JPH0596326U - 天井のフレーム装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 部品点数を少なくすると共に、加工作業や取
付け作業を簡略化することにより、作業ミスの発生を防
止できると共に、コストダウンを図ることができる天井
のフレーム装置を提供する。 【構成】 同じ形状に形成された各端部５３，５４を対
向させて配置した一対のユニットフレーム本体５１，５
２と、平板状の底板５６とこの底板５６の両側に立上が
るよう形成された側板５７とこの側板５７の先端から外
側に延びる延出部５８とを有し、底板５６の半分側をユ
ニットフレーム本体５１，５２の一方に取付け底板５６
の残り半分側をユニットフレーム本体５１，５２の他方
に取付けることにより、一対のユニットフレーム本体５
１，５２を接続する接続部材５５と、一対のユニットフ
レーム本体５１，５２の各々と接続部材５５との間を密
封するシール部材６８とを備えた。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば半導体の製造に用いられるクリーンルームの天井に設けられ るフレーム装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば半導体を製造するためのクリーンルームを備える建家には、屋根の下に 、クリーンルームの天井の一部を構成するフレーム装置が吊り下げられている。 このフレーム装置には、クリーンルーム内に流入するゴミやチリを除去するため のフィルタ部材や、クリーンルーム内を照らす照明機器等が取付けられる。かか るフレーム装置を構成するフレーム本体を延長接続する構造は、製造メーカによ ってまちまちで未だ規格化されていない。

【０００３】 例えば、図７，図８に示すような従来の天井のフレーム装置においては、図７ （ａ）に示すように一方のフレーム本体１の端面１ａの開口部１ｂを、突起部２ を有する盲プレート３により塞ぎ、図７（ｂ）に示すように他方のフレーム本体 ４の端面４ａの開口部４ｂを、段部５を有する盲プレート６により塞いでいる。 そして、図８に示すように、突起部２を有する盲プレート３で塞がれたフレーム 本体１（いわゆる凸状部材）と、段部５を有する盲プレート６で塞がれたフレー ム本体４（いわゆる凹状部材）とを対向させて、盲プレート３の突起部２と盲プ レート６の段部５とをビス７により締結している。次いで、両フレーム本体１， ４の接合部に形成されてビス７が取付けられたくぼみ８に、シリコンシーラー等 のシール材９を充填して接合部を密封している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記のような従来のフレーム装置にあっては、部品点数が多い と共に、凸状部材１と凹状部材４とをそれぞれ製造する工場加工の際に、盲プレ ート３や６を本来と反対側に取付ける取付けミスが発生しやすい。また、凸状部 材１用と凹状部材４用の各部品を各々フレーム本体１，４に取付ける前に、フレ ーム本体１，４の各端部を別々の形に切欠き加工しなければならないが、この種 類の切欠きを加工する際にやはり加工ミスが発生するおそれがあり、さらに、現 地での取付け作業でも取付けミスが発生するおそれがあった。

【０００５】 本考案はかかる問題を解決するためになされたもので、部品の数を少なくして 、加工作業や取付け作業を簡略化することにより作業ミスの発生を防止できる天 井のフレーム装置を提供することを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために本考案は、同じ形状に形成された各端部を対向させ て配置した一対のユニットフレーム本体と、平板状の底板とこの底板の両側に立 上がるよう形成された側板とこの側板の先端から外側に延びる延出部とを有し、 前記底板の半分側を前記ユニットフレーム本体の一方に取付け前記底板の残り半 分側を前記ユニットフレーム本体の他方に取付けることにより前記一対のユニッ トフレーム本体を接続する接続部材と、前記一対のユニットフレーム本体の各々 と前記接続部材との間を密封するシール部材と、を備えたことを構成とするもの である。

【０００７】

【作用】

このような構成の天井のフレーム装置によれば、一種類の接続部材が、同じ形 状に形成された一対のユニットフレーム本体の各端部間に取付けられ、その接続 部材を各ユニットフレーム本体の各端部に締結させれば、容易にユニットフレー ム本体同士を接続固定することができる。このため、部品点数が少くなると共に 、各ユニットフレーム本体のいずれか一方が凸状部材で他方が凹状部材というこ とがないことにより、従来のような加工ミスや取付けミス等の作業ミスを防止す ることができると共に、コストダウンが実現できる。

【０００８】

【実施例】 以下、本考案の実施例について図面に基づいて説明する。図１乃至図６は、本 考案に係る天井のフレーム装置の一実施例を説明するための図である。 まず、図１によりいわゆる全面層流型クリーンルームの周囲の建築構造を説明 する。このクリーンルームを備える大きな建家は、雪や風等による影響を考慮し て、屋根が上下方向に多少変位してもその変位を許容するような構造になってい る。屋根（図示せず）のフレーム２１は、床２２から立設された壁部材２３の上 端部２３ａと離れていて、この上端部２３ａとの間に隙間がある。フレーム２１ は、図示しない柱部材により屋根に直接支持されている。そして、屋根の上に雪 が積もって荷重がかかるとフレーム２１は下方に撓み、壁部材２３の上端部２３ ａとの間の隙間を小さくし、あるいは零にして接触する。

【０００９】 フレーム２１にはロッド材２６を介してパネル部材２５が吊り下げられている 。パネル部材２５の下方には、多数の開口部２８ａを有するフレーム本体２８が 棒部材２７により吊り下げられている。またフレーム本体２８の上には、その開 口部２８ａを覆う多数のフィルタ部材３０が周縁部をシールされて載置されてい る。

【００１０】 パネル部材２５と壁部材２３との間はシール材３２により密封され、またフレ ーム本体２８と壁部材２３との間もシール材３３により密封されている。したが って、パネル部材２５とフレーム本体２８と壁部材２３とにより囲まれた空間３ １は、フィルタ部材３０の微細な孔を除けば密閉された空間となっている。

【００１１】 フレーム本体２８の下方はクリーンルーム３５になっており、このクリーンル ーム３５内で半導体の製造作業等著しくゴミやチリ等を嫌う作業が行われる。ク リーンルーム３５の床部３６には、その下方の空間３８とクリーンルーム３５と を連通させる多数の孔３６ａが形成されている。空間３１と３８は配管４０によ り連通しており、この配管４０の途中には送風ファン４２が設けられている。

【００１２】 このような建築構造においては、送風ファン４２が作動することにより、配管 ４０を通って空間３８から空間３１に空気が移動する。空間３１内の空気は、フ ィルタ部材３０を通過することによりゴミやチリを除去されて清浄化される。清 浄化された空気は、フレーム本体２８の開口部２８ａからクリーンルーム３５に 流入してこのクリーンルーム３５内を清浄な状態にしている。このようにして、 送風ファン４２の作動により、空気は空間３１、クリーンルーム３５、空間３８ 、配管４０、空間３１の順で循環しており、クリーンルーム３５内の空気は常に 清浄な状態に保持されることとなる。

【００１３】 次に、クリーンルーム３５の天井のフレーム装置についてさらに詳述する。図 １及び図２に示すように、開口部２８ａを有するフレーム本体２８はシステムフ レームとも呼ばれており、吊りボルト等の棒部材２７によりパネル部材２５から 吊り下げられている。このフレーム本体２８の下面には、クリーンルーム３５内 を照らすための照明機器４３や化粧板や配管等が取付けられている。

【００１４】 またフレーム本体２８は、アルミニウム等により一体成形された複数のユニッ トフレーム本体を互いに接続することにより長さ方向に一体化されて、クリーン ルーム３５の天井全体に渡って配設されている。

【００１５】 図３，図４は、一対のユニットフレーム本体５１，５２を延長接続する場合の 接続部５０を示している。即ちこの接続部５０においては、ユニットフレーム本 体５１の端部５３と、ユニットフレーム本体５２の端部５４とを対向配置した後 、アルミ押出し一体成型加工又は板金加工等により成形された接続部材５５によ り前記両端部５３，５４を接続している。接続部材５５は、平板状の底板５６と 、この底板５６の両側からそれぞれ一体的に立設する一対の側板５７，５７と、 この各側板５７の上端縁から外方にそれぞれ一体的に延出する一対の延出片５８ ，５８とを有しており、底板５６と一対の側板５７，５７とにより上方に開口す る凹部５９が形成されている。底板５６には所定位置に複数の貫通孔６０が開口 されている。

【００１６】 一方、ユニットフレーム本体５１，５２の天板６１には、棒部材２７（図１参 照）に係合される突起部６２が一体的に形成されている。この突起部６２は、接 続部５０における作業の障害にならないように、ユニットフレーム本体５１，５ ２の各端部５３，５４より少し後退した位置から始まって長手方向に形成されて いる。天板６１の幅方向両側から下方に一対の側板６３，６３が一体的に成形さ れており、各側板６３から内方に上部係止片６４と下部係止片６５とがそれぞれ 突出形成されている。

【００１７】 天板６１の端部５３，５４は、接続部材５５の側板５７の内側面と一致するよ うに所定寸法だけ切欠かれている。また、接続部材５５の底板５６は、上部係止 片６４の上面に載置され、少なくとも一方のユニットフレーム本体（本実施例で はユニットフレーム本体５１）に対しては位置調節可能にスライドできるように なっている。

【００１８】 このような天井のフレーム装置においては、まず、両ユニットフレーム本体５ １，５２を対向配置し、その接続部５０を接続部材５５により接続するために、 底板５６を各上部係止片６４上に載置するとともに、天板６１の下面に延出片５ ８の上面を隙間無く嵌合させる。次いで、締結部材としてのビス６６を底板５６ の貫通孔６０に挿入するとともに、一方のユニットフレーム本体５２の端部５４ の上部係止片６４に螺合させる。

【００１９】 次いで、他方のユニットフレーム本体５１を所望の位置に位置決めするが、接 続部材５５は一方のユニットフレーム本体５１に対してスライド自在になってい るので、ユニットフレーム本体５１，５２間の位置調整は容易に行うことができ る。

【００２０】 その後、締結部材としてのビス６７を貫通孔６０に挿入するとともに、ユニッ トフレーム本体５１の端部５３の上部係止片６４に螺合させる。これにより、図 ５，６に示すように接続部材５５は両端部５３，５４に締結され、ユニットフレ ーム本体５１，５２は互いに強固に接続される。

【００２１】 次に、接続部５０を密封するために、接続部材５５の凹部５９にシール部材と してのシリコンシーラー６８を充填することにより、接続作業は完了する。

【００２２】 このように本実施例においては、アルミニウム等により一体成形されたユニッ トフレーム本体５１，５２を、最小限度の加工即ちユニットフレーム本体５１， ５２を切断した状態で凹凸の区別なく、共通して取付けることができ、加工の省 力化及びコストダウンが実現できる。

【００２３】

【考案の効果】

本考案に係る天井のフレーム装置は、上記のように構成したので、従来のよう な凹状部材と凸状部材とに区別して製造する必要がなく、また部品点数を少なく して、加工作業や取付け作業を簡略化したため、作業ミスの発生を防止すること ができると共に、上記フレーム装置のコストダウンが実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案を説明するためのクリーンルームの建築
構造を示す断面図である。

【図２】図１のフレーム本体のII−II線矢視図である。

【図３】ユニットフレーム本体の接続部の斜視図であ
る。

【図４】図３のユニットフレーム本体の端部の正面図で
ある。

【図５】ユニットフレーム本体の接続状態を示す接続部
の平面図である。

【図６】図５のユニットフレーム本体の接続部の側面断
面図である。

【図７】従来の天井のフレーム装置を示す図であり、図
７（ａ）は凸状部材を示す分解斜視図、図７（ｂ）は凹
状部材を示す分解斜視図である。

【図８】図７の凸状部材と凹状部材を接続した状態を示
す側面断面図である。

【符号の説明】

２１ フレーム ２２ 床 ２３ 壁部材 ２５ パネル部材 ２６ ロッド材 ２７ 棒部材 ２８ フレーム本体 ３０ フィルタ部材 ３１ 空間 ３２，３３ シール材 ３５ クリーンルーム ３６ 床部 ３８ 空間 ４０ 配管 ４２ 送風ファン ４３ 照明機器 ５０ 接続部 ５１，５２ ユニットフレーム本体 ５３，５４ 端部 ５５ 接続部材 ５６ 底板 ５７ 側板 ５８ 延出片 ５９ 凹部 ６０ 貫通孔 ６１ 天板 ６３ 側板 ６４ 上部係止片 ６５ 下部係止片 ６６，６７ ビス ６８ シリコンシーラー（シール部材）

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 同じ形状に形成された各端部を対向させ
   て配置した一対のユニットフレーム本体と、 平板状の底板と、この底板の両側に立上がるよう形成さ
   れた側板と、この側板の先端から外側に延びる延出部と
   を有し、前記底板の半分側を前記ユニットフレーム本体
   の一方に取付け、前記底板の残り半分側を前記ユニット
   フレーム本体の他方に取付けることにより、前記一対の
   ユニットフレーム本体を接続する接続部材と、 前記一対のユニットフレーム本体の各々と前記接続部材
   との間を密封するシール部材と、 を備えたことを特徴とする天井のフレーム装置。