JPH0593609A - ピツチ測定装置 - Google Patents
ピツチ測定装置Info
- Publication number
- JPH0593609A JPH0593609A JP3253923A JP25392391A JPH0593609A JP H0593609 A JPH0593609 A JP H0593609A JP 3253923 A JP3253923 A JP 3253923A JP 25392391 A JP25392391 A JP 25392391A JP H0593609 A JPH0593609 A JP H0593609A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 コヒーレント光を発生し、濃淡模様のある被
検査物に照射できるようにビーム形状を整形した光源部
と、被検査物の最小濃淡ピッチと同程度の強度分布評価
を持ち、画像入力部に被検査物像を結像する光学系レン
ズ部と、光電変換器を含む画像入力部と、画像入力部か
ら出力される電気信号を処理する画像処理部と、画像処
理部における画像処理結果を出力する出力部からなり、
被検査物の濃淡ピッチを測定する。 【効果】 被検査物の最小濃淡ピッチ寸法に比較して小
さい画像状の雑音を、画像処理部のハードウェアもしく
はソフトウェアの処理能力に負担を与えることなく、容
易に除去する。
検査物に照射できるようにビーム形状を整形した光源部
と、被検査物の最小濃淡ピッチと同程度の強度分布評価
を持ち、画像入力部に被検査物像を結像する光学系レン
ズ部と、光電変換器を含む画像入力部と、画像入力部か
ら出力される電気信号を処理する画像処理部と、画像処
理部における画像処理結果を出力する出力部からなり、
被検査物の濃淡ピッチを測定する。 【効果】 被検査物の最小濃淡ピッチ寸法に比較して小
さい画像状の雑音を、画像処理部のハードウェアもしく
はソフトウェアの処理能力に負担を与えることなく、容
易に除去する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は被検査物の画像情報を取
得し、その濃淡ピッチを測定するとき、ピッチ測定のた
めの演算を行なう前の前処理として、画像処理における
雑音除去を容易にするピッチ測定装置に関する。
得し、その濃淡ピッチを測定するとき、ピッチ測定のた
めの演算を行なう前の前処理として、画像処理における
雑音除去を容易にするピッチ測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、濃淡模様のある被検査物のピッチ
測定を画像処理を用いたピッチ測定装置で行なうさいに
は、被検査物からの画像情報に含まれる雑音成分の除去
に関して、画像入力部からの電気信号をハードウェアも
しくはソフトウェアで構成したフィルタに入力し、前記
フィルタにて画像情報のみを通過させて前処理を施し、
次いで、種々の演算を施した後、最終的なピッチ測定値
を出力部に出力することが一般的である。
測定を画像処理を用いたピッチ測定装置で行なうさいに
は、被検査物からの画像情報に含まれる雑音成分の除去
に関して、画像入力部からの電気信号をハードウェアも
しくはソフトウェアで構成したフィルタに入力し、前記
フィルタにて画像情報のみを通過させて前処理を施し、
次いで、種々の演算を施した後、最終的なピッチ測定値
を出力部に出力することが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の技術による
ピッチ測定装置においては、電気信号変換後の画像情報
からハードウェアもしくはソフトウェアで電気信号の雑
音成分を平均化、圧縮・膨張等により除去するので、ピ
ッチ測定のための演算を行なう以前の画像前処理に時間
を要する。このため、濃淡模様のある被検査物の大量生
産にあたり製造ラインにおいてはピッチ測定をリアルタ
イムで行なうのが困難であった。また、前記画像前処理
に要するハードウェアもしくはソフトウェア開発にも工
数がかかり、装置開発日数を増す要因の一つになってい
た。
ピッチ測定装置においては、電気信号変換後の画像情報
からハードウェアもしくはソフトウェアで電気信号の雑
音成分を平均化、圧縮・膨張等により除去するので、ピ
ッチ測定のための演算を行なう以前の画像前処理に時間
を要する。このため、濃淡模様のある被検査物の大量生
産にあたり製造ラインにおいてはピッチ測定をリアルタ
イムで行なうのが困難であった。また、前記画像前処理
に要するハードウェアもしくはソフトウェア開発にも工
数がかかり、装置開発日数を増す要因の一つになってい
た。
【０００４】本発明の目的は、前記の課題を解決し画像
処理を用いたピッチ測定装置の画像前処理に対する負担
を軽減することにある。
処理を用いたピッチ測定装置の画像前処理に対する負担
を軽減することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のピッチ測定装置
は、Ｈｅ−Ｎｅ、ＬＤ等のコヒーレント光を発生し、被
検査物に照射できるようビーム形状を整形した光源部
と、光電変換器を含む画像入力部と、前記画像入力部に
被検査物像を結像するための光学系レンズ部と、前記画
像入力部から出力される電気信号を処理するための画像
処理部と、前記画像処理部における画像処理結果を出力
する出力部からなる、被検査物の濃淡ピッチを測定する
ピッチ測定装置において、光学系レンズ部が、被検査物
の最小濃淡ピッチ寸法と同程度の像の強度分布（LineSp
read Function 以下、Ｌ．Ｓ．Ｆ．と称する。）評価
を持ち、被検査物の最小濃淡ピッチ寸法に比較して小さ
い画像上の雑音を、前記画像処理部のハードウェアもし
くはソフトウェアの処理能力に負担を与えることなく、
容易に除去することを特徴とするものである。
は、Ｈｅ−Ｎｅ、ＬＤ等のコヒーレント光を発生し、被
検査物に照射できるようビーム形状を整形した光源部
と、光電変換器を含む画像入力部と、前記画像入力部に
被検査物像を結像するための光学系レンズ部と、前記画
像入力部から出力される電気信号を処理するための画像
処理部と、前記画像処理部における画像処理結果を出力
する出力部からなる、被検査物の濃淡ピッチを測定する
ピッチ測定装置において、光学系レンズ部が、被検査物
の最小濃淡ピッチ寸法と同程度の像の強度分布（LineSp
read Function 以下、Ｌ．Ｓ．Ｆ．と称する。）評価
を持ち、被検査物の最小濃淡ピッチ寸法に比較して小さ
い画像上の雑音を、前記画像処理部のハードウェアもし
くはソフトウェアの処理能力に負担を与えることなく、
容易に除去することを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】上記を構成する本発明のピッチ測定装置は以下
のように作用する。本発明で用いる光源部はＨｅ−Ｎ
ｅ、ＬＤ等のコヒーレント光を発生する。光源部からの
光線は、被検査物を照射する。被検査物像は前記本発明
の光学系レンズ部を通り、ＣＣＤ等の画像入力部に入力
する。このときの被検査物の最小濃淡ピッチ寸法に比較
して小さい画像上の雑音は、本発明の光学系レンズ部の
Ｌ．Ｓ．Ｆ．評価により減衰し、かつ被検査物の濃淡ピ
ッチ情報は、本発明の光学系レンズ部にてほぼ減衰する
ことなく前記画像入力部に到着する。このため、画像処
理を用いたピッチ測定装置の画像前処理に対する負担を
軽減することになる。画像処理部に入力された画像情報
は、画像処理部にて処理され出力部にて表示記録装置あ
るいはほかの装置へ出力される。
のように作用する。本発明で用いる光源部はＨｅ−Ｎ
ｅ、ＬＤ等のコヒーレント光を発生する。光源部からの
光線は、被検査物を照射する。被検査物像は前記本発明
の光学系レンズ部を通り、ＣＣＤ等の画像入力部に入力
する。このときの被検査物の最小濃淡ピッチ寸法に比較
して小さい画像上の雑音は、本発明の光学系レンズ部の
Ｌ．Ｓ．Ｆ．評価により減衰し、かつ被検査物の濃淡ピ
ッチ情報は、本発明の光学系レンズ部にてほぼ減衰する
ことなく前記画像入力部に到着する。このため、画像処
理を用いたピッチ測定装置の画像前処理に対する負担を
軽減することになる。画像処理部に入力された画像情報
は、画像処理部にて処理され出力部にて表示記録装置あ
るいはほかの装置へ出力される。
【０００７】
【実施例】以下図を参照しながら本発明に係わる実施例
を説明する。
を説明する。
【０００８】図１は、本発明のピッチ測定装置のブロッ
ク図である。本図において光源部１は、Ｈｅ−Ｎｅ、Ｌ
Ｄ等のコヒーレント光を発生し、被検査物に照射できる
ようにビーム形状を整形してあり、被検査物の状態に合
わせて透過照明、もしくは反射照明とする。被検査物２
は濃淡のピッチを持ちそのピッチの測定を行なうための
ものである。光学系レンズ部３は前記被検査物２からの
画像を画像入力部へ結像させ、かつ被検査物２に存在す
るが品質上問題にならないキズ、ゴミ等による微小な画
像上の雑音を減衰させるため、被検査物２の最小濃淡ピ
ッチ寸法と同程度のＬ．Ｓ．Ｆ．評価を持つよう調整可
能である。例えば、ケプラータイプのアフォーカル系レ
ンズ群とテレセントリック系レンズ群および光学絞り等
により構成することができる。
ク図である。本図において光源部１は、Ｈｅ−Ｎｅ、Ｌ
Ｄ等のコヒーレント光を発生し、被検査物に照射できる
ようにビーム形状を整形してあり、被検査物の状態に合
わせて透過照明、もしくは反射照明とする。被検査物２
は濃淡のピッチを持ちそのピッチの測定を行なうための
ものである。光学系レンズ部３は前記被検査物２からの
画像を画像入力部へ結像させ、かつ被検査物２に存在す
るが品質上問題にならないキズ、ゴミ等による微小な画
像上の雑音を減衰させるため、被検査物２の最小濃淡ピ
ッチ寸法と同程度のＬ．Ｓ．Ｆ．評価を持つよう調整可
能である。例えば、ケプラータイプのアフォーカル系レ
ンズ群とテレセントリック系レンズ群および光学絞り等
により構成することができる。
【０００９】画像入力部４は被検査物２からの画像デー
タを電気信号に変換し、画像処理部５へ出力する。画像
処理部５は電気信号に変換された被検査物２の画像信号
に、平均化処理、圧縮・膨張等の画像前処理を必要に応
じて行ない、かつ測定データを算出する。このため、従
来の画像処理を用いたピッチ測定装置に比較して電気信
号による画像前処理を簡略化、高速化できる。出力部６
は前記画像処理結果をＣＲＴ、プリンタあるいは他の装
置へ出力する。
タを電気信号に変換し、画像処理部５へ出力する。画像
処理部５は電気信号に変換された被検査物２の画像信号
に、平均化処理、圧縮・膨張等の画像前処理を必要に応
じて行ない、かつ測定データを算出する。このため、従
来の画像処理を用いたピッチ測定装置に比較して電気信
号による画像前処理を簡略化、高速化できる。出力部６
は前記画像処理結果をＣＲＴ、プリンタあるいは他の装
置へ出力する。
【００１０】図２は、本発明のピッチ測定装置の光源部
１から画像入力部４に至る部分の外観図である。図２に
示した装置において、光源部１からの光は被検査物２を
照射し、被検査物２のピッチ像を光学系レンズ部３を通
して、画像入力部４に入力する。
１から画像入力部４に至る部分の外観図である。図２に
示した装置において、光源部１からの光は被検査物２を
照射し、被検査物２のピッチ像を光学系レンズ部３を通
して、画像入力部４に入力する。
【００１１】図３は、本発明によるピッチ測定装置にお
いて被検査物２の画像情報を電気信号に変換したもので
あり、画像入力部４からの出力波形を示す図である。図
４は、従来のピッチ測定装置において被検査物からの画
像情報を電気信号に変換した波形を示す図である。この
結果から明らかなように、本発明のピッチ測定装置によ
る画像情報は、従来例の装置による画像情報に比べて、
滑らかな波形となり、ゴミ、傷等による小さな画像上の
雑音によるピークが大幅に除去されたことがわかる。
いて被検査物２の画像情報を電気信号に変換したもので
あり、画像入力部４からの出力波形を示す図である。図
４は、従来のピッチ測定装置において被検査物からの画
像情報を電気信号に変換した波形を示す図である。この
結果から明らかなように、本発明のピッチ測定装置によ
る画像情報は、従来例の装置による画像情報に比べて、
滑らかな波形となり、ゴミ、傷等による小さな画像上の
雑音によるピークが大幅に除去されたことがわかる。
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のピッチ測
定装置は、被検査物の画像情報を光学系レンズ部におい
て、被検査物の最小濃淡ピッチ寸法と同程度のＬ．Ｓ．
Ｆ．評価で、最小濃淡ピッチ寸法より小さい画像情報を
減衰させるため、電気信号による画像前処理の負担を軽
減し簡略化、高速化することができる。これは被検査物
製造ラインにおいてリアルタイムでのピッチ測定を可能
にし大量生産に有効である。また、ピッチ測定のための
ハードウェアもしくはソフトウェアのフィルタを通す必
要がなくなり従来ハードウェアもしくはソフトウェアの
開発に日数がかかっていたところ、装置開発日数を大幅
に短縮することができる。
定装置は、被検査物の画像情報を光学系レンズ部におい
て、被検査物の最小濃淡ピッチ寸法と同程度のＬ．Ｓ．
Ｆ．評価で、最小濃淡ピッチ寸法より小さい画像情報を
減衰させるため、電気信号による画像前処理の負担を軽
減し簡略化、高速化することができる。これは被検査物
製造ラインにおいてリアルタイムでのピッチ測定を可能
にし大量生産に有効である。また、ピッチ測定のための
ハードウェアもしくはソフトウェアのフィルタを通す必
要がなくなり従来ハードウェアもしくはソフトウェアの
開発に日数がかかっていたところ、装置開発日数を大幅
に短縮することができる。
【図１】本発明によるピッチ測定装置のブロック図であ
る。
る。
【図２】本発明によるピッチ測定装置の光源部から画像
入力部に至る部分の外観図である。
入力部に至る部分の外観図である。
【図３】本発明によるピッチ測定装置において被検査物
の画像情報を電気信号に変換したものであり、画像入力
部からの出力波形図である。
の画像情報を電気信号に変換したものであり、画像入力
部からの出力波形図である。
【図４】従来のピッチ測定装置において被検査物からの
画像情報を電気信号に変換したものであり、画像入力部
からの出力波形図である。
画像情報を電気信号に変換したものであり、画像入力部
からの出力波形図である。
１ 光源部 ２ 被検査物 ３ 光学系レンズ部 ４ 画像入力部 ５ 画像処理部 ６ 出力部
Claims (1)
- 【請求項１】 コヒーレント光を発生し、濃淡模様のあ
る被検査物に照射できるようビーム形状を整形した光源
部と、被検査物像を結像する光学系レンズ部と、結像さ
れた被検査物の画像を入力して光電変換する画像入力部
と、前記画像入力部から出力される電気信号を処理する
ための画像処理部と、前記画像処理部における画像処理
結果を出力する出力部からなる、被検査物の濃淡ピッチ
を測定するピッチ測定装置において、光学系レンズ部
が、被検査物の最小濃淡ピッチ寸法と同程度の像の強度
分布評価を持ち、被検査物の最小濃淡ピッチ寸法に比較
して小さい画像上の雑音を、前記画像処理部の処理能力
に負担を与えることなく、容易に除去することを特徴と
するピッチ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3253923A JPH0593609A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | ピツチ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3253923A JPH0593609A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | ピツチ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0593609A true JPH0593609A (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=17257908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3253923A Pending JPH0593609A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | ピツチ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0593609A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07286861A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-10-31 | Baumer Electric Ag | 光学変換器および方法 |
-
1991
- 1991-10-01 JP JP3253923A patent/JPH0593609A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07286861A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-10-31 | Baumer Electric Ag | 光学変換器および方法 |
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