JPH0592285A - ＣａＯ質ノズルの製造方法 - Google Patents
ＣａＯ質ノズルの製造方法Info
- Publication number
- JPH0592285A JPH0592285A JP3206790A JP20679091A JPH0592285A JP H0592285 A JPH0592285 A JP H0592285A JP 3206790 A JP3206790 A JP 3206790A JP 20679091 A JP20679091 A JP 20679091A JP H0592285 A JPH0592285 A JP H0592285A
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- JP
- Japan
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- cao
- nozzle
- refractory material
- molten metal
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 各種の高活性、高融点金属又はその合金等の
溶湯の流出用ノズルとして好適なＣａＯ質ノズルを製造
する。 【構成】 ＣａＯを４０重量％以上含有し、残部が実質
的に金属酸化物よりなるＣａＯ質耐火材を成形、焼成し
てノズル形状とした後、先端にレーザー加工を施すこと
により噴出孔２を形成する。 【効果】 本発明に係るＣａＯ質耐火材は、高活性の金
属又は合金溶湯であっても、これを汚染することが殆ど
なく、また、耐火材がこれらの溶湯により損傷すること
も少ない。溶湯に脱酸元素が含まれる場合には精練作用
もなされる。ノズル材質のＣａＯが水和性であることか
ら、従来の水を使用する放電加工や超音波加工は不可で
あるが、レーザー加工により所望形状の噴出孔を極めて
精度良く形成することができる。
溶湯の流出用ノズルとして好適なＣａＯ質ノズルを製造
する。 【構成】 ＣａＯを４０重量％以上含有し、残部が実質
的に金属酸化物よりなるＣａＯ質耐火材を成形、焼成し
てノズル形状とした後、先端にレーザー加工を施すこと
により噴出孔２を形成する。 【効果】 本発明に係るＣａＯ質耐火材は、高活性の金
属又は合金溶湯であっても、これを汚染することが殆ど
なく、また、耐火材がこれらの溶湯により損傷すること
も少ない。溶湯に脱酸元素が含まれる場合には精練作用
もなされる。ノズル材質のＣａＯが水和性であることか
ら、従来の水を使用する放電加工や超音波加工は不可で
あるが、レーザー加工により所望形状の噴出孔を極めて
精度良く形成することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＣａＯ質ノズルの製造方
法に係り、詳しくは各種の高活性、高融点金属又はその
合金等の溶湯の流出用ノズルとして好適なＣａＯ質ノズ
ルの製造方法に関する。
法に係り、詳しくは各種の高活性、高融点金属又はその
合金等の溶湯の流出用ノズルとして好適なＣａＯ質ノズ
ルの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】アモルファス金属の製造などに際して
は、溶湯を噴出させるノズルが用いられているが、この
ノズルの材質としては、従来よりＳｉＯ2 耐火材が一般
に用いられている。しかるに、近年、金属又は合金の急
冷薄帯の需要の拡大、あるいは、各種アモルファス合金
の多様化、あるいは高活性化、高融点化に伴い、これら
のノズルの材質は、ＳｉＯ2 耐火材から、Ａｌ2 Ｏ3
系、ＺｒＯ2 系耐火材、さらには、Ｓｉ3 Ｎ4 、Ｓｉ
Ｃ、ＢＮ、ＢＣ等の非酸化物セラミックス等に移行しつ
つある。
は、溶湯を噴出させるノズルが用いられているが、この
ノズルの材質としては、従来よりＳｉＯ2 耐火材が一般
に用いられている。しかるに、近年、金属又は合金の急
冷薄帯の需要の拡大、あるいは、各種アモルファス合金
の多様化、あるいは高活性化、高融点化に伴い、これら
のノズルの材質は、ＳｉＯ2 耐火材から、Ａｌ2 Ｏ3
系、ＺｒＯ2 系耐火材、さらには、Ｓｉ3 Ｎ4 、Ｓｉ
Ｃ、ＢＮ、ＢＣ等の非酸化物セラミックス等に移行しつ
つある。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、Ａｌ
2 Ｏ3系あるいはＺｒＯ2 系耐火材製ノズルを用いた場
合には、ノズルを通過する溶湯とノズルの耐火材との反
応という問題があり、酸素のコンタミネーションがおこ
ると共に、ノズル先端部が侵食され噴出孔形状が変化
し、溶湯が汚染され、高品質の製品を得ることができな
い。
2 Ｏ3系あるいはＺｒＯ2 系耐火材製ノズルを用いた場
合には、ノズルを通過する溶湯とノズルの耐火材との反
応という問題があり、酸素のコンタミネーションがおこ
ると共に、ノズル先端部が侵食され噴出孔形状が変化
し、溶湯が汚染され、高品質の製品を得ることができな
い。
【０００４】また、Ｓｉ3 Ｎ4 、ＳｉＣ、ＢＮ、ＢＣ等
の非酸化物セラミックス製ノズルでは、高価な上に熱衝
撃による割れが発生し易く、しかも溶湯汚染の問題は避
けられない。
の非酸化物セラミックス製ノズルでは、高価な上に熱衝
撃による割れが発生し易く、しかも溶湯汚染の問題は避
けられない。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】本発明のＣａＯ質ノズ
ルの製造方法は、ＣａＯを４０重量％以上含有し、残部
が実質的に金属酸化物よりなるＣａＯ質耐火材を成形、
焼成してノズル形状とした後、先端にレーザー加工を施
すことにより噴出孔を形成することを特徴とする。
ルの製造方法は、ＣａＯを４０重量％以上含有し、残部
が実質的に金属酸化物よりなるＣａＯ質耐火材を成形、
焼成してノズル形状とした後、先端にレーザー加工を施
すことにより噴出孔を形成することを特徴とする。
【０００６】
【作用】ＣａＯ質耐火材は、真空又は不活性ガス中で極
めて安定であり、解離酸素圧が小さく、高温においても
使用することができる。しかも安価で熱衝撃性にも優れ
る。
めて安定であり、解離酸素圧が小さく、高温においても
使用することができる。しかも安価で熱衝撃性にも優れ
る。
【０００７】その上、ＣａＯを４０重量％以上含有し、
残部が実質的に金属酸化物よりなるＣａＯ質耐火材は、
高活性の金属又は合金溶湯であっても、これを汚染する
ことが殆どなく、また、耐火材がこれらの溶湯により損
傷することも少ない。さらに、溶湯に脱酸元素が含まれ
る場合には精錬作用もなされる。
残部が実質的に金属酸化物よりなるＣａＯ質耐火材は、
高活性の金属又は合金溶湯であっても、これを汚染する
ことが殆どなく、また、耐火材がこれらの溶湯により損
傷することも少ない。さらに、溶湯に脱酸元素が含まれ
る場合には精錬作用もなされる。
【０００８】このようなＣａＯ質耐火材を成形、焼成し
てノズル形状としたものの先端に、噴出孔を形成する場
合、ノズル材質のＣａＯが水和性であることから、従来
の水を使用する放電加工や超音波加工は適当でない。本
発明においては、レーザー加工により、所望形状の噴出
孔を、所望の位置に、極めて精度良く形成することがで
きる。
てノズル形状としたものの先端に、噴出孔を形成する場
合、ノズル材質のＣａＯが水和性であることから、従来
の水を使用する放電加工や超音波加工は適当でない。本
発明においては、レーザー加工により、所望形状の噴出
孔を、所望の位置に、極めて精度良く形成することがで
きる。
【０００９】
【実施例】以下、図面に示す実施例を参照して本発明に
ついて詳細に説明する。
ついて詳細に説明する。
【００１０】なお、以下において「％」は「重量％」を
表す。
表す。
【００１１】第１図〜第３図は本発明の方法で製造され
るＣａＯ質ノズルの一例を示す図であって、各々、
（ａ）は先端部の断面図、（ｂ）は（ａ）図の底面図で
ある。第４図（ａ）〜（ｃ）は噴出口の形状の例を示す
底面図である。
るＣａＯ質ノズルの一例を示す図であって、各々、
（ａ）は先端部の断面図、（ｂ）は（ａ）図の底面図で
ある。第４図（ａ）〜（ｃ）は噴出口の形状の例を示す
底面図である。
【００１２】本発明で製造されるＣａＯ質ノズル１の形
状の具体例としては、第１図に示すような円形噴出孔２
を有するもの、第２、３図に示すような角形噴出孔２を
有するものなどが挙げられる。また、噴出孔の形状とし
ては、第４図に示す如く、正方形（同（ａ））や星形
（同（ｂ））のほか、リング形状（同（ｃ））など各種
形状のものが挙げられる。
状の具体例としては、第１図に示すような円形噴出孔２
を有するもの、第２、３図に示すような角形噴出孔２を
有するものなどが挙げられる。また、噴出孔の形状とし
ては、第４図に示す如く、正方形（同（ａ））や星形
（同（ｂ））のほか、リング形状（同（ｃ））など各種
形状のものが挙げられる。
【００１３】本発明のＣａＯ質ノズルの製造にあたって
は、まず、ＣａＯを４０％以上含有し、残部が実質的に
金属酸化物よりなるＣａＯ質耐火材を準備する。
は、まず、ＣａＯを４０％以上含有し、残部が実質的に
金属酸化物よりなるＣａＯ質耐火材を準備する。
【００１４】このカルシア質耐火材のＣａＯ原料として
は、ＣａＯを主体とする耐火材、例えばカルシア（Ｃａ
Ｏ）、ＣａＯを富化したドロマイト等が挙げられる。Ｃ
ａＯとしては特に電融カルシアが緻密で、高活性な金属
又は合金溶湯に接触した場合においても、溶湯へのコン
タミが少なく好適である。
は、ＣａＯを主体とする耐火材、例えばカルシア（Ｃａ
Ｏ）、ＣａＯを富化したドロマイト等が挙げられる。Ｃ
ａＯとしては特に電融カルシアが緻密で、高活性な金属
又は合金溶湯に接触した場合においても、溶湯へのコン
タミが少なく好適である。
【００１５】このようなＣａＯ質耐火材は、そのＣａＯ
含有率が高いものほど、熱力学的に安定であり、より高
温下での使用が可能とされる。従ってＣａＯ質耐火材の
ＣａＯ含有率は、特に８０％以上、とりわけ９０％以上
のものが好ましい。
含有率が高いものほど、熱力学的に安定であり、より高
温下での使用が可能とされる。従ってＣａＯ質耐火材の
ＣａＯ含有率は、特に８０％以上、とりわけ９０％以上
のものが好ましい。
【００１６】本発明において、このようなＣａＯ質耐火
材でＣａＯ質ノズルを製造するにあたり、製造されるＣ
ａＯ質ノズルの形状、大きさ、孔径等には何ら制限はな
く、従来のノズルと全く同様で良く、使用目的に応じて
選択される。
材でＣａＯ質ノズルを製造するにあたり、製造されるＣ
ａＯ質ノズルの形状、大きさ、孔径等には何ら制限はな
く、従来のノズルと全く同様で良く、使用目的に応じて
選択される。
【００１７】原料となるＣａＯ質耐火材は、例えば電融
カルシアなどのカルシア質原料を所定の粒径の粉末と
し、必要に応じてＺｒＯ2 、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 等の高融
点の金属酸化物や、その他の特性向上のための添加剤等
を適宜の割合で混合して調製される。この原料は、必要
に応じ適宜のバインダを添加した後、ノズルの形状に成
形、焼成する。
カルシアなどのカルシア質原料を所定の粒径の粉末と
し、必要に応じてＺｒＯ2 、ＭｇＯ、Ｙ2 Ｏ3 等の高融
点の金属酸化物や、その他の特性向上のための添加剤等
を適宜の割合で混合して調製される。この原料は、必要
に応じ適宜のバインダを添加した後、ノズルの形状に成
形、焼成する。
【００１８】このバインダとしては、非水系のものを用
いる。非水系のバインダとしては、液体系のもの、固体
系のものいずれでも良い。液体系のものとしては、無水
塩化カルシウムやアラビアゴムなどを溶かし込んだアル
コール（一価又は多価のアルコール）、トルエンにオレ
イン酸を溶解させたもの、アルコールにオレイン酸を溶
解させたもの、油にオレイン酸を溶解させたもの、四塩
化炭素に密ろうを溶解させたもの、あるいは酢酸イソブ
チル等が好適であるが、タール、ピッチなどの鉱油、動
物油、植物油など、カルシアを消化させることのない非
水系の液体であれば用いることが可能である。
いる。非水系のバインダとしては、液体系のもの、固体
系のものいずれでも良い。液体系のものとしては、無水
塩化カルシウムやアラビアゴムなどを溶かし込んだアル
コール（一価又は多価のアルコール）、トルエンにオレ
イン酸を溶解させたもの、アルコールにオレイン酸を溶
解させたもの、油にオレイン酸を溶解させたもの、四塩
化炭素に密ろうを溶解させたもの、あるいは酢酸イソブ
チル等が好適であるが、タール、ピッチなどの鉱油、動
物油、植物油など、カルシアを消化させることのない非
水系の液体であれば用いることが可能である。
【００１９】固体系のバインダとしては、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、酢酸セルロース、アクリル系樹
脂、ポリビニルアルコール等の熱可塑性樹脂、ノボラッ
ク等の熱硬化性樹脂、パラフィン等が好適に用いること
ができるが、成形性を付与する他の物質をも用い得る。
ン、ポリプロピレン、酢酸セルロース、アクリル系樹
脂、ポリビニルアルコール等の熱可塑性樹脂、ノボラッ
ク等の熱硬化性樹脂、パラフィン等が好適に用いること
ができるが、成形性を付与する他の物質をも用い得る。
【００２０】成形法としては、各種の方法、例えば金型
成形、スリップキャスティング、ラバープレス、射出成
形、温間プレス、スタンプなどが用いられる。その他、
ｎ−ヘキサン等の非水溶媒と混合してスラリ状とし、型
に流し込み成形して、成形体を作製しても良い。
成形、スリップキャスティング、ラバープレス、射出成
形、温間プレス、スタンプなどが用いられる。その他、
ｎ−ヘキサン等の非水溶媒と混合してスラリ状とし、型
に流し込み成形して、成形体を作製しても良い。
【００２１】成形体もしくはスタンプされたノズル本体
は、必要に応じ乾燥し、次いで好ましくは本焼成温度よ
りも低い温度で仮焼した後、本焼成して焼結させる。こ
の焼成温度は１１００℃以上、とりわけ１３００〜１８
００℃程度が好適である。
は、必要に応じ乾燥し、次いで好ましくは本焼成温度よ
りも低い温度で仮焼した後、本焼成して焼結させる。こ
の焼成温度は１１００℃以上、とりわけ１３００〜１８
００℃程度が好適である。
【００２２】もちろん、本発明においては、成形、焼成
にホットプレスなどの方法を採用しても良い。
にホットプレスなどの方法を採用しても良い。
【００２３】本発明において、このようにして得られた
ノズル本体の先端部に噴出孔を形成する場合、ノズル材
質のＣａＯが水和性であることから、従来の水を使用す
る放電加工や超音波加工は適当でない。このため、本発
明においては、ノズルの孔明けには、レーザー加工（Ｃ
Ｏ2 レーザー加工）を採用する。これにより、０．３〜
１．０ｍｍ径程度の所望形状の噴出孔を極めて精度良く
形成することができる。
ノズル本体の先端部に噴出孔を形成する場合、ノズル材
質のＣａＯが水和性であることから、従来の水を使用す
る放電加工や超音波加工は適当でない。このため、本発
明においては、ノズルの孔明けには、レーザー加工（Ｃ
Ｏ2 レーザー加工）を採用する。これにより、０．３〜
１．０ｍｍ径程度の所望形状の噴出孔を極めて精度良く
形成することができる。
【００２４】なお、本発明で製造されるＣａＯ質耐火材
は、一般に消化性を有し、大気中の水分を吸収して損傷
する恐れがある。このため、得られたノズルは、真空中
あるいは高温下で保管する必要があるが、ビニール袋等
で真空包装することにより、通常の雰囲気下で半年以上
良好に保管することができる。
は、一般に消化性を有し、大気中の水分を吸収して損傷
する恐れがある。このため、得られたノズルは、真空中
あるいは高温下で保管する必要があるが、ビニール袋等
で真空包装することにより、通常の雰囲気下で半年以上
良好に保管することができる。
【００２５】このような本発明で製造されるＣａＯ質ノ
ズルは、高融点金属、高活性金属例えば、Ｓｃ、Ｙ、Ｌ
ａ、原子番号５８〜７１のＣｅ、Ｐｒ等のランタノイド
元素、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍ
ｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｔｃ、Ｒｅ、Ｒｕ、Ｏｓ、
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔあるいはこれらの
元素の１種又は２種以上を含む合金の溶湯の流出に極め
て好適である。
ズルは、高融点金属、高活性金属例えば、Ｓｃ、Ｙ、Ｌ
ａ、原子番号５８〜７１のＣｅ、Ｐｒ等のランタノイド
元素、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍ
ｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｔｃ、Ｒｅ、Ｒｕ、Ｏｓ、
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔあるいはこれらの
元素の１種又は２種以上を含む合金の溶湯の流出に極め
て好適である。
【００２６】特に、本発明で製造されるＣａＯ質ノズル
を、Ａｌ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ｔｉ等の脱酸元素を含有する溶
湯に用いた場合には、優れた脱酸、脱硫、脱窒、脱介在
物等の精錬効果が得られ、極めて有利である。
を、Ａｌ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ｔｉ等の脱酸元素を含有する溶
湯に用いた場合には、優れた脱酸、脱硫、脱窒、脱介在
物等の精錬効果が得られ、極めて有利である。
【００２７】次に、本発明の具体的な製造例とノズルの
製造例と耐食試験例を説明する。
製造例と耐食試験例を説明する。
【００２８】実施例１ 電融カルシア（ＣａＯ純度９８％）を０．２ｍｍ以下に
破砕及び分級したものを主原料として、これに重油ピッ
チを３重量％添加し、１５０℃に加熱して良く混合した
後、金型成形した。
破砕及び分級したものを主原料として、これに重油ピッ
チを３重量％添加し、１５０℃に加熱して良く混合した
後、金型成形した。
【００２９】この成形体を６５０℃で３時間仮焼した
後、１３５０℃×２時間の焼成を行ない焼結を行なわせ
た。この後、ノズル先端部にＣＯ2 パルスレーザーによ
って孔あけ加工をした。このようにして得られた焼結体
の組成は表１に示す通りであり、その形状及び寸法は第
５図に示すようなものであった。
後、１３５０℃×２時間の焼成を行ない焼結を行なわせ
た。この後、ノズル先端部にＣＯ2 パルスレーザーによ
って孔あけ加工をした。このようにして得られた焼結体
の組成は表１に示す通りであり、その形状及び寸法は第
５図に示すようなものであった。
【００３０】このノズルに次の組成の合金を５０ｇ投入
し、加熱し５分間溶湯を保持した後、Ａｒによって噴射
を行い、ノズルの観察及び溶湯の酸素分析を行った。結
果を表２に示す。
し、加熱し５分間溶湯を保持した後、Ａｒによって噴射
を行い、ノズルの観察及び溶湯の酸素分析を行った。結
果を表２に示す。
【００３１】No. １ Ｃｏ−６０％Ｚｒ合金 No. ２ Ａｇ−３０％Ｃｕ−４０％Ｔｉ合金 No. ３ Ｃｕ−５０％Ｔｉ合金 No. ４ Ｃｕ−４０％Ｎｂ合金 比較例１ 表１に示す組成のＳｉＯ2 系耐火物ノズル（形状及び寸
法は実施例１で用いたものと同じ。）を用いたこと以外
は実施例１と同様にしてノズルの溶湯の浸漬を行った。
酸素分析結果を表２に示す。
法は実施例１で用いたものと同じ。）を用いたこと以外
は実施例１と同様にしてノズルの溶湯の浸漬を行った。
酸素分析結果を表２に示す。
【００３２】また、実施例１及び比較例１のノズルの外
観観察結果は次の通りである。 実施例ノズル：いずれも損傷等は生じない。
観観察結果は次の通りである。 実施例ノズル：いずれも損傷等は生じない。
【００３３】比較例ノズル：ノズル孔部が侵食され２〜
３ｍｍ程度の径の孔に広がると共に、溶解部には無数の
亀裂がはいり再使用に耐えない。特に、No. ４の溶湯に
対しては比較例の実験はノズルの損傷により行うことが
できなかった。
３ｍｍ程度の径の孔に広がると共に、溶解部には無数の
亀裂がはいり再使用に耐えない。特に、No. ４の溶湯に
対しては比較例の実験はノズルの損傷により行うことが
できなかった。
【００３４】
【表１】
【００３５】
【表２】
【００３６】
【発明の効果】以上の実施例からも明らかな通り、本発
明によれば、 極めて安定であり、高温下で良好に使用できる。 高融点高活性の金属又は合金の溶湯の流出に用いた
場合でも、ノズルから溶湯へのコンタミが少ない。 このためノズルが溶湯により侵食され損傷すること
も殆どない。 熱衝撃性にも優れる。 等の利点を有する高特性ノズルを、高精度かつ高生産効
率にて製造することが可能とされる。本発明で得られる
ノズルによれば、多種多様な合金組成の急冷薄帯やアモ
ルファス合金などの製造が可能とされるものであり、本
発明は工業的に極めて有用である。
明によれば、 極めて安定であり、高温下で良好に使用できる。 高融点高活性の金属又は合金の溶湯の流出に用いた
場合でも、ノズルから溶湯へのコンタミが少ない。 このためノズルが溶湯により侵食され損傷すること
も殆どない。 熱衝撃性にも優れる。 等の利点を有する高特性ノズルを、高精度かつ高生産効
率にて製造することが可能とされる。本発明で得られる
ノズルによれば、多種多様な合金組成の急冷薄帯やアモ
ルファス合金などの製造が可能とされるものであり、本
発明は工業的に極めて有用である。
【図１】第１図は本発明で製造されるＣａＯ質ノズルの
一例を示す図であって、（ａ）図は先端部の断面図、
（ｂ）図は底面図である。
一例を示す図であって、（ａ）図は先端部の断面図、
（ｂ）図は底面図である。
【図２】第２図は本発明で製造されるＣａＯ質ノズルの
他の例を示す図であって、（ａ）図は先端部の断面図、
（ｂ）図は底面図である。
他の例を示す図であって、（ａ）図は先端部の断面図、
（ｂ）図は底面図である。
【図３】第３図は本発明で製造されるＣａＯ質ノズルの
別の例を示す図であって、（ａ）図は先端部の断面図、
（ｂ）図は底面図である。
別の例を示す図であって、（ａ）図は先端部の断面図、
（ｂ）図は底面図である。
【図４】第４図（ａ）〜（ｃ）は、各々、本発明で製造
されるノズルに採用し得る噴出孔の形状例を示すノズル
の底面図である。
されるノズルに採用し得る噴出孔の形状例を示すノズル
の底面図である。
【図５】第５図（ａ）、（ｂ）は実施例１及び比較例１
で用いたノズルを示す図であって、（ａ）は断面図、
（ｂ）は底面図である。
で用いたノズルを示す図であって、（ａ）は断面図、
（ｂ）は底面図である。
１ ノズル ２ 噴出孔
Claims (1)
- 【請求項１】 ＣａＯを４０重量％以上含有し、残部が
実質的に金属酸化物よりなるＣａＯ質耐火材を成形、焼
成してノズル形状とした後、先端にレーザー加工を施す
ことにより噴出孔を形成することを特徴とするＣａＯ質
ノズルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3206790A JPH06102278B2 (ja) | 1991-08-19 | 1991-08-19 | ＣａＯ質ノズルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3206790A JPH06102278B2 (ja) | 1991-08-19 | 1991-08-19 | ＣａＯ質ノズルの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0592285A true JPH0592285A (ja) | 1993-04-16 |
| JPH06102278B2 JPH06102278B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=16529141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3206790A Expired - Lifetime JPH06102278B2 (ja) | 1991-08-19 | 1991-08-19 | ＣａＯ質ノズルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06102278B2 (ja) |
-
1991
- 1991-08-19 JP JP3206790A patent/JPH06102278B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06102278B2 (ja) | 1994-12-14 |
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