンオキサイドには分子量１００
万付近、融点６５〜６８℃のものを使用した。
【００１１】上記組成の導電性ペーストを作製する際に
は、まず、エチルセルロース及びポリエチレンオキサイ
ドをテルピネオールに溶解させて水飴状の有機バインダ
ー液を得た。次に、この有機バインダー液の半分に、パ
ラジウム金属粉末を加えて撹拌し、しかる後、残りの半
分を加えて撹拌して導電性ペーストを得た。なお、この
導電性ペーストの粘度及びチクソ比は従来のペーストと
ほとんど同じであった。
は、まず、エチルセルロース及びポリエチレンオキサイ
ドをテルピネオールに溶解させて水飴状の有機バインダ
ー液を得た。次に、この有機バインダー液の半分に、パ
ラジウム金属粉末を加えて撹拌し、しかる後、残りの半
分を加えて撹拌して導電性ペーストを得た。なお、この
導電性ペーストの粘度及びチクソ比は従来のペーストと
ほとんど同じであった。
【００１２】このようにして作製した導電性ペースト
を、図１に示すように誘電体グリーンシート１上にメッ
シュ＃４００のスクリーンを使用して周知のスクリーン
印刷法で塗布し、５５℃、３０分間乾燥して電極塗布層
２を形成した。なお、電極塗布層２の相互間に約０．６
５mmの非塗布領域を設けた。
を、図１に示すように誘電体グリーンシート１上にメッ
シュ＃４００のスクリーンを使用して周知のスクリーン
印刷法で塗布し、５５℃、３０分間乾燥して電極塗布層
２を形成した。なお、電極塗布層２の相互間に約０．６
５mmの非塗布領域を設けた。
【００１３】次に、図１の電極塗布層２を有するグリー
ンシート１を周知の方法で電極塗布層２の長手方向に交
互にずらして複数枚積層し、且つこれ等の上下に電極塗
布層２を持たないグリーンシートを配置し、しかる後、
これ等を熱圧着することによって積層体を形成し、この
積層体を図中の点線に沿って切断した後、これを１３０
０℃で焼成した。これにより、図２に示すように誘電体
磁器１ａと内部電極層２ａとから成る焼結後の積層体が
複数得られる。次に、積層体の左右の面に１つ置きにに
露出した内部電極層２ａに接続されるように一対の外部
電極３、４を設けて積層磁器コンデンサを完成させた。
ンシート１を周知の方法で電極塗布層２の長手方向に交
互にずらして複数枚積層し、且つこれ等の上下に電極塗
布層２を持たないグリーンシートを配置し、しかる後、
これ等を熱圧着することによって積層体を形成し、この
積層体を図中の点線に沿って切断した後、これを１３０
０℃で焼成した。これにより、図２に示すように誘電体
磁器１ａと内部電極層２ａとから成る焼結後の積層体が
複数得られる。次に、積層体の左右の面に１つ置きにに
露出した内部電極層２ａに接続されるように一対の外部
電極３、４を設けて積層磁器コンデンサを完成させた。
【００１４】本実施例により、目標とする範囲の静電容
量を有する積層磁器コンデンサを高い歩留りで得ること
ができた。即ちポリエチレンオキサイドを含まない従来
の有機バインダーを使用した場合の積層磁器コンデンサ
の製造歩留りよりも高い歩留りを得ることができた。こ
のように歩留りが高くなるのは、ポリエチレンオキサイ
ドを含めることによって乾燥後の電極塗布層２と積層時
にこれに対向するグリーンシートとの間の接着力が強く
なり、積層時におけるグリーンシートの位置ずれが少な
くなるためである。
量を有する積層磁器コンデンサを高い歩留りで得ること
ができた。即ちポリエチレンオキサイドを含まない従来
の有機バインダーを使用した場合の積層磁器コンデンサ
の製造歩留りよりも高い歩留りを得ることができた。こ
のように歩留りが高くなるのは、ポリエチレンオキサイ
ドを含めることによって乾燥後の電極塗布層２と積層時
にこれに対向するグリーンシートとの間の接着力が強く
なり、積層時におけるグリーンシートの位置ずれが少な
くなるためである。
【００１５】ポリエチレンオキサイドとエチルセルロー
スとの混合物が有機バインダーとして適していることを
調べるために、図１に示す電極塗布層２を有するグリー
ンシート１の上に、電極塗布層を有さない他は図１のグ
リーンシートと同一のグリーンシート即ちカバーシート
１０を図３に示すように重ね、圧力３５０kg／cm2 、７
０℃の条件で熱圧着し、グリーンシート１の下面を両面
接着テープ１１で平坦な台１２に貼り付け、カバーシー
ト１０の端面にロードセル１３を取り付け、これを一定
の速度で引き上げ、剥れ始めた時の荷重を検出したとこ
ろ、４５グラム重であった。
スとの混合物が有機バインダーとして適していることを
調べるために、図１に示す電極塗布層２を有するグリー
ンシート１の上に、電極塗布層を有さない他は図１のグ
リーンシートと同一のグリーンシート即ちカバーシート
１０を図３に示すように重ね、圧力３５０kg／cm2 、７
０℃の条件で熱圧着し、グリーンシート１の下面を両面
接着テープ１１で平坦な台１２に貼り付け、カバーシー
ト１０の端面にロードセル１３を取り付け、これを一定
の速度で引き上げ、剥れ始めた時の荷重を検出したとこ
ろ、４５グラム重であった。
【００１６】比較のために、１５重量部の有機バインダ
ーの全部をエチルセルロースとした他は実施例と同様に
作製した導電性ペーストを使用して図３と同一の方法で
グリーンシート１に対するカバーシート１０の接着力を
測定したところ、１３グラム重であった。比較例と実施
例との対比から明らかなように本実施例のポリエチレン
オキサイドを含む有機バインダーを使用することによっ
てグリーンシート相互間の接着力を大幅に向上させるこ
とができる。
ーの全部をエチルセルロースとした他は実施例と同様に
作製した導電性ペーストを使用して図３と同一の方法で
グリーンシート１に対するカバーシート１０の接着力を
測定したところ、１３グラム重であった。比較例と実施
例との対比から明らかなように本実施例のポリエチレン
オキサイドを含む有機バインダーを使用することによっ
てグリーンシート相互間の接着力を大幅に向上させるこ
とができる。
【００１７】有機バインダーにおけるエチルセルロース
とポリエチレンオキサイドとの割合を変えることができ
ることを確かめるために、エチルセルロース７０重量％
とポリエチレンオキサイド３０重量％とから成る第２の
有機バインダーと、エチルセルロース９０重量％とポリ
エチレンオキサイド１０重量％とから成る第３の有機バ
インダーと、エチルセルロース３０重量％とポリエチレ
ンオキサイド７０重量％とから成る第４の有機バインダ
ーとを作った。次に、第２及び第３の有機バインダーを
使用して図１と同様にグリーンシートに電極塗布層を作
り、図３と同一の方法で接着力を測定したところ、４１
グラム重及び３７グラム重であり、比較例よりも大きな
接着力が得られた。なお、第４の有機バインダーを含む
導電性ペーストはグリーンシート上に印刷した時に縁近
傍にかすれが認められたので、第４の有機バインダーに
基づく接着力の測定は行わなかった。
とポリエチレンオキサイドとの割合を変えることができ
ることを確かめるために、エチルセルロース７０重量％
とポリエチレンオキサイド３０重量％とから成る第２の
有機バインダーと、エチルセルロース９０重量％とポリ
エチレンオキサイド１０重量％とから成る第３の有機バ
インダーと、エチルセルロース３０重量％とポリエチレ
ンオキサイド７０重量％とから成る第４の有機バインダ
ーとを作った。次に、第２及び第３の有機バインダーを
使用して図１と同様にグリーンシートに電極塗布層を作
り、図３と同一の方法で接着力を測定したところ、４１
グラム重及び３７グラム重であり、比較例よりも大きな
接着力が得られた。なお、第４の有機バインダーを含む
導電性ペーストはグリーンシート上に印刷した時に縁近
傍にかすれが認められたので、第４の有機バインダーに
基づく接着力の測定は行わなかった。
【００１８】図３に示すグリーンシート１とカバーシー
ト１０との熱圧着の温度を５５℃に変えた他は、図３と
同一の方法で第１、第２及び第３の有機バインダーを使
用した時の接着力を測定したところ、３２グラム重、２
６グラム重、及び２１グラム重であった。またポリエチ
レンオキサイドを含まない比較例の有機バインダーを使
用し、５５℃で熱圧着した場合には、接着力が６グラム
重であった。
ト１０との熱圧着の温度を５５℃に変えた他は、図３と
同一の方法で第１、第２及び第３の有機バインダーを使
用した時の接着力を測定したところ、３２グラム重、２
６グラム重、及び２１グラム重であった。またポリエチ
レンオキサイドを含まない比較例の有機バインダーを使
用し、５５℃で熱圧着した場合には、接着力が６グラム
重であった。
【００１９】
【変形例】本発明は上述の実施例に限定されるものでは
なく、例えば次の変形が可能なものである。 （１） 金属粉末を、銀、銀−パラジウム、ニッケル、
銅等の粉末にすることができる。 （２） 積層磁器コンデンサに限らず、多層回路基板等
の積層磁器素子にも本発明を適用することができる。 （３） 有機バインダーに対する溶剤の量を例えば６５
〜８５重量部、積層体の焼成温度を例えば９００℃〜１
４００℃のように変えることができる。 （４） 有機バインダーにロジン等の接着性を有するも
のを付加することができる。 （５） ポリエチレンオキサイドとして、実施例の他に
分子量１万以上で固体状のものを使用することができ
る。
なく、例えば次の変形が可能なものである。 （１） 金属粉末を、銀、銀−パラジウム、ニッケル、
銅等の粉末にすることができる。 （２） 積層磁器コンデンサに限らず、多層回路基板等
の積層磁器素子にも本発明を適用することができる。 （３） 有機バインダーに対する溶剤の量を例えば６５
〜８５重量部、積層体の焼成温度を例えば９００℃〜１
４００℃のように変えることができる。 （４） 有機バインダーにロジン等の接着性を有するも
のを付加することができる。 （５） ポリエチレンオキサイドとして、実施例の他に
分子量１万以上で固体状のものを使用することができ
る。
【００２０】
【発明の効果】上述から明らかなように本発明によれ
ば、接着力の大きい導電性ペ−ストを提供することがで
きる。また、これを積層磁器素子の製造に使用すること
によって、導電性塗布層を有するグリーンシートの積層
体における層間の接着力を高め、積層磁器素子の製造歩
留りを向上させることができる。
ば、接着力の大きい導電性ペ−ストを提供することがで
きる。また、これを積層磁器素子の製造に使用すること
によって、導電性塗布層を有するグリーンシートの積層
体における層間の接着力を高め、積層磁器素子の製造歩
留りを向上させることができる。
【図１】本発明の実施例に係わる導電性塗布層を有する
グリーンシートを示す平面図である。
グリーンシートを示す平面図である。
【図２】本発明の実施例に係わる積層磁器コンデンサの
一部を示す断面図である。
一部を示す断面図である。
【図３】グリーンシートの積層体の接着力の測定方法を
説明するための断面図である。
説明するための断面図である。
１ グリーンシート ２ 導電性塗布層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｇ 4/12 ３６４ 7135−5Ｅ Ｈ０５Ｋ 1/09 Ｄ 8727−4Ｅ
Claims (2)
- 【請求項１】 金属粉末と有機バインダーと溶剤とから
成る導電性ペ−ストにおいて、前記有機バインダ−が１
０〜５０重量％のポリエチレンオキサイド（ＰＥＯ）
と、５０〜９０重量％の前記ポリエチレンオキサイド以
外の樹脂とから成ることを特徴とする導電性ペ−スト。 - 【請求項２】 磁器生シ−ト表面上に、金属粉末とポリ
エチレンオキサイドを含有した有機バインダ−とを含む
導電性ペ−ストを塗布して導電性塗布層を形成する工程
と、 前記導電性塗布層を有する磁器生シ−トを複数枚積層
し、圧着することによって積層体を形成する工程と、 前記積層体を焼成する工程とを有することを特徴とする
積層磁器素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27679491A JPH0589720A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 導電性ペ−スト及びそれを用いた積層磁器素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27679491A JPH0589720A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 導電性ペ−スト及びそれを用いた積層磁器素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0589720A true JPH0589720A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17574472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27679491A Withdrawn JPH0589720A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 導電性ペ−スト及びそれを用いた積層磁器素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0589720A (ja) |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP27679491A patent/JPH0589720A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |