JPH0594916A - 電磁式搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 磁気浮上された搬送台を所定位置で速やかに
停止せしめ、その位置において安定して保持することが
できる電磁式搬送装置を提供することを目的とする。 【構成】 搬送路１側に配置されており、断面形状が概
略Ｃ字形をした磁性材料２と、Ｃ字形の開口部２ａを挟
んで向かい合う一対のコイル３，４と、搬送台１０側に
配置され、コイル３，４の磁力が作用する磁極片６と、
磁極片６の移動軸上でかつ前記磁性材料２の開口部２ａ
に隣接した位置に設けられ搬送台１０の移動を検知して
移動量に相当する信号を発生するセンサ７と、センサ７
からの信号を処理して制御信号を発生させ、該制御信号
を前記コイルに供給するための信号処理装置とを備え
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電磁式搬送装置に係り、
特に磁力により搬送台が軌道から浮上して非接触状態で
移動する電磁式の非接触搬送装置であって、搬送台を所
定位置で速やかに停止せしめ、その位置において安定し
て保持することができる電磁式搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、電磁式非接触搬送装置におい
ては、搬送台の停止、保持、搬送台の移動等の各種作動
が、永久磁石或いはコイルを用いた電磁石等の磁気的な
手段により行われる。そして、磁気的手段により搬送台
が軌道から浮上して非接触状態を維持しつつ移動するの
で、埃塵の発生について非常に厳格な半導体製造設備に
おいて利用される場合が多い。

【０００３】従来の停止手段は電磁ブレーキ機構からな
り、一般に搬送路側に所定の間隔をおいて左右に対向配
置された停止用電磁石と、それら停止用電磁石の中心線
上に配置された搬送台側の磁性部材とからなっている。
そして、電磁石で磁性部材を吸引して搬送台を所定位置
に停止させるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電磁ブ
レーキ機構においては、磁気吸引力によるばね力のみで
あるので、搬送台を安定に停止させるのが困難であると
いう問題点があった。

【０００５】本発明は、上述の事情に鑑みなされたもの
で、その目的とする処は、磁気浮上された搬送台を所定
位置で速やかに停止せしめ、その位置において安定して
保持することができる電磁式搬送装置を提供することに
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電磁式搬送装置は、搬送路と、該搬送路上
を移動する搬送台と、該搬送台を軌道から浮上せしめて
非接触状態にするための磁力手段と、搬送台を駆動する
手段と、搬送台を所定の位置で停止して且つその位置で
保持する位置決め保持手段とを含む電磁式搬送装置にお
いて、搬送路側に配置されており、断面形状が概略Ｃ字
形をした磁性材料と、Ｃ字形の開口部を挟んで向かい合
う一対のコイルと、前記搬送台側に配置され前記コイル
の磁力が作用する磁極片と、前記磁極片の移動軸上でか
つ前記磁性材料の開口部に隣接した位置に設けられ前記
搬送台の移動を検知して信号を発生するセンサと、前記
センサからの信号を処理して前記搬送台の移動量に相当
する制御信号を発生させ、該制御信号を前記コイルに供
給するための信号処理装置とを備えたことを特徴とする
ものである。

【０００７】

【作用】本発明は上記手段により、搬送台の移動がセン
サにより検知され、該センサにより発生された信号は信
号処理装置に入力され、ここで信号処理装置における移
相回路、位相遅れ回路、又は位相進み回路等により位相
の調整が行われるとともに、前記搬送台の移動量に相当
する制御信号（電流）に加工される。そして、該制御信
号は磁気発生用のコイルに供給され、磁気的吸引力を発
生させる直流電流に重畳されるため、搬送台の振動に対
して減衰力を与える。

【０００８】

【実施例】以下、本発明に係る電磁式搬送装置の実施例
を図面を参照して説明する。

【０００９】図１乃至図３において、本発明に係る電磁
式搬送装置は、搬送路１と、その搬送路１内に浮上して
収められた搬送台１０とからなり、両者のいずれか一方
には、図示しない浮上用電磁石、案内用電磁石が設けら
れ、他方には、それら電磁石に対向する磁性部材が設け
られている。

【００１０】電磁式搬送装置の搬送路１には磁性材料２
が配置されており、この磁性材料２の断面形状は、開口
部２ａが上方を向いている概略Ｃ字形をしている。

【００１１】磁性材料２の開口部２ａを挟んだ箇所に
は、相互に向かい合う様な態様で一対のコイル３，４が
巻き回されている。ここで、コイル３，４を巻く向き
は、電流を流した時に両者が発生する磁場が同一方向と
なる様に設定されている。

【００１２】図１乃至図３において、磁性材料２の開口
部２ａには、搬送台１０に固定された非磁性のホルダ
５，５（固定手段は図示せず）によって挟持された磁性
体からなる磁極片６が存在する。なお、図２及び図３に
おいてホルダ５は便宜上省略されている。ホルダ５及び
磁極片６はセンサターゲットを構成し、磁極片６は停止
用ターゲットをも構成している。そして、ホルダ５と磁
極片６の下面は、それぞれ検出面５ｓ，６ｓを構成し、
これら検出面５ｓ，６ｓは搬送台１０の移動方向と平行
に加工されている。

【００１３】一方、磁性材料２の開口部２ａの下方で、
かつ磁性材料２の長手軸の中心線上には、前記磁極片６
に対向し、搬送台１０の移動方向に直交するようにうず
電流式センサ７が設けられている。うず電流式センサ７
は、図４に示されるようにセンサアンプ１１を介して信
号処理装置１２に接続されている。そして、信号処理装
置１２は、電力増幅器１３を介してコイル３，４に接続
されている。

【００１４】上述した様な構成を有する本発明の電磁式
搬送装置によれば、コイル３，４に通電すると、磁力線
が発生して磁界を構成する。

【００１５】矢印方向に移動する搬送台１０の磁極片６
がこの磁界内に入ると磁気的な吸引力を受けて制動力が
付加されるが、搬送台１０の慣性力により磁極片６は磁
性材料２から離隔した位置まで動こうとする。ここで、
磁極片６の移動方向は磁力線と直交する方向、すなわ
ち、磁束を剪断する方向である。そのため磁束或いは磁
力線は該剪断を抑制する方向に復元力を作用せしめる。

【００１６】この復元力により、搬送台１０及び磁極片
６は磁性材料２の開口部２ａに向かって逆行する。この
逆行の際にも慣性力を生じるが、これも前記した復元力
により抑制される。従って、搬送台１０及び磁極片６は
磁性材料２の開口部２ａの中央において停止するのであ
る。そしてこの復元力は、搬送台１０及び磁極片６を開
口部２ａの中央に保持しておく作用をも奏するのであ
る。

【００１７】一方、搬送台１０が移動すると、センサ７
に対向するホルダ５，磁極片６の検出面５ａ，６ａも移
動する。ホルダ５と磁極片６とは材料が異なっているた
め、センサ７との間に発生する磁束は、それぞれ変化す
る。したがって、センサ７の出力電圧はホルダ５及び磁
極片６毎に変化する。センサ７の出力電圧信号は、セン
サアンプ１１を介して信号処理装置１２に入力され、こ
こで前記出力電圧信号は処理される。このとき、信号処
理装置１２はセンサ７及びセンサアンプ１１からの変動
する出力電圧信号を処理し、ホルダ５と磁極片６を判別
して搬送台１０の移動量に相当する信号を発生する。こ
こで、信号処理装置１２は、移相回路と位相遅れ回路と
を含んでいる。したがって、前記センサ７及びセンサア
ンプ１１からの出力信号は移相回路によって、所定角度
（例えば１８０°）位相が進められ、さらに位相遅れ回
路によって若干位相が戻される。これにより、信号処理
装置１２から所望の位相を有した制御信号（電流）が電
力増幅器１３を介してコイル３，４に供給される。した
がって、コイル３，４には磁気的吸引力を発生させる直
流電流に加えて前記制御電流が重畳され、この制御電流
が搬送台１０の振動に対して減衰力を与える。この結
果、搬送台１０及び磁極片６を開口部２ａの中央部に速
やかに停止させるとともに、搬送台１０をこの位置で安
定して保持する。ここで、前記信号処理装置１２から出
力される制御電流は、前記搬送台１０の振動に対して最
も適切な減衰力を与えるような位相に調整されている。

【００１８】前記信号処理装置１２は移相回路及び位相
遅れ回路に代えて位相進み回路のみを含むこともでき
る。この場合、センサ７及びセンサアンプ１１からの出
力信号は位相進み回路によって所定角度位相が進めら
れ、所望の位相の制御信号（電流）に加工される。

【００１９】また、うず電流式センサは、１個設けた実
施例を説明したが、対向して２個設け、移動物体の移動
方向に直交する運動によるセンサの出力変動分をキャン
セルすることができる。この場合、２つのセンサの出力
電圧を加算する加算器を設け、２つのセンサの出力電圧
を加算器で加算し、搬送台１０が移動方向に直交する運
動をして例えば一方のセンサ側に変位し、他方のセンサ
の出力電圧が減少しても、前記一方のセンサの出力電圧
はその分だけ増加するので、加算器においてキャンセル
される。信号処理装置１２は、加算器からの変動する出
力電圧信号を処理し、センサターゲットを判別して搬送
台１０の移動量に相当する信号を発生する。

【００２０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の電磁式搬送装置によれば、断面略Ｃ字形磁性材料と磁
極片との間に働く磁気的な吸引力と、信号処理装置から
出力される制御電流により発生する減衰力とにより、搬
送台及び磁極片の振動抑制が図られている。したがっ
て、搬送台を速やかに停止させることができるととも
に、該搬送台をこの停止位置で安定して保持することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電磁式搬送装置の実施例を示す斜
視図。

【図２】本発明に係る電磁式搬送装置の実施例を示す平
面図。

【図３】本発明に係る電磁式搬送装置の実施例を示す側
面図。

【図４】本発明に係る電磁式搬送装置の実施例における
制御回路を示す説明図。

【符号の説明】

１ 搬送路 ２ 磁性材料 ２ａ 開口部 ３，４ コイル ５ ホルダ ６ 磁極片 ７ うず電流式センサ １０ 搬送台 １１ センサアンプ １２ 信号処理装置 １３ 電力増幅器

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送路と、該搬送路上を移動する搬送台
   と、該搬送台を軌道から浮上せしめて非接触状態にする
   ための磁力手段と、搬送台を駆動する手段と、搬送台を
   所定の位置で停止して且つその位置で保持する位置決め
   保持手段とを含む電磁式搬送装置において、搬送路側に
   配置されており、断面形状が概略Ｃ字形をした磁性材料
   と、Ｃ字形の開口部を挟んで向かい合う一対のコイル
   と、前記搬送台側に配置され前記コイルの磁力が作用す
   る磁極片と、前記磁極片の移動軸上でかつ前記磁性材料
   の開口部に隣接した位置に設けられ前記搬送台の移動を
   検知して信号を発生するセンサと、前記センサからの信
   号を処理して前記搬送台の移動量に相当する制御信号を
   発生させ、該制御信号を前記コイルに供給するための信
   号処理装置とを備えたことを特徴とする電磁式搬送装
   置。
2. 【請求項２】 前記磁極片はターゲットを構成し、該磁
   極片は非磁性材料からなるホルダにより前記搬送台に固
   定され、前記磁極片及び前記ホルダの前記センサと対向
   した面は前記搬送台の移動方向と平行に形成されている
   ことを特徴とする請求項１記載の電磁式搬送装置。
3. 【請求項３】 前記信号処理装置は、移相回路を含むこ
   とを特徴とする請求項１記載の電磁式搬送装置。
4. 【請求項４】 前記信号処理装置は、さらに位相遅れ回
   路を含むことを特徴とする請求項３記載の電磁式搬送装
   置。
5. 【請求項５】 前記信号処理装置は、位相進み回路を含
   むことを特徴とする請求項１記載の電磁式搬送装置。