JPH0594611A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH0594611A JPH0594611A JP27620091A JP27620091A JPH0594611A JP H0594611 A JPH0594611 A JP H0594611A JP 27620091 A JP27620091 A JP 27620091A JP 27620091 A JP27620091 A JP 27620091A JP H0594611 A JPH0594611 A JP H0594611A
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- Pending
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- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 7
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002090 carbon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 1
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 description 1
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＮｉＰ被覆基板上に作製したＣｏＣｒ系合金
膜媒体において、膜厚の薄い領域から保磁力を大きく
し、高出力で優れた記録密度特性を有する磁気記録媒体
を提供する。 【構成】 基体１にＮｉＰ被覆膜４を形成し、さらにＳ
ｉもしくはＳｉにＢ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｐ、Ｃのうち１種以
上の元素を含む下地膜２を形成し、この下地膜上にＣｏ
Ｃｒを主成分とする合金薄膜３を形成する。
膜媒体において、膜厚の薄い領域から保磁力を大きく
し、高出力で優れた記録密度特性を有する磁気記録媒体
を提供する。 【構成】 基体１にＮｉＰ被覆膜４を形成し、さらにＳ
ｉもしくはＳｉにＢ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｐ、Ｃのうち１種以
上の元素を含む下地膜２を形成し、この下地膜上にＣｏ
Ｃｒを主成分とする合金薄膜３を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜型磁気記録媒体に
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、フレキシブル磁気ディスク装置、
ハ―ド磁気ディスク、オ―ディオ用磁気テ―プ装置、Ｖ
ＴＲ用磁気テ―プ装置等の磁気記録装置で、小型化、高
密度化が進められている。磁気記録における高密度化は
主として磁気記録媒体の磁性層の高保磁力化と薄層化と
によって実現されている。従来使用されている媒体は、
磁性体微粒子を高分子バインダ中に分散させたものをベ
―スフィルム上に塗布した、いわゆる塗布型磁気記録媒
体である。最近、これらの記録密度を１〜２桁ほど向上
できる記録方式が注目されている。ここに用いられる記
録媒体としては、膜面に垂直に磁気異方性を有する媒体
が用いられ、スパッタまたは蒸着などによって形成され
る。これらの媒体の記録密度および再生出力を決める磁
気特性としては、垂直磁気異方性、保磁力等がある。保
磁力に関しては保磁力の増大によって高出力が得られて
いる。
ハ―ド磁気ディスク、オ―ディオ用磁気テ―プ装置、Ｖ
ＴＲ用磁気テ―プ装置等の磁気記録装置で、小型化、高
密度化が進められている。磁気記録における高密度化は
主として磁気記録媒体の磁性層の高保磁力化と薄層化と
によって実現されている。従来使用されている媒体は、
磁性体微粒子を高分子バインダ中に分散させたものをベ
―スフィルム上に塗布した、いわゆる塗布型磁気記録媒
体である。最近、これらの記録密度を１〜２桁ほど向上
できる記録方式が注目されている。ここに用いられる記
録媒体としては、膜面に垂直に磁気異方性を有する媒体
が用いられ、スパッタまたは蒸着などによって形成され
る。これらの媒体の記録密度および再生出力を決める磁
気特性としては、垂直磁気異方性、保磁力等がある。保
磁力に関しては保磁力の増大によって高出力が得られて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＮｉＰ
被覆基板上に作製したＣｏＣｒ系合金膜の保磁力は、膜
厚の薄い領域で小さく、磁気ヘッドで再生した場合出力
が小さい問題がある。膜厚の大きい領域では保磁力が大
きくなるが、記録再生損失により十分な特性を得ること
ができなかった。本発明の目的は、このような従来の問
題点を解決して、ＮｉＰ被覆基体上に作製したＣｏＣｒ
系合金膜媒体において、膜厚の薄い領域における保磁力
が大きく、高出力で優れた記録密度特性を有する磁気記
録媒体を提供することにある。
被覆基板上に作製したＣｏＣｒ系合金膜の保磁力は、膜
厚の薄い領域で小さく、磁気ヘッドで再生した場合出力
が小さい問題がある。膜厚の大きい領域では保磁力が大
きくなるが、記録再生損失により十分な特性を得ること
ができなかった。本発明の目的は、このような従来の問
題点を解決して、ＮｉＰ被覆基体上に作製したＣｏＣｒ
系合金膜媒体において、膜厚の薄い領域における保磁力
が大きく、高出力で優れた記録密度特性を有する磁気記
録媒体を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、ＮｉＰ被覆基
体上に、ＳｉもしくはＳｉにＢ、Ｇｅ、Ｔａ、Ｔｉ、
Ｐ、Ｃのうち１種以上の元素を含む下地膜が形成され、
該下地膜上にＣｏＣｒを主成分とする合金薄膜が形成さ
れていることを特徴とする磁気記録媒体である。磁気記
録媒体膜は、ＣｏＣｒを主成分とする合金薄膜である。
なお、本発明の磁気記録媒体は、通常、磁気記録媒体上
に保護膜および潤滑層を施す。下地膜および磁気記録媒
体の作製法としては、スパッタ法、蒸着法、イオンビ―
ムスパッタ法などがある。保護膜としては、ダイヤモン
ド状カ―ボン、グラファイト状カ―ボン、Ｓｉもしくは
シリコン酸化膜、シリコン窒化膜などがある。
体上に、ＳｉもしくはＳｉにＢ、Ｇｅ、Ｔａ、Ｔｉ、
Ｐ、Ｃのうち１種以上の元素を含む下地膜が形成され、
該下地膜上にＣｏＣｒを主成分とする合金薄膜が形成さ
れていることを特徴とする磁気記録媒体である。磁気記
録媒体膜は、ＣｏＣｒを主成分とする合金薄膜である。
なお、本発明の磁気記録媒体は、通常、磁気記録媒体上
に保護膜および潤滑層を施す。下地膜および磁気記録媒
体の作製法としては、スパッタ法、蒸着法、イオンビ―
ムスパッタ法などがある。保護膜としては、ダイヤモン
ド状カ―ボン、グラファイト状カ―ボン、Ｓｉもしくは
シリコン酸化膜、シリコン窒化膜などがある。
【０００５】
【作用】磁気記録媒体として、ＣｏＣｒを主成分とする
合金薄膜を用い、これらの下地膜として、ＮｉＰ被覆基
体上にＳｉもしくはＳｉにＢ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｐ、Ｃのう
ち１つ以上の元素を含む下地膜を用いると、膜厚の薄い
領域でも保磁力が大きくなる。
合金薄膜を用い、これらの下地膜として、ＮｉＰ被覆基
体上にＳｉもしくはＳｉにＢ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｐ、Ｃのう
ち１つ以上の元素を含む下地膜を用いると、膜厚の薄い
領域でも保磁力が大きくなる。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について詳細に説明
する。 実施例１〜７，比較例 図１に本実施例による磁気記録媒体の構成を示す。基体
１にはＡ１合金基板を用い、その上にＮｉＰ被覆膜４が
形成されている。ＮｉＰ被覆膜４上にスパッタ法により
表１記載のＳｉまたはＳｉ合金下地膜を表１記載の膜厚
で形成した。この後、それぞれの下地膜の上に、同一の
スパッタ条件で膜厚５００オングストロ―ムのＣｏＣｒ
Ｔａ膜を形成した。また、従来例として、下地膜のない
ＮｉＰ被覆基板上に直接ＣｏＣｒ膜およびＣｏＣｒＴａ
膜を形成した磁気記録媒体を作製し、実施例と比較し
た。表１に、これらの磁気記録媒体の膜面に垂直な保磁
力を示した。
する。 実施例１〜７，比較例 図１に本実施例による磁気記録媒体の構成を示す。基体
１にはＡ１合金基板を用い、その上にＮｉＰ被覆膜４が
形成されている。ＮｉＰ被覆膜４上にスパッタ法により
表１記載のＳｉまたはＳｉ合金下地膜を表１記載の膜厚
で形成した。この後、それぞれの下地膜の上に、同一の
スパッタ条件で膜厚５００オングストロ―ムのＣｏＣｒ
Ｔａ膜を形成した。また、従来例として、下地膜のない
ＮｉＰ被覆基板上に直接ＣｏＣｒ膜およびＣｏＣｒＴａ
膜を形成した磁気記録媒体を作製し、実施例と比較し
た。表１に、これらの磁気記録媒体の膜面に垂直な保磁
力を示した。
【０００７】
【表１】 ────────────────────────────────── 下地膜 膜厚 垂直保磁力 （オングストロ―ム） （Ｏｅ） ────────────────────────────────── 実施例１ Ｓｉ 600 1200 実施例２ Ｓｉ−１ａｔ％Ｂ 700 1350 実施例３ Ｓｉ−１ａｔ％Ｇｅ 800 1500 実施例４ Ｓｉ−１ａｔ％Ｐ 1000 1600 実施例５ Ｓｉ−２ａｔ％Ｔａ 1000 1450 実施例６ Ｓｉ−３ａｔ％Ｔｉ 1000 1400 実施例７ Ｓｉ−２ａｔ％Ｃ 1000 1550 比較例 ＮｉＰ被覆基板 下地膜なし 800 ──────────────────────────────────
【０００８】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれば
ＣｏＣｒ系合金薄膜の膜厚が小さな領域でも保磁力が大
きく、高密度、高出力の磁気記録媒体が得られる。
ＣｏＣｒ系合金薄膜の膜厚が小さな領域でも保磁力が大
きく、高密度、高出力の磁気記録媒体が得られる。
【図１】本発明の一実施例の断面図である。
１ 基体 ２ ＳｉもしくはＳｉ合金膜の下地膜 ３ ＣｏＣｒ合金膜 ４ ＮｉＰ被覆膜
Claims (1)
- 【請求項１】 ＮｉＰ被覆基体上に、ＳｉもしくはＳｉ
にＢ、Ｇｅ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｐ、Ｃのうち１種以上の元素
を含む下地膜が形成され、該下地膜上にＣｏＣｒを主成
分とする合金薄膜が形成されていることを特徴とする磁
気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27620091A JPH0594611A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27620091A JPH0594611A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0594611A true JPH0594611A (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=17566084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27620091A Pending JPH0594611A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0594611A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60214417A (ja) * | 1984-04-11 | 1985-10-26 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP27620091A patent/JPH0594611A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60214417A (ja) * | 1984-04-11 | 1985-10-26 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
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